用于聚乙烯醇海綿刷的刷心軸的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于清潔基材的清潔設(shè)備。所述清潔設(shè)備包括基本為圓柱形的刷心軸和圓柱形刷。刷心軸具有其外表面圍繞中心軸定位的主體部分。外表面被接合元件截?cái)?，所述接合元件具有靠近次要特征的主要特征。刷子具有圍繞刷心軸成形的中空腔，其內(nèi)表面被跟第一接合元件相配合的第二接合元件截?cái)?。主要特征基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形并且包括基本上垂直于外表面的第一面。次要特征包括基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面。主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征。
【專利說(shuō)明】用于聚乙烯醇海綿刷的刷心軸
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
[0002]本申請(qǐng)以2011年6月8日向美國(guó)專利商標(biāo)局提交的申請(qǐng)?zhí)枮?1/494，786且發(fā)明名稱為“用于聚乙烯醇海綿刷的刷芯(BRUSH CORE FOR PVA SPONGE BRUSH) ”的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)為基礎(chǔ)并且要求其優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，因此在法律允許的范圍內(nèi)通過全文引用而將其內(nèi)容并入。
[0003]本申請(qǐng)以2011年6月8日向美國(guó)專利商標(biāo)局提交的申請(qǐng)?zhí)枮?9/393，743且發(fā)明名稱為“用于聚乙烯醇海綿刷的刷芯(BRUSH CORE FOR PVA SPONGE BRUSH) ”的美國(guó)設(shè)計(jì)專利申請(qǐng)為基礎(chǔ)并且要求其優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，因此在法律允許的范圍內(nèi)通過全文引用而將其內(nèi)容并入本文。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0004]本發(fā)明主要涉及用于清潔物品的過程和設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于固定清潔半導(dǎo)體基材所用刷子的刷心軸。
【背景技術(shù)】
[0005]鑄鐵圓柱形聚乙烯醇刷通常在自動(dòng)清潔系統(tǒng)內(nèi)用于提供CMP (化學(xué)機(jī)械平坦化)后處理過程來(lái)有效地清潔基材表面例如半導(dǎo)體晶圓或其他的圓盤形基材。鑄鐵圓柱形聚乙烯醇刷在清潔系統(tǒng)內(nèi)還用于在平板顯示器制造、玻璃生產(chǎn)和印刷電路板組裝中清潔和干燥玻璃以及其他的非圓盤形基材。圓柱形刷優(yōu)選地具有例如短至50毫米或者長(zhǎng)達(dá)10米的長(zhǎng)度。
[0006]在清潔過程中，圓柱形刷位于中央刷心軸上并由其驅(qū)動(dòng)。在圓柱形刷和中央刷心軸之間需要有準(zhǔn)確且穩(wěn)定的連接。圓柱形刷在其外表面上可設(shè)有結(jié)節(jié)以幫助清潔基材。
[0007]圓柱形刷應(yīng)該準(zhǔn)確地繞其軸旋轉(zhuǎn)并且在其有效期內(nèi)提供基本為圓柱形的表面和基本穩(wěn)定的結(jié)節(jié)壓力模式以在最短的時(shí)間內(nèi)對(duì)基材表面損傷最小地確定整個(gè)基材表面的最佳清潔效果。
[0008]在某些情況下，圓柱形刷是圍繞中央刷心軸成形。例如可以將刷心軸放置在模具內(nèi)并將例如聚乙烯醇等化學(xué)制品的混合物注入模具內(nèi)以圍繞中央刷心軸制成圓柱形刷。參照?qǐng)D1A和圖1B，在現(xiàn)有的刷心軸設(shè)計(jì)中，刷心軸30可以包括成形在刷心軸30的外表面54上的多個(gè)異形的角落、裂紋和裂縫52以更好地接合和固定圓柱形刷。由于圓柱形刷110是圍繞刷心軸30成形，因此在圓柱形刷110成形時(shí)氣泡可能會(huì)被截留在裂縫52內(nèi)并且滯留在裂縫52內(nèi)或者上升并且被截留在圓柱形刷110中。截留的氣泡在圓柱形刷110內(nèi)形成缺陷從而妨礙圓柱形刷110實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)效果。
[0009]另外，有時(shí)在圓柱形刷的使用期內(nèi)，刷子通常會(huì)由于在刷心軸上局部滑動(dòng)而表現(xiàn)出軸向或旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的趨勢(shì)，并且這將被視為性能不理想。因此，希望擁有一種刷心軸，所述刷心軸能夠在圓柱形刷和中央刷心軸之間提供準(zhǔn)確且穩(wěn)定的連接并且能夠避免氣泡形成或者被截留在圓柱形刷內(nèi)。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]在一種應(yīng)用中，提供了一種用于清潔基材的清潔設(shè)備。所述清潔設(shè)備包括但不限于基本為圓柱形的刷心軸和圓柱形刷。刷心軸具有其外表面圍繞中心軸定位的主體部分。外表面被第一接合元件截?cái)?，所述第一接合元件具有靠近次要特征的主要特征。圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔。中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件。主要特征是基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形的第一面，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。次要特征是基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面。第二面具有比較靠近中心軸的第一部分以及比第一部分更遠(yuǎn)離中心軸的第二部分，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的軸向移動(dòng)。
[0011 ] 在一種應(yīng)用中，提供了 一種用于清潔基材的清潔設(shè)備。所述清潔設(shè)備包括但不限于基本為圓柱形的刷心軸和圓柱形刷。刷心軸具有其外表面圍繞中心軸對(duì)稱定位的主體部分。外表面被接合元件截?cái)?，所述接合元件具有靠近次要特征的主要特征。圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔。中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件。主要特征基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形并且包括基本上垂直于外表面的第一面。次要特征包括基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面。主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征。
[0012]在一種應(yīng)用中，提供了一種用于清潔基材的方法。所述方法包括但不限于接合基材與清潔設(shè)備，所述清潔設(shè)備具有基本為圓柱形的刷子，所述圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔，所述刷心軸具有包圍中心軸的外表面。外表面被第一接合元件截?cái)?，所述第一接合元件具有靠近次要特征的主要特征。圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔。中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件。主要特征基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形并且包括基本上垂直于外表面的第一面。次要特征包括基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面。主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]參照以下的附圖和說(shuō)明內(nèi)容能夠更好地理解本發(fā)明。附圖中的部件不一定是按比例的，而是將重點(diǎn)放在說(shuō)明本發(fā)明的原理上。
[0014]圖1A-1B示出了現(xiàn)有的刷子和心軸組合的各種視圖。
[0015]圖2A-2H根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例不出了刷子和刷心軸的各種視圖。
[0016]圖3根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例示出了用于清潔和拋光基材的清潔系統(tǒng)的透視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]符合本發(fā)明的方法和系統(tǒng)通過減少刷子的旋轉(zhuǎn)和軸向滑動(dòng)以及將刷子內(nèi)形成的多余氣泡減到最少來(lái)克服常規(guī)的刷子和刷心軸系統(tǒng)的缺點(diǎn)。具體地，一種圓柱形刷被圍繞刷心軸成形，所述刷心軸具有被第一接合元件截?cái)嗟耐獗砻妫龅谝唤雍显哂兄饕卣骱痛我卣?，由于主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征，因此在圍繞刷心軸成形刷子時(shí)避免在第一接合元件內(nèi)截留任何氣泡。
[0018]參照?qǐng)D3，示出了用于清潔和拋光基材104的清潔系統(tǒng)100。優(yōu)選地，清潔系統(tǒng)100是自動(dòng)清潔系統(tǒng)，能夠自動(dòng)或手動(dòng)地設(shè)置用于拋光和/或清潔基材104并且更具體地說(shuō)是基材104的表面106?；?04包括各種圓盤形或非圓盤形基材中的任意一種，例如:娃基的基材，包括玻璃、干玻璃、半導(dǎo)體晶圓、平板顯示器玻璃面板、玻璃生產(chǎn)面板和印刷電路板；聚合物基的基材；還有各種類型的半導(dǎo)體基材例如硅基半導(dǎo)體基材、單元素半導(dǎo)體基材、絕緣體上硅(SOI)型基材、II1-V族半導(dǎo)體基材、I1-VI族半導(dǎo)體基材、其他二元半導(dǎo)體基材、三元半導(dǎo)體基材、四元半導(dǎo)體基材；光纖基材；超導(dǎo)基材；玻璃基材；熔融石英基材；溶融娃石基材；外延娃基材；以及有機(jī)半導(dǎo)體基材。
[0019]參照?qǐng)D2A-2G和圖3，清潔系統(tǒng)100包括基本為圓柱形的具有中空腔112的刷子110、在中空腔112內(nèi)接合刷子110的刷心軸130以及接合刷心軸130的旋轉(zhuǎn)設(shè)備102。圓柱形刷110可以是用于或一般可用于自動(dòng)清潔系統(tǒng)以提供化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)后處理過程來(lái)有效地清潔基材104的表面106的任何刷子，例如鑄造圓柱形聚乙烯醇(PVA)泡棉刷、聚氨酯泡棉刷或其他的聚合物泡棉刷。
[0020]參照?qǐng)D2H，圓柱形刷110包括跟內(nèi)表面113相對(duì)以形成中空腔112且被第二接合元件116截?cái)嗟耐馇鍧嵜?14。中空腔112優(yōu)選地通過圍繞已成形的刷心軸130注模成形刷子110而被成形在刷心軸130周圍。中空腔112由圓柱形刷110的內(nèi)表面113界定。內(nèi)表面113被第二接合元件116截?cái)?，因?yàn)榈诙雍显?16被圍繞第一接合元件140成形，所以第二接合元件116跟刷心軸130的第一接合元件140相配合并圍繞第一接合元件140。
[0021]第二接合元件116界定中空腔112的輪廓并且跟刷心軸130的第一接合元件140相配合并圍繞第一接合元件140。參照?qǐng)D1B，沿著第二接合元件116的截面，沿著垂直于刷心軸130的旋轉(zhuǎn)軸al的直線A-A界定出中空腔112的輪廓。通過圍繞第一接合元件140成形第二接合元件116，刷子110即被牢固地安裝至刷心軸130，目的是為了阻止刷心軸130和刷子110之間的滑動(dòng)和移動(dòng)。
[0022]外清潔面114可以如圖3所示基本平滑，或者外清潔面114也可以如圖1B所示具有結(jié)節(jié)118以及成形在結(jié)節(jié)118之間的通道120。具有結(jié)節(jié)118和通道120可以有助于刷子110更好地清潔基材104。外清潔面114上的表面特征例如通道120、直線、邊緣、點(diǎn)或其他凸起的表面或結(jié)節(jié)118可以被加入并具有提高扭矩傳輸水平的有利效果，但是也會(huì)由于它們對(duì)外清潔面114幾何形狀改變的影響以及在刷心軸130上成形刷子110的難度而受限。
[0023]參照?qǐng)D3和圖2A-2G，刷心軸130在中空腔112內(nèi)接合刷子110。刷心軸130包括主體部分132，其成形有接合并固定至內(nèi)表面113的外表面133以界定出刷子110的中空腔112。
[0024]優(yōu)選地，刷心軸130基本為圓柱形。如本文中所定義的基本為圓柱形的元件例如圓柱形刷130是圍繞縱向中心軸al成形并且優(yōu)選地以這樣的方式關(guān)于中心軸al平衡的元件:對(duì)于相對(duì)平衡的刷心軸130而言，在元件圍繞中心軸al旋轉(zhuǎn)時(shí)由元件生成的離心力的變化不會(huì)超過±20%。因此，刷心軸130不必具有完美的圓柱形外表面133而是可以在其外表面133內(nèi)具有截?cái)嗬绲谝唤雍显?40。[0025]參照?qǐng)D2D，外表面133優(yōu)選地圍繞刷心軸130的中心軸al定位，并且外表面133更優(yōu)選地圍繞刷心軸130的中心軸al對(duì)稱定位。為了阻止旋轉(zhuǎn)移動(dòng)并且優(yōu)選地阻止刷子110和刷心軸130之間的軸向移動(dòng)，外表面133的外形或輪廓可以被第一接合元件140截?cái)?。如圖1B所示，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)在本文中被定義為圍繞旋轉(zhuǎn)軸al沿旋轉(zhuǎn)方向α的移動(dòng)。軸向移動(dòng)在本文中被定義為沿基本垂直于旋轉(zhuǎn)軸al的± 30g內(nèi)的軸向Y的移動(dòng)。第一接合元件140是為了更好地接合刷子110的第二接合元件116而截?cái)嗤獗砻?33整體輪廓的任意特征。如圖2A-2G和圖3所示，第一接合元件140在沿著外表面133的任意多個(gè)位置包括例如條帶或一系列條帶、凸紋或一系列凸紋、或者通道174或一系列通道174等特征以將刷子110有效地軸向固定至刷心軸130。
[0026]在一個(gè)實(shí)施例中，如圖2A和2B所示，第一接合元件包括沿刷心軸130的長(zhǎng)度延伸的一條通道174或一系列通道174，其方向優(yōu)選地基本平行于刷心軸130旋轉(zhuǎn)軸的± 3Os內(nèi)。但是，通道174也可以沿優(yōu)選基本垂直于刷心軸130旋轉(zhuǎn)軸的± 30s內(nèi)并且基本平行于刷心軸130旋轉(zhuǎn)方向α的士 30s內(nèi)的方向圍繞刷心軸130。在一個(gè)實(shí)施例中，通道174以螺旋的方式圍繞刷心軸130。
[0027]參照?qǐng)D2Α和2G，第一接合元件140優(yōu)選地具有靠近次要特征180的主要特征170。優(yōu)選地,主要特征170包括以基本垂直于刷心軸130圍繞中心軸al并且從外表面133開始和朝向中心軸al的旋轉(zhuǎn)方向α的方向變形的第一面172，目的是為了阻止圓柱形刷110相對(duì)于刷心軸130的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。優(yōu)選地，第一面構(gòu)成通道174的側(cè)壁。
[0028]優(yōu)選地，次要特征180是基本上以垂直于第一面172的± 303內(nèi)并且沿中心軸al的方向變形的第二面182。優(yōu)選地，第二面182也基本平行于外表面133的± 60s內(nèi)。優(yōu)選地，第二面182具有比較靠近中心軸al的第一部分184以及比第一部分184更遠(yuǎn)離中心軸al的第二部分186，目的是為了阻止圓柱形刷110相對(duì)于刷心軸130的軸向移動(dòng)。優(yōu)選地，在第一部分184和第二部分186之間設(shè)有平滑的過渡段，其中優(yōu)選地沒有銳利的邊緣或角部，目的是為了在圍繞刷心軸130成形圓柱形刷110時(shí)避免在通道174或刷子110內(nèi)截留氣泡192。優(yōu)選地，如圖2A所示，平滑的過渡段是一系列彎曲的凸部和凹部。
[0029]優(yōu)選地，通道174開始于第一端175并且終止于第二端176，并且次要特征180是在通道174底部的曲面182，在通道174的第一端175具有第一彎錐177且在通道174的第二端176具有第二彎錐178。由于可供截留氣泡192的銳利邊緣或角部較少，因此第一錐體177和第二錐體178以及曲面182有助于在圍繞刷心軸130成形圓柱形刷110時(shí)避免在通道174或刷子110內(nèi)截留氣泡192。
[0030]優(yōu)選圍繞并靠近次要特征180的主要特征140并且更優(yōu)選地是第一面172優(yōu)選地不包括成形在次要特征180上的徑向阻擋特征。徑向阻擋特征是跟從次要特征180的表面182上的點(diǎn)引出一條直線并且穿過成形在外表面133上的開口 190相比成形在次要特征180上的使直線不能穿過或觸及主要特征170任意部分的任何特征。用這種方式，在圍繞刷心軸130成形圓柱形刷110時(shí)，主要特征170的任何部分都不能阻礙或阻止氣泡192離開通道174。
[0031]參照?qǐng)D2D和2E，通孔156優(yōu)選地被成形為從主體部分132的外表面133到流體通道150以用于允許拋光液經(jīng)通道158從流體通道150到達(dá)主體部分132的外表面133和刷子 110。[0032]由于第一接合元件140和第二接合元件116，刷心軸130的外表面133和刷子110的內(nèi)表面113之間的物理配合就提供了充分的滑移阻力。這種滑移阻力能夠通過其他的方法來(lái)進(jìn)一步增強(qiáng)，包括粘合劑、心軸的(化學(xué)、物理、電暈等)表面處理或者附加的表面特征例如壓紋、銳緣、倒鉤、點(diǎn)、鍵或其他的連接特征。
[0033]參照?qǐng)D2E，2F和圖3，在一個(gè)實(shí)施例中，刷心軸130還包括旋轉(zhuǎn)接合元件160，162以用于接合并連接旋轉(zhuǎn)設(shè)備102。旋轉(zhuǎn)接合元件160，162是能夠被用于連接或緊固至另一設(shè)備的任何器件，而且包括例如跟刷心軸130整體成形并能緊固至旋轉(zhuǎn)設(shè)備102的螺母形部件等內(nèi)容。旋轉(zhuǎn)設(shè)備102包括能夠引發(fā)刷心軸130旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的任意設(shè)備，例如電機(jī)、燃?xì)鈾C(jī)或發(fā)動(dòng)機(jī)、由發(fā)動(dòng)機(jī)或人力驅(qū)動(dòng)的曲軸以及自動(dòng)或人工移動(dòng)的滑輪、滾輪、機(jī)械連接件和/或齒輪的任意組合。旋轉(zhuǎn)設(shè)備102具有跟旋轉(zhuǎn)接合元件160，162相連的適配接合元件以用于接合并連接刷心軸130和旋轉(zhuǎn)設(shè)備102。
[0034]在操作中，優(yōu)選地通過圍繞刷心軸130注模成形刷子110來(lái)圍繞刷心軸130成形刷子110。在圍繞刷心軸130成形刷子110之后，通過連接旋轉(zhuǎn)接合元件160與旋轉(zhuǎn)設(shè)備102或其上的接合元件而將刷心軸130和刷子110跟旋轉(zhuǎn)設(shè)備102相連。然后，刷子110沿旋轉(zhuǎn)方向α圍繞旋轉(zhuǎn)軸al旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)刷子110時(shí)或者在旋轉(zhuǎn)刷子110之前，刷子110被放在基材104的表面106附近并與之接合。刷子110在表面106上的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作有助于清潔和/或拋光表面106。參照?qǐng)D3，在一個(gè)實(shí)施例中，基材104也沿著旋轉(zhuǎn)方向β圍繞旋轉(zhuǎn)軸a2旋轉(zhuǎn)。在一個(gè)實(shí)施例中，拋光液被泵送通過成形在主體部分132內(nèi)的流體通道150并經(jīng)過穿透主體部分132的外表面133且到達(dá)流體通道150的通孔156送入刷子110內(nèi)。拋光液有助于進(jìn)一步清潔和/或拋光基材104。
[0035]盡管上述的說(shuō)明性示例介紹了用于清潔半導(dǎo)體基材104的圓柱形PVA刷110，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該意識(shí)到符合本發(fā)明的方法和系統(tǒng)并不僅限于此。例如，刷子110可以包括其他材料并且可以被用于清潔其他類型的表面106或基材104。此外，刷子110并不局限于具有圓柱形的形狀，而是可以具有任意的形狀或結(jié)構(gòu)。
[0036]提供公開文本的摘要以允許讀者快速掌握技術(shù)公開的實(shí)質(zhì)。應(yīng)該理解提交的摘要并不是用于解讀或限制權(quán)利要求的保護(hù)范圍或含義。另外，在以上的【具體實(shí)施方式】部分能夠看出為了讓公開內(nèi)容簡(jiǎn)明而在不同的實(shí)施例中將各種特征組合在一起。這種公開方法不應(yīng)被解讀為表達(dá)了給出的實(shí)施例跟每一項(xiàng)權(quán)利要求中明確闡述的內(nèi)容相比還需要擁有更多特征這樣的含義。相反，正如所附權(quán)利要求反映的那樣，本發(fā)明的主題內(nèi)容表現(xiàn)為少于單個(gè)公開實(shí)施例中的所有特征。因此在這里將所附權(quán)利要求并入【具體實(shí)施方式】部分，其中每一項(xiàng)權(quán)利要求自身均可作為單獨(dú)要求保護(hù)的主題。
[0037]盡管已經(jīng)介紹了本發(fā)明的各種實(shí)施例，但對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見的是在本發(fā)明的范圍內(nèi)也可以有其他的實(shí)施例和實(shí)施方式。因此，本發(fā)明只能根據(jù)所附權(quán)利要求及其等價(jià)形式加以限定。
【權(quán)利要求】
1.一種用于清潔基材的清潔設(shè)備，所述設(shè)備包括: 基本為圓柱形的刷心軸，所述刷心軸具有其外表面圍繞中心軸定位的主體部分，其中所述外表面被第一接合元件截?cái)啵龅谝唤雍显哂锌拷我卣鞯闹饕卣?；以? 圓柱形刷，所述圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔，所述中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件， 其中所述主要特征是基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形的第一面，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，其中所述次要特征是基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面，并且其中所述第二面具有比較靠近中心軸的第一部分以及比第一部分更遠(yuǎn)離中心軸的第二部分，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的軸向移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備，其中所述主要特征是開始于第一端且終止于第二端的通道，并且其中所述次要特征是在通道底部的曲面，在通道的第一端具有第一彎錐且在通道的第二端具有第二彎錐。
3.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備，其中所述主要特征不包括成形在次要特征上的徑向阻擋特征。
4.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備,其中所述主體部分成形有用于沿主體部分的中心軸接收流體的流體通道,并且其中所述主體部分成形有從主體部分的外表面到流體通道的通孔以用于讓流體從流體通道流至主體部分的外表面。
5.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備，進(jìn)一步包括跟刷心軸相連用于接合旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)接合元件。
6.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備，其中所述第一面并未構(gòu)成任何次要特征上的任何徑向阻擋特征。
7.如權(quán)利要求1所述的清潔設(shè)備，其中所述圓柱形刷在圓柱形刷的外表面上具有多個(gè)結(jié)節(jié)。
8.一種用于清潔基材的清潔設(shè)備，所述設(shè)備包括: 基本為圓柱形的刷心軸，所述刷心軸具有其外表面圍繞中心軸對(duì)稱定位的主體部分，其中所述外表面被第一接合元件截?cái)啵龅谝唤雍显哂锌拷我卣鞯闹饕卣?；以? 圓柱形刷，所述圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔，所述中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件， 其中所述主要特征基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形并且包括基本上垂直于外表面的第一面，其中所述次要特征包括基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面，并且其中主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征。
9.如權(quán)利要求8所述的清潔設(shè)備，其中所述第二面具有比較靠近中心軸的第一部分以及比第一部分更遠(yuǎn)離中心軸的第二部分，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的軸向移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的清潔設(shè)備，其中所述主要特征是開始于第一端且終止于第二端的通道，并且其中所述次要特征是在通道底部的曲面，在通道的第一端具有第一彎錐且在通道的第二端具有第二彎錐。
11.如權(quán)利要求8所述的清潔設(shè)備，其中所述主體部分成形有用于沿主體部分的中心軸接收流體的流體通道，并且其中所述主體部分成形有從主體部分的外表面到流體通道的通孔以用于讓流體從流體通道流至主體部分的外表面。
12.如權(quán)利要求8所述的清潔設(shè)備，進(jìn)一步包括跟刷心軸相連用于接合旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)接合元件。
13.如權(quán)利要求8所述的清潔設(shè)備，其中所述圓柱形刷在圓柱形刷的外表面上具有多個(gè)結(jié)節(jié)。
14.一種用于清潔基材的方法，包括: 接合基材與清潔設(shè)備，所述清潔設(shè)備具有基本為圓柱形的刷子，所述圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔，所述刷心軸具有包圍中心軸的外表面，其中所述外表面被第一接合元件截?cái)?，所述第一接合元件具有靠近次要特征的主要特征? 其中所述圓柱形刷具有圍繞刷心軸成形的中空腔，所述中空腔具有被第二接合元件截?cái)嗟膬?nèi)表面，所述第二接合元件跟刷心軸的第一接合元件相配合并圍繞第一接合元件，其中所述主要特征基本上以垂直于刷心軸圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)方向的方向變形并且包括基本上垂直于外表面的第一面，其中所述次要特征包括基本上以垂直于第一面并且沿中心軸的方向變形的第二面，并且其中主要特征不包括成形在任何次要特征上的徑向阻擋特征。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述第二面具有比較靠近中心軸的第一部分以及比第一部分更遠(yuǎn)離中心軸的第二部分，目的是為了阻止圓柱形刷相對(duì)于刷心軸的軸向移動(dòng)。`
16.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述主要特征是開始于第一端且終止于第二端的通道，并且其中所述次要特征是在通道底部的曲面，在通道的第一端具有第一彎錐且在通道的第二端具有第二彎錐。
17.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述主體部分成形有用于沿主體部分的中心軸接收流體的流體通道，并且其中所述主體部分成形有從主體部分的外表面到流體通道的通孔以用于讓流體從流體通道流至主體部分的外表面。
18.如權(quán)利要求14所述的方法，進(jìn)一步包括跟刷心軸相連用于接合旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)接合元件。
19.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述圓柱形刷在圓柱形刷的外表面上具有多個(gè)結(jié)節(jié)。
【文檔編號(hào)】A46B13/00GK103648666SQ201280032985
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月8日
【發(fā)明者】羅伯特·威利斯, 布拉德利·S.·威瑟斯 申請(qǐng)人:伊利諾斯工具制品有限公司