一種用于分子泵的牽引筒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于流體機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其是應(yīng)用于真空栗中，具體來說涉及一種用于分子栗的牽引筒。
【背景技術(shù)】
[0002]分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等行業(yè)中。目前，分子栗主要有兩種，一種是渦輪分子栗，另一種是復(fù)合分子栗。其中渦輪分子栗可以獲得較大的抽速，但難以獲得較大的壓縮比，而在一些半導(dǎo)體行業(yè)中，要求在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較大的抽速，而渦輪分子栗并不合適。
[0003]對(duì)于復(fù)合分子栗，在獲得較大抽速的同時(shí)，還可獲得較大的壓縮比，因此在半導(dǎo)體等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。現(xiàn)有的復(fù)合分子栗主要分為兩類，一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成，即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗；另一類是由渦輪分子栗與筒式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成，即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗。對(duì)于第一類復(fù)合分子栗，盡管其具有較大的抽速，但受到盤式牽引分子栗抽氣方式的限制，其使用率并不高。對(duì)于第二類復(fù)合分子栗，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復(fù)合分子栗，不但具有較大的抽速，同時(shí)還具有較高的抽氣效率。
[0004]盡管帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗在結(jié)構(gòu)上滿足了渦輪級(jí)與牽引級(jí)氣流方向的一致性，但是，由于渦輪級(jí)抽速與牽引級(jí)抽速存在著較大差別，牽引級(jí)與渦輪級(jí)之間的這種抽速不匹配會(huì)導(dǎo)致復(fù)合栗實(shí)際抽速的下降，影響復(fù)合分子栗的抽氣效率。只有進(jìn)一步改善復(fù)合分子栗的牽引級(jí)與渦輪級(jí)之間的抽速匹配關(guān)系，進(jìn)而縮小實(shí)際抽速與理論抽速之間的差距，才能夠保證復(fù)合分子栗良好的抽氣效率和抽氣性能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種用于分子栗的牽引筒，包括:圓筒形的定子和定子內(nèi)圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽，多條螺旋槽為由定子內(nèi)圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒形成的矩形斷面形狀的溝槽，多條螺旋槽自上而下向外張開具有一個(gè)錐度。
[0006]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，圓筒形的定子的內(nèi)徑固定不變。
[0007]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，多條螺旋槽的寬度相同及多條矩形螺旋槽齒的寬度相同。
[0008]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，多條螺旋槽的寬度為1mm?40mm。
[0009]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，多條螺旋槽的槽深及容積自上而下逐漸變大。
[0010]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，多條螺旋槽的螺距為定子內(nèi)圓柱面的高度。
[0011]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，多條矩形螺旋槽齒的寬度為2mm?1mm0
[0012]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，錐度為2°?5°。
[0013]根據(jù)上述一種用于分子栗的牽引筒，其中，圓筒形的定子下部有定位臺(tái)階。
[0014]有益效果
[0015]本實(shí)用新型公開了一種用于分子栗的牽引筒，充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高栗的抽氣效果，而通過螺旋槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)匹配來達(dá)到較理想的抽氣效果。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的牽引筒的側(cè)面透視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0018]圖1是本實(shí)用新型公開的一種用于分子栗的牽引筒的側(cè)面透視圖，如圖1所示，本實(shí)用新型提供了一種用于分子栗的牽引筒，包括:圓筒形的定子01和定子01內(nèi)圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽02，圓筒形的定子OI的內(nèi)徑D固定不變，多條螺旋槽02為由定子OI內(nèi)圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒03形成的矩形斷面形狀的溝槽，多條螺旋槽02的寬度相同及多條矩形螺旋槽齒03的寬度相同，多條螺旋槽02的寬度為1mm?40mm，多條矩形螺旋槽齒03的寬度為2mm?10mm，多條螺旋槽02的槽深及容積自上而下逐漸變大，多條螺旋槽02的螺距為定子01內(nèi)圓柱面的高度，多條螺旋槽02自上而下向外張開具有一個(gè)錐度，錐度為2°?5°，圓筒形的定子01下部有定位臺(tái)階04，方便與分子栗裝配。
[0019]以上所述，僅是本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，并非對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做任何形式上的限制。凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例做任何簡單修改，形式變化和修飾，均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述牽引筒包括:圓筒形的定子和定子內(nèi)圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽，所述多條螺旋槽為由定子內(nèi)圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒形成的矩形斷面形狀的溝槽，所述多條螺旋槽自上而下向外張開具有一個(gè)錐度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述圓筒形的定子的內(nèi)徑固定不變。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述多條螺旋槽的寬度相同及多條矩形螺旋槽齒的寬度相同。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述多條螺旋槽的寬度為I Omm?40mm。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述多條螺旋槽的槽深及容積自上而下逐漸變大。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述多條螺旋槽的螺距為定子內(nèi)圓柱面的高度。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述多條矩形螺旋槽齒的寬度為2mm?10mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述錐度為2°?5°。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于分子栗的牽引筒，其特征在于:所述圓筒形的定子下部有定位臺(tái)階。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種用于分子泵的牽引筒，包括：圓筒形的定子和定子內(nèi)圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽，多條螺旋槽為由定子內(nèi)圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒形成的矩形斷面形狀的溝槽，多條螺旋槽自上而下向外張開具有一個(gè)錐度。本實(shí)用新型充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果，而通過螺旋槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)匹配來達(dá)到較理想的抽氣效果。
【IPC分類】F04D19/04, F04D29/00
【公開號(hào)】CN205207217
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520963281
【發(fā)明人】鄭榮禧, 王秀娟
【申請(qǐng)人】四川九天真空科技股份有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日