本發(fā)明是關于一種清洗裝置、清洗待清洗工件的方法以及清洗IC襯底傳送滾輪的清洗液及方法。特別是一種具有高清洗效率及高清洗質量的清洗裝置、清洗待清洗工件的方法以及清洗IC襯底傳送滾輪的清洗液及方法。

背景技術：

參考圖1，展示用于傳送襯底的滾輪總成的滾輪傳送單元的立體示意圖。在襯底(例如：IC襯底)的制造過程中，通常利用滾輪總成以傳送襯底，滾輪總成包括多個排列的滾輪傳送單元9，如圖1所示，每一滾輪傳送單元9是由多個滾輪91及穿設通過所述多個滾輪91的滾輪軸92所組成。而在利用滾輪總成傳送襯底的過程中，襯底上的一些高分子聚合物及染料(例如：還未固化的防焊層(Soler Mask)或干膜(Dry Film))常會黏附在滾輪91的表面上，造成滾輪總成的污染。

常規(guī)的清洗滾輪總成方法是將各個滾輪傳送單元9自滾輪總成拆卸下來，再以人工清洗的方式逐一將黏附在滾輪傳送單元9的滾輪91上的污染物予以去除；然而，利用人工清洗的方式經常無法有效地清除掉黏附在滾輪91表面上的污染物，如果滾輪單元9在清洗過后仍在其滾輪91的表面上黏附有殘余的污染物，如此在進行下一個傳送襯底的動作時，殘余的污染物可能會透過滾輪91與襯底的接觸，而交叉污染到下一個被傳送的襯底，如此則會使得被傳送的襯底產生刮痕或造成短路。此外，利用人工清洗的方式常容易因人為的不當清洗或擦拭而造成滾輪91表面上的損傷(因為滾輪91的材質通常為塑料，例如：聚丙烯(Polypropylene，PP))，如此會使得滾輪91的表面更容易被污染物黏附，或者造成滾輪傳送單元9本身的損壞。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一方面是關于一種清洗裝置。在實施例中，所述清洗裝置包含第一槽、第二槽、第三槽及第四槽，其中所述第一槽包括第一槽體及至少一個第一超聲波震蕩器， 所述第二槽包括第二槽體及至少一個高壓噴洗設備，所述第三槽包括第三槽體及至少一個第三超聲波震蕩器，所述第四槽包括第四槽體及至少一個第四超聲波震蕩器。

本揭露本發(fā)明的另一方面是關于一種清洗待清洗工件的方法。所述清洗方法包含：a)將至少一個待清洗工件浸置于一堿性清洗液中，且對所述堿性清洗液提供超聲波震蕩；b)將水以高壓噴流方式沖洗所述待清洗工件；c)將所述待清洗工件浸置于一酸性清洗液中，且對所述酸性清洗液提供超聲波震蕩；及d)將所述待清洗工件浸置于水中，且對所述水提供超聲波震蕩。

本發(fā)明的又一方面是關于一種用于清洗IC襯底傳送滾輪的清洗液。所述清洗液包含：約52.5wt％至約60wt％硫酸及/或硝酸；及約6wt％至約8.75wt％過氧化氫。

附圖說明

圖1展示用于傳送襯底的滾輪總成的滾輪傳送單元的立體示意圖。

圖2展示本發(fā)明的清洗裝置的一實施例的示意圖。

圖3展示本發(fā)明的清洗裝置的吊掛設備的吊掛架的一實施例的立體示意圖。

圖4展示本發(fā)明的清洗裝置的第一槽的示意圖。

圖5展示本發(fā)明的清洗裝置的第二槽的示意圖。

圖6展示本發(fā)明的清洗裝置的第三槽的示意圖。

圖7展示本發(fā)明的清洗裝置的第四槽的示意圖。

圖8展示本發(fā)明的清洗裝置的第五槽的示意圖。

具體實施方式

參考圖2，展示本發(fā)明的清洗裝置100的實施例的示意圖。清洗裝置100具有第一槽1、第二槽2、第三槽3、第四槽4、第五槽5及吊掛設備7。在本實施例中，清洗裝置100是用以清洗IC襯底滾輪傳送單元9的傳送滾輪91(圖1)；然而，可以理解的是，清洗裝置100也可以用以清洗其它種類的待清洗工件。

該第一槽1具有至少一個第一槽體11及至少一個第一超聲波震蕩器113，在本實施例中，第一槽1具有三個第一槽體11，且每個第一槽體11內具有三個第一超聲波震蕩器113。在其它實施例中，第一槽1也可以具有一個、兩個或三個以上的第一槽體11，且每個第一槽體11內可以具有一個或兩個第一超聲波震蕩器113。

該第二槽2具有至少一個第二槽體21及至少一個高壓噴洗設備213，在本實施例中，第二槽2具有一個第二槽體21，且第二槽體21內具有多個高壓噴洗設備213。在其它 實施例中，第二槽2也可以具有一個以上的第二槽體21，且每個第二槽體21內可以具有不限數(shù)目的高壓噴洗設備213。

該第三槽3具有至少一個第三槽體31及至少一個第三超聲波震蕩器313，在本實施例中，第三槽3具有三個第三槽體31，且每個第三槽體31內具有三個第三超聲波震蕩器313。在其它實施例中，第三槽3也可以具有一個、兩個或三個以上的第三槽體31，且每個第三槽體31內可以具有一個或兩個第三超聲波震蕩器313。

該第四槽4具有至少一個第四槽體41及至少一個第四超聲波震蕩器413，在本實施例中，第四槽41具有一個第四槽體41，且第四槽體41內具有三個第四超聲波震蕩器413。在其它實施例中，第四槽4也可以具有一個以上的第四槽體41，且每個第四槽體41內可以具有一個或兩個第四超聲波震蕩器413。

該第五槽5是具有至少一個第五槽體51及至少一個風切設備515。在本實施例中，第五槽5具有一個第五槽體51，且第五槽體51內具有多個風切設備515。在其它實施例中，第五槽5也可以具有一個以上的第五槽體51，且每個第五槽體51內可以具有不限數(shù)目的風切設備515。

該吊掛設備7是可橫跨第一槽體11、第二槽體21、述第三槽體31、第四槽體41及第五槽體51。吊掛設備7可吊掛起位于吊掛架71的至少一個待清洗工件，且將清洗工件依序搬移到第一槽體11、第二槽體21、第三槽體31、第四槽體41及第五槽體51。在本實施例中，待清洗工件是為滾輪傳送單元9。

參考圖3，展示圖2中的吊掛設備7的吊掛架71的立體示意圖。吊掛架71是用于安置多個滾輪傳送單元9，如此使得吊掛設備7可吊掛起多個滾輪傳送單元9，并將多個滾輪傳送單元9搬移到第一槽體11、第二槽體21、第三槽體31、第四槽體41及第五槽體51。吊掛架71具有橫向本體75及兩個分別裝設鄰近橫向本體75的兩端的固持件73。每一固持件73的一端是固接于橫向本體75，且兩個固持件73是彼此平行。兩個固持件73分別具有多個彼此相互對應的固持溝槽731，如此，滾輪傳送單元9的滾輪軸92的二端可滑入所述固持溝槽731中，以使?jié)L輪傳送單元9被所述固持件73所固持。根據(jù)如圖3所示的構形，一個吊掛架71可同時吊掛起多個滾輪傳送單元9，在本實施例中，一個吊掛架71可吊掛12個滾輪傳送單元9。

參考圖4，展示圖2中的第一槽1的示意圖。第一槽體11是大致為具有上開口的槽體，其是用于容納堿性清洗液81。因第一槽體11需用于容納堿性清洗液81，第一槽體11是使用抗堿腐蝕材質所制成，如可用不銹鋼材料所制成，尤其優(yōu)選為使用SUS316-3t等級以上的不銹鋼材質。第一槽體11內具有至少一個第一超聲波震蕩器113，而由圖4 所示的實施例，第一槽體具有兩個第一超聲波震蕩器113設置于其側壁及一個第一超聲波震蕩器113設于其底部。第一超聲波震蕩器113是用于提供容納于第一槽體11中的堿性清洗液81超聲波震蕩。在本實施例中，第一槽1更具有第一承載裝置12，鄰設于第一槽體11，用以承載吊掛架71。在本實施例中，第一承載裝置12是位于第一槽體11的上開口附近；在其它實施例中，第一承載裝置12也可以位于其它位置。

當?shù)鯍煸O備7(圖2)的吊掛架71吊起多個欲清潔的滾輪傳送單元9并將吊掛架71置放于第一承載裝置12上，以使多個欲清潔的滾輪傳送單元9浸泡于堿性清洗液81中，第一槽體11內的第一超聲波震蕩器113可提供堿性清洗液81超聲波震蕩，此時，堿性清洗液81可去除殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的高分子聚合物。在本實施例中，由第一超聲波震蕩器113所提供的超聲波震蕩的功率范圍是在2000W至3800W之間。

此外，第一槽1可更具有熱交換器(未示出)，用于提升容納于第一槽體11中的堿性清洗液81的溫度，如此可加強堿性清洗液81與殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的高分子聚合物之間的活性作用，以進一步提升堿性清洗液81去除滾輪91上的高分子聚合物的清洗效率。在本實施例中，堿性清洗液81的清洗溫度范圍是在于約50℃至約60℃之間。此外，為避免堿性清洗液81產生過高的溫度而造成堿性清洗液81不穩(wěn)定，第一槽1進一步具有冷卻系統(tǒng)(未示出)，冷卻系統(tǒng)可適時的作用以使堿性清洗液81不會產生過高的溫度，或可維持優(yōu)選的清洗溫度。

參考圖5，展示圖2中的第二槽2的示意圖。第二槽體21是大致為具有上開口的槽體，其內具有至少一個高壓噴洗設備213，如圖5所示，第二槽體21的二內側壁上裝設有多個高壓噴洗設備213。第二槽體21主要容納由高壓噴洗設備213所噴出的水，故其可使用塑料材料所制成，例如為使用聚丙烯(Polypropylene，PP)材料所制成；此外，第二槽體21不只容納由高壓噴洗設備213所噴出的水，也包含由滾輪傳送單元9所沖洗下來的少量的殘余堿性清洗液，故可使用不銹鋼材料制成第二槽體21，例如可使用SUS316-3t等級以上的不銹鋼材質。在本實施例中，第二槽2更具有第二承載裝置22，鄰設于第二槽體21，用以承載吊掛架71。在本實施例中，第二承載裝置22是位于第二槽體21的上開口附近；在其它實施例中，第二承載裝置22也可以位于其它位置。

當?shù)鯍煸O備7(圖2)的吊掛架71將通過第一槽1清洗的滾輪傳送單元9自第一槽體11移到第二槽體21中(此時吊掛架71是置放于第二承載裝置22)，第二槽體21內的高壓噴洗設備213可提供高壓水洗以沖洗滾輪傳送單元9上所殘余的堿性清洗液。在本實施例中，高壓噴洗設備213所提供的噴洗水洗的壓力大致為1kg/cm²，且高壓噴洗設備213可沿第二槽體21的高度方向上下移動，如此以提供更全面的高壓水洗。在其它實施 例中，高壓設備213不只可設置于第二槽體21的內側壁上，也可視需要設置于第二槽體21的內部的其它位置，如第二槽體21內部的底部或頂部。

參考圖6，展示圖2中的第三槽3的示意圖。第三槽體31是大致為具有上開口的槽體，其是用于容納一酸性清洗液82。因第三槽體31需用于容納酸性清洗液82，第三槽體31是使用抗酸腐蝕材質所制成，如可用不銹鋼材料所制成，尤其優(yōu)選為使用SUS316-3t等級以上的不銹鋼材質。第三槽體31內具有至少一個第三超聲波震蕩器313，而由圖6所示的實施例，第三槽體31內具有兩個第三超聲波震蕩器313設置于其側壁及一個第三超聲波震蕩器313設于其底部。第三超聲波震蕩器313是用于提供容納于第三槽體31中的酸性清洗液82超聲波震蕩。在本實施例中，第三槽3更具有第三承載裝置32，鄰設于第三槽體31，用以承載吊掛架71。在本實施例中，第三承載裝置32是位于第三槽體31的上開口附近；在其它實施例中，第三承載裝置32也可以位于其它位置。

當?shù)鯍煸O備7(圖2)的吊掛架71將通過第二槽2高壓水洗的滾輪傳送單元9自第二槽體21移到第三槽體31中(此時吊掛架71是置放于第三承載裝置32)，以使多個滾輪傳送單元9浸泡于酸性清洗液82中，第三槽體31內的第三超聲波震蕩器313可提供酸性清洗液82超聲波震蕩，此時，酸性清洗液82可去除殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的染色劑。在本實施例中，由第三超聲波震蕩器313所提供的超聲波震蕩的功率范圍是在2000W至3800W之間。第三超聲波震蕩器313所提供的超聲波震蕩的功率與第一超聲波震蕩器113所提供的超聲波震蕩的功率可相同或不同。

此外，第三槽3可更具有熱交換器(未示出)，用于提升容納于第三槽體31中的酸性清洗液82的溫度，如此可加強酸性清洗液82與殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的染色劑之間的活性作用，以進一步提升酸性清洗液82去除滾輪91上的染色劑的清洗效率。在本實施例中，酸性清洗液82的清洗溫度范圍是在于約50℃至約60℃之間。此外，為避免酸性清洗液82產生過高的溫度而造成酸性清洗液82不穩(wěn)定，第三槽3進一步具有冷卻系統(tǒng)(未示出)，冷卻系統(tǒng)可適時的作用以使酸性清洗液82不會產生過高的溫度，或可維持優(yōu)選的清洗溫度。

參考圖7，展示圖2中的第四槽4的示意圖。第四槽體41是大致為具有上開口的槽體，其是用于容納水83。因第四槽體41主要容納水83，故其可使用塑料材料所制成，例如為使用聚丙烯(Polypropylene，PP)材料所制成；此外，因第四槽體41不只容納水83，也包含由滾輪傳送單元9所沖洗下來的少量的殘余酸性清洗液，故可使用不銹鋼材料制成第二槽體41，尤其優(yōu)選可使用SUS316-3t等級以上的不銹鋼材質。第四槽體41內具有至少一個第四超聲波震蕩器413，而由圖7所示的實施例，第四槽體41具有兩個 第四超聲波震蕩器413設置于其側壁及一個第四超聲波震蕩器413設于其底部。第四超聲波震蕩器413是用于提供容納于第四槽體41中的水83超聲波震蕩。在本實施例中，第四槽4更具有第四承載裝置42，鄰設于第四槽體41，用以承載吊掛架71。在本實施例中，第四承載裝置42是位于第四槽體41的上開口附近；在其它實施例中，第四承載裝置42也可以位于其它位置。

當?shù)鯍煸O備7(圖2)的吊掛架71將通過第三槽3清洗的滾輪傳送單元9自第三槽體31移到第四槽體41中(此時吊掛架71是置放于第四承載裝置42)，以使多個滾輪傳送單元9浸泡于水83中，第四槽體41內的第四超聲波震蕩器413可提供水83超聲波震蕩，此時，水83可去除殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的酸性清洗液。在本實施例中，由第四超聲波震蕩器413所提供的超聲波震蕩的功率范圍是在2000W至3800W之間。第四超聲波震蕩器413所提供的超聲波震蕩的功率與第一超聲波震蕩器113或第三超聲波震蕩器313所提供的超聲波震蕩的功率可相同或不同。

參考圖8，展示圖2中的第五槽5的示意圖。通常，欲清潔的滾輪傳送單元9經過上述第一槽1至第四槽4的連續(xù)清洗過程已清潔完成；然而，清洗裝置100也可進一步具有第五槽5，第五槽5是為風切槽，其具有第五槽體51、多個風切設備515及第五承載裝置52。第五槽體51大致為具有上開口的槽體，且其材質不限。如圖8所示，第五槽體51的二內側壁上裝設有多個風切設備515。當?shù)鯍煸O備7(圖2)的吊掛架71將通過第四槽4清洗的滾輪傳送單元9自第四槽體41移到第五槽體51中(此時吊掛架71是置放于第五承載裝置52)，第五槽體51內的風切設備515是可提供風吹氣流以風干滾輪傳送單元9上所殘余的水。

再參考圖2，以下是說明本發(fā)明的清洗待清洗工件的清洗方法的實施例。在本實施例中，待清洗工件是為滾輪傳送單元9：然而在其它實施例中，待清洗工件也可以是其它種類的工件。在圖2所示的實施例中，使用者可將至少一個欲清洗的滾輪傳送單元9吊掛于吊掛設備7的吊掛架71上，吊掛架71可同時安置十兩個滾輪傳送單元9，而吊掛設備7具有三個吊掛架71，故吊掛設備7可同時吊起三十六個欲清洗的滾輪傳送單元9。

首先，將至少一個待清洗工件浸置于堿性清洗液中，且對堿性清洗液提供超聲波震蕩。在本實施例中，使用者可利用遙控或手動的方式將吊掛設備7所吊掛的多個滾輪傳送單元9置放于第一槽1的第一槽體11中，以使所述滾輪傳送單元9浸泡于堿性清洗液81中。在本實施例中，待清洗工件是為滾輪傳送單元9上的IC襯底傳送滾輪92，堿性清洗液81包括氫氧化鈉(NaOH)、乙二醇單丁醚(Ethylene Glycol Monobutyl Ether)及水。 當所述滾輪傳送單元9浸泡于堿性清洗液81中，可開啟第一槽體11內的第一超聲波震蕩器113，以對堿性清洗液81提供超聲波震蕩，如此，黏附于滾輪傳送單元9的滾輪91上的高分子聚合物可被具有超聲波震蕩的堿性清洗液81所清除。再者，使用者可利用第一槽體11內的熱交換器及冷卻系統(tǒng)以加熱及冷卻堿性清洗液81，而將堿性清洗液81的清洗溫度范圍控制在于約50℃至約60℃之間，以增加堿性清洗液81與殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的高分子聚合物之間的活性作用，如此可進一步提升堿性清洗液去除滾輪91上的高分子聚合物的清洗效率。

接著，將水以高壓噴流方式沖洗待清洗工件。在本實施例中，當所述滾輪傳送單元9經過第一槽1的堿性清洗液81的清洗過后，使用者可利用遙控或手動的方式將吊掛設備7所吊掛的多個滾輪傳送單元9由第一槽1的第一槽體11移動到第二槽2的第二槽體21中。當所述滾輪傳送單元9被移動到第二槽體21中，第二槽體21內的高壓噴洗設備213是可提供高壓水洗以沖洗滾輪傳送單元9上所殘余的堿性清洗液，如之前所述，高壓噴洗設備213所提供的優(yōu)選噴洗水洗的壓力大致為1kg/cm²。

接著，將待清洗工件浸置于酸性清洗液中，且對酸性清洗液提供超聲波震蕩。在本實施例中，當所述滾輪傳送單元9經過第二槽2的高壓水洗過后，使用者可利用遙控或手動的方式將吊掛設備7所吊掛的多個滾輪傳送單元9由第二槽2的第二槽體21移動到第三槽3的第三槽體31中，以使所述滾輪傳送單元9浸泡于酸性清洗液82中。在本實施例中，酸性清洗液82包含約52.5wt％至約60wt％硫酸(H₂SO₄)及/或硝酸(HNO₃)，以及約6wt％至約8.75wt％過氧化氫(H₂O₂)。在本實施例中，酸性清洗液82是由濃度為70wt％至75wt％的硫酸溶液及/或硝酸溶液，以及濃度為30wt％至35wt％的過氧化氫溶液所制備，其中硫酸溶液及/或硝酸溶液占清洗液82的75wt％至80wt％，且過氧化氫溶液占清洗液82的20wt％至25wt％。

當所述滾輪傳送單元9浸泡于酸性清洗液82中，可開啟第三槽體31內的第三超聲波震蕩器313，以對酸性清洗液82提供超聲波震蕩，如此，黏附于滾輪傳送單元9的滾輪91上的染色劑可被具有超聲波震蕩的酸性清洗液82所清除。如之前所述，由第三超聲波震蕩器313所提供的超聲波震蕩的功率范圍是在2000W至3800W之間。再者，使用者可利用第三槽體31內的熱交換器及冷卻系統(tǒng)以加熱及冷卻酸性清洗液82，而將酸性清洗液82的清洗溫度范圍控制在于約50℃至約60℃之間，以增加酸性清洗液82與殘留在滾輪傳送單元9的滾輪91上的染色劑之間的活性作用，如此可進一步提升酸性清洗液82去除滾輪91上的染色劑的清洗效率。

接著，將待清洗工件浸置于水中，且對水提供超聲波震蕩。在本實施例中，當所述 滾輪傳送單元9經過第三槽3的酸性清洗液82的清洗過后，使用者可利用遙控或手動的方式將吊掛設備7所吊掛的多個滾輪傳送單元9由開第三槽3的第三槽體31移動到第四槽4的第四槽體41中，以使所述滾輪傳送單元9浸泡于水83中。當所述滾輪傳送單元9浸泡于水83中，可開啟第四槽體41內的第四超聲波震蕩器413，以對水83提供超聲波震蕩，如此，殘余于滾輪傳送單元9的滾輪91上的酸性清洗液可被具有超聲波震蕩的水83所清除。如之前所述，由第四超聲波震蕩器413所提供的超聲波震蕩的功率范圍是在2000W至3800W之間。

最后，當所述滾輪傳送單元9經過第四槽4的水83的清洗過后，使用者可利用遙控或手動的方式將吊掛設備7所吊掛的多個滾輪傳送單元9由第四槽4的第四槽體41移動到第五槽5的第五槽體51中。當所述滾輪傳送單元9被移動到第五槽體51中，第五槽體51內的風切設備515可提供風切氣流以風干滾輪傳送單元9上所殘余的水。

在本實施例中，清洗裝置100及清洗方法可達到自動化清洗的效果，因而可節(jié)省人力，提高清洗效率。再者，清洗裝置100及清洗方法可有效地清除掉黏附在工件表面上的污染物，且不需人工擦拭，而可提高清洗品質。

惟上述實施例僅為說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用以限制本發(fā)明。因此，習于此技術的人士對上述實施例進行修改及變化仍不脫本發(fā)明的精神。本發(fā)明的權利范圍應如后述的權利要求書所列。