技術(shù)總結(jié)
一種溶膠凝膠法制備金紅石二氧化鈦納米薄膜的方法，屬于薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域。首先以鈦酸四丁酯(Ti(OBu)4)為溶質(zhì)，單乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的混合液為溶劑，配制鈦酸四丁酯的濃度為0.1～1mol/L的前驅(qū)體溶液，其中，單乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的體積比為1：1：0.5；然后加入乙酰丙酮作為螯合劑、丙三醇作為增粘劑，攪拌，得到透明均勻的溶膠；最后經(jīng)過旋涂和高溫?zé)Y(jié)，在硅片上得到金紅石二氧化鈦納米薄膜。本發(fā)明方法具有成本低廉、工藝簡(jiǎn)單、重復(fù)性好、可大規(guī)模制造的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：廖宇龍;王曉藝;張懷武;鐘智勇;文天龍;楊青慧
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201510587454
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.14
技術(shù)公布日：2017.10.17