技術(shù)編號:12447011
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氦質(zhì)譜檢漏儀領(lǐng)域,具體是一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀。背景技術(shù)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常見的分析儀器,在電力行業(yè)、航天行業(yè)、核工業(yè)等廣泛運(yùn)用,是真空檢漏技術(shù)中常用的最普遍的檢漏儀器?,F(xiàn)市場上氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的前級泵抽速不高,最大抽速約在4l/s,在對大容積工件檢測時進(jìn)入檢漏壓力的時間長,即檢漏前的抽空時間過長,造成檢漏節(jié)拍時間長、耗時,難以滿足快速檢漏節(jié)拍的需求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏,以彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:一...
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