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一種轉塔式倒裝芯片拾取裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:12233764

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本發(fā)明屬于半導體行業(yè)封裝設備技術領域,涉及一種對芯片實現(xiàn)拾取和翻轉的裝置。背景技術隨著全球科學經濟技術的不斷發(fā)展,半導體封裝設備也是得到廣泛需求和不斷升級,倒裝芯片(Flip-chip)技術取得了較快速的推廣及其應用。芯片拾取與翻轉裝置作為倒轉芯片封裝中不可或缺的重要部件,得到了不斷開發(fā)和研究;尤其是隨著半導體芯片的微小化、超薄化,拾取過程中也越容易造成芯片破裂、破損,對拾取芯片的接觸強度、翻轉角度、拾取定位等均有了更加嚴格的要求。發(fā)明內容本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種轉塔式倒裝芯片拾取裝置,...
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