專利名稱：牽引級(jí)復(fù)合分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及分子泵，特別是涉及一種具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力的牽引級(jí)復(fù)合分子泵。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有分子泵主要有兩種類型:一種為渦輪分子泵，一種為復(fù)合分子泵。渦輪分子泵(專利號(hào):85101627)具有較大的抽速，但只能在氣體為分子流狀態(tài)下工作，在氣體壓強(qiáng)高于IPa時(shí)，抽速非常低，而一些半導(dǎo)體工業(yè)在該壓強(qiáng)范圍要求大的抽氣量，渦輪分子泵并不適合。
現(xiàn)有復(fù)合分子泵主要由渦輪葉片級(jí)與牽引級(jí)組成。如盤式牽引級(jí)(專利號(hào):CN87103994)。該種泵集合了渦輪泵與盤式牽引泵的優(yōu)點(diǎn)，較渦輪分子泵在抽速和壓縮比上有所改觀。而目前以渦輪葉片級(jí)與盤式牽引級(jí)組合成的復(fù)合分子泵雖然較渦輪分子泵在抽氣性能上有了很大的改觀，但是在兼顧大抽速和高壓縮比上還是不盡人意。目前的牽引級(jí)復(fù)合分子泵在渦輪與牽引級(jí)的布局上，一般采用渦輪級(jí)在上，牽引級(jí)在下的布局方式。其優(yōu)點(diǎn)是氣體流動(dòng)順暢，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，缺點(diǎn)是渦輪級(jí)與牽引級(jí)分別占據(jù)相應(yīng)的高度，使得轉(zhuǎn)子總高度較高。在大型分子泵上，由于轉(zhuǎn)子尺寸較大，牽引級(jí)尺寸也相應(yīng)增大，使得轉(zhuǎn)子過(guò)于笨重。所以在大型分子泵上，多采用純渦輪結(jié)構(gòu)。但隨著科技的發(fā)展，特別是半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，要求大型分子泵具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力，而目前的渦輪分子泵以及具有盤式牽引級(jí)的牽引級(jí)復(fù)合分子泵均無(wú)法滿足要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，節(jié)省了渦輪級(jí)葉片層數(shù)，降低了轉(zhuǎn)子的尺寸，具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力，具備較高的性能。解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:本發(fā)明提供一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，包括:泵殼、底盤、主軸、主軸座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子體、渦輪動(dòng)葉片、渦輪靜葉片、隔離環(huán)、筒式牽引級(jí)定子和出氣口 ；其中，所述泵殼上設(shè)有進(jìn)氣口，泵殼固定設(shè)置在所述底盤上；所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，所述主軸通過(guò)所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，主軸的頂端設(shè)置在所述泵殼內(nèi)；所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述主軸；所述轉(zhuǎn)子體固定設(shè)置在所述泵殼內(nèi)的所述主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動(dòng)葉片；所述沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過(guò)隔離環(huán)固定在所述泵殼上，渦輪靜葉片與所述轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動(dòng)葉片交替排列設(shè)置；所述轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，所述筒式牽弓丨級(jí)轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置所述筒式牽弓I級(jí)定子，筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子具有配合間隙；所述筒式牽引級(jí)定子與所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，所述螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與所述主軸座上設(shè)置的所述排氣口連接。本次發(fā)明的有益效果為:轉(zhuǎn)子體上設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，減少了渦輪葉片的層數(shù)，可減小轉(zhuǎn)子體體積，降低了加工時(shí)間和成本，并且由于渦輪葉片級(jí)與筒式牽引級(jí)復(fù)合，使得該分子泵具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力，可在IOOPa下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，并有較大的抽速，能廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)、航空航天模擬器、等離子刻蝕設(shè)備等。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的牽引級(jí)復(fù)合分子泵示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的牽引級(jí)復(fù)合分子泵的轉(zhuǎn)子體上的渦輪-牽引級(jí)過(guò)渡結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種結(jié)構(gòu)的牽引級(jí)復(fù)合分子泵示意圖；圖中各標(biāo)號(hào)為:1_泵殼；2_轉(zhuǎn)子體；3_潤(rùn)輪靜葉片；4_隔尚環(huán)；5_底盤；6_主軸；7-筒式牽引級(jí)定子；8_排氣口 ；9_主軸座；10_電機(jī)；11-進(jìn)氣口 ； 12-; 13-筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子；14_法蘭；15_第二筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子；16_第二筒式牽引級(jí)定子；17_空腔。
具體實(shí)施方式


下面對(duì)本發(fā)明實(shí) 施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，如圖1所示，該分子泵包括:泵殼、底盤、主軸、主軸座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子體、渦輪動(dòng)葉片、渦輪靜葉片、隔離環(huán)、筒式牽引級(jí)定子和出氣口 ；其中，泵殼I上設(shè)有進(jìn)氣口 11，泵殼I固定設(shè)置在底盤5上，泵殼I與底盤之間形成容置主軸、主軸座、轉(zhuǎn)子體、渦輪動(dòng)葉片、渦輪靜葉片、隔離環(huán)、筒式牽引級(jí)定子的容置空間；所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，所述主軸通過(guò)所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，主軸的頂端設(shè)置在所述泵殼內(nèi)；所述電機(jī)設(shè)置在所述主軸座內(nèi)，電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述主軸連接，驅(qū)動(dòng)所述主軸；所述轉(zhuǎn)子體固定設(shè)置在所述泵殼內(nèi)的所述主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動(dòng)葉片；所述沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過(guò)隔離環(huán)固定在所述泵殼內(nèi)壁上，渦輪靜葉片與所述轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動(dòng)葉片相互交替排列，即形成一層渦輪動(dòng)葉片與一層渦輪靜葉片交替設(shè)置的狀態(tài)；所述轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，所述筒式牽弓丨級(jí)轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置所述筒式牽弓I級(jí)定子，筒式牽引級(jí)定子底部固定設(shè)置在底盤上，筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子具有配合間隙；所述筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，所述螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與所述主軸座上設(shè)置的所述排氣口連接。上述分子泵中，筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子為:設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子體中間部位的空筒結(jié)構(gòu)，成為一種內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)，所述主軸設(shè)置在所述空筒結(jié)構(gòu)內(nèi)；所述筒式牽引級(jí)定子設(shè)置在所述主軸與所述空筒結(jié)構(gòu)壁之間的空間內(nèi)。筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁為光滑圓柱面，可集成于轉(zhuǎn)子體內(nèi)部的空腔內(nèi)壁，兩者為一體結(jié)構(gòu)，也可以是分體結(jié)構(gòu)。上述分子泵中，螺旋狀導(dǎo)流槽可設(shè)置在所述筒式牽弓I級(jí)定子與筒式牽弓I級(jí)轉(zhuǎn)子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁為光滑面；或，所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與筒式牽引級(jí)定子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)定子的表面為光滑面。進(jìn)一步的，螺旋狀導(dǎo)流槽也可以是多條，是要螺旋狀導(dǎo)流槽便于壓縮氣體能從排氣口排出即可。螺旋狀導(dǎo)流槽的槽體的為變截面槽體，也可以為同截面槽體。上述分子泵中，如圖3所示，轉(zhuǎn)子體上的渦輪-牽引級(jí)過(guò)渡結(jié)構(gòu)為放射狀弧線，即轉(zhuǎn)子體底部的渦輪葉片呈放射狀弧線。這樣轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)，氣體分子撞擊這些放射狀弧面(底部平面，不包括圓柱面)，會(huì)被牽引到靠近轉(zhuǎn)子體主間部位的柱狀面的位置。進(jìn)一步的，上述分子泵中筒式牽引級(jí)定子可與底盤為一體結(jié)構(gòu)，也可以分體結(jié)構(gòu)固定在底盤上。進(jìn)一步的，上述分子泵中還包括:盤式筒式牽引級(jí)定子，設(shè)置在底盤上，與轉(zhuǎn)子體上的末級(jí)渦輪動(dòng)葉片之間保持配合間隙。下面結(jié)合附圖和具體工作過(guò)程對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例1本發(fā)明的分子泵包括:轉(zhuǎn)子體、主軸、電機(jī)、主軸座、筒式牽引級(jí)定子、盤式筒式牽引級(jí)定子、底盤、泵殼、渦輪靜葉片、隔離環(huán)等部件；其中，轉(zhuǎn)子體與主軸相連，通過(guò)軸承安裝在主軸座上；主軸座內(nèi)安裝電機(jī)，可以驅(qū)動(dòng)主軸在泵殼內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)；底盤上安裝主軸座、隔離環(huán)、渦輪靜葉片、盤式筒式牽引級(jí)定子和筒式牽引級(jí)定子及泵殼；其中渦輪靜葉片與轉(zhuǎn)子體上渦輪動(dòng)葉片配合、盤式筒式牽引級(jí)定子與最末級(jí)渦輪動(dòng)葉片配合，筒式牽引級(jí)定子與轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)置的內(nèi)翻筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子配合進(jìn)行抽氣；最終氣流通過(guò) 主軸座上的排氣口被前級(jí)抽氣系統(tǒng)抽出。本發(fā)明實(shí)施例的分子泵中，轉(zhuǎn)子體由渦輪動(dòng)葉片和內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)構(gòu)成，結(jié)構(gòu)為整體結(jié)構(gòu)。所述渦輪動(dòng)葉片至少為一級(jí)，可以多級(jí)存在，渦輪動(dòng)葉片與渦輪靜葉片沿軸向交替排列。所述內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)為光滑內(nèi)孔表面，與之配合的筒式牽引級(jí)定子上面可加工有螺旋狀導(dǎo)流槽，螺旋狀導(dǎo)流槽至少為一條，可以多條存在。筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與筒式牽引級(jí)定子相配合，形成抽氣通道。圖1為本發(fā)明分子泵的一種實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖，其中，轉(zhuǎn)子體2由渦輪動(dòng)葉片與內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)復(fù)合而成，渦輪動(dòng)葉片位于筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子外側(cè)，渦輪動(dòng)葉片與渦輪靜葉片3交替沿轉(zhuǎn)子體軸向排列；渦輪靜葉片3結(jié)構(gòu)為一種或多種，可根據(jù)需要設(shè)置，渦輪靜葉片3通過(guò)隔離環(huán)4固定在泵殼I上；轉(zhuǎn)子體2與主軸6通過(guò)錐面配合并固定，底盤5與轉(zhuǎn)子體2的末級(jí)葉片形成配合間隙，筒式牽引級(jí)定子7與轉(zhuǎn)子體2內(nèi)的筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子形成配合間隙，并與隔離環(huán)4通過(guò)泵殼I固定；泵殼I與底盤5通過(guò)螺栓固定；抽氣過(guò)程:電機(jī)10帶動(dòng)主軸6驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子體2高速旋轉(zhuǎn)，并將能量傳遞給氣體分子；氣體分子在轉(zhuǎn)子體2的渦輪動(dòng)葉片與渦輪靜葉片3相互作用下，由進(jìn)氣口 11排向轉(zhuǎn)子體2的末級(jí)葉片處運(yùn)動(dòng)；在底盤5的盤式牽引級(jí)定子的牽引下，將氣體分子排至內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子處，在轉(zhuǎn)子體2的內(nèi)翻式筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子作用下，沿著由筒式牽引級(jí)定子7的螺旋狀導(dǎo)流槽12形成的抽氣通道逐級(jí)壓縮至排氣口 8(排氣口上可以設(shè)置連接前級(jí)抽氣系統(tǒng)的法蘭14)，經(jīng)前級(jí)抽氣系統(tǒng)抽走。通過(guò)這樣的布局，可以盡可能的利用分子泵的內(nèi)部空間，布置下牽引級(jí)的結(jié)構(gòu)，減少了渦輪葉片的層數(shù)，降低了分子泵的體積和加工時(shí)間和成本。實(shí)施例2如圖2所示，在上述實(shí)施例給出的分子泵結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，提供一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其不同之處在于，筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子15為設(shè)置在轉(zhuǎn)子體中間部位的環(huán)形空筒結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)子體中間部位設(shè)有容置所述主軸的空腔17，所述環(huán)形空筒結(jié)構(gòu)環(huán)繞在容置主軸6的空腔外。這種結(jié)構(gòu)的牽弓I級(jí)復(fù)合分子泵在環(huán)形空筒結(jié)構(gòu)內(nèi)可形成兩級(jí)牽弓I級(jí)。而螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述筒式牽引級(jí)定子16與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn) 子的內(nèi)壁為光滑面；或，所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與筒式牽引級(jí)定子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)定子的表面為光滑面。所述的螺旋狀導(dǎo)流槽的槽體的為變截面槽體，也可以為同截面槽體。本發(fā)明實(shí)施例的復(fù)合分子泵由于在轉(zhuǎn)子體上形成大口徑內(nèi)翻式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，采用了整體轉(zhuǎn)子、并利用了底盤和轉(zhuǎn)子內(nèi)腔的空間布置了牽引級(jí)結(jié)構(gòu)，節(jié)省了渦輪級(jí)葉片層數(shù)，同時(shí)具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力，是一種高性能復(fù)合分子泵。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，包括: 泵殼、底盤、主軸、主軸座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子體、潤(rùn)輪動(dòng)葉片、潤(rùn)輪靜葉片、隔離環(huán)、筒式牽引級(jí)定子和出氣口 ；其中， 所述泵殼上設(shè)有進(jìn)氣口，泵殼固定設(shè)置在所述底盤上； 所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，所述主軸通過(guò)所述主軸座設(shè)置在所述底盤上，主軸的頂端設(shè)置在所述泵殼內(nèi)； 所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述主軸； 所述轉(zhuǎn)子體固定設(shè)置在所述泵殼內(nèi)的所述主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動(dòng)葉片； 所述沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過(guò)隔離環(huán)固定在所述泵殼上，渦輪靜葉片與所述轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動(dòng)葉片交替排列設(shè)置； 所述轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置所述筒式牽引級(jí)定子，筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子具有配合間隙； 所述筒式牽引級(jí)定子與所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，所述螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與所述主軸座上設(shè)置的所述排氣口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子為:設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子體中間部位的空筒結(jié)構(gòu)，所述主軸設(shè)置在所述空筒結(jié)構(gòu)內(nèi)； 所述筒式牽引級(jí)定子設(shè)置在所述主軸與所述空筒結(jié)構(gòu)壁之間的空間內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1 或2所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁為光滑面； 或， 所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與筒式牽引級(jí)定子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)定子的表面為光滑面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述螺旋狀導(dǎo)流槽的槽體的為變截面槽體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子為:設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子體中間部位的環(huán)形空筒結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)子體中間部位設(shè)有容置所述主軸的空腔，所述環(huán)形空筒結(jié)構(gòu)環(huán)繞在容置所述主軸的空腔外。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁為光滑面； 或， 所述螺旋狀導(dǎo)流槽設(shè)置在所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與筒式牽引級(jí)定子的配合面上，為至少一條，所述筒式牽引級(jí)定子的表面為光滑面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述螺旋狀導(dǎo)流槽的槽體的為變截面槽體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述筒式牽引級(jí)定子底部固定設(shè)置在所述底盤上，與所述底盤為分體結(jié)構(gòu)或一體結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，還包括:盤式筒式牽引級(jí)定子，設(shè)置在所述底盤上，與所述轉(zhuǎn)子體上的末級(jí)渦輪動(dòng)葉片之間保持配合間隙。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的牽引級(jí)復(fù)合分子泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子體上的渦輪-牽弓I級(jí)過(guò)渡結(jié)構(gòu)為放射狀弧線。`
全文摘要
本發(fā)明公開了一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，包括泵殼固定設(shè)在底盤上；主軸座設(shè)在底盤上，主軸經(jīng)主軸座設(shè)在底盤上，主軸的頂端設(shè)在泵殼內(nèi)；電機(jī)驅(qū)動(dòng)主軸；轉(zhuǎn)子體固定設(shè)在泵殼內(nèi)的主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動(dòng)葉片；沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過(guò)隔離環(huán)固定在泵殼上，渦輪靜葉片與轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動(dòng)葉片交替排列；轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置筒式牽引級(jí)定子，筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子具有配合間隙；筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與主軸座上設(shè)置的排氣口連接。其抽速大、壓縮比高和前級(jí)抗壓能力較強(qiáng)，是種高性能復(fù)合分子泵。
文檔編號(hào)F04D19/04GK103244438SQ20131019554
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月23日
發(fā)明者董欣, 郁晉軍, 于天化 申請(qǐng)人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司