1.一種轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，第一回轉(zhuǎn)軸(19)，第二回轉(zhuǎn)軸(16)，進氣管支座(23)，翻轉(zhuǎn)盤(14)，吸嘴固定座(32)，直線微調(diào)機構(gòu)；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸與第一回轉(zhuǎn)軸(19)的左端固連，第一回轉(zhuǎn)軸(19)的右端與第二回轉(zhuǎn)軸(16)的左端固連，翻轉(zhuǎn)盤(14)固定在第二回轉(zhuǎn)軸(16)的右端；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)可以驅(qū)動第一回轉(zhuǎn)軸(19)、第二回轉(zhuǎn)軸(16)及翻轉(zhuǎn)盤(14)一同轉(zhuǎn)動；進氣管支座(23)套裝在第二回轉(zhuǎn)軸(19)上且通過彈性機構(gòu)被壓緊在第二回轉(zhuǎn)軸(16)的左端面，多個進氣管(25)固定在進氣管支座(23)上，通過進氣管支座(23)與第二回轉(zhuǎn)軸(16)內(nèi)部的導氣通道(161)相通；翻轉(zhuǎn)盤(14)上裝配有多個吸嘴固定座(32)，并且翻轉(zhuǎn)盤(14)與吸嘴固定座(32)之間通過滑軌副連接；各吸嘴固定座(32)上安裝有吸嘴(31)；過渡氣管(33)的左端與第二回轉(zhuǎn)軸(16)的右端固定連接，右端由翻轉(zhuǎn)盤(14)的中央通孔穿過并與吸嘴固定座(32)活動連接；第二回轉(zhuǎn)軸(16)內(nèi)部的導氣通道(161)通過過渡氣管(33)、吸嘴固定座(32)內(nèi)的氣流通道(321)與吸嘴(31)相通；回位彈簧(34)的一端與翻轉(zhuǎn)盤(14)連接，另一端與吸嘴固定座(32)連接；吸嘴固定座(32)及其上的吸嘴(31)可在直線微調(diào)機構(gòu)的作用下沿翻轉(zhuǎn)盤(14)的徑向移動，并在回位彈簧(34)的作用下回到初始位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述第一回轉(zhuǎn)軸(19)和第二回轉(zhuǎn)軸(16)分別由固定在底板(21)上的立板(22)和軸承座(15)作為支撐，并且可相對于立板(22)、軸承座(15)和進氣管支座(23)轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述第二回轉(zhuǎn)軸(16)由前滾動軸承(17)和后滾動軸承(18)支撐于軸承座(15)的內(nèi)孔中，前滾動軸承(17)由第二回轉(zhuǎn)軸(16)的左軸肩和軸承座(15)的軸肩定位，后滾動軸承(18)由第二回轉(zhuǎn)軸(16)的右軸肩和翻轉(zhuǎn)盤(14)的左端面定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述的彈性機構(gòu)包括彈簧(27)和手推器(26)；手推器(26)位于立板(22)與進氣管支座(23)之間，彈簧(27)套裝在第一回轉(zhuǎn)軸(19)上，且彈簧(27)的部分簧絲嵌入于立板(22)的環(huán)形溝槽內(nèi)，部分簧絲被壓縮于手推器(26)與進氣管支座(23)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于本發(fā)明還包括定位板(24)，所述定位板(24)套裝在第二回轉(zhuǎn)軸(16)的前端，并通過緊定螺釘與第二回轉(zhuǎn)軸(16)固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述吸嘴固定座(32)上固連有限位板(49)，翻轉(zhuǎn)盤(14)上固連有限位塊(48)，當吸嘴固定座(32)沿翻轉(zhuǎn)盤(14)的徑向向內(nèi)移動到限位位置時，限位板(49)與限位塊(48)相接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述直線微調(diào)機構(gòu)安裝在軸承座(15)上，包括直線電機(41)、移動臂(43)；直線電機(41)固定于軸承座(15)上，移動臂(43)與直線電機(41)的動力輸出部件固定連接，并且移動臂(43)與軸承座(15)之間通過滑軌副連接；當移動臂(43)在直線電機(41)的作用下做直線運動時，可推動吸嘴固定座(32)沿翻轉(zhuǎn)盤(14)的徑向向內(nèi)移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述直線微調(diào)機構(gòu)還包括直線滑軌滑塊(42)、直線導軌(421)、滑塊(420)；直線電機(41)的動力輸出部件通過直線滑軌滑塊(42)與移動臂(43)固定連接；直線導軌(421)固定在軸承座(15)上，滑塊(420)連接移動臂(43)，直線滑軌滑塊(42)可在直線電機(41)的作用下帶動移動臂(43)沿直線導軌(421)做前后直線運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述進氣管支座(23)固定連接四個進氣管(25)，進氣管座(23)靠近第二回轉(zhuǎn)軸(16)的一端端面開有兩個對稱的弧形凹槽(231)，其中有兩條對稱分布的進氣管(25)分別與兩個弧形凹槽(231)相通；第二回轉(zhuǎn)軸(16)上均勻分布有四條導氣通道(161)；四條導流通道(161)的右端分別與四個過渡氣管(33)連通；進氣管(25)、弧形凹槽(231)、導流通道(161)、過渡氣管(33)、氣流通道(321)和吸嘴(31)共同構(gòu)成的真空通道。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)塔式倒裝芯片拾取裝置，其特征在于所述翻轉(zhuǎn)盤(14)上均勻設(shè)有四個與小滑軌底座(47)連接的開槽，四個小滑軌底座(47)通過螺栓連接固定在對應(yīng)的開槽中，并且小滑軌底板(47)固連小滑軌(45)；吸嘴固定座(32)固定在小滑板(46)上，小滑軌(45)與小滑板(46)滑動配合。