分子泵小車的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及抽真空設(shè)備領(lǐng)域，特別是指一種用于抽真空的分子泵小車。
【背景技術(shù)】
[0002]目前真空抽氣系統(tǒng)，其相應(yīng)的(主泵、干泵)和控制單元的安裝都是分散地安裝于真空腔體下方。如果想想移動(dòng)相應(yīng)的主泵，干泵和控制單元相對比較麻煩，而且反復(fù)拆裝各個(gè)部件對各種管件的密封性有一定的損傷，同時(shí)使用不夠方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題，就是提出一種結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，將抽真空系統(tǒng)的若干零部件集中安裝于一個(gè)移動(dòng)小車上的分子泵小車。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)采用以下技術(shù)方案:分子泵小車，包括可移動(dòng)小車，所述可移動(dòng)小車的車身上集中安裝有分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)，所述分子泵內(nèi)設(shè)置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關(guān)單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統(tǒng)，用于對所述分子泵進(jìn)行冷卻。
[0005]進(jìn)一步地，所述分子泵上還設(shè)置有真空計(jì)，所述真空計(jì)的控制端與所述控制單元直接連接。
[0006]優(yōu)選地，所述自動(dòng)放氣閥與所述分子泵連接。
[0007]具體地，所述可移動(dòng)小車的底部安裝有4個(gè)滑輪。
[0008]具體地，所述可移動(dòng)小車采用金屬材質(zhì)制成。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果為:結(jié)構(gòu)緊湊，將分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)集中安裝在一個(gè)可移動(dòng)小車上，減小實(shí)驗(yàn)設(shè)備的占據(jù)空間；對實(shí)驗(yàn)設(shè)備的共享做出完美響應(yīng)，省去反復(fù)拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個(gè)部件的反復(fù)拆卸，避免了因反復(fù)拆卸對各零部件的部件的損壞。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:1_可移動(dòng)小車；2_分子泵；3_開關(guān)單元；4_控制單元；5_冷卻系統(tǒng)；6-壓力檢測單元；7_抽真空單元；8_真空計(jì)；9自動(dòng)放氣閥，10-滑輪。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為讓本領(lǐng)域的技術(shù)人員更加清晰直觀的了解本實(shí)用新型，下面將結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。
[0013]如圖1所示為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例。
[0014]分子泵小車，包括可移動(dòng)小車1，所述可移動(dòng)小車I采用所述材質(zhì)制成，在所述可移動(dòng)小車的底部安裝有4個(gè)滑輪10，通過所述滑輪10帶動(dòng)所述可移動(dòng)小車滑動(dòng)。
[0015]在所述可移動(dòng)小車I的車身上集中安裝有分子泵2 (分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵)，開關(guān)單元3，控制單元4和冷卻系統(tǒng)5，所述控制單元4可以智能控制分子泵內(nèi)的抽真空操作，所述冷卻5用于對分子泵2進(jìn)行冷卻。在所述分子泵2內(nèi)還設(shè)置有壓力檢測單元6和抽真空單元7，所述壓力檢測單元6用于檢測所述分子泵2內(nèi)氣體的壓力，所述抽真空單元7用于抽取分子泵內(nèi)的空氣。所述控制單元4通過開關(guān)單元3控制所述壓力檢測單元6和抽真空單元7，所述控制單元4還通過電信號控制所述冷卻系統(tǒng)5。在所述分子泵2上還設(shè)置有真空計(jì)8，所述真空計(jì)8的控制端與所述控制單元4直接連接。所述控制單元4還控制一自動(dòng)放氣閥9，所述自動(dòng)放氣閥9與所述分子泵2連接。
[0016]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，將分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)集中安裝在一個(gè)可移動(dòng)小車上，減小實(shí)驗(yàn)設(shè)備的占據(jù)空間；對實(shí)驗(yàn)設(shè)備的共享做出完美響應(yīng)，省去反復(fù)拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個(gè)部件的反復(fù)拆卸，避免了因反復(fù)拆卸對各零部件的部件的損壞。
[0017]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)
【主權(quán)項(xiàng)】
1.分子泵小車，包括可移動(dòng)小車，其特征在于:所述可移動(dòng)小車的車身上集中安裝有分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)，所述分子泵內(nèi)設(shè)置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關(guān)單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統(tǒng)，用于對所述分子泵進(jìn)行冷卻。
2.如權(quán)利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述分子泵上還設(shè)置有真空計(jì)，所述真空計(jì)的控制端與所述控制單元直接連接。
3.如權(quán)利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述控制單元還控制以自動(dòng)放氣閥，所述自動(dòng)放氣閥與所述分子泵連接。
4.如權(quán)利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述可移動(dòng)小車的底部安裝有4個(gè)滑輪。
5.如權(quán)利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述可移動(dòng)小車采用金屬材質(zhì)制成。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種分子泵小車，包括可移動(dòng)小車，所述可移動(dòng)小車的車身上集中安裝有分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)，所述分子泵內(nèi)設(shè)置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關(guān)單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統(tǒng)，用于對所述分子泵進(jìn)行冷卻。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，將分子泵，開關(guān)單元，控制單元和冷卻系統(tǒng)集中安裝在一個(gè)可移動(dòng)小車上，減小實(shí)驗(yàn)設(shè)備的占據(jù)空間；對實(shí)驗(yàn)設(shè)備的共享做出完美響應(yīng)，省去反復(fù)拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個(gè)部件的反復(fù)拆卸，避免了因反復(fù)拆卸對各零部件的損壞。
【IPC分類】F04D19-04, F04D29-00
【公開號】CN204327531
【申請?zhí)枴緾N201420718264
【發(fā)明人】陳禹
【申請人】成都惠誠海泰科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年11月26日