本發(fā)明涉及磁過濾器裝置、液體清洗系統(tǒng)及液體清洗方法。

背景技術(shù)：
一般情況下，珩磨床或磨床等機(jī)床向配置支承于加工部的工作物(以下，稱為工件)供給貯藏于供給罐的冷卻劑(磨削液、切削液等)并進(jìn)行磨削加工。在該磨削加工時產(chǎn)生的工件的金屬磨削粉與冷卻劑一起被回收。被回收的使用后的冷卻劑被過濾器裝置過濾，由此，金屬磨削粉被去除而被再利用。作為從該使用后的冷卻劑中過濾金屬磨削粉的過濾器裝置，提出了例如專利文獻(xiàn)1中記載的磁過濾器裝置。該磁過濾器裝置具備配置于處理容器內(nèi)的由磁性材料構(gòu)成的過濾材料以及使該過濾材料磁化的磁鐵，該磁過濾器裝置將在將使用后的冷卻劑中包含的金屬磨削粉(強(qiáng)磁性體粒子)吸附到被磁化的過濾材料上?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-11205號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的課題在大多數(shù)情況下，在處理室內(nèi)，磁鐵的磁力線從某個磁極穿過磁鐵的附近朝向其他的不同的磁極。因此，在處理室內(nèi)，在磁鐵附近，磁場的強(qiáng)度變大，在遠(yuǎn)離磁鐵的位置處，磁場的強(qiáng)度下降。本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供防止遠(yuǎn)離磁鐵單元的位置處的磁場的強(qiáng)度下降的磁過濾器裝置及液體清洗系統(tǒng)。用于解決課題的手段(1)本發(fā)明的磁過濾器裝置具備：處理容器，其具有處理室，該處理室利用磁力作用來吸附流過內(nèi)部的被處理流體中要分散的強(qiáng)磁性體粒子而將該強(qiáng)磁性體粒子從被處理流體中過濾去除；磁鐵單元，其構(gòu)成為，包含不同的磁極的多個磁極沿著被處理流體的流動方向配置，且該磁鐵單元位于處理室的外部；以及1個以上的磁軛，其以容許被處理流體的流動的方式設(shè)置于處理室內(nèi)，將分別以多個磁極為起點(diǎn)的磁力線引向所述處理室內(nèi)的遠(yuǎn)離所述磁鐵單元的方向。如上所述，在處理室內(nèi)未配置有磁軛的結(jié)構(gòu)中，在大多數(shù)情況下，磁力線從某個磁極穿過磁鐵單元的附近朝向其他的不同的磁極。因此，在處理室內(nèi)，在磁鐵單元附近，磁場的強(qiáng)度變大，但在遠(yuǎn)離磁鐵單元的位置處，磁場的強(qiáng)度下降。與此相對，由于本發(fā)明的磁過濾器裝置具備將磁力線引向遠(yuǎn)離磁鐵單元的方向的磁軛，因此，能夠防止遠(yuǎn)離磁鐵單元的位置處的磁場的強(qiáng)度的下降。(2)也可以是，上述1個以上的所述磁軛包含第1磁軛以及第2磁軛，第1磁軛配置于處理室內(nèi)的第1位置附近，該第1位置與磁鐵單元的一個磁極對應(yīng)，第2磁軛配置于處理室內(nèi)的第2位置附近，該第2位置與磁鐵單元的其他的不同磁極對應(yīng)，第2磁軛將磁場的朝向在處理室內(nèi)改變?yōu)閺牡?磁軛朝向第2磁軛的方向，該磁場的朝向從一個磁極沿著第1磁軛引向遠(yuǎn)離磁鐵單元的方向。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，第2磁軛使從一個磁極沿著第1磁軛引向遠(yuǎn)離磁鐵單元的方向的磁場的朝向在處理室內(nèi)中改變?yōu)閺牡?磁軛朝向第2磁軛的方向。由此，能夠提高從第1磁軛朝向第2磁軛的磁場的磁通密度。(3)也可以是，上述磁鐵單元具有沿著上述被處理流體的流動方向配置的多個磁鐵，上述多個磁鐵分別配置為極性與相鄰的其他的磁鐵相同的磁極相對，上述磁軛存在多個，多個磁軛分別配置于在被處理流體的流動方向上多個磁鐵的磁極相對的位置附近。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，由于分別從多個磁鐵產(chǎn)生被處理流體的流動方向的磁場，因此，能夠提高被處理流體的流動方向的磁場的磁通密度。(4)也可以是，上述磁鐵單元還具有多個副磁軛，多個上述副磁軛分別介于相鄰的2個磁鐵之間。(5)也可以是，上述處理容器具有筒狀體，筒狀體的內(nèi)側(cè)構(gòu)成上述處理室，磁鐵單元配置于筒狀體的外側(cè)。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，由于能夠提高處理室內(nèi)的磁通密度，因此，能夠提高過濾性能。(6)也可以是，上述處理容器具有在第1筒狀體的外側(cè)配置有第2筒狀體的形狀，第1筒狀體與第2筒狀體之間的區(qū)域構(gòu)成上述處理室，磁鐵單元配置于上述第1筒狀體的內(nèi)側(cè)。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，具有容易使處理室變大的優(yōu)點(diǎn)。(7)也可以是，上述磁軛以在上述處理室的內(nèi)部在與上述磁鐵單元之間形成上述被處理流體的流路的方式進(jìn)行配置，并引入分別以上述多個磁極為起點(diǎn)的磁力線。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，磁軛引入分別以磁鐵單元的多個磁極為起點(diǎn)的磁力線。由此，能夠提高從磁鐵單元朝向磁軛的磁場的磁通密度。(8)也可以是，本發(fā)明的磁過濾器裝置還具備過濾材料，該過濾材料由磁性材料構(gòu)成，且配置于上述處理容器的上述處理室內(nèi)。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過具備過濾材料，能夠提高過濾性能。(9)從其他的觀點(diǎn)考慮的本發(fā)明的液體清洗系統(tǒng)具備：上述(8)的磁過濾器裝置；泵，其向磁過濾器裝置所具備的上述處理容器的上述處理室供給由液體構(gòu)成的上述被處理流體；以及切換部，其對泵所供給的所述被處理流體的流路進(jìn)行切換，處理容器具有：第1配管，其與處理室內(nèi)連通；第2配管，其位于處理室中的過濾材料的與第1配管側(cè)相反的一側(cè)，與所述處理室內(nèi)連通；以及空氣儲存區(qū)域形成部，其在處理室內(nèi)的所述過濾材料的所述第2配管側(cè)形成儲存空氣的空氣儲存區(qū)域，切換部在通過以使得泵所供給的被處理流體的流路穿過第1配管及所述第2配管的方式進(jìn)行切換來壓縮存在于所述空氣儲存區(qū)域的空氣之后，通過以使得泵所供給的被處理流體的流路穿過第2配管的方式進(jìn)行切換來利用存在于空氣儲存區(qū)域的被壓縮后的空氣的壓力將存在于處理室內(nèi)的被處理流體穿過第1配管向所述處理室的外部壓出。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過對切換部進(jìn)行控制來切換被處理流體的流路，將存在于空氣儲存區(qū)域的空氣壓縮。此后，切換部進(jìn)一步對被處理流體的流路進(jìn)行切換，由此，存在于處理室內(nèi)的被處理流體在存在于空氣儲存區(qū)域的空氣的壓力的作用下被順利地向第1配管壓出。此時，由于附著于過濾材料的強(qiáng)磁性體粒子等污垢被被處理流體清洗而流走，因此，消除了過濾材料的堵塞。(10)此外，在本發(fā)明的液體清洗系統(tǒng)中，也可以是，上述空氣儲存區(qū)域形成部與上述第2配管連通，由向處理室內(nèi)突出的配管構(gòu)成。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)空氣儲存區(qū)域形成部的簡化。(11)此外，在本發(fā)明的液體清洗系統(tǒng)中，也可以是，上述切換部構(gòu)成為包含多向閥。(12)此外，本發(fā)明的液體清洗系統(tǒng)還具備：與上述泵連接的第3配管；處理后液體用的第4配管；上述被處理流體的排出用的排出用配管；以及對上述第2配管和第3配管進(jìn)行分支的旁通配管，上述切換部具有：第1三通閥，其使上述第1配管與第3配管及排出用配管的任意一方連接；第2三通閥，其使第2配管與第4配管及旁通配管的任意一方連接；以及控制部，其對第1三通閥及第2三通閥進(jìn)行控制，控制部對第1三通閥進(jìn)行控制，使第1配管與第3配管連接，并且對第2三通閥進(jìn)行控制，使第2配管與第4配管連接，由此，切換為從泵按順序經(jīng)由第1配管、過濾材料而流向第2配管的第1流路，控制部對第1三通閥進(jìn)行控制，使第1配管與第3配管連接，并且對第2三通閥進(jìn)行控制，使第2配管與所述旁通配管連接，由此，切換為從泵穿過第1配管及第2配管而流向處理室內(nèi)的第2流路，控制部對第1三通閥進(jìn)行控制，使第1配管與排出用配管連接，并且對第2三通閥進(jìn)行控制，使第2配管與旁通配管連接，由此，切換為從泵按順序經(jīng)由第2配管、過濾材料而流向第1配管的第3流路。(13)從其他的觀點(diǎn)考慮的本發(fā)明的液體清洗方法使用權(quán)利要求8的磁過濾器裝置以及向所述磁過濾器裝置所具備的所述處理容器的所述處理室供給由液體構(gòu)成的所述被處理流體的泵，其中，所述處理容器具有與所述處理室內(nèi)連通的第1配管以及位于所述處理室中的所述過濾材料的與所述第1配管側(cè)相反的一側(cè)且與所述處理室內(nèi)連通的第2配管，該液體清洗方法包含如下步驟：在所述處理室內(nèi)的所述過濾材料的所述第2配管側(cè)形成儲存空氣的空氣儲存區(qū)域；通過以使得所述泵所供給的所述被處理流體的流路穿過所述第1配管及所述第2配管的方式進(jìn)行切換來對存在于所述空氣儲存區(qū)域的空氣進(jìn)行壓縮；以及通過以使得所述泵所供給的所述被處理流體的流路穿過所述第2配管的方式進(jìn)行切換來利用存在于空氣儲存區(qū)域的被壓縮后的空氣的壓力將存在于所述處理室內(nèi)的所述被處理流體穿過所述第1配管向所述處理室的外部壓出。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠提高過濾性能的磁過濾器裝置及液體清洗系統(tǒng)。附圖說明圖1是實(shí)施方式的液體清洗系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖3示出實(shí)施方式的磁軛，(a)是立體圖，(b)是剖視圖。圖4是實(shí)施方式的控制部的框圖。圖5是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的動作說明圖。圖6是比較例的磁過濾器裝置的動作說明圖。圖7是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的性能說明圖。圖8是示出實(shí)施方式的控制部的動作的流程圖。圖9是示出實(shí)施方式的控制部的動作的流程圖。圖10是示出實(shí)施方式的控制部的動作的流程圖。圖11是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的動作說明圖。圖12是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的動作說明圖。圖13是實(shí)施方式的磁過濾器裝置的動作說明圖。圖14是變形例的磁過濾器裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖15示出變形例的磁軛，(a)是立體圖，(b)是剖視圖。圖16是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖17是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖18是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖19是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖20是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖21是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。圖22是示出變形例的磁過濾器裝置的一部分的概略結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式<實(shí)施方式><1>結(jié)構(gòu)【整體結(jié)構(gòu)】圖1是本實(shí)施方式的流體清洗系統(tǒng)的概略圖。流體清洗系統(tǒng)是對在珩磨床等的機(jī)床108中使用的冷卻劑(被處理流體)進(jìn)行清洗的系統(tǒng)。流體清洗系統(tǒng)具備磁過濾器裝置1A、1B、泵90、蓄能器96、脫液/固化單元100、緩沖罐104、回收罐106、壓力傳感器120以及控制部190?；厥展?06用于回收在機(jī)床108中使用的冷卻劑(使用后冷卻劑)。泵90使儲存于回收罐106中的使用后冷卻劑穿過配管114而供給到2個磁過濾器裝置1A。磁過濾器裝置1A、1B對穿過配管114送來的使用后冷卻劑進(jìn)行清洗。在后面對該磁過濾器裝置1A、1B的細(xì)節(jié)進(jìn)行敘述。蓄能器96儲存被磁過濾器裝置1A(1B)清洗過的冷卻劑(清洗后冷卻劑)和空氣。儲存于蓄能器96的冷卻劑從磁過濾器裝置1A(1B)穿過配管118而流入，空氣穿過配管99和閥98而流入。緩沖罐104儲存向機(jī)床108供給的清洗后冷卻劑。并且，泵102使儲存于緩沖罐104的清洗后冷卻劑向機(jī)床108供給。閥98用于切換流過配管118的清洗后冷卻劑的流路。在關(guān)閉了閥98的情況下，流過配管118的清洗后冷卻劑流入蓄能器96。另一方面，在打開了閥98的情況下，清洗后冷卻劑穿過配管99而流入緩沖罐104。此外，空氣穿過配管99而流入蓄能器96。脫液/固化單元100將在清洗后述的磁過濾器裝置1A時從磁過濾器裝置1A穿過配管116而流入的冷卻劑中包含的金屬粉等污垢分離而固化。壓力傳感器120設(shè)置于泵90的附近，檢測泵90的送出壓力。【磁過濾器裝置】圖2是本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A的概略剖視圖。另外，磁過濾器裝置1B與磁過濾器裝置1A同樣。磁過濾器裝置1A是利用磁力作用而將穿過配管114而流入的使用后冷卻劑中分散的強(qiáng)磁性體粒子(例如，由珩磨而產(chǎn)生的金屬磨削粉)從冷卻劑中過濾去除的裝置。磁過濾器裝置1A主要具備處理容器6、磁鐵單元2、過濾材料4、磁軛41、液體三通閥16、18、空氣三通閥134、136、壓縮空氣源138以及壓力傳感器120。處理容器6構(gòu)成為包含大致圓筒狀的第2筒狀體62、大致圓筒狀的第1筒狀體61、上蓋17b、下蓋17a、頂板7以及基臺9。在與第2筒狀體62的筒軸方向垂直的剖面中，第1筒狀體61的外徑比第2筒狀體62的內(nèi)徑小。處理容器6具有在第1筒狀體61的外側(cè)配置有第2筒狀體62的形狀。第2筒狀體62及第1筒狀體61的筒軸方向上的長度大致相等。第2筒狀體62及第1筒狀體61由例如非磁性體不銹鋼等非磁性體材料構(gòu)成。頂板7以封閉第2筒狀體62及第1筒狀體61的筒軸方向上的一端側(cè)(圖2中的上端側(cè))的方式安裝于第2筒狀體62及第1筒狀體61。基臺9以封閉第2筒狀體62及第1筒狀體61的筒軸方向上的另一端側(cè)(圖2中的下端側(cè))的方式安裝于第2筒狀體62及第1筒狀體61。并且，第2筒狀體62與第1筒狀體61之間的區(qū)域構(gòu)成處理室S1，第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)的區(qū)域構(gòu)成配置有磁鐵單元2的磁鐵室S2。在頂板7中的與第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)對應(yīng)的部位設(shè)置有壓縮空氣導(dǎo)入用的空氣配管142。此外，在頂板7中的與處理室S1對應(yīng)的部位設(shè)置有用于將清洗后冷卻劑從處理室S1排出的配管10。配管10的前端部10a比頂板7的下表面向下方突出。該配管10中的向處理室S1內(nèi)突出的部分(突出部)構(gòu)成空氣儲存區(qū)域形成部，該空氣儲存區(qū)域形成部形成儲存空氣的空氣儲存區(qū)域(參照后述圖11的A1)。上述突出部與配管10中的上述突出部以外的部位(第2配管)連通。并且，在使用磁過濾器裝置1A(1B)時，在處理室S1中的頂板7的下表面與配管10的前端部10a之間形成有儲存空氣的空氣儲存區(qū)域(參照后述的圖11的A1)。在基臺9中的與第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)對應(yīng)的部位設(shè)置有下部端口143a。此外，基臺9中的與處理室S1對應(yīng)的部位與配管(第1配管)8連接。該配管8的前端部構(gòu)成了用于將冷卻劑導(dǎo)入處理室S1或者將冷卻劑從處理室S1排出的處理流體導(dǎo)入排出端口8a。在處理室S1中形成了配置有過濾材料4的過濾材料配置區(qū)域S11。過濾材料4由磁性材料構(gòu)成。作為過濾材料4，能夠采用例如鋼絲棉(steelwool)、金屬絲網(wǎng)以及線材等。這樣，通過具備過濾材料4，能夠提高磁過濾器裝置1A的過濾性能。上蓋17b及下蓋17a將過濾材料4保持于處理容器6內(nèi)。在上蓋17b及下蓋17a上配設(shè)有多個不能使過濾材料4通過且能使冷卻劑通過的大小的通液孔。液體三通閥18與配管10、22、118連接，將配管10的連接目標(biāo)切換為配管118側(cè)或者配管22側(cè)。液體三通閥18根據(jù)來自控制部190的控制信號來進(jìn)行切換動作。液體三通閥16與配管8、114、116連接，將配管8的連接目標(biāo)切換為配管114側(cè)或者配管116側(cè)。液體三通閥18根據(jù)來自控制部190的控制信號來進(jìn)行切換動作?？諝馊ㄩy134、136與空氣配管135、137連接，將空氣配管135、137的連接目標(biāo)切換為空氣配管142、143側(cè)或者開放側(cè)。空氣配管135、137與壓縮空氣源138連接。壓縮空氣源138例如由空氣壓縮機(jī)等構(gòu)成。磁鐵單元2配置于第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)(處理室S1的外部)的與過濾材料配置區(qū)域S11對應(yīng)的區(qū)域。即，處理容器6具有在第1筒狀體61的外側(cè)配置有第2筒狀體62的形狀，第1筒狀體61與第2筒狀體62之間的區(qū)域構(gòu)成處理室S1，磁鐵單元2配置于第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)。由此，具有易于使處理室S1變大的優(yōu)點(diǎn)。磁鐵單元2具有大致圓柱狀的形狀，由多個(在圖2中是8個)磁鐵25以及多個(在圖2中是9個)副磁軛27、27A、27B構(gòu)成。副磁軛27、27A、27B的作用是，將從磁鐵25放射的磁通向后述的磁軛41引導(dǎo)。由此，由于從磁鐵25放射的磁通被高效地向磁軛41引導(dǎo)，因此，能夠減少從磁鐵25放射的磁通的損失。此外，磁鐵25和副磁軛27、27A、27B具有大致圓盤狀的形狀。磁鐵25例如由釹(Neodymium)磁鐵等永久磁鐵構(gòu)成。副磁軛27、27A、27B例如由軟鐵等磁性材料構(gòu)成。副磁軛27的徑尺寸被設(shè)定為比磁鐵室S2的內(nèi)徑尺寸稍小。磁鐵25的徑尺寸被設(shè)定為比副磁軛27的徑尺寸小。多個磁鐵25和多個副磁軛27、27A、27B以交替層疊的狀態(tài)配置。在磁鐵單元2的中心軸方向上相鄰的2個磁鐵25彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)隔著副磁軛27相對。由此，磁鐵單元2包含S極、N極的互相不同的磁極。副磁軛27、27A、27B分別配置于在冷卻劑的流動方向上分別與多個磁鐵25的磁極對應(yīng)的位置附近。磁鐵單元2具有以上說明的結(jié)構(gòu)，由此，由于從多個磁鐵25分別產(chǎn)生了該多個磁鐵25的排列方向的磁場，因此，能夠提高多個磁鐵25的排列方向的磁場的磁通密度。磁鐵單元2在磁鐵室S2內(nèi)能夠在第1筒狀體61的筒軸方向(圖2中的上下方向)上移動。磁軛41配置于處理室S1中的過濾材料配置區(qū)域S11。該磁軛41例如由軟鐵等磁性材料構(gòu)成。磁軛41的至少一部分(例如，磁軛41的徑向外側(cè)部)在與冷卻劑的流動方向垂直的方向上配置于遠(yuǎn)離了磁鐵單元2的位置處。因此，磁軛41配置為將分別以磁鐵單元2的多個磁極為起點(diǎn)的磁力線引向處理室S1內(nèi)的遠(yuǎn)離磁鐵單元2的方向。此外，一個磁軛41在處理室S1內(nèi)配置于與磁鐵單元2的一個磁極對應(yīng)的位置(第1位置)附近，另一個磁軛41在處理室S1內(nèi)配置于與磁鐵單元2的另一個不同的磁極對應(yīng)的位置(第2位置)附近。并且，另一個磁軛41將從一個磁極沿著一個磁軛41被引向遠(yuǎn)離磁鐵單元2的方向的磁場的朝向在處理室S1內(nèi)改變?yōu)閺囊粋€磁軛41面向另一個磁軛41的方向。在這種情況下，另一個磁軛41將從一個磁極沿著一個磁軛41被引向遠(yuǎn)離磁鐵單元2的方向的磁場的朝向在處理室S1內(nèi)改變?yōu)閺囊粋€磁軛面向另一個磁軛的方向(冷卻劑的流動方向)。由此，能夠提高從一個磁軛41朝向另一個磁軛41的磁場(沿著冷卻劑的流動方向的磁場)的磁通密度。圖3示出本實(shí)施方式的磁軛41，(a)是立體圖，(b)是剖視圖。磁軛41具有形成有俯視時呈圓形的貫通孔41b的圓盤狀(即，俯視時呈大致圓環(huán)狀)的形狀。磁軛41的內(nèi)徑尺寸比處理容器6的第1筒狀體61的外徑尺寸略大。此外，磁軛41的外徑尺寸比處理容器6的第2筒狀體62的內(nèi)徑尺寸略小。并且，磁軛41在第1筒狀體61貫穿插入于貫通孔41b的狀態(tài)下配置于過濾材料配置區(qū)域S11。此外，在磁軛41上形成有貫通其厚度方向的多個貫通孔41a。此外，磁軛41配置為其厚度方向沿著處理容器6的筒軸方向。并且，在磁軛41配置于過濾材料配置區(qū)域S11的狀態(tài)下，成為在磁軛41的貫通孔41a的內(nèi)側(cè)填充有過濾材料4的狀態(tài)。冷卻劑穿過磁軛41的外周與第2筒狀體62的間隙和形成于磁軛41的貫通孔41a，由此，容許了處理室S1中的冷卻劑的流動。【控制部】控制部190進(jìn)行流體清洗系統(tǒng)的動作控制。圖4是本實(shí)施方式的控制部190的框圖。控制部190具備CPU200、存儲器292以及輸入輸出端口296。CPU200、存儲器292及輸入輸出端口296經(jīng)由總線BUS而連接。在存儲器292中儲存有控制程序290。在輸入輸出端口296連接有控制元件(例如，繼電器)以及測量元件(例如，模擬數(shù)字變換器)，其中，該控制元件對閥98、空氣三通閥134、136、液體三通閥16、18、泵90、壓縮空氣源138進(jìn)行控制，該測量元件對壓力傳感器120的輸出進(jìn)行測量。CPU200通過執(zhí)行存儲于存儲器292的控制程序298來實(shí)現(xiàn)控制部190的各種功能?？刂撇?90對表示剛剛進(jìn)行后述的逆洗處理的磁過濾器裝置是2個磁過濾器裝置1A、1B中的哪一個的信息進(jìn)行管理。具體而言，分別對2個磁過濾器裝置1A、1B賦予識別信息，將剛剛進(jìn)行逆洗處理的磁過濾器裝置1A(1B)的識別信息作為進(jìn)行上次逆洗處理的磁過濾器裝置的識別信息存儲于存儲器292。該識別信息按照每次進(jìn)行逆洗處理而更新。<2>磁過濾器裝置的性能接下來，對本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A的性能進(jìn)行說明。這里，與比較例的磁過濾器裝置1001(參照圖6)相比較地對本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A(參照圖5)的性能進(jìn)行說明。另外，由于磁過濾器裝置1B與磁過濾器裝置1A相同，因此，這里省略說明。比較例的磁過濾器裝置1001與本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A是大致同樣的結(jié)構(gòu)，在處理容器6的處理室S1內(nèi)沒有磁軛這一點(diǎn)與磁過濾器裝置1A不同。在本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A與比較例的磁過濾器裝置1001中，都是副磁軛27、27A、27B成為了磁鐵單元2產(chǎn)生的磁場的磁力線的起點(diǎn)的磁極。圖5是本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A的動作說明圖，圖6是比較例的磁過濾器裝置1001的動作說明圖。在圖5及圖6中，示出了從磁鐵單元2的副磁軛27的周面放射的磁力線M的圖像。如圖6所示，在比較例的磁過濾器裝置1001中，從副磁軛27的周面放射的磁力線M的密度在第1筒狀體61的外周面附近比在第2筒狀體62的內(nèi)周面附近大。與此相對，如圖5所示，在本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A中，磁軛41將磁鐵單元2(副磁軛27)所產(chǎn)生的磁場的磁力線的路徑引向處理室S1內(nèi)的遠(yuǎn)離磁鐵單元2的方向。由此，相比于比較例的磁過濾器裝置1001的情況，從副磁軛27的周面放射的磁力線M的密度分布的偏重較小。即，第1筒狀體61的外周面附近的磁力線M的密度(磁通密度)與第2筒狀體62的內(nèi)周面附近的磁力線M的密度(磁通密度)的差異變小。這表示了相比于磁過濾器裝置1001，在磁過濾器裝置1A中，從磁鐵單元2放射的磁場到達(dá)了第2筒狀體62的內(nèi)周面附近。此外，磁軛41被配置為使處理室S1內(nèi)產(chǎn)生沿著處理容器6的筒軸方向的磁場。磁力線M無論在靠近第1筒狀體61的外壁的一側(cè)還是在靠近第2筒狀體62的內(nèi)壁的一側(cè)都與第2筒狀體62的筒軸大致平行。此外，磁通密度在靠近第1筒狀體61的外壁的一側(cè)與靠近第2筒狀體62的內(nèi)壁的一側(cè)大致相等。圖7是對本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A和比較例的磁過濾器裝置1001中的磁通密度的分布進(jìn)行比較的結(jié)果。圖7中的(b)的磁通密度B的分布表示了在如圖7中的(a)所示那樣以第1筒狀體61的外周面為基點(diǎn)的情況下的第1筒狀體61及第2筒狀體62的徑向(r)的分布。另外，在圖7中的(b)中，實(shí)線表示本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A的情況下的分布，虛線表示比較例的磁過濾器裝置1001的情況下的分布。此外，圖7中的(b)表示第1筒狀體61及第2筒狀體62的筒軸方向上的2個副磁軛27的中央部的分布。如圖7中的(b)所示，相比于比較例的磁過濾器裝置1001，在磁過濾器裝置1A中，第1筒狀體61及第2筒狀體62的徑向(r)的磁通密度分布的偏重較小。并且，相比于比較例，在第1筒狀體61及第2筒狀體62的徑向上從磁鐵單元2放射的磁場被均勻地施加于磁過濾器裝置1A的過濾材料4。即，由于施加于過濾材料4的磁場在第1筒狀體61及第2筒狀體62的徑向上被均勻地施加，因此，能夠消除過濾材料4的過濾性能在第1筒狀體61及第2筒狀體62的徑向的偏重。尤其是能夠提高過濾材料4的在第2筒狀體62的內(nèi)周面附近的過濾性能。<3>動作<3-1>整體動作接下來，對本實(shí)施方式的液體清洗系統(tǒng)的控制部190的動作進(jìn)行說明。圖8及圖9是示出本實(shí)施方式的液體清洗系統(tǒng)的控制部190的動作的流程圖。首先，控制部190判定是否使用磁過濾器裝置1A(步驟S1)。具體而言，控制部190根據(jù)存儲于存儲器292的磁過濾器裝置的識別信息判定上次是否對磁過濾器裝置1A進(jìn)行了逆洗處理。并且，在上次對磁過濾器裝置1A進(jìn)行了逆洗處理的情況下，控制部190判定為使用了磁過濾器裝置1A。在步驟S1中，如果判定為使用了磁過濾器裝置1A(步驟S1：是)，控制部190對磁過濾器裝置1A的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將壓縮空氣源138的空氣供給目標(biāo)切換為上部端口142a側(cè)(步驟S2)。此時，控制部190對磁過濾器裝置1A的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將空氣配管135的連接目標(biāo)切換為空氣配管142側(cè)。接下來，控制部190使壓縮空氣源138進(jìn)行動作(步驟S3)。此時，在磁過濾器裝置1A中，從處理容器6的上部端口142a向磁鐵室S2中的磁鐵單元2的上方導(dǎo)入壓縮空氣。由此，磁鐵單元2被固定于磁鐵室S2的下方，完成了使用磁過濾器裝置1A的準(zhǔn)備。另一方面，在步驟S1中，如果判定為沒有使用磁過濾器裝置1A(步驟S1：否)，則控制部190對磁過濾器裝置1B的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將壓縮空氣源138的空氣供給目標(biāo)切換為上部端口142a側(cè)(步驟S4)。此時，控制部190對磁過濾器裝置1A的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將空氣配管135的連接目標(biāo)切換為空氣配管142側(cè)。接下來，控制部190使壓縮空氣源138進(jìn)行動作(步驟S5)。此時，在磁過濾器裝置1B中，從處理容器6的上部端口142a向磁鐵室S2針對磁鐵單元2的上方導(dǎo)入壓縮空氣。由此，磁鐵單元2被固定于磁鐵室S2的下方，完成了使用磁過濾器裝置1B的準(zhǔn)備。接下來，控制部190打開閥98(步驟S6)。由此，從回收罐106經(jīng)由配管114、磁過濾器裝置1A(或者磁過濾器裝置1B)、配管118而穿過緩沖罐104的流路開通。此后，控制部190驅(qū)動泵90(步驟S7)。由此，儲存于回收罐106的使用后冷卻劑被泵90吸上去，并被送入磁過濾器裝置1A(或者磁過濾器裝置1B)的處理流體導(dǎo)入排出端口8a。另外，在泵90已經(jīng)被驅(qū)動的情況下，控制部190省略步驟S4的處理。由此，被送入處理流體導(dǎo)入排出端口8a的使用后冷卻劑被向處理室S1引導(dǎo)。并且，在處理室S1中被過濾材料4過濾的冷卻劑穿過配管118流入緩沖罐104。接下來，控制部190取得壓力傳感器120的值(步驟S8)。接下來，控制部190判定所取得的壓力傳感器120的值是否在規(guī)定值以下(步驟S9)。在步驟S6中，當(dāng)壓力傳感器120的值在規(guī)定值以下的情況下(步驟S9：是)，控制部190再次進(jìn)行步驟S5的處理。另一方面，在步驟S6中，在壓力傳感器120的值超過規(guī)定值的情況下(步驟S9：否)，控制部190關(guān)閉閥98(步驟S11)。在磁過濾器裝置1A、1B中，在污垢被過濾材料40捕獲的結(jié)果，產(chǎn)生了所謂的堵塞。此時，泵90的送出壓力上升。因此，在磁過濾器裝置1A中，控制部190借助于壓力傳感器120來監(jiān)視泵90的送出壓力，在泵90的送出壓力超過規(guī)定值的情況下，關(guān)閉閥98，進(jìn)行后述的逆洗處理的準(zhǔn)備。在步驟S11中，閥98被關(guān)閉，由此，從磁過濾器裝置1A流出的清洗后冷卻劑流入蓄能器96，在蓄能器96中儲存有清洗后冷卻劑。此后，控制部190判定從關(guān)閉閥98開始是否經(jīng)過了用于向蓄能器96儲存清洗后冷卻劑的規(guī)定的時間(步驟S12)。這里，控制部190的CPU200使用例如內(nèi)置計(jì)時器進(jìn)行計(jì)時。另外，規(guī)定的時間是根據(jù)蓄能器96的容量以及每單位時間內(nèi)冷卻劑從磁過濾器裝置1A、1B向蓄能器96的流入量而設(shè)定的。接下來，控制部190判定上次的逆洗處理是否以磁過濾器裝置1A為對象(步驟S13)。具體而言，控制部190根據(jù)存儲于存儲器292的磁過濾器裝置1A的識別信息來判定上次的逆洗處理是否以磁過濾器裝置1A為對象。在步驟S13中，在上次的逆洗處理是以磁過濾器裝置1A為對象的情況下(步驟S13：是)，控制部190對磁過濾器裝置1B的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將壓縮空氣源138的空氣供給目標(biāo)切換為下部端口143a側(cè)(步驟S14)。此時，對于磁過濾器裝置1B，控制部190將空氣配管135的連接目標(biāo)切換為空氣配管142側(cè)。接下來，控制部190使壓縮空氣源138進(jìn)行動作(步驟S15)。此時，在磁過濾器裝置1B中，從處理容器6的下部端口143a向磁鐵室S2中的磁鐵單元2的下方導(dǎo)入壓縮空氣。由此，磁鐵單元2被固定于磁鐵室S2的上方，完成了對磁過濾器裝置1B進(jìn)行逆洗處理的準(zhǔn)備。此后，控制部190進(jìn)行逆洗處理(步驟S16)。在<3-2>中對該逆洗處理的細(xì)節(jié)進(jìn)行詳細(xì)的說明。另一方面，在步驟S13中，設(shè)上次的逆洗處理沒有以磁過濾器裝置1A為對象，即，上次的逆洗處理以磁過濾器裝置1B為對象(步驟S13：是)。在這種情況下，控制部190對磁過濾器裝置1A的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將來自壓縮空氣源138的通路切換為下部端口143a側(cè)(步驟S17)。此時，控制部190對磁過濾器裝置1B的空氣三通閥134、136進(jìn)行控制來將來自壓縮空氣源138的通路切換為上部端口142a側(cè)。接下來，控制部190使壓縮空氣源138進(jìn)行動作(步驟S18)。此時，在磁過濾器裝置1A中，從處理容器6的下部端口143a向磁鐵室S2中的磁鐵單元2的下方導(dǎo)入壓縮空氣。由此，磁鐵單元2被固定于磁鐵室S2的上方，完成了對磁過濾器裝置1A進(jìn)行逆洗處理的準(zhǔn)備。此后，控制部190進(jìn)行逆洗處理(步驟S16)。在<3-2>中對該逆洗處理的細(xì)節(jié)進(jìn)行詳細(xì)的說明。如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式的液體清洗系統(tǒng)中，交替地對磁過濾器裝置1A、1B進(jìn)行清洗。<3-2>逆洗處理接下來，對本實(shí)施方式的液體清洗系統(tǒng)的逆洗處理進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖10是示出本實(shí)施方式的控制部190的逆洗處理的動作的流程圖。此外，圖11～圖13是本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A(1B)的動作說明圖。首先，冷卻劑的流路被設(shè)定為從泵90按順序經(jīng)由配管8、處理室S1而流向配管10的流路(第1流路)。在該狀態(tài)下，首先，控制部190對液體三通閥18進(jìn)行控制來將配管10的連接目標(biāo)切換到配管22側(cè)(步驟S21)。由此，冷卻劑的流路從上述第1流路切換為從泵90穿過配管8及配管10的雙方流入處理室S1內(nèi)的流路(第2流路)。并且，如圖11所示，借助于泵90，即使對于穿過配管22、液體三通閥18及配管10的流路，也能夠向處理容器6的處理室S1內(nèi)供給冷卻劑(參照圖11中的箭頭)。此時，冷卻劑的液面被泵90的送出壓力推向比配管10的前端部靠上方的位置處。并且，儲存于處理室S1的上方的空氣儲存區(qū)域A1的空氣成為被冷卻劑壓縮的狀態(tài)?？刂撇?90對液體三通閥16進(jìn)行控制來將與處理室S1連通的配管8的連接目標(biāo)切換為與脫液/固化單元100連接的配管116側(cè)(步驟S22)。由此，冷卻劑的流路從上述第2流路切換為從泵90按順序經(jīng)由配管10、處理室S1流向配管8的流路(第3流路)。并且，如圖12所示，借助于儲存在空氣儲存區(qū)域A1的被壓縮的空氣的壓力，導(dǎo)入處理室S1內(nèi)的冷卻劑順利地向配管116流出(參照圖12中的箭頭)。接下來，控制部190判定在切換配管8的連接目標(biāo)及配管10的連接目標(biāo)之后是否經(jīng)過規(guī)定的時間(步驟S23)。只要沒有經(jīng)過規(guī)定的時間，則控制部190維持待機(jī)狀態(tài)(步驟S23：否)。此時，如圖13所示，由泵90供給的冷卻劑持續(xù)地穿過配管22而向處理室S1內(nèi)供給(參照圖13中的箭頭)。由此，過濾材料4被流向與使用磁過濾器裝置1A(1B)時的冷卻劑的流向相反的方向的冷卻劑清洗。在步驟S23中，如果判定為經(jīng)過規(guī)定的時間(步驟S23：是)，則控制部190對液體三通閥18進(jìn)行控制來將配管10的連接目標(biāo)切換為配管118側(cè)(步驟S24)。此后，控制部190使泵90停止(步驟S25)。另外，控制部190也可以不進(jìn)行步驟S25的處理而繼續(xù)驅(qū)動泵90。最后，控制部190對液體三通閥16進(jìn)行控制來將配管8的連接目標(biāo)切換為與泵90連接的配管114側(cè)(步驟S26)。<4>總結(jié)但是，對于在處理室S1內(nèi)沒有配置有磁軛的結(jié)構(gòu)(例如，圖6所示的比較例的磁過濾器裝置1001)，在大多數(shù)情況下，磁力線從某個磁極穿過磁鐵單元的附近朝向其他的不同的磁極。因此，在處理室S1內(nèi)，在磁鐵單元2附近，磁場的強(qiáng)度變大，但在遠(yuǎn)離磁鐵單元2的位置，磁場的強(qiáng)度下降。與此相對，在本實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A(1B)中，由于磁軛41配置為將磁力線引入遠(yuǎn)離磁鐵單元2的方向，因此，能夠防止遠(yuǎn)離磁鐵單元2的位置的磁場的強(qiáng)度的下降。該結(jié)果，對于磁鐵單元2的多個磁極分別在處理室S1內(nèi)產(chǎn)生的磁場，能夠減小與處理后的冷卻劑的流動方向垂直的方向的磁場的強(qiáng)度的分布的偏重。此外，控制部190對液體三通閥16、18進(jìn)行控制來將冷卻劑的流路從第1流路切換為第2流路，由此，存在于空氣儲存區(qū)域A1的空氣被壓縮。此后，控制部190對液體三通閥16、18進(jìn)行控制來將冷卻劑的流路從第2流路切換為第3流路，由此，存在于處理室S1內(nèi)的冷卻劑在存在于空氣儲存區(qū)域A1的空氣的壓力的作用下被順利地向配管8推出。此時，由于附著于過濾材料4的強(qiáng)磁性體粒子等的污垢被冷卻劑清洗而流走，因此，消除了過濾材料4的堵塞。<變形例>(1)在實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A(1B)中，對在處理容器6中，第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)構(gòu)成磁鐵室S2，第2筒狀體62與第1筒狀體61之間的區(qū)域構(gòu)成處理室S1的例子進(jìn)行了說明。但是，也可以是，處理容器與實(shí)施方式同樣地由第2筒狀體62和第1筒狀體61構(gòu)成，第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)構(gòu)成處理室，第2筒狀體62與第1筒狀體61之間的區(qū)域構(gòu)成磁鐵室。即，也可以是，處理容器6的第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)構(gòu)成處理室S1，磁鐵單元2配置為使得第1筒狀體61的一部分圍繞筒軸。圖14是本變形例的磁過濾器裝置201的概略結(jié)構(gòu)圖。另外，在圖14中，對與實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。在磁過濾器裝置201中，處理容器206與實(shí)施方式同樣地由第2筒狀體62和第1筒狀體61構(gòu)成。并且，第1筒狀體61的內(nèi)側(cè)構(gòu)成處理室S21，第2筒狀體62與第1筒狀體61之間的區(qū)域構(gòu)成磁鐵室S22。在磁鐵室S22中配置有磁鐵單元202。磁鐵單元202由多個(在圖14中是8個)磁鐵225和多個(在圖14中是9個)副磁軛227、227A、227B構(gòu)成。磁鐵225和副磁軛227、227A、227B具有俯視時呈大致圓環(huán)狀的形狀。并且，磁鐵225及副磁軛27的內(nèi)徑尺寸被設(shè)定為比第1筒狀體61的外徑尺寸稍大。并且，與實(shí)施方式同樣地，磁鐵單元202能夠在磁鐵室S22內(nèi)沿著第1筒狀體61的筒軸方向(圖14中的上下方向)移動。圖15示出本變形例的磁軛241，(a)是立體圖，(b)是剖視圖。磁軛241具有圓盤狀的形狀。磁軛241的外徑尺寸比處理容器6的第1筒狀體61的內(nèi)徑尺寸稍小。此外，在磁軛241上形成有貫通其厚度方向的多個貫通孔241a。并且，在磁軛241配置于過濾材料配置區(qū)域S211的狀態(tài)下，成為在磁軛241的貫通孔241a的內(nèi)側(cè)填充有過濾材料4的狀態(tài)。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，由于能夠提高處理室S21內(nèi)的磁通密度，因此，能夠提高過濾性能。(2)在實(shí)施方式中，對磁鐵單元2具備副磁軛27的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但是，不一定限于具備副磁軛的結(jié)構(gòu)。圖16中的(a)～(d)是示出本變形例的磁過濾器裝置的一部分的剖視圖。圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置具備筒狀的處理容器306、在處理容器306的內(nèi)側(cè)沿處理容器306的筒軸方向并行配置的2個板狀的磁軛341a以及配置于處理容器306的外部的磁鐵單元302a。在2個磁軛341a上形成有貫通厚度方向的貫通孔(未圖示)，這2個磁軛341a配置為封住處理容器306的內(nèi)側(cè)。此外，在2個磁軛341a之間配置有過濾材料4。并且，磁鐵單元302a配置為與處理容器306的外壁中的繞處理容器306的筒軸的一部分對置。此外，磁鐵單元302a由具有大致C字狀的形狀的1個磁鐵構(gòu)成，2個前端部分別與磁軛341a磁耦合。磁鐵單元302a的2個前端部成為磁極。圖16中的(b)所示的磁過濾器裝置的配置于處理容器306的外部的磁鐵單元302b與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)不同。在磁鐵單元302b中，3個磁鐵302b1以層疊的狀態(tài)而配置。相鄰2個磁鐵302b1彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)相對。并且，相鄰2個磁鐵302b1的分界部分位于處理容器306的外壁中的與磁軛341a對應(yīng)的部位。此外，磁鐵單元302b的相鄰2個磁鐵302b1的分界部分成為磁極。在圖16中的(a)及(b)所示的那樣的磁軛341a的配置中，在處理容器306的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生沿著處理容器306的筒軸方向的磁場。圖16中的(c)所示的磁過濾器裝置的磁軛341b的配置與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)不同。磁軛341b配置于處理容器306的內(nèi)部的與磁鐵單元302a側(cè)的相反側(cè)。并且，在磁軛341b與磁鐵單元302a之間隔有過濾材料4。過濾材料4被與上述實(shí)施方式同樣的上蓋(未圖示)及下蓋(未圖示)固定于規(guī)定的位置。此外，磁軛341b配置為在處理容器306的筒軸方向上橫跨磁鐵單元302a的2個前端部。由此，由于能夠減少從磁鐵單元302a的2個前端部放射的磁通中的泄露到磁軛341b外的磁通的成分，因此，能夠有效地活用從磁鐵單元302a放射的磁通。圖16中的(d)所示的磁過濾器裝置具有與圖16中的(b)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁軛341b的配置與圖16中的(b)所示的結(jié)構(gòu)不同。磁軛341b配置于處理容器306的內(nèi)部的與磁鐵單元302b側(cè)的相反側(cè)。此外，磁軛341b配置為在處理容器306的筒軸方向上橫跨構(gòu)成磁鐵單元302b的相鄰2個磁鐵302b1的分界部分。由此，由于能夠減少從相鄰2個磁鐵302b1的分界部分放射的磁通中的泄露到磁軛341b外的磁通的成分，因此，能夠有效活用從磁鐵單元302a放射的磁通。此外，在圖16中的(c)及(d)所示的那樣的磁軛341b的配置中，在處理容器306的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生與處理容器306的筒軸方向垂直的磁場。結(jié)果，在圖16中的(c)及(d)所示的磁過濾器裝置中，磁軛341b配置為在處理室的內(nèi)部，在與磁鐵單元2之間形成有冷卻劑的流路，并且，該磁軛341b設(shè)置為容許冷卻劑的流動。并且，磁軛341b引入分別以磁鐵單元2的多個磁極為起點(diǎn)的磁力線。在這種情況下，由于磁軛341b引入分別以磁鐵單元2的多個磁極為起點(diǎn)的磁力線，因此，能夠提高從磁鐵單元2朝向磁軛341b的磁場的磁通密度。(3)副磁軛的個數(shù)或副磁軛的配置不限于實(shí)施方式的磁過濾器裝置1A(1B)的結(jié)構(gòu)。圖17中的(a)～(f)是示出本變形例的磁過濾器裝置的一部分的剖視圖。圖17中的(a)所示的磁過濾器裝置與上述(2)中說明的圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)大致相同，磁鐵單元402a不同。另外，對與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。此外，在圖17中的(a)～(f)所示的磁過濾器裝置中，磁鐵單元配置為與處理容器306的外壁中的繞處理容器306的筒軸的一部分對置。如圖17中的(a)所示，磁鐵單元402a由1個磁鐵425a以及2個副磁軛427a構(gòu)成。并且，2個副磁軛427a分別與磁鐵425a及磁軛341a磁耦合。圖17中的(b)所示的磁過濾器裝置具有與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁鐵單元402b不同。另外，對與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。如圖17中的(b)所示，磁鐵單元402b由2個磁鐵425b以及1個副磁軛427b構(gòu)成。并且，2個磁鐵425b分別在一端側(cè)與磁軛341a磁耦合，在另一端側(cè)與副磁軛427b磁耦合。此外，2個磁鐵425b在與處理容器306的筒軸方向垂直的徑向上，極性互相相反。圖17中的(c)所示的磁過濾器裝置具有與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁鐵單元402c不同。另外，對與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。如圖17中的(c)所示，磁鐵單元402c以3個磁鐵425c、425d、425e隔著副磁軛427c而層疊的狀態(tài)配置。相鄰2個磁鐵(磁鐵425c和磁鐵425d、及、磁鐵425d和磁鐵425e)彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)相對。并且，副磁軛427c位于處理容器306的外壁中的與磁軛341a對應(yīng)的部位，與磁軛341a磁耦合。圖17中的(d)～(f)所示的各個磁過濾器裝置的磁軛341b的配置與圖17中的(a)～(c)所示的結(jié)構(gòu)不同。在圖17中的(d)～(f)所示的磁過濾器裝置中，磁軛341b以沿著處理容器306的內(nèi)壁的一部分的形狀配置。即，磁軛41的整體在與冷卻劑的流動方向垂直的方向上配置于遠(yuǎn)離磁鐵單元402a、402b、402c的位置。并且，在磁軛341b與處理容器306的周壁中的磁鐵單元402a、402b、402c側(cè)的一部分之間夾有過濾材料4。另外，過濾材料4被與上述實(shí)施方式同樣的上蓋(未圖示)及下蓋(未圖示)固定于規(guī)定的位置。在圖17中的(d)及(f)所示的磁過濾器裝置中，磁軛341b配置為在處理容器306的筒軸方向上橫跨處理容器306中的與副磁軛427a、427c對置的2個部位。此外，在圖17中的(e)所示的磁過濾器裝置中，磁軛341b配置為在處理容器306的筒軸方向上橫跨處理容器306中的與磁鐵425b對置的2個部位。由此，由于能夠減少從磁鐵單元402a、402b、402c的2個前端部放射的磁通中的泄漏到磁軛341b外的磁通的成分，因此，能夠有效活用從磁鐵單元402a、402b、402c放射的磁通。(4)在變形例(2)及(3)中，對磁鐵單元配置為與處理容器306的外壁中的繞處理容器306的筒軸的一部分對置的例子進(jìn)行了說明，但磁鐵單元2的配置不限于此。例如，也可以是，磁鐵單元配置為使得處理容器306的外壁的一部分圍繞處理容器306的筒軸。圖18中的(a)～(d)及圖19中的(a)～(e)是示出本變形例的磁過濾器裝置的一部分的剖視圖。圖18中的(a)所示的磁過濾器裝置與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致相同，磁鐵單元502a的結(jié)構(gòu)不同。另外，對與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。磁鐵單元502a具有以繞著筒軸的方式圍繞處理容器306的大致圓環(huán)狀的形狀，由與其周向垂直的剖面具有大致C字狀的形狀的1個永久磁鐵構(gòu)成。并且，在磁鐵單元502a配置于處理容器306的周圍的狀態(tài)下，在與磁鐵單元502a的周向垂直的剖面上，2個前端部與處理容器306的外壁對置。此時，磁鐵單元502a的2個前端部分別與磁軛341a磁耦合。圖18中的(b)所示的磁過濾器裝置與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致相同，磁鐵單元502b的結(jié)構(gòu)與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)不同。在磁鐵單元502b中，具有大致圓環(huán)狀的形狀并且使處理容器306的一部分圍繞處理容器306的筒軸的3個磁鐵502b1以層疊的狀態(tài)配置。相鄰2個磁鐵302b1彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)相對。并且，相鄰2個磁鐵502b1的分界部分位于處理容器306的外壁中的與磁軛341a對應(yīng)的部位。圖18中的(c)所示的磁過濾器裝置與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)大致相同，磁鐵單元502c的結(jié)構(gòu)不同。另外，對與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。如圖18中的(c)所示，磁鐵單元502c由1個磁鐵525c以及2個副磁軛527c構(gòu)成。磁鐵525c及副磁軛527c都具有大致圓環(huán)狀的形狀，使處理容器306的外壁的一部分圍繞處理容器306的筒軸。并且，2個副磁軛527c分別與磁鐵525c及磁軛341a磁耦合。圖18中的(d)所示的磁過濾器裝置具有與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁鐵單元502d不同。另外，圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。如圖18中的(d)所示，磁鐵單元502d由2個磁鐵525d以及1個副磁軛527d構(gòu)成。磁鐵525d及副磁軛527d都具有大致圓環(huán)狀的形狀，使處理容器306的外壁的一部分圍繞處理容器306的筒軸。并且，2個磁鐵525d分別在一端側(cè)與磁軛341a磁耦合，在另一端側(cè)與副磁軛527b磁耦合。此外，2個磁鐵525d在與處理容器306的筒軸方向垂直的徑向上，極性互反。圖19中的(a)～(d)所示的各個磁過濾器裝置的磁軛841a的配置與圖18中的(a)～(d)所示的結(jié)構(gòu)不同。另外，對與圖18中的(a)～(d)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。在圖19中的(a)～(d)所示的磁過濾器裝置中，磁軛841a以沿著處理容器306的中心軸的形狀配置。并且，在磁軛841a與處理容器306的內(nèi)壁之間隔有過濾材料4。另外，過濾材料4被與上述實(shí)施方式同樣的上蓋(未圖示)及下蓋(未圖示)固定于規(guī)定的位置處。此外，在圖19中的(b)所示的磁過濾器裝置中，也可以是，在相鄰2個磁鐵502b1之間設(shè)置副磁軛。在圖19中的(e)所示的磁過濾器裝置中，在磁鐵825a與磁鐵825b之間、磁鐵825b與磁鐵825c之間分別隔有大致圓環(huán)狀的副磁軛827a。并且，磁軛841a配置為在處理容器306的筒軸方向上橫跨處理容器306中的與2個副磁軛827a分別對置的2個部位。此外，在圖19中的(a)～(e)所示的那樣的磁軛841a的配置中，在處理容器306的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生與處理容器306的筒軸方向垂直的磁場。(5)在變形例(1)中，對磁鐵單元2具備多個磁鐵225、多個副磁軛27、227A、227B的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但是，磁鐵單元不限于具備副磁軛的結(jié)構(gòu)。此外，磁鐵單元不限于具備多個磁鐵225的結(jié)構(gòu)。圖20中的(a)及(b)以及圖21中的(a)～(d)是示出本變形例的磁過濾器裝置的一部分的剖視圖。圖20中的(a)所示的磁過濾器裝置具備處理容器606、2個板狀的磁軛641a、過濾材料4以及磁鐵單元602a。處理容器606構(gòu)成為包含圓筒狀的第2筒狀體662以及第1筒狀體661，其中，該第1筒狀體661是圓筒狀，并且，在與筒軸方向垂直的剖面上，外徑比第2筒狀體662的內(nèi)徑小。2個磁軛641a形成為大致圓環(huán)狀，在處理容器606的第2筒狀體662與第1筒狀體661之間的處理室中沿著處理容器606的筒軸方向并列配置。在2個磁軛641a上形成有貫通厚度方向的貫通孔(未圖示)，這2個磁軛641a配置為封住上述處理室。此外，在2個磁軛641a之間配置有過濾材料4。磁鐵單元602a由3個圓柱狀的磁鐵602a1構(gòu)成。該3個磁鐵602a1以在第1筒狀體661的內(nèi)側(cè)的磁鐵室中沿第1筒狀體661的筒軸方向?qū)盈B的狀態(tài)而配置。此外，相鄰2個磁鐵602a1的分界部分位于第1筒狀體661的內(nèi)壁中的與磁軛641a對應(yīng)的部位。圖20中的(b)所示的磁過濾器裝置具有與圖20中的(a)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁鐵單元602b的結(jié)構(gòu)不同。另外，對與圖20中的(a)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。磁鐵單元602b具備1個磁鐵625b以及2個副磁軛627b。并且，2個副磁軛627b分別與磁鐵625b及磁軛641a磁耦合。此外，在圖20中的(a)及(b)所示的那樣的磁軛641a的配置中，在處理容器306的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生沿著處理容器606的筒軸方向的磁場。圖21中的(a)及(b)所示的各個磁過濾器裝置的磁軛941a的配置與圖20中的(a)及(b)所示的結(jié)構(gòu)不同。另外，對與圖20中的(a)及(b)所示的結(jié)構(gòu)同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號并適當(dāng)省略說明。在圖21中的(a)及(b)所示的磁過濾器裝置中，圓筒狀的磁軛941a以沿著處理容器606的第2筒狀體662的內(nèi)壁的形狀配置。并且，在磁軛941a與第1筒狀體661的外壁之間隔有過濾材料4。另外，過濾材料4被與上述實(shí)施方式同樣的上蓋(未圖示)及下蓋(未圖示)固定于規(guī)定的位置處。圖21中的(c)及(d)所示的各個磁過濾器裝置具有與圖21中的(a)及(b)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，磁鐵單元的結(jié)構(gòu)不同。在圖21中的(c)所示的磁過濾器裝置中，磁鐵單元902a由多個(在圖21中的(c)中是5個)磁鐵902a1構(gòu)成。多個磁鐵902a1以層疊的狀態(tài)配置。此外，相鄰2個磁鐵902a1彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)相對。并且，圓筒狀的磁軛941b以橫跨相鄰2個磁鐵902a1的分界部分的全部的方式沿著第2筒狀體662的內(nèi)壁配置。在圖21中的(d)所示的磁過濾器裝置中，磁鐵單元902b由多個(在圖21中的(d)中是4個)磁鐵925b以及多個(在圖21中的(d)中是5個)副磁軛927b構(gòu)成。多個磁鐵925b和多個副磁軛927b以交替層疊的狀態(tài)配置。此外，相鄰2個磁鐵925b彼此配置為相同極性的磁極(N極和N極或者S極和S極)相對。并且，圓筒狀的磁軛941b以橫跨第1筒狀體661的外壁中的與多個副磁軛927b對置的部分的全部的方式沿著第2筒狀體662的內(nèi)壁配置。此外，在圖21中的(a)～(d)所示的那樣的磁軛941a，941b的配置中，在處理容器606的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生與處理容器606(第1筒狀體661、第2筒狀體662)的筒軸方向垂直的磁場。(6)在實(shí)施方式的磁過濾器裝置和變形例(1)中說明的磁過濾器裝置中，對具備多個磁鐵和多個副磁軛交替層疊的1個磁鐵單元的例子進(jìn)行了說明。但是，磁鐵單元的個數(shù)不限于1個，也可以具備多個磁鐵單元。圖22中的(a)及(b)是示出本變形例的磁過濾器裝置的一部分的剖視圖。圖22中的(a)所示的磁過濾器裝置具有與圖16中的(a)所示的磁過濾器裝置大致相同的結(jié)構(gòu)，在如下點(diǎn)上與圖16中的(a)所示的結(jié)構(gòu)不同，以分別圍繞處理容器306的外壁中的在處理容器306的筒軸方向上分開的2個部位的方式配置磁鐵單元702a、702b。各磁鐵單元702a、702b分別由1個磁鐵725a、725b以及2個副磁軛727a、727b構(gòu)成。磁鐵725a、725b及副磁軛727a、727b都具有大致圓環(huán)狀的形狀，使處理容器306的外壁的一部分圍繞處理容器306的筒軸。并且，2個副磁軛727a、727b分別與磁鐵725a、725b及磁軛741a、741b磁耦合。圖22中的(b)所示的磁過濾器裝置具有與圖20中的(b)所示的磁過濾器裝置大致同樣的結(jié)構(gòu)，在如下點(diǎn)，與圖20中的(b)所示的結(jié)構(gòu)不同：以分別圍繞處理容器306的外壁中的在處理容器306的筒軸方向上分開的2個部位的方式配置磁鐵單元702c、702d。各磁鐵單元702c、702d分別由1個磁鐵725c、725d以及2個副磁軛727c、727d構(gòu)成。磁鐵725c、725d及副磁軛727c、727d都具有大致圓盤狀的形狀。并且，2個副磁軛727c、727d分別與磁鐵725c、725d及磁軛741g、741h磁耦合。此外，在圖22中的(a)及(b)所示的那樣的磁軛741a、741b、741g、741h的配置中，在處理容器306、606的內(nèi)側(cè)的處理室內(nèi)產(chǎn)生沿著處理容器306、606(第1筒狀體661、第2筒狀體662)的筒軸方向的磁場。(7)在實(shí)施方式和變形例中，對處理容器的處理室內(nèi)的與磁鐵單元的各磁極對應(yīng)的位置的附近各配置1個磁軛的例子進(jìn)行了說明。但是，磁軛的配置不限于此，例如，也可以是，多個磁軛在處理室中的與各磁極對應(yīng)的位置的附近沿著處理容器的筒軸方向(冷卻劑的流動方向)重疊配置。(8)在實(shí)施方式及上述的各變形例中，對磁過濾器裝置將冷卻劑等液體中包含的強(qiáng)磁性體粒子過濾去除而清洗液體的例子進(jìn)行了說明。但是，作為磁過濾器裝置所清洗的對象的被處理流體不限于液體，例如也可以是分散有強(qiáng)磁性體粒子的氣體。(9)在實(shí)施方式中，對構(gòu)成磁鐵單元的一部分的磁鐵是永久磁鐵的情況進(jìn)行了說明，但是，磁鐵的種類不限于永久磁鐵，也可以是電磁鐵。(10)在實(shí)施方式中，在清洗過濾材料4時，對使冷卻劑向與使用磁過濾器裝置1A(1B)時的冷卻劑的流動方向相反的方向流動的例子進(jìn)行了說明。但是，過濾材料4的清洗方向不限于此，例如，也可以是，使磁鐵單元2配置于磁鐵室S2的上方，使冷卻劑向與使用磁過濾器裝置1A(1B)時的冷卻劑的流動方向相同的方向流動。在這種情況下，例如，液體三通閥18只要將配管10的連接目標(biāo)切換為配管118側(cè)和與脫液/固化單元100直接連接的配管(未圖示)側(cè)即可。并且，在清洗過濾材料4時，液體三通閥18只要將配管10的連接目標(biāo)切換為與脫液/固化單元100連接的配管側(cè)即可。(11)在實(shí)施方式中，對壓力傳感器120設(shè)置于泵90的附近、即磁過濾器裝置1A(1B)的冷卻劑入口側(cè)的配管114，檢測泵90的送出壓力的例子進(jìn)行了說明，但是，壓力傳感器120也可以設(shè)置于磁過濾器裝置1A(1B)的冷卻劑出口側(cè)的配管118。在這種情況下，壓力傳感器120檢測基于由配管118、閥98以及配管114構(gòu)成的流路的壓力損失，在步驟S9中，只要判定是否在規(guī)定值以上即可。進(jìn)而，壓力傳感器120也可以檢測磁過濾器裝置1A(1B)的冷卻劑入口側(cè)的配管114與冷卻劑出口側(cè)的配管118之間的壓力差。并且，在步驟S9(參照圖8)中，只要判定是否在規(guī)定值以上即可。(12)在實(shí)施方式中，在處理室內(nèi)配置有過濾材料，但是，也能夠省略過濾材料。在這種情況下，能夠?qū)⑻幚硎覂?nèi)的冷卻劑中的污垢吸附于磁軛，并從冷卻劑中過濾去除。標(biāo)號說明1A、1B、1001：磁過濾器裝置；2、202、302a、302b、402a、402b、402c、502a、502b、502c、502d、602a、602b、702a、702b、702c、702d、902a、902b：磁鐵單元；4：過濾材料；6、206、306、606：處理容器；7：頂板；8、10、22、99、114、116、118：配管；8a：處理流體導(dǎo)入排出端口；9：基臺；16、18：液體三通閥；17a：上蓋；17b：下蓋；98：閥；25、225、302b1、425a、425b、425c、425d、425e、502b1、525c、525d、602a1、625b、725a、725b、725c、725d、825a、825b、825c、902a1、925b：磁鐵；27、27A、27B、227、227A、227B、427a、427b、427c、527b、527c、527d、627b、727a、727c、727d、827a、927b：副磁軛；41、241、341a、341b、641a、741a、741b、741g、741h、841a、941a、941b：磁軛；41a、41b、241a：貫通孔；61、661：第1筒狀體；62、662：第2筒狀體；90、102：泵；96：蓄能器；100：脫液/固化單元；104：緩沖罐；106：回收罐；108：機(jī)床；120：壓力傳感器；134、136：空氣三通閥；135、137、142、143：空氣配管；138：壓縮空氣源；142a：上部端口；143a：下部端口；190：控制部；292：存儲器；296：輸入輸出端口；298：控制程序；A1：空氣儲存區(qū)域；S1、S21：處理室；S2、S22：磁鐵室；S11、S211：過濾材料配置區(qū)域。