液體電子化學品定量灌裝的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種液體電子化學品定量灌裝機，包括凈化柜、傳輸機構、灌裝機構、貯箱；所述凈化柜的潔凈級數(shù)在100級以上，凈化柜下部兩側開設有進閘口和出閘口；所述傳輸機構包括用于傳輸包裝桶進出凈化柜的傳輸帶，傳輸帶從進閘口向出閘口延伸并從兩端延伸出凈化柜；所述灌裝機構位于凈化柜內(nèi)，包括與貯箱連通的至少一支灌裝槍，灌裝槍上設有用于控制灌裝時間的延時開關，灌裝槍的出液口向下朝向傳輸帶；所述貯箱設有非接觸式的液位偵測控制裝置，液位偵測控制裝置電連接第一電磁閥，貯箱的進液管路上設有第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥，第一電磁閥設于第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的氣源通道上。
【專利說明】液體電子化學品定量灌裝機

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及化工領域，具體涉及一種液體電子化學品定量灌裝機。

【背景技術】
[0002]液體化學品定量灌裝機是一種對液體化學品自動計量、自動灌裝的設備。定量灌裝對灌裝的質(zhì)量誤差有一定要求。以國標為例，4L容量的液體電子化學品允許的重量誤差約為2%，約80g。
[0003]常見的液體化學品定量灌裝系統(tǒng)是通過稱重定量。具體為，利用輸送泵將液體化學品從液體化學品儲罐填充至待售包裝桶內(nèi)，包裝桶放置于稱重裝置上，當達到規(guī)定的增重后，關閉閥門，停止灌裝，如圖1所示。稱重定量的缺點在于:首先，由于普通稱重裝置的精度限制，通過直接稱重方式放料誤差大；而高精度的稱量裝置無論從成本和操作方便性上都不合適用于車間的液體電子化學品填充系統(tǒng)。其次，液體電子化學品一般都具有較強的腐蝕性，易腐蝕稱重裝置臺面，故稱量裝置需及時清潔、校正，否則稱重裝置的稱量精度會大大降低，清潔和校正過程耗費時間。再次，在各灌裝槍下方對應處依次放置稱量裝置，占用空間大，也不利于流水線輸送。綜上所述，傳統(tǒng)液體電子化學品定量灌裝系統(tǒng)存在稱量誤差大、維護麻煩、占據(jù)空間大、不利于流水線輸送的缺點。
[0004]除了稱重方法外，液體定量灌裝系統(tǒng)常用的定量方法還有流量法。不過對于高純液體電子化學品來說，由于需要嚴格控制其所含金屬離子含量，使用流量計法難以滿足液體電子化學品無金屬離子的要求。
[0005]另外，液體電子化學品的定量灌裝與普通液體化學品的灌裝還有存在不同，即液體電子化學品對灌裝系統(tǒng)的凈化條件具有嚴格要求。現(xiàn)有的帶輸送系統(tǒng)的液體化學品灌裝系統(tǒng)難以滿足液體電子化學品的凈度要求。而將整個灌裝車間設計成高凈度環(huán)境，如100級凈化車間，成本高昂、能耗大。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷，提供一種計量精度高、易于維護、占據(jù)空間小、適合流水線生產(chǎn)、成本低的液體電子化學品定量灌裝系統(tǒng)。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型是一種液體電子化學品定量灌裝機，包括凈化柜、傳輸機構、灌裝機構、貯箱；所述凈化柜的潔凈級數(shù)在100級以上，凈化柜下部兩側開設有進閘口和出閘口 ；所述傳輸機構包括用于傳輸包裝桶進出凈化柜的傳輸帶，傳輸帶從進閘口向出閘口延伸并從兩端延伸出凈化柜；所述灌裝機構位于凈化柜內(nèi)，包括與貯箱連通的至少一支灌裝槍，灌裝槍上設有用于控制灌裝時間的延時開關，灌裝槍的出液口向下朝向傳輸帶；所述貯箱設有非接觸式的液位偵測控制裝置，液位偵測控制裝置電連接第一電磁閥，貯箱的進液管路上設有第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥，第一電磁閥設于第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的氣源通道上。
[0008]與現(xiàn)有的灌裝系統(tǒng)相比，本實用新型設置了非接觸式的液位偵測控制裝置、延時開關以及傳輸機構；其中通過與液體電子化學品不發(fā)生接觸的非接觸式的液位偵測控制裝置檢測控制貯箱內(nèi)的液位，在低于低液位報警值、高于高液位報警值時啟動第一氣動隔膜閥給貯箱補液或停止補液，使貯箱的液位始終控制在一定范圍內(nèi)，進而起到穩(wěn)定落液壓力的作用；在此基礎上，根據(jù)灌裝液體粘度不同、灌裝槍的管體長度不同，通過實驗標定出各灌裝槍往包裝桶灌裝某一容量液體電子化學品所需時間，經(jīng)過一次標定后，控制延時開關的開啟時間即可實現(xiàn)高精度的定量灌裝，且無需稱量裝置，占據(jù)空間小，成本低；在通過傳輸帶傳輸包裝桶，待包裝桶填充完畢之后，流水線傳輸走填充完畢的包裝桶，將空包裝桶輸送至對應的灌裝管下方，即可開始新一輪的灌裝，適合流水線生產(chǎn)。這里需要注意的是，控制貯箱的液位穩(wěn)定是本實用新型的高精度定量灌裝的基礎；若貯箱液位在大范圍內(nèi)變化，那么即使計時灌裝，實際灌裝的流量精度也會大受影響；因此非接觸式的液位偵測控制裝置和延時開關是本實用新型實現(xiàn)定量灌裝的必要因素，兩者相輔相成。
[0009]具體的延時開關可以為:所述延時開關包括第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥、第二電磁閥和延時器；其中，第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥設在灌裝槍管路上，第二電磁閥設在第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的氣源通道上，第二電磁閥與延時器電連接；所述第一、第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥為氟塑料為內(nèi)襯的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。這樣的延時開關結構中，通過延時器控制第二電磁閥，通過第二電磁閥控制氣源，進而控制第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的開啟，從而達到按照時間準確計量灌裝槍的灌裝時間，實現(xiàn)高精度灌裝的同時保證液體電子化學品的高凈度。
[0010]為了提高灌裝效率，優(yōu)選的技術方案是，各所述貯箱連通多支灌裝槍，各灌裝槍設有相應的延時開關。通過實驗標定出不同灌裝槍往對應的包裝桶灌裝某一容量液體電子化學品所需時間，待灌裝時間最長的一個包裝桶填充完畢之后，流水線傳輸走填充完畢的包裝桶，將空包裝桶輸送至對應的灌裝管下方，即可開始新一輪的定量灌裝。
[0011]為了提高液體電子化學品的潔凈度，優(yōu)選的技術方案是，所述貯箱設于所述凈化柜外，貯箱設有氮封系統(tǒng)；所述氮封系統(tǒng)包括一端與所述貯箱頂部連通的進氣管和出氣管，進氣管上沿進氣方向依次設有調(diào)壓閥和進單向閥，出氣管上沿出氣方向依次設有出單向閥和呼吸閥；進氣管的另一端連接壓縮氣源，出氣管的另一端連通洗滌塔?？梢哉{(diào)節(jié)調(diào)壓閥和呼吸閥使貯箱內(nèi)的氣壓保持在一定范圍內(nèi)的微正壓，這不僅可以降低油品蒸發(fā)的損耗，為防止罐內(nèi)“自燃”提供安全保證、防止貯箱被抽癟，更重要的還在于是為貯箱提供了微正壓，從而保證了貯箱內(nèi)液體化學品不被外部環(huán)境所污染，進而保證了貯箱內(nèi)液體化學品的潔凈度。
[0012]為了簡化結構，減少動力消耗，保證落液壓力穩(wěn)定，保證液體化學品的潔凈度，優(yōu)選的技術方案是，該灌裝機包括多個貯箱，所述貯箱為高位貯箱；各貯箱的進液管路與用于儲存液體電子化學品的貯罐連通，所述進液管路上沿進液方向依次設有輸送泵、過濾器及所述第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。
[0013]為了提高灌裝的自動化程度，優(yōu)選的技術方案是，各所述貯箱連通相同數(shù)量的灌裝槍，各貯箱的進液管路與用于貯存不同組分的貯罐連通。這樣各貯箱可以用于灌裝不同組分，提高灌裝效率和灌裝靈活性。
[0014]灌裝槍可以距離包裝桶的開口一定距離放液。
[0015]不過為了提高灌裝凈度、同時為了提高灌裝自動化程度和灌裝效率，優(yōu)選的技術方案是，所述灌裝機構還包括扣壓件和驅動機構；各灌裝槍與扣壓件相固定，驅動機構用于驅動扣壓件上下運動和控制各灌裝槍的下端抽出和伸入包裝桶，各灌裝槍的上端經(jīng)軟管與所述貯箱連通；且各灌裝槍的下端在伸入包裝桶時，扣壓件下表面封住包裝桶開口，且扣壓件內(nèi)設有與包裝桶內(nèi)部連通的抽風口，抽風口連接抽風軟管，抽風軟管與設置于所述凈化柜外的抽風裝置連通。這樣灌裝槍可以伸入包裝桶內(nèi)進行灌裝，降低了灌裝槍所放液體電子化學品接觸到包裝桶外的空氣、并被污染的可能性；通過對包裝桶進行抽風處理，提高了包裝桶的凈度，進一步提高了灌裝凈度。此外，扣壓件還可防止包裝桶在灌裝過程中發(fā)生傾倒。為了進一步避免包裝桶在灌裝及運輸過程中發(fā)生傾倒，優(yōu)選的技術方案還可以是，所述輸送帶的上表面設有用于固定包裝桶下部的凹槽。
[0016]為了保證灌裝的凈度，優(yōu)選的技術方案是，所述凈化柜包括柜體和100潔凈級數(shù)以上的正壓送風系統(tǒng)；柜體的前端設有柜門口以及用于密封柜門口的配重移門，柜體的頂部設有進風口，正壓送風系統(tǒng)設在進風口處；所述正壓送風系統(tǒng)包括用于往所述柜體送風的風機和用于過濾進入所述柜體空氣的空氣過濾器。設置了配重移門，使柜體保持半封閉狀態(tài)，只有進、出閘口與外界環(huán)境接觸，在此基礎上通過正壓送風系統(tǒng)使柜體內(nèi)產(chǎn)生自上而下流動的潔凈氣流，氣流從進、出閘口排出，柜體內(nèi)保持了正壓環(huán)境，避免了污濁氣體從進、出閘口進入柜體，使柜體內(nèi)部不被外部環(huán)境所污染，為灌裝提高了潔凈環(huán)境。兼顧到效率和成本，正壓送風系統(tǒng)的具體結構優(yōu)選為，所述柜體的空氣過濾器包括初效過濾器和高效過濾器，所述風機位于初效過濾器和高效過濾器之間。
[0017]為了提高灌裝凈度、提高安全性、使灌裝機結構更為緊湊，優(yōu)選的技術方案是，所述過濾器、所述貯箱位于所述凈化柜的后側的密封柜內(nèi)，且所述過濾器位于所述貯箱的下方。
[0018]為了使用方便，優(yōu)選的技術方案是，所述配重移門為上下推拉式的配重移門，且配重移門上設有透明的觀察窗。
[0019]本實用新型液體電子化學品定量灌裝機的優(yōu)點和有益效果在于:本實用新型的定量灌裝通過將貯箱液位控制在一定范圍內(nèi)，使貯箱保持液位平衡，進而每次灌裝時都具有穩(wěn)定的落液壓力；進而在此基礎上，通過標定各罐裝槍的罐裝時間，即可將計量控制轉為時間控制；由于時間控制精度高、成本低，也就意味著灌裝精度可以提高、灌裝成本可以降低。以4L容量的液體電子化學品為例，采用灌裝機的灌裝誤差在5g以內(nèi)，僅為0.12%左右。
[0020]該液體電子化學品定量灌裝機無需大型稱量裝置，占據(jù)空間小，方便流水線生產(chǎn)，提聞了灌裝效率。且該灌裝機不會引入雜質(zhì)，灌裝凈度聞，提聞了灌裝質(zhì)量。
[0021]該液體電子化學品定量灌裝機還具有結構緊湊的優(yōu)點，通過設計高凈度柜體，降低了對灌裝車間的凈度要求，降低了成本，減少了能源浪費。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是現(xiàn)有的液體電子化學品填充系統(tǒng)的結構示意圖；
[0023]圖2是本實用新型液體電子化學品定量灌裝機的結構示意圖；
[0024]圖3是圖2中配重移門上推后的剖視圖；
[0025]圖4是圖3中貯箱的結構示意圖；
[0026]圖5是圖2的左視圖；
[0027]圖6是圖4中配種移門上推后的結構示意圖；
[0028]圖7是圖4中凈化柜的半剖示意圖；
[0029]圖8是圖7中灌裝槍的結構示意圖。
[0030]圖中:1、凈化柜；2、貯箱；3、扣壓件；4、灌裝槍；5、抽風裝置；6、貯罐；7、傳輸帶；8、密封柜；9、包裝桶；10、柜體；11、進閘口 ；12、出閘口 ；13、柜門口 ；14、配重移門；15、進風口 ；16、觀察窗；21、液位偵測控制裝置；25、第一電磁閥；31、驅動機構；32、抽風口 ；33、抽風軟管；41、第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥；42、第二電磁閥；43、延時器；51、第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥；52、液體過濾裝置；53、輸送泵；71、進氣管；72、出氣管；73、調(diào)壓閥；74、出單向閥；75、進單向閥；76、呼吸閥；81、風機；82、初效過濾器；83、高效過濾器。

【具體實施方式】
[0031]下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0032]本實用新型是一種液體電子化學品定量灌裝機，如圖2至圖6所示，包括凈化柜1、傳輸機構、灌裝機構、貯箱2 ;凈化柜1的潔凈級數(shù)在100級以上，凈化柜1下部兩側開設有進閘口 11和出閘口 12 ;傳輸機構包括用于傳輸包裝桶9進出凈化柜1的傳輸帶7，傳輸帶7從進閘口 11向出閘口 12延伸并從兩端延伸出凈化柜1 ;灌裝機構位于凈化柜1內(nèi)，包括與貯箱2連通的灌裝槍4，灌裝槍4上設有用于控制灌裝時間的延時開關，灌裝槍4的出液口向下朝向傳輸帶7 ;貯箱2外部設有非接觸式的液位偵測控制裝置21，液位偵測控制裝置21電連接第一電磁閥25，貯箱2的進液管路5上設有第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥51，第一電磁閥25設于第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥51的氣源通道上。為了避免污染液體電子化學品，第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥51選擇耐腐的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥，如以氟塑料為內(nèi)襯的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。
[0033]該灌裝機中，如圖2至圖5所示，凈化柜1包括柜體10。為了方便設備檢查，柜體10的前端設有柜門口 13 ;為了保證防塵防污染，柜體10還設有用于密封柜門口 13的配重移門14，從而使柜體10保持只有進、出閘口 11、12與柜體10的外界環(huán)境接觸的半封閉狀態(tài)。最好配重移門14選擇為上下推拉式的配重移門，這樣可以節(jié)省空間，方便使用。配重移門14上還可設置用于觀察的透明觀察窗16，以方便觀察凈化柜1內(nèi)的異常現(xiàn)象。
[0034]由于凈化柜1的進、出閘口 11、12與凈化柜1的外界環(huán)境相通，為了使柜體10內(nèi)部不被外部環(huán)境所污染，在柜體10的頂部設有進風口 15，并在柜體10的靠近進風口處設置100潔凈級數(shù)以上的正壓送風系統(tǒng)，用于往柜體10內(nèi)吹送潔凈氣流；這樣,氣流從進風口 15進入，從進、出閘口 11、12排出，形成自上而下流動的潔凈氣流，并使柜體10內(nèi)保持正壓環(huán)境，避免了污濁氣體從進、出閘口 11、12進入柜體10，為灌裝提高了潔凈環(huán)境。
[0035]這里，正壓送風系統(tǒng)可以包括用于往柜體10送風的風機81和用于過濾進入柜體10空氣的空氣過濾器。兼顧到效率和成本，空氣過濾器包括初效過濾器82和高效過濾器83，風機81位于初效過濾器82和高效過濾器83之間。
[0036]該灌裝機中，貯箱2可以設于凈化柜1內(nèi)，也可以設于凈化柜1外。為了節(jié)省凈化柜1的空間，節(jié)約用于凈化這里的凈化柜1所需的動力消耗，可以將貯箱2設于凈化柜1夕卜。在此基礎上，為了提高灌裝凈度、提高安全性、使灌裝機結構更為緊湊，可以在凈化柜1的后側設置密封柜8，將各貯箱2放置于密封柜8內(nèi)。密封柜8設有活動柜門，以方便檢查。
[0037]為了給貯箱2及時補液，貯箱2與大型的貯罐6連通。為了進一步使落液壓力穩(wěn)定，貯箱2最好設為高位貯箱2。將貯箱2設為高位貯箱2的好處還在于，無需在高位貯箱2和灌裝機構之間設置輸送動力源，可避免雜質(zhì)引入，同時可這個灌裝機結構更為緊湊。
[0038]為了往高位貯箱2內(nèi)輸入液體電子化學品，并提高保證液體化學品的潔凈度，各貯箱2的進液管路與用于儲存液體電子化學品的貯罐6連通，貯罐6位于密封柜8外，進液管路上沿進液方向依次設有輸送泵53、過濾器52及第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥51。這里的過濾器52可以設于密封柜8內(nèi)，為了使結構緊湊，可以將過濾器52設與貯箱2的下方。
[0039]為了保證貯箱2內(nèi)液體電子化學品的潔凈度，貯箱2最好設有氮封系統(tǒng)。氮封系統(tǒng)，如圖3和圖4所示，可以包括一端與貯箱2頂部連通的進氣管71和出氣管72，進氣管71上沿進氣方向依次設有調(diào)壓閥73和進單向閥75，出氣管72上沿出氣方向依次設有出單向閥74和呼吸閥76 ;進氣管71的另一端連接壓縮氮氣氣源(未顯示)，出氣管72的另一端連通洗滌塔(未顯示)。使用該氮封系統(tǒng)時，比如可以將調(diào)壓閥73調(diào)壓至200PSI，設置呼吸閥驅動壓力為250PSI ;當入料時壓力超過250PSI時，貯箱2可以通過呼吸閥76排出氣體進入洗滌塔；出料時氮氣經(jīng)調(diào)壓閥73和進單向閥75自動補入貯箱2，使貯箱2內(nèi)的氣壓保持在一定范圍內(nèi)的微正壓，避免了貯箱外的污染物有機會進入貯箱2，保證了貯箱2內(nèi)液體電子化學品的潔凈度。
[0040]為了提高灌裝效率，該灌裝機可以包括多個貯箱2。
[0041]灌裝槍4上的延時開關具體可以為:如圖8所示，包括第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥41、第二電磁閥42和延時器43 ;其中，第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥41設在灌裝槍4的管路上，第二電磁閥42設在第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥41的氣源通道上，第二電磁閥42與延時器43電連接。通過延時器43控制第二電磁閥42，通過第二電磁閥42控制氣源，進而控制第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥41的開啟，從而達到按照時間準確計量灌裝槍的灌裝時間。為了避免污染液體電子化學品，第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥41可以耐腐的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥，如為氟塑料為內(nèi)襯的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。
[0042]為了提高灌裝效率，各貯箱2可以連通多支灌裝槍4，各灌裝槍4設有相應的延時開關。通過實驗標定出不同灌裝槍4往對應的包裝桶9灌裝某一容量液體電子化學品所需時間，待灌裝時間最長的一個包裝桶填充完畢之后，傳輸帶7傳輸走填充完畢的包裝桶，將空包裝桶9輸送至對應的灌裝槍4下方，即可開始新一輪的定量灌裝。
[0043]為了提高灌裝的自動化程度，提高灌裝效率和灌裝靈活性，各所述貯箱2連通相同數(shù)量的灌裝槍4，各貯箱2的進液管路與貯存不同組分的貯罐6連通。這樣可以混合灌裝，或使同一灌裝機適應不同化學品的灌裝。
[0044]灌裝槍4可以距離包裝桶9的開口一定距離放液。
[0045]為了提高灌裝凈度、同時為了提高灌裝自動化程度和灌裝效率，灌裝機構除了灌裝槍4，還包括扣壓件3，灌裝槍4與扣壓件3相固定。扣壓件3與驅動機構31連接，驅動機構31，如液壓汽缸，用于驅動扣壓件3上下運動以及控制各灌裝槍4的下端抽出和伸入包裝桶9，各灌裝槍4的上端經(jīng)軟管與貯箱2連通。這樣灌裝槍4可以伸入包裝桶9內(nèi)進行灌裝，進一步降低了灌裝槍4所放液體電子化學品接觸到包裝桶9外的空氣、并被污染的可能性。
[0046]最好灌裝槍3的下端在伸入包裝桶9時，扣壓件3下表面可以封住包裝桶9開口，比如，扣壓件3的下表面可以設有與包裝桶9的上部外輪廓相適配的凹槽，從而可以防止包裝桶9在灌裝過程中發(fā)生傾倒。這種情況下，扣壓件3內(nèi)還可以設有與包裝桶9內(nèi)部連通的抽風口 32，抽風口 32連接抽風軟管33，抽風軟管33與設與凈化柜1外的抽風裝置5連通。抽風裝置5連接通向車間外的廢氣管。抽風裝置5可以對包裝桶9進行抽風，提高了包裝桶9的凈度,從而進一步提高了灌裝凈度。
[0047]另外，傳輸機構除了傳輸帶7，還包括驅動輪和從動輪，傳輸帶7繞在驅動輪和從動輪上。傳輸帶7的結構可以有很多種。為了避免包裝桶9在灌裝或運輸過程中發(fā)生傾倒，輸送帶7的上表面設有用于固定包裝桶9下部的凹槽。
[0048]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，包括凈化柜、傳輸機構、灌裝機構、貯箱；所述凈化柜的潔凈級數(shù)在100級以上，凈化柜下部兩側開設有進閘口和出閘口 ；所述傳輸機構包括用于傳輸包裝桶進出凈化柜的傳輸帶，傳輸帶從進閘口向出閘口延伸并從兩端延伸出凈化柜；所述灌裝機構位于凈化柜內(nèi)，包括與貯箱連通的至少一支灌裝槍，灌裝槍上設有用于控制灌裝時間的延時開關，灌裝槍的出液口向下朝向傳輸帶；所述貯箱設有非接觸式的液位偵測控制裝置，液位偵測控制裝置電連接第一電磁閥，貯箱的進液管路上設有第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥，第一電磁閥設于第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的氣源通道上。
2.根據(jù)權利要求1所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述延時開關包括第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥、第二電磁閥和延時器；其中，第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥設在灌裝槍管路上，第二電磁閥設在第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥的氣源通道上，第二電磁閥與延時器電連接；所述第一、第二氣動隔膜調(diào)節(jié)閥為氟塑料為內(nèi)襯的氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。
3.根據(jù)權利要求1所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，各所述貯箱連通多支灌裝槍，各灌裝槍設有相應的延時開關。
4.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述貯箱設于所述凈化柜外，貯箱設有氮封系統(tǒng)；所述氮封系統(tǒng)包括一端與所述貯箱頂部連通的進氣管和出氣管，進氣管上沿進氣方向依次設有調(diào)壓閥和進單向閥，出氣管上沿出氣方向依次設有出單向閥和呼吸閥；進氣管的另一端連接壓縮氣源，出氣管的另一端連通洗滌+?+R ο
5.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，該灌裝機包括多個貯箱，所述貯箱為高位貯箱；各貯箱的進液管路與用于儲存液體電子化學品的貯罐連通，所述進液管路上沿進液方向依次設有輸送泵、過濾器及所述第一氣動隔膜調(diào)節(jié)閥。
6.根據(jù)權利要求5所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，各所述貯箱連通相同數(shù)量的灌裝槍，各貯箱的進液管路與用于貯存不同組分的貯罐連通。
7.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述灌裝機構還包括扣壓件和驅動機構；各灌裝槍與扣壓件相固定，驅動機構用于驅動扣壓件上下運動和控制各灌裝槍的下端抽出和伸入包裝桶，各灌裝槍的上端經(jīng)軟管與所述貯箱連通；且各灌裝槍的下端在伸入包裝桶時，扣壓件下表面封住包裝桶開口，且扣壓件內(nèi)設有與包裝桶內(nèi)部連通的抽風口，抽風口連接抽風軟管，抽風軟管與設置于所述凈化柜外的抽風裝置連通。
8.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述凈化柜包括柜體和100潔凈級數(shù)以上的正壓送風系統(tǒng)；柜體的前端設有柜門口以及用于密封柜門口的配重移門，柜體的頂部設有進風口，正壓送風系統(tǒng)設在進風口處；所述正壓送風系統(tǒng)包括用于往所述柜體送風的風機和用于過濾進入所述柜體空氣的空氣過濾器。
9.根據(jù)權利要求8所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述空氣過濾器包括初效過濾器和高效過濾器，且所述風機位于初效過濾器和高效過濾器之間。
10.根據(jù)權利要求8所述的液體電子化學品定量灌裝機，其特征在于，所述過濾器、所述貯箱位于所述凈化柜的后側的密封柜內(nèi)，且所述過濾器位于所述貯箱的下方；所述配重移門為上下推拉式的配重移門，配重移門上設有透明的觀察窗。
【文檔編號】B67C3/30GK204097058SQ201420379809
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年7月10日 優(yōu)先權日:2014年7月10日
【發(fā)明者】殷福華, 朱永剛, 朱龍, 趙文虎 申請人:江陰江化微電子材料股份有限公司