本發(fā)明涉及氦質(zhì)譜檢漏儀領(lǐng)域，具體是一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀。

背景技術(shù)：

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常見的分析儀器，在電力行業(yè)、航天行業(yè)、核工業(yè)等廣泛運用，是真空檢漏技術(shù)中常用的最普遍的檢漏儀器。現(xiàn)市場上氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的前級泵抽速不高，最大抽速約在4l/s,在對大容積工件檢測時進入檢漏壓力的時間長，即檢漏前的抽空時間過長，造成檢漏節(jié)拍時間長、耗時，難以滿足快速檢漏節(jié)拍的需求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏，以彌補現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。

為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于：包括質(zhì)譜室、分子泵、前級泵、輔助抽空泵、第一至第六電磁閥、輔助抽空電磁閥、檢漏口，所述質(zhì)譜室的出氣口通過管路與分子泵的進氣口連接，分子泵的排氣口通過管路與前級泵的進氣口連接，第二電磁閥安裝在分子泵、前級泵之間的管路上，第二電磁閥與前級泵進氣口之間還通過旁路管路與第一電磁閥的一端連接，第二電磁閥與分子泵排氣口之間還通過旁路管路連接有真空規(guī)管，所述分子泵的中檢口通過管路與第三電磁閥的一端連接，分子泵的精檢口通過管路與第四電磁閥的一端連接，所述第一電磁閥的另一端通過公共管路分別與第三電磁閥、第四電磁閥的另一端連接，其中公共管路與第三電磁閥連接處還通過旁路管路與第五電磁閥的一端連接，公共管路與第四電磁閥連接處還通過旁路管路與第六電磁閥的一端連接，第六電磁閥的另一端通過螺紋連接標準漏孔，標準漏孔用于對儀器進行漏率標定，所述檢漏口通過管路旁路連接在公共管路與第四電磁閥連接處，所述輔助真空泵的進氣口與輔助抽空電磁閥一端連接，輔助抽空電磁閥另一端旁路連接在檢漏口向公共管路、第四電磁閥連接處的管路上。

所述的一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于：所述檢漏口向公共管路、第四電磁閥連接處的管路上還旁路連接有真空計。

本發(fā)明的工作原理為：

在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加輔助抽空閥、大抽速輔助抽空泵。氦質(zhì)譜檢漏儀通過增加大抽速的輔助抽空泵，縮短氦質(zhì)譜檢漏儀進入檢漏壓力的抽空時間，從而縮短氦質(zhì)譜檢漏儀對大容器檢測時的檢測時間，提高工作節(jié)拍。

本發(fā)明是一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，能夠?qū)崿F(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀檢大容積工件時，快速進入檢漏狀態(tài)，縮短儀器在檢漏時的抽空時間，提高氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏節(jié)拍。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)原理圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，包括質(zhì)譜室4、分子泵3、前級泵2、輔助抽空泵1、第一至第六電磁閥6、7、8、9、10、輔助抽空電磁閥5、檢漏口15，質(zhì)譜室4的出氣口通過管路與分子泵3的進氣口連接，分子泵3的排氣口通過管路與前級泵2的進氣口連接，第二電磁閥7安裝在分子泵3、前級泵2之間的管路上，第二電磁閥7與前級泵2進氣口之間還通過旁路管路與第一電磁閥6的一端連接，第二電磁閥7與分子泵3排氣口之間還通過旁路管路連接有真空規(guī)管14，分子泵3的中檢口通過管路與第三電磁閥8的一端連接，分子泵3的精檢口通過管路與第四電磁閥9的一端連接，第一電磁閥6的另一端通過公共管路分別與第三電磁閥8、第四電磁閥9的另一端連接，其中公共管路與第三電磁閥8連接處還通過旁路管路與第五電磁閥10的一端連接，公共管路與第四電磁閥9連接處還通過旁路管路與第六電磁閥11的一端連接，第六電磁閥11的另一端通過螺紋連接標準漏孔12，標準漏孔12用于對儀器進行漏率標定，檢漏口15通過管路旁路連接在公共管路與第四電磁閥9連接處，輔助真空泵1的進氣口與輔助抽空電磁閥5一端連接，輔助抽空電磁閥5另一端旁路連接在檢漏口15向公共管路、第四電磁閥9連接處的管路上。檢漏口15向公共管路、第四電磁閥9連接處的管路上還旁路連接有真空計13。

儀器上電，前級泵2、輔助抽空泵1工作，第二電磁閥7打開，待真空規(guī)管14達到要求的壓力時，分子泵3啟動，分子泵3完成預定轉(zhuǎn)速后，質(zhì)譜室4中器件上電，儀器進入待機狀態(tài)。在檢漏口15連接被檢工件，開始檢漏。儀器按下開始鍵，打開輔助抽空電磁閥5，輔助抽空泵1對被檢工件進行抽空，待真空計13達到設定壓力時（如：10000Pa,5000Pa,2000Pa)，開啟第一電磁閥6，待真空計13壓力值達到1500Pa時，開啟第二電磁閥7，同時關(guān)閉輔助抽空電磁閥5，這時可以完成對工件粗檢，待真空計壓力值13達到200Pa時，關(guān)閉第一電磁閥6，開啟第三電磁閥8，這時可以完成對工件中檢，待真空計13壓力值達到40Pa時，關(guān)閉第三電磁閥8，開啟第四電磁閥9，這時可以完成對工件精檢。