專利名稱：用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于真空氦質(zhì)譜泄漏檢測與儀器領(lǐng)域，涉及一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦 氣釋放裝置。
技術(shù)背景 氦質(zhì)譜檢漏以氦氣作為探索氣體，利用質(zhì)譜分析原理，通過對被檢件抽真空或充 壓使其與外界形成壓差，在壓差的作用下通過漏孔泄漏的氦氣進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室，在質(zhì) 譜室中逐漸建立起穩(wěn)定的氦分壓，檢漏儀通過質(zhì)譜分析測量進(jìn)入質(zhì)譜室的氣體中氦氣所產(chǎn) 生的電信號大小，分析得出通過漏孔的漏出氦氣在質(zhì)譜室中氦分壓的變化，進(jìn)而同標(biāo)準(zhǔn)漏 孔的校準(zhǔn)信號作比對，實現(xiàn)對漏孔漏率的定位定量檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種比對測量儀器，被檢漏孔的漏率通過與標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率進(jìn)行 對比得出。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是測量漏率大小的尺子，是人為制造的一種具有已知的恒定漏率的裝 置。標(biāo)準(zhǔn)漏孔內(nèi)具有裝有氦氣的氣室，打開標(biāo)準(zhǔn)漏孔后，氦氣可從氣室以恒定的漏率漏出， 這個恒定的漏率值由計量部門專門標(biāo)定得出。氦質(zhì)譜檢漏方法很多，有噴吹法、氦罩法、吸氦法、預(yù)充氦法和充壓真空法等。預(yù)充 氦法也叫外充法，主要用于雙層嵌套容器內(nèi)容器整體檢漏。預(yù)充氦法類似于充壓真空法，與 充壓真空法的區(qū)別在于檢漏之前預(yù)先將氦氣充入內(nèi)容器(被檢件)中，而充壓真空法是在檢 漏過程中將氦氣充入內(nèi)容器，這主要因為雙層嵌套容器中，在外容器上不能預(yù)留專門用于 對內(nèi)容器充氦的充氦接口。預(yù)充氦法具體的檢漏過程如下先合攏內(nèi)容器端蓋，通過充氦接口預(yù)先對內(nèi)容器 充入一定量氦氣，再將內(nèi)容器嵌套在外容器中，合攏外容器端蓋，在外容器端蓋預(yù)留檢漏接 口上連接檢漏系統(tǒng)。檢漏系統(tǒng)主要包括檢漏儀和標(biāo)準(zhǔn)漏孔等。檢漏時，通過檢漏系統(tǒng)對內(nèi)外 容器夾層的真空室抽真空，使夾層真空度達(dá)到檢漏狀態(tài)后，記錄檢漏儀測出的氦泄漏信號 Δ υ，再打幵標(biāo)準(zhǔn)漏孔，測量標(biāo)準(zhǔn)漏孔產(chǎn)生的氦信號變化量Δ υ0,可通過公式計算內(nèi)容器整體 漏率。由預(yù)充氦法的檢漏過程可知，預(yù)充氦法檢漏存在以下不足(1)由于在內(nèi)外容器夾層抽真空之前，對內(nèi)容器已經(jīng)充氦，因此無法準(zhǔn)確測定檢漏 系統(tǒng)的本底，在計算中無法扣除本底值，使測得內(nèi)容器整體漏率值比真實值偏高；(2)測得內(nèi)容器整體漏率中包含有充氦接口的漏率，如果充氦接口漏率較大或未 能準(zhǔn)確測定其整體漏率，則會影響內(nèi)容器整體檢漏結(jié)果的準(zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，其結(jié)構(gòu)簡單合 理，能夠準(zhǔn)確有效地對雙層嵌套容器進(jìn)行整體檢漏，使用方便。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，包括外 容器以及嵌套裝在其中的內(nèi)容器，在外容器壁上設(shè)置著標(biāo)準(zhǔn)漏孔，外容器通過管路與檢漏 儀相連通，內(nèi)容器中設(shè)置著裝有電控閥門的氦瓶，電控閥門通過導(dǎo)線與閥門控制器相連。[0010]采用本實用新型對雙層嵌套容器中的內(nèi)容器進(jìn)行整體檢漏，可有效解決采用預(yù)充 氦法進(jìn)行檢漏的不足。具體檢漏步驟如下(1)將充入一定量氦氣的氦瓶置入內(nèi)容器中；(2)合攏 內(nèi)容器，將內(nèi)容器套入外容器中，再合攏外容器；(3)在該密閉空間連接檢漏儀，通過檢漏儀對外容器的密閉空間抽真空，標(biāo)定系統(tǒng) 靈敏度；(4)通過控制開啟放入內(nèi)容器中氦瓶的電控閥門，釋放氦氣，完成對內(nèi)容器充氦， 若內(nèi)容器有漏，氦氣可從內(nèi)容器漏出，被檢漏儀檢測到，這樣可實現(xiàn)對被檢容器整體密封性 能檢測。經(jīng)過對本實用新型的密封可靠性、控制可靠性等性能參數(shù)進(jìn)行反復(fù)測試，經(jīng)驗證 該裝置工作可靠，運行穩(wěn)定。在應(yīng)用中，該裝置有效解決了內(nèi)置氦源法氦質(zhì)譜檢漏中氦氣 的控制釋放問題，能夠準(zhǔn)確有效地對雙層嵌套容器進(jìn)行整體檢漏，其結(jié)構(gòu)簡單合理，使用方 便。

下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。圖1為本實用新型實施例1的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例2的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，如圖1、圖2所示，包括外容器8以及嵌套 裝在其中的內(nèi)容器7，在外容器8壁上設(shè)置著標(biāo)準(zhǔn)漏孔2，外容器8通過管路與檢漏儀1相 連通，內(nèi)容器7中設(shè)置著裝有電控閥門5的氦瓶6，電控閥門5通過導(dǎo)線與閥門控制器4相 連。如圖1所示，在內(nèi)容器7中還設(shè)置著壓力傳感器3，閥門控制器4位于外容器8外 部，壓力傳感器3通過導(dǎo)線與閥門控制器4相連。在該實施例中，分別采用電磁閥和電動球 閥作為電控閥門5。電磁閥的特點是控制簡單、體積小，價格便宜；缺點是密封可靠性不比 電動球閥高，耗電量大。根據(jù)不同的使用環(huán)境，本實施例1分別選用了 GAB312、412型電磁 閥和Swagelok的MS — 142DC 一 8mm型電動球閥，工作電壓均為DC 24V。電磁閥的控制方 式為兩線制，常閉型，采用通斷電的方式開啟或關(guān)閉；電動球閥的控制方式是三線制，開關(guān) 均需要電動驅(qū)動，采用單刀雙擲的控制方式。在控制器設(shè)計中，控制器包含直流24V開關(guān)電 源、壓力數(shù)據(jù)采集模塊和控制電路?？刂齐娐房筛鶕?jù)上述控制閥門的控制方式設(shè)計，通過開 關(guān)按鈕實現(xiàn)。根據(jù)被檢容器容積和需要充入的氦氣量，內(nèi)置氦瓶可選用IL 40L容量范圍， 最高壓力可充入15MPa。如圖2所示，閥門控制器4位于內(nèi)容器7中，內(nèi)容器7中還設(shè)置著蓄電池10以及 定時器11，定時器11通過導(dǎo)線與閥門控制器4相連。該實施例的工作過程是在合攏內(nèi)容 器7前，將蓄電池10以及定時器11、控制器4置入內(nèi)容器7，通過定時器11提前設(shè)定好電 控閥門5開啟的時間，然后合攏內(nèi)、外容器7、8。在檢漏過程中定時器11在預(yù)定的時間可驅(qū) 使控制器4控制開啟電控閥門5，釋放氦氣。定時器11選用CS — 112型微電腦定時控制器，工作電壓為DC24V。整個電控系統(tǒng)全部采用蓄電池10供電，供電電壓為DC24V，經(jīng)過研究最終選用蓄電池為DSB型免維護(hù)鉛酸電池，電池容量6 12Ah即可。
權(quán)利要求一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，包括外容器以及嵌套裝在其中的內(nèi)容器，在外容器壁上設(shè)置著標(biāo)準(zhǔn)漏孔，外容器通過管路與檢漏儀相連通，其特征是內(nèi)容器中設(shè)置著裝有電控閥門的氦瓶，電控閥門通過導(dǎo)線與閥門控制器相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，其特征是在內(nèi)容器中還 設(shè)置著壓力傳感器，閥門控制器位于外容器外部，壓力傳感器通過導(dǎo)線與閥門控制器相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，其特征是閥門控制器位 于內(nèi)容器中，內(nèi)容器中還設(shè)置著蓄電池以及定時器，定時器通過導(dǎo)線與閥門控制器相連。
專利摘要本實用新型公開了一種用于氦質(zhì)譜檢漏的氦氣釋放裝置，包括外容器以及嵌套裝在其中的內(nèi)容器，在外容器壁上設(shè)置著標(biāo)準(zhǔn)漏孔，外容器通過管路與檢漏儀相連通，內(nèi)容器中設(shè)置著裝有電控閥門的氦瓶，電控閥門通過導(dǎo)線與閥門控制器相連。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單合理，能夠準(zhǔn)確有效地對雙層嵌套容器進(jìn)行整體檢漏，使用方便。
文檔編號G01M3/20GK201731979SQ20102021889
公開日2011年2月2日 申請日期2010年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月8日
發(fā)明者廖旭東, 白國云, 胡茂中, 賈明雁, 陳濤, 馬春林 申請人:中國人民解放軍63653部隊