專利名稱：雙重拖動分子泵的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種分子泵，尤其涉及一種雙重拖動分子泵。
背景技術：
中國專利87101116.6公開了一種“分子泵”。它的目的是提供一種具有二個拖動面且抽速較高、工作壓強、排氣流量可超過現(xiàn)有拖動分子泵幾十倍的徑流式分子泵，以及這種泵與其它旋轉(zhuǎn)機械真空泵構(gòu)成的復合真空泵。其不足之處在于1、靜輪內(nèi)、外側(cè)氣體通道的流導小，降低了泵的有效抽速。
2、靜輪結(jié)構(gòu)復雜，不便裝配，難于批量生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術中的不足之處而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、易于批量生產(chǎn)并可提高泵的有效抽速的雙重拖動分子泵。
本發(fā)明的目的可以通過以下措施來達到這種雙重拖動分子泵，包括固設在泵殼上的螺旋狀靜輪和動密封級，以及固設在轉(zhuǎn)子上的動輪，所述動輪與靜輪及動密封級之間交錯間隙排列，泵殼上分別對應開設進氣口和排氣口，電機設在轉(zhuǎn)軸的一側(cè)，轉(zhuǎn)軸的兩端分別套裝有端蓋，其特殊之處在于若干級并聯(lián)、串聯(lián)的靜輪共用同一框架，框架由固定環(huán)和支柱構(gòu)成，支柱固定面上設有靜輪葉片；所述靜輪的葉片內(nèi)、外側(cè)均無固定環(huán)設置。
本發(fā)明的目的還可以通過以下措施來達到所述靜輪葉片與支柱一體成型；所述靜輪的葉片內(nèi)、外側(cè)均無固定環(huán)設置。
所述靜輪的葉片與其外側(cè)固定環(huán)一體成型；所述靜輪的葉片內(nèi)側(cè)無固定環(huán)設置。
若干并聯(lián)靜輪共用一個框架，每個支柱設有一個固定面，固定傾斜方向相同的整體葉片。
若干串聯(lián)靜輪共用一個框架，每個支柱上設有兩個固定面，分別固定不同傾斜方向的葉片。
若干級并聯(lián)、串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元和若干并、串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元同軸安裝，串聯(lián)組合，靠近泵的進氣口為若干并聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元，靠近泵的排氣口為若干串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元，構(gòu)成臥式復合雙重拖動分子泵。
所述同軸安裝的若干并、串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵選用Siegbahn分子泵抽氣單元、Holweck分子泵抽氣單元的一種或組合；靠近泵的排氣口若干串聯(lián)的泵選用Siegbahn分子泵、Holweck分子泵的一種或組合。
轉(zhuǎn)子的支承所采用的雙重減震結(jié)構(gòu)由轉(zhuǎn)子軸承外側(cè)與軸承座之間設有的減震圈、軸承座與端蓋之間設有的第二層減震圈組成。
所述第二層減震圈是充填在軸承座與端蓋之間的整體減震環(huán)。
若干級并聯(lián)或串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元和若干級并聯(lián)或串聯(lián)的其它真空泵抽氣單元同軸安裝，靠近泵的進氣口的串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元和并聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元，靠近泵的排氣口串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元選用Siegbahn分子泵抽氣單元、Holweck分子泵抽氣單元的一種或組合，構(gòu)成立式復合雙重拖動分子泵。
本發(fā)明相比現(xiàn)有技術具有如下優(yōu)點1、結(jié)構(gòu)簡單，便于批量生產(chǎn)。
2、消除了抽氣通道內(nèi)側(cè)的，或者同時消除了內(nèi)側(cè)和外側(cè)的固定環(huán)，增加了抽氣通道的進、出口流導，提高了泵的有效抽速；
3、可與其它分子泵，或者旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等真空泵同軸安裝，并聯(lián)和串聯(lián)組合，構(gòu)成性能優(yōu)良的復合分子泵。


圖1是本發(fā)明并聯(lián)雙拖泵的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1的A-A向剖視圖。
圖3是并聯(lián)雙拖泵靜輪框架的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是圖3的A-A向剖視圖。
圖5是并聯(lián)雙拖泵靜輪葉片的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6是圖5的A-A向剖視圖。
圖7是并聯(lián)雙拖泵靜輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖8是并聯(lián)雙拖泵葉片、支柱一體式結(jié)構(gòu)示意圖。
圖9是圖8的A-A向剖視圖。
圖10是串聯(lián)雙拖泵靜輪框架示意圖。
圖11是圖10的A-A向剖視圖。
圖12是串聯(lián)雙拖泵靜輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖13是單一靜輪整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖14是圖13的側(cè)視圖。
圖15是臥式復合雙拖泵第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖16是臥式復合雙拖泵第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖17是雙拖動泵的雙重減震裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
圖18立式復合雙拖泵第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖19立式復合雙拖泵第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中
1-靜輪，11-框架；2-動輪，21-轉(zhuǎn)軸，22-轉(zhuǎn)子，23-隔環(huán)；3-泵殼，31-進氣口，32-排氣口，33-端蓋，34-固定環(huán)，35-支柱，36-葉片；4-氣體通道；5-電機；6-軸承，61-減震圈，62-第二層減震圈，63-軸承座；71-雙重拖動分子泵抽氣單元，72-Siegbahn分子泵抽氣單元，73-、Holweck分子泵抽氣單元，74-渦輪分子泵抽氣單元；8-動密封級；9-壓縮級。
具體實施例方式
本發(fā)明下面將結(jié)合附圖作進一步詳述圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6、圖7、圖8、圖9示出了本發(fā)明的第一個實施例。
請參閱圖1和圖2所示，該并聯(lián)雙重拖動分子泵包括固設在泵殼3上的靜輪1，以及固設在轉(zhuǎn)子22上的動輪3，所述動輪3與靜輪1之間交錯間隙排列，其若干級并聯(lián)的靜輪1共用同一框架11，框架11由固定環(huán)34和支柱35構(gòu)成，支柱35固定面上設有靜輪葉片36。轉(zhuǎn)子22上設有六只平圓盤動輪3，相鄰動輪3之間，分別設有五只雙拖泵靜輪1。靜輪葉片36的傾斜方向均相同，組成五組抽氣單元71并聯(lián)的雙重拖動分子泵。靜輪1的外圓周，以及動輪3的內(nèi)側(cè)設氣體通道4。靜輪1采用如圖3、圖4所示的框架式結(jié)構(gòu)，它由兩只固定環(huán)34、八個支柱35組成。每個支柱35上設有如圖5、圖6所示的整體葉片36，采用這種結(jié)構(gòu)，可以增加抽氣通道進氣口和排氣口的流導，從而有效提高抽速。組裝完成的靜輪1如圖7所示。
靜輪葉片和支柱也可以采用如圖8、圖9所示的葉片36、支柱35一體成型結(jié)構(gòu)，直接固定在二只固定環(huán)34上。
使用過程當動輪2如圖2箭頭所示方向高速旋轉(zhuǎn)時，被抽氣體由靜輪1外側(cè)抽至靜輪1內(nèi)側(cè)。改變動輪2的旋轉(zhuǎn)方向，或者靜輪葉片36的傾斜方向，可以改變抽氣方向。
圖10、圖11、圖12示出了本發(fā)明的第二個實施例。
請參閱圖10和圖11所示，該串聯(lián)雙重拖動分子泵包括固設在泵殼3上的靜輪1和動密封級，以及固設在轉(zhuǎn)子上的動輪，所述動輪與靜輪1及動密封級之間交錯間隙排列，其若干級串聯(lián)的靜輪1共用同一框架11，框架11由固定環(huán)34和支柱35構(gòu)成，支柱35固定面上設有螺旋狀靜輪葉片36。
本實施例由兩級雙拖泵單元同軸安裝，兩級單元的靜輪1葉片傾斜方向相反，從而使得抽氣方向相反，第1級的排氣口32與第2級的進氣口31相連，構(gòu)成串聯(lián)抽氣的雙重拖動分子泵。本實施例靜輪框架11的支柱35上設有兩個固定面，分別固定不同傾斜方向的葉片36。組裝完成的串聯(lián)雙重拖動分子泵靜輪1如圖12所示，使用過程當動輪順時針方向高速旋轉(zhuǎn)時，上方靜輪中的被抽氣體由靜輪外側(cè)抽向內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)軸處，下方靜輪中的被抽氣體由內(nèi)側(cè)抽向外測，構(gòu)成串聯(lián)抽氣。改變動輪的旋轉(zhuǎn)方向，或者靜輪葉片36的傾斜方向，可以改變抽氣方向。
圖13、圖14示出了本發(fā)明的第三個實施例。
請參閱圖13、圖14所示，該一體成型靜輪雙重拖動分子泵包括固設在泵殼3上的靜輪1和動密封級，以及固設在轉(zhuǎn)子上的動輪，所述動輪與靜輪1及動密封級之間交錯間隙排列，與上述實施例一和實施例二的差別在于每只靜輪葉片36與外側(cè)固定環(huán)34一體成型，構(gòu)成獨立整體。然后，將該靜輪1分割成兩半，葉片內(nèi)側(cè)無固定環(huán)設置。采用這種結(jié)構(gòu)，加工精度容易保證，安裝、調(diào)試比較方便。由于靜輪1內(nèi)側(cè)無固定環(huán)設置，因此，抽氣通道的內(nèi)側(cè)口的流導比較大。
使用過程如圖13所示，當動輪順時針方向高速旋轉(zhuǎn)時，被抽氣體由靜輪外側(cè)抽向內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)軸處。改變動輪的旋轉(zhuǎn)方向，或者靜輪葉片36的傾斜方向，可以改變抽氣方向。
圖15、圖17示出了本發(fā)明的第四個實施例。
請參閱圖15和圖17所示，該臥式復合雙拖泵包括固設在泵殼3上的靜輪1和動密封級8，以及固設在轉(zhuǎn)子22上的動輪2，所述動輪2與靜輪1及動密封級8之間交錯間隙排列，泵殼3上分別對應開設進氣口31和排氣口32，電機5設在轉(zhuǎn)軸21的一側(cè)，轉(zhuǎn)軸21的兩端分別套裝有端蓋33。
若干級并聯(lián)和串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元71和若干并聯(lián)和串聯(lián)的Siegbahn分子泵抽氣單元72同軸安裝，并聯(lián)、串聯(lián)組合，構(gòu)成臥式復合雙重拖動分子泵。
本實施例中，位于中部的第1抽氣級由五組雙重拖動分子泵抽氣單元71并聯(lián)組成。第一抽氣級兩側(cè)分別設置由二組并聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元71組成第2抽氣級，第一、二抽氣級之間設有動密封級8，第2抽氣級兩側(cè)設置由三組Siegbahn分子泵抽氣單元72串聯(lián)組成的壓縮級9。
轉(zhuǎn)子的支承采用如圖17所示的雙重減震結(jié)構(gòu)。包括在軸承6外側(cè)與軸承座63之間設有一只減震圈32；該減震圈32的截面可采用圓形，或者矩形；該軸承座63與端蓋之間設有第二層減震圈33，第二層減震圈33可采用2只截面為圓形，或者矩形的O圈，也可以采用充填在軸承座63與端蓋33之間的整體減震環(huán)。采用雙重減震裝置后，泵的振動和噪聲可以大幅度降低。
本實施例的雙重減震裝置還可以用于臥式和立式的渦輪分子泵和復合分子泵，也可以用于其它繞性軸機械。
使用過程被抽氣體從泵的進氣口31進入，由第1抽氣級抽至內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)軸處，然后分成左、右兩路，依次經(jīng)過第二抽氣級和壓縮級9，最后，經(jīng)氣體通道4、從排氣口32排出。
圖16示出了本發(fā)明的第五個實施例。
請參閱圖16所示，該臥式復合雙重拖動分子泵包括固設在泵殼3上的靜輪1和動密封級8，以及固設在轉(zhuǎn)子22上的動輪2，所述動輪2與靜輪1及動密封級8之間交錯間隙排列，泵殼3上分別對應開設進氣口31和排氣口32，電機5設在轉(zhuǎn)軸21的一側(cè)，轉(zhuǎn)軸21的兩側(cè)分別套裝有端蓋33。
若干級并聯(lián)、串聯(lián)雙重拖動分子泵抽氣單元71、Siegbahn分子泵抽氣單元72、Holweck分子泵抽氣單元73，以及旋轉(zhuǎn)機械真空泵同軸安裝，并聯(lián)、串聯(lián)組合。
本實施例中，位于中部的第1抽氣級由五組雙重拖動分子泵抽氣單元71并聯(lián)組成。第一抽氣級兩側(cè)分別設由二組并聯(lián)的Siegbahn分子泵抽氣單元72組成的第二抽氣級，第一、二抽氣級之間設有動密封級8，第二抽氣級兩側(cè)設置由四組串聯(lián)的Holweck分子泵抽氣單元73組成的壓縮級9。
使用過程被抽氣體從泵的進氣口31進入，由第1抽氣級抽至內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)軸處，然后分成左、右兩路，依次經(jīng)過第二抽氣級和壓縮級9，最后，經(jīng)氣體通道4，從排氣口32排出。
圖18示出了本發(fā)明的第六個實施例。
請參閱圖18所示，該立式復合雙重拖動分子泵由轉(zhuǎn)軸21、泵殼3、轉(zhuǎn)子22、渦輪分子泵抽氣單元74、雙重拖動分子泵抽氣單元71、動密封級8、Siegbahn分子泵抽氣單元72、軸承11、電機5、氣體通道4、進氣口31、泵的排氣口32構(gòu)成，泵殼3上分別對應開設進氣口31和排氣口32，電機5設在轉(zhuǎn)軸21的下方，轉(zhuǎn)軸21的下方套裝有端蓋33。
若干級并聯(lián)、串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元74、雙重拖動分子泵抽氣單元71和Siegbahn分子泵抽氣單元72同軸安裝，靠近泵的進氣口31設置由8組串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元74組成的第一抽氣級，第一抽氣級下面設置二組串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元71組成的第二抽氣級，靠近泵的排氣口32設置由三組串聯(lián)的Siegbahn分子泵抽氣單元72組成的壓縮級9，以此構(gòu)成立式復合雙重拖動分子泵。
使用過程被抽氣體由進氣口31進入，依次經(jīng)過第一抽氣級、第二抽氣級、壓縮級9和氣體通道4，最后由排氣口32排出。
圖19示出了本發(fā)明的第七個實施例。
請參閱圖19所示，該立式復合雙拖泵由轉(zhuǎn)軸21、泵殼2、轉(zhuǎn)子3、渦輪分子泵動輪4、渦輪分子泵靜輪1、拖動分子泵動輪6、雙拖泵抽氣單元71、動密封級8、Siegbahn分子泵抽氣單元72、軸承11、電機5、氣體通道4、進氣口31、泵的排氣口32構(gòu)成，包括固設在泵殼3上的靜輪1和動密封級8，以及固設在轉(zhuǎn)子22上的動輪2，所述動輪2與靜輪1及動密封級8之間交錯間隙排列，電機5設在轉(zhuǎn)軸21的下方，轉(zhuǎn)軸21的下方套裝有端蓋33。
若干級并聯(lián)、串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元74、雙重拖動分子泵抽氣單元71、Siegbahn分子泵抽氣單元72和若干級串聯(lián)的Holweck分子泵抽氣單元73同軸安裝同軸安裝，靠近泵的進氣口31設置由8組串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元74組成的第一抽氣級，第一抽氣級下面設置二組串聯(lián)的雙拖泵抽氣單元71組成的第二抽氣級，靠近泵的排氣口32設置由二組串聯(lián)的Holweck分子泵抽氣單元73組成的壓縮級9，以此構(gòu)成立式復合雙重拖動分子泵。
使用過程被抽氣體由進氣口31進入，依次經(jīng)過第一抽氣級、第二抽氣級、壓縮級9和氣體通道4，最后由排氣口32排出。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明權利要求范圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本發(fā)明權利要求的涵蓋范圍。
權利要求
1.一種雙重拖動分子泵，包括固設在泵殼上的螺旋狀靜輪和動密封級，以及固設在轉(zhuǎn)子上的動輪，所述動輪與靜輪及動密封級之間交錯間隙排列，泵殼上分別對應開設進氣口和排氣口，電機設在轉(zhuǎn)軸的一側(cè)，轉(zhuǎn)軸的兩端分別套裝有端蓋，其特征在于若干級并聯(lián)、串聯(lián)的靜輪共用同一框架，框架由固定環(huán)和支柱構(gòu)成，支柱固定面上設有靜輪葉片；所述靜輪的葉片內(nèi)、外側(cè)均無固定環(huán)設置。
2.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于所述靜輪葉片與支柱一體成型；所述靜輪的葉片內(nèi)、外側(cè)均無固定環(huán)設置。
3.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于所述靜輪的葉片與其外側(cè)固定環(huán)一體成型；所述靜輪的葉片內(nèi)側(cè)無固定環(huán)設置。
4.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于若干并聯(lián)靜輪共用一個框架，每個支柱設有一個固定面，固定傾斜方向相同的整體葉片。
5.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于若干串聯(lián)靜輪共用一個框架，每個支柱上設有兩個固定面，分別固定不同傾斜方向的葉片。
6.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于若干級并聯(lián)、串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元和若干并、串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元同軸安裝，串聯(lián)組合，靠近泵的進氣口為若干并聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元，靠近泵的排氣口為若干串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元，構(gòu)成臥式復合雙重拖動分子泵。
7.根據(jù)權利要求6所述的雙重拖動分子泵，其特征在于所述同軸安裝的若干并、串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵選用Siegbahn分子泵抽氣單元、Holweck分子泵抽氣單元的一種或組合；靠近泵的排氣口若干串聯(lián)的泵選用Siegbahn分子泵、Holweck分子泵的一種或組合。
8.根據(jù)權利要求6所述的雙重拖動分子泵，其特征在于轉(zhuǎn)子的支承所采用的雙重減震結(jié)構(gòu)由轉(zhuǎn)子軸承外側(cè)與軸承座之間設有的減震圈、軸承座與端蓋之間設有的第二層減震圈組成。
9.根據(jù)權利要求8所述的雙重拖動分子泵，其特征在于所述第二層減震圈是充填在軸承座與端蓋之間的整體減震環(huán)。
10.根據(jù)權利要求1所述的雙重拖動分子泵，其特征在于若干級并聯(lián)或串聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元和若干級并聯(lián)或串聯(lián)的其它真空泵抽氣單元同軸安裝，靠近泵的進氣口的串聯(lián)的渦輪分子泵抽氣單元和并聯(lián)的雙重拖動分子泵抽氣單元，靠近泵的排氣口串聯(lián)的其它旋轉(zhuǎn)真空泵抽氣單元選用Siegbahn分子泵抽氣單元、Holweck分子泵抽氣單元的一種或組合，構(gòu)成立式復合雙重拖動分子泵。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種結(jié)構(gòu)簡單、易于批量生產(chǎn)并可提高泵的有效抽速的雙重拖動分子泵。該雙重拖動分子泵，包括固設在泵殼上的螺旋狀靜輪和動密封級，以及固設在轉(zhuǎn)子上的動輪，所述動輪與靜輪及動密封級之間交錯間隙排列，泵殼上分別對應開設進氣口和排氣口，電機設在轉(zhuǎn)軸的一側(cè)，轉(zhuǎn)軸的兩端分別套裝有端蓋，其特征在于若干級并聯(lián)、串聯(lián)的靜輪共用同一框架，框架由固定環(huán)和支柱構(gòu)成，支柱固定面上設有靜輪葉片；所述靜輪的葉片內(nèi)、外側(cè)均無固定環(huán)設置。本發(fā)明還可與其它分子泵或者旋轉(zhuǎn)式機械真空泵同軸安裝，構(gòu)成性能更好的復合真空泵。本發(fā)明適用于各類分子泵、旋轉(zhuǎn)機械真空泵。
文檔編號F04D19/00GK1743680SQ200510100169
公開日2006年3月8日 申請日期2005年10月10日 優(yōu)先權日2005年10月10日
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