專利名稱：超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空工作環(huán)境的分析儀器及設(shè)備，尤其涉及一種用于真空檢測的超高靈敏度的氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的用于真空測量及檢漏的分析儀器，在國內(nèi)外均廣泛運(yùn)用，如在電力行業(yè)，真空鍍膜行業(yè)，核工業(yè)，制冷行業(yè)等。氦質(zhì)譜檢漏儀利用稀有氣體氦氣作為示蹤標(biāo)記物，由于大氣中的氦氣含量稀少，且氦氣為惰性氣體，從而可以認(rèn)為大氣中氦氣本底接近于零。在實(shí)際檢測中，人為的在疑似泄漏處的一側(cè)提高氦氣的濃度，若存在泄漏，則泄漏處的另一側(cè)氦氣濃度會相應(yīng)提高，使用氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣裝置導(dǎo)入泄漏 的氦氣到氦質(zhì)譜檢漏儀的電離區(qū)域(通常使用電子轟擊離子源)進(jìn)行氦離子電離。電離后的氦離子經(jīng)過磁場、電場或者二者復(fù)合場的分離后(通常使用扇形磁場)，特異性的轟擊到探測器端(通常使用法拉第圓筒)，從而產(chǎn)生檢測信號。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中應(yīng)用的高端檢漏儀器。由于科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，氦質(zhì)譜及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷的發(fā)展與完善。對氦質(zhì)譜檢漏儀的最小檢測漏率這一關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)的提升是氦質(zhì)譜檢漏儀研發(fā)的主要方向，目前氦質(zhì)譜檢漏儀的最小檢測漏率為1.0X 10_12PaM3/S。在一些苛刻的應(yīng)用環(huán)境中，如航天飛行器的太空艙檢漏，核電站閥門及蒸發(fā)器的檢漏，大型蒸汽鍋爐的真空度檢測，導(dǎo)彈發(fā)動機(jī)真空檢測等真空檢測領(lǐng)域，氦質(zhì)譜檢漏儀的最小檢測漏率的不足是提供更好真空檢測服務(wù)的瓶頸，為了提高氦質(zhì)譜檢漏儀的最小檢漏漏率，增加氦質(zhì)譜的離子化效率，提高檢測器的靈敏度都是有效的手段，但氦質(zhì)譜是質(zhì)譜的一種，而且是針對真空檢測的質(zhì)譜，因此其對工作的真空環(huán)境要求要高于普通的質(zhì)譜儀，提高氦質(zhì)譜真空腔體的真空度對氦質(zhì)譜儀性能指標(biāo)的提升起著至關(guān)重要的作用，氦質(zhì)譜的離子源通過真空密封法蘭與質(zhì)譜腔室真空腔進(jìn)行連接，通常采用O型圈作為離子源真空法蘭密封面與質(zhì)譜腔室對應(yīng)面之間的密封，由于O型圈屬于線密封，雖然在壓力作用下O型圈變形產(chǎn)生一個狹窄的密封面，但是由于密封面太窄，外部大氣通過滲透等渠道還是會滲入真空區(qū)域，因此真空腔室密封等級難以提高。針對以上問題，本實(shí)用新型專利進(jìn)行了改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供一種能增加氦質(zhì)譜的離子化效率的超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)，包括有離子源、法蘭盤和質(zhì)譜室，所述的離子源是由燈絲、離化室和離子加速極組成且焊接在所述的法蘭盤上，將離子源從所述的質(zhì)譜室一側(cè)的開口處伸入到質(zhì)譜室內(nèi)，通過一真空密封法蘭將法蘭盤與質(zhì)譜室固定連接，所述的法蘭盤與質(zhì)譜室之間設(shè)置有彈性密封圈。[0007]所述的彈性密封圈為斷面無氧銅密封膠圈，橫截面為多邊形或存在兩條直線段的封閉曲線狀。本實(shí)用新型的工作原理是通過真空密封法蘭在法蘭盤與質(zhì)譜室之間施加夾緊力，使斷面無氧銅密封圈發(fā)生形變，由于斷面無氧銅密封圈與法蘭盤以及斷面無氧銅密封圈和質(zhì)譜室之間在無壓力的情況下為面接觸，因此在施加壓力后，面接觸面積將會擴(kuò)大，真空密封作用得到加強(qiáng)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型在法蘭盤與質(zhì)譜室之間采用了無氧銅密封圈，由于兩兩接觸面之間均為面面接觸，增大了密封體接觸面積，提高了氦質(zhì)譜真空腔體的真空等級，從而滿足超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的工作需要。

圖I為使用橫截面為多邊形的無氧銅密封膠圈時的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為使用存在兩條直線段的封閉曲線的無氧銅密封膠圈時的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I和2所示，一種超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)，包括有離子源I、法蘭盤2和質(zhì)譜室3，所述的離子源是由燈絲、離化室和離子加速極組成且焊接在所述的法蘭盤2上，將離子源I從所述的質(zhì)譜室3 —側(cè)的開口處伸入到質(zhì)譜室3內(nèi)，通過一真空密封法蘭4將法蘭盤2與質(zhì)譜室3固定連接，所述的法蘭盤2與質(zhì)譜室3之間設(shè)置有彈性密封圈5。所述的彈性密封圈5為斷面無氧銅密封膠圈，橫截面為多邊形或存在兩條直線段的封閉曲線狀。
權(quán)利要求1.一種超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)，包括有離子源、法蘭盤和質(zhì)譜室，所述的離子源是由燈絲、離化室和離子加速極組成且焊接在所述的法蘭盤上，將離子源從所述的質(zhì)譜室一側(cè)的開口處伸入到質(zhì)譜室內(nèi)，通過一真空密封法蘭將法蘭盤與質(zhì)譜室固定連接，其特征在于所述的法蘭盤與質(zhì)譜室之間設(shè)置有彈性密封圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的彈性密封圈為斷面無氧銅密封膠圈，橫截面為多邊形或存在兩條直線段的封閉曲線狀。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的可更換離子源連接結(jié)構(gòu)，包括有離子源、法蘭盤和質(zhì)譜室，所述的離子源是由燈絲、離化室和離子加速極組成且焊接在所述的法蘭盤上，將離子源從所述的質(zhì)譜室一側(cè)的開口處伸入到質(zhì)譜室內(nèi)，通過一真空密封法蘭將法蘭盤與質(zhì)譜室固定連接，所述的法蘭盤與質(zhì)譜室之間設(shè)置有彈性密封圈。本實(shí)用新型在法蘭盤與質(zhì)譜室之間采用了無氧銅密封圈，由于兩兩接觸面之間均為面面接觸，增大了密封體接觸面積，提高了氦質(zhì)譜真空腔體的真空等級，從而滿足超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的工作需要。
文檔編號G01M3/20GK202735047SQ201220257888
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月2日
發(fā)明者張晨光, 胡眉 申請人:安徽皖儀科技股份有限公司