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一種陶瓷基板真空移載裝置的制作方法

文檔序號(hào):11369308閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種陶瓷基板真空移載裝置,包括底座,底座內(nèi)設(shè)置有控制箱,底座上部焊接有安裝座,安裝座上鉸接有擺動(dòng)臂,擺動(dòng)臂上部固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán),轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移載臂總成,移載臂總成前端設(shè)置有安裝孔,安裝孔上側(cè)和下側(cè)分別連接有第一移載臂和第二移載臂,第一移載臂具有第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),第二移載臂具有第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),第一移載臂前端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一承載支架,第一承載支架上設(shè)置有真空吸盤(pán),第二移載臂前端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二承載支架,第一承載支架上也設(shè)置有真空吸盤(pán)。陶瓷基板真空移載裝置設(shè)置有兩個(gè)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的移載臂,兩個(gè)移載臂工作過(guò)程互不影響,在移載過(guò)程中,移載架能夠同時(shí)進(jìn)行真空吸附移載,也能夠進(jìn)行懸浮移載。

技術(shù)研發(fā)人員:葉芳
受保護(hù)的技術(shù)使用者:佛山市飛時(shí)達(dá)新材料科技有限公司
文檔號(hào)碼:201621457718
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.28
技術(shù)公布日:2017.09.22

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