專利名稱：用于制造聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及--種制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,更具體地說,是涉及 一種可在制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷過程中用于去除聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷表面和 內(nèi)部氣泡，并進行成型的裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代微電子工業(yè)的發(fā)展，向大規(guī)模高集成度的方向發(fā)展，對精度和潔凈度均有極 岢刻的要求.特別是作為后道工序化學(xué)機械研磨(CMP)清洗用的聚乙烯醇縮甲醛海綿 輥刷(見附圖一)，又名化學(xué)機械研磨PVA刷子，(簡稱為PVA刷子或PVF刷子)由聚 乙烯醇縮甲醛海綿多孔質(zhì)材料構(gòu)成。適用于高端清洗用的PVA刷子，需具備如下物理特 性及清洗效能有效的開泡率83%，93%.孔徑:20μη廠750_. 0. 2 2. 0 μ m微粒子(LPC) < 1000unit/cm2.偏心度<0. 5mm.吸水率x8 xlO. 5 ；處于濕潤狀態(tài)且具有良好彈性的PVA 刷子由多孔質(zhì)材料構(gòu)成，清洗用PVA刷子內(nèi)任意截面及外表面均不能含有大于>0750 μ m 的氣泡，才能達到高精度,高潔凈度的清洗要求.化學(xué)機械研磨(CMP)清洗的重點，是去除研磨過程中帶來的所有污染物。研磨過 程中晶圓會接觸到腐蝕性化學(xué)品并承受較大的外界壓力，導(dǎo)致其表面或次表面區(qū)域發(fā)生變 形或破壞,將影響到器件的穩(wěn)定性.CMP清洗的主要目的是去除研磨劑殘留、金屬污染物以 及游離態(tài)離子.去除硅片表面的污染物,首先要通過機械方法或者用化學(xué)腐蝕污染物表面 減小與基底的接觸，然后通過刷洗和水流的沖擊而避免顆粒重新粘附到物體表面。在硅晶 片、光掩膜、液晶玻璃基板、電腦硬盤等CMP加工工序中、由于PVA刷子具有極佳的柔軟性， 不會傷及精細物體表面、不脫梢,不會造成二次污染,耐化學(xué)腐蝕,具有良好的親水性和可 高達10倍的吸水率,適合于進行這類高精度,高潔凈度的沖洗要求,PVA刷子外表面規(guī)則排 列的結(jié)節(jié)，能有效增加與被清洗物的接觸面積，該結(jié)節(jié)頂部旋轉(zhuǎn)接觸被沖洗體，從而進行刷 洗。傳統(tǒng)用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的制造方法,不能去除聚乙烯醇縮甲醛海 棉輥刷表面和內(nèi)部>0750 U m氣泡，因而存在清洗效能及成品率低的缺陷。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷，提供一種在制造聚乙烯醇縮 甲醛海棉輥刷過程中用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,可去除聚乙烯醇縮甲醛海 棉輥刷表面和內(nèi)部><750 μ m氣泡,從而提高聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的清洗效能,還可 大大提高成品率。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的技術(shù)方案如下提供一種用于制造聚乙烯醇 縮甲醛海棉輥刷的裝置，包括振動工作臺，垂直固定在振動工作臺上的模具，所述模具是由 底座，與底座固定連接的外套筒,套設(shè)在外套筒內(nèi)側(cè)壁上的內(nèi)套筒,沿內(nèi)套筒中心軸線裝設(shè) 在內(nèi)套筒內(nèi)一芯棒構(gòu)成,該芯棒的下端與底座固定連接，內(nèi)套筒內(nèi)側(cè)壁上均布有用于聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結(jié)節(jié)成型的形通孔，芯棒上端與內(nèi)套筒上部開口形成進料口。 本實用新型所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的有益效果是通 過構(gòu)造一振動工作臺，在振動工作臺上裝設(shè)模具，模具垂直固定于振動工作臺上,所述模具 是由底座,與底座固定連接的外套筒,套設(shè)在外套筒內(nèi)側(cè)壁上的內(nèi)套筒，沿內(nèi)套筒中心軸線 裝設(shè)在內(nèi)套筒內(nèi)一芯棒構(gòu)成,該芯棒的下端與底座固定連接，內(nèi)套筒內(nèi)側(cè)壁上均布有用于 聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結(jié)節(jié)成型的通孔，芯棒____匕端與內(nèi)套筒上部幵口形成進料口，將 已制備的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液,邊高速攪拌邊灌注入模具內(nèi)，在高速攪拌及灌注的過 程中，較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內(nèi)混入大量的空氣而產(chǎn)生大量的氣泡；啟動振 動工作臺，邊調(diào)整震動工作臺的震動頻率和震動幅度，邊觀測氣泡的逸出狀態(tài),逸出的氣泡 越大越多，即為所應(yīng)設(shè)定的最佳震動頻率和震動幅度，使混合漿液內(nèi)的氣泡碰撞破裂而聚 合成大氣泡.更大的氣泡在混合漿液內(nèi)具有足夠的上浮力大氣泡，上升到聚乙烯醇縮甲醛 混合溶液頂部,接觸空氣而破裂,從而將較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內(nèi)直徑大于 Φ750μηι的氣泡除去；將模具連同混合漿液置于一密封的蒸汽空間使聚乙烯醇縮甲醛混 合溶反應(yīng)成型，充分冷卻后起模.并進行清洗，得到氣泡直徑小于Φ750μηι的聚乙烯醇縮 甲醛海棉輥刷。能提高聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的清洗效能，還可大大提高成品率，適用于 硅晶片、光掩膜、液晶玻璃基板、電腦硬盤等CMP加工工序，滿足進行這類高精度，高潔凈度 的沖洗要求。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷 的裝置作進一步說明。

圖1是本實用新型所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的局部剖視 立體圖；圖2是本實用新型所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的模具的局 部剖視立體圖；圖3是本實用新型所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的模具的分 解結(jié)構(gòu)立體圖。
具體實施方式
以下本實用新型所述用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的最佳實例，并不 因此限定本實用新型的保護范圍。參照圖1、圖2、圖3，提供一種用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,包括振 動工作臺1,垂直固定在振動工作臺上的模具2,所述模具2是由底座3,與底座1固定連接 的外套筒4，套設(shè)在外套筒4內(nèi)側(cè)壁上的內(nèi)套筒5，沿內(nèi)套筒5中心軸線裝設(shè)在內(nèi)套筒5內(nèi) 一芯棒6構(gòu)成，該芯棒6的下端與底座1固定連接，內(nèi)套筒5內(nèi)側(cè)壁上均布有用于聚乙烯醇 縮甲醛海棉輥刷的結(jié)節(jié)成型的通孔7,芯棒6上端與內(nèi)套筒5上部開口形成進料口 8。所述通孔8是圓臺形通孔或圓柱形通孔。上述實施例為本實用新型較佳的實施方式，但本實用新型的實施方式并不受上述 實施例的限制,其他的任何未背離本實用新型的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置，包括振動工作臺(1)，垂直固定在振動工作臺上的模具(2)，其特征在于，所述模具(2)是由底座(3)，與底座(1)固定連接的外套筒(4)，套設(shè)在外套筒(4)內(nèi)側(cè)壁上的內(nèi)套筒(5)，沿內(nèi)套筒(5)中心軸線裝設(shè)在內(nèi)套筒(5)內(nèi)一芯棒(6)構(gòu)成，該芯棒(6)的下端與底座(1)固定連接，內(nèi)套筒(5)內(nèi)側(cè)壁上均布有用于聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結(jié)節(jié)成型的通孔(6)，芯棒(6)上端與內(nèi)套筒(5)上部開口形成進料口(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置，其特征在于，所 述通孔(6)是圓臺形通孔或圓柱形通孔。
專利摘要本實用新型公開了一種用于制造聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的裝置，包括振動工作臺，垂直固定在振動工作臺上的模具，所述模具是由底座，與底座固定連接的外套筒，套設(shè)在外套筒內(nèi)側(cè)壁上的內(nèi)套筒，沿內(nèi)套筒中心軸線裝設(shè)在內(nèi)套筒內(nèi)一芯棒構(gòu)成，該芯棒的下端與底座固定連接，內(nèi)套筒內(nèi)側(cè)壁上均布有用于聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的結(jié)節(jié)成型的通孔，芯棒上端與內(nèi)套筒上部開口形成進料口。將已制備的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液，邊高速攪拌邊灌注入模具內(nèi)；啟動振動工作臺，使混合漿液內(nèi)的氣泡碰撞破裂而聚合成大氣泡，上升到聚乙烯醇縮甲醛混合溶液頂部，接觸空氣而破裂，從而將較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內(nèi)的氣泡除去。
文檔編號B29C39/26GK201613610SQ20102010334
公開日2010年10月27日 申請日期2010年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月28日
發(fā)明者黃慶森 申請人:黃慶森