專利名稱：軌道傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及軌道傳送裝置，其通過運(yùn)行在軌道上的傳送車來傳送 要被傳送的物品。
背景技術(shù)：
參考文獻(xiàn)1 (日本特開專利申請(qǐng)No.2001-270435)公開了一種軌 道傳送裝置，其由天花板上提供的軌道支撐并從該軌道懸掛的傳送車 來傳送要被傳送的物品。由于這種懸掛式的軌道傳送裝置不會(huì)占用地 面，因此它對(duì)于用于其中空間的單位價(jià)格昂貴的半導(dǎo)體制造的無塵室 是很有用的。
近來，在半導(dǎo)體制造工廠中，產(chǎn)品的等級(jí)顯著增大并日益復(fù)雜。 因此，在上述傳送裝置中提供的軌道路線就變得很復(fù)雜并包括了很多 的分支和交叉。
但是，在參考文獻(xiàn)1所公開的傳送裝置中，在其中將一個(gè)傳送軌 道經(jīng)由連接軌道連接到另一個(gè)傳送軌道的區(qū)域中，連接軌道變得相對(duì) 很長。如上所述，空間的單位價(jià)格在用于半導(dǎo)體制造的無塵室中是很 高的，因此需要盡可能地降低軌道所占用的區(qū)域。因此，需要使得被 軌道占用的區(qū)域盡可能的小并進(jìn)一步縮短連接軌道。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種軌道傳送裝置，其中縮短了連接兩個(gè)軌 道的連接軌道。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種軌道傳送裝置，包括軌道，
包括第一主軌道、第二主軌道和連接第一主軌道和第二主軌道的連接 軌道；第一方向控制導(dǎo)軌，其在連接軌道的寬度方向的一側(cè)上沿連接 軌道的延伸方向延伸并延伸到第一主軌道；第二方向控制導(dǎo)軌，其在 連接軌道的寬度方向的另一側(cè)上沿連接軌道的延伸方向以不與第一方 向控制導(dǎo)軌重疊的方式延伸并延伸到第二主軌道；由軌道支撐并引導(dǎo) 以移動(dòng)的傳送車，該傳送車包括多個(gè)滾輪單元，每個(gè)滾輪單元都具有 由第一方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo)的第一滾輪和由第二方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo) 的第二滾輪；以及前移導(dǎo)軌，當(dāng)在軌道上移動(dòng)的傳送車沿向前方向從 第一主軌道的一側(cè)移動(dòng)到第二主軌道一側(cè)時(shí)，在釋放由第一方向控制 導(dǎo)軌進(jìn)行的一個(gè)滾輪單元的第一滾輪的引導(dǎo)操作后，該前移導(dǎo)軌將滾 輪單元引導(dǎo)到一個(gè)滾輪單元的第二滾輪由第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位 置。
通過上述的軌道傳送裝置，在其中釋放由第一方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行 的第一滾輪的引導(dǎo)操作的滾輪單元可以被強(qiáng)制地轉(zhuǎn)移到該滾輪單元的 第二滾輪由第二方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo)的位置。因此，必須讓在第一方 向控制導(dǎo)軌和第二方向控制導(dǎo)軌之間的間隔區(qū)域的長度等于在移動(dòng)方 向上的一個(gè)滾輪單元的長度和該滾輪單元在第二滾輪轉(zhuǎn)移到由第二方 向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置期間所移動(dòng)的距離之和。不必保持用于在轉(zhuǎn)移 操作失敗時(shí)的傳送車的緊急停止的長度。因此，可以將連接軌道的長 度縮短用于緊急停止的長度。
在上述軌道傳送裝置的一種形式中，前移導(dǎo)軌可以與在連接軌道 的延伸方向上延伸的第一方向控制導(dǎo)軌的虛擬延長線相交，當(dāng)?shù)诙L 輪處在由第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置時(shí)，該前移導(dǎo)軌可以延伸到鄰 接第一滾輪的位置，并且前移導(dǎo)軌可以具有鄰接且引導(dǎo)第一滾輪的前 移鄰接表面。
在這種構(gòu)造中，由第一方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的引導(dǎo)操作釋放的第一 滾輪可以鄰接前移導(dǎo)軌的前移鄰接表面，而第二滾輪可以被可靠地引
導(dǎo)到由第二方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo)的位置。
在上述軌道傳送裝置的另一形式中，在引導(dǎo)方向上的前移鄰接表 面的形狀可以是正弦曲線形狀。在這種構(gòu)造中，當(dāng)釋放由第一方向控 制導(dǎo)軌進(jìn)行的第一滾輪的引導(dǎo)操作后，在將滾輪單元轉(zhuǎn)移到第二滾輪 由第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置期間能減少在傳送車上的沖擊。因此， 能防止由傳送車所傳送的所傳物品發(fā)生諸如損壞等任何缺損。
在上述軌道傳送裝置的又一形式中，可以確定前移鄰接表面的形 狀，以便由前移導(dǎo)軌引導(dǎo)并在連接軌道的延伸方向上以恒定速度移動(dòng) 的滾輪單元在連接軌道的寬度方向上的速度首先以恒定加速度增加， 并在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定時(shí)期內(nèi)保持恒定的速度，然后經(jīng)過該預(yù)定 時(shí)期后以恒定的加速度降低。
在這種構(gòu)造中，在轉(zhuǎn)移操作期間傳送車的沖擊能被可靠地降低。 因此，可以防止由傳送車所傳送的所傳物品發(fā)生諸如損壞等任何缺損。
在又一形式中，上述的軌道傳送裝置還可以包括后移導(dǎo)軌，在傳 送車沿從第二主軌道的一側(cè)到第一主軌道的一側(cè)的反向在軌道上移動(dòng) 時(shí)，在釋放由第二方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的一個(gè)滾輪單元的第二滾輪的引 導(dǎo)操作后，該后移導(dǎo)軌將該滾輪單元引導(dǎo)到一個(gè)滾輪單元的第一滾輪 由第一方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo)的位置。
在這種構(gòu)造中，即便傳送車在反向上移動(dòng)，也無需用于緊急停止
的長度。如果間隔區(qū)域的長度等于在移動(dòng)方向上的一個(gè)滾輪單元的長 度與在將第一滾輪轉(zhuǎn)移到由第一方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置期間該滾輪
單元移動(dòng)的距離之和，則在釋放由第二方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的第二滾輪 的引導(dǎo)操作后，該滾輪單元就能被轉(zhuǎn)移到第一滾輪由第一方向控制導(dǎo) 軌引導(dǎo)的位置。
在上述的軌道傳送裝置的又一形式中，后移導(dǎo)軌可以與在連接軌 道的延伸方向上延伸的第二方向控制導(dǎo)軌的虛擬延長線相交，并且當(dāng) 第一滾輪位于由第一方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置時(shí)，后移導(dǎo)軌可以延伸 到鄰接第二滾輪的位置，而前移導(dǎo)軌可以具有鄰接并引導(dǎo)第二滾輪的 后移鄰接表面。
在這種構(gòu)造中，從由第二方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的引導(dǎo)操作釋放的第 二滾輪可以鄰接后移導(dǎo)軌的后移鄰接表面，并且可以可靠地將第一滾 輪引導(dǎo)到由第一方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置。
在上述軌道傳送裝置的又一形式中，在引導(dǎo)方向上的后移鄰接表 面的形狀可以是正弦曲線形狀。在這種構(gòu)造中，在后移操作期間能降 低在傳送車上的沖擊，因此，可以防止傳送物品發(fā)生諸如損壞等任何 缺損。
在上述軌道傳送裝置的又一形式中，可以確定后移鄰接表面的形 狀，以便由后移導(dǎo)軌引導(dǎo)并在連接軌道的延伸方向上以恒定速度移動(dòng) 的滾輪單元在連接軌道的寬度方向上的速度首先以恒定加速度增加， 并在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定時(shí)期內(nèi)保持恒定的速度，然后在經(jīng)過該預(yù) 定時(shí)期后以恒定的加速度降低。在這種構(gòu)造中，在后移操作期間能降 低在傳送車上的沖擊，因此，可以防止傳送物品發(fā)生諸如損壞等任何 缺損。
本發(fā)明的特性、用途以及進(jìn)一步的特征將從結(jié)合以下簡要描述的 附圖讀取的關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例所作的以下詳細(xì)解釋中變得更加清晰。


圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的使用OHT的OHT傳送系統(tǒng)的示
意性構(gòu)造。
圖2是在圖1中所示的軌道的一部分的放大圖3是在圖2中沿III-III線的截面圖4是在圖2中所示的移動(dòng)單元的側(cè)視圖5顯示了在轉(zhuǎn)移操作期間圖2所示的移動(dòng)單元在連接軌道的寬 度方向上的速度變化；
圖6顯示了在轉(zhuǎn)移期間圖2所示的移動(dòng)單元的軌跡，其沿引導(dǎo)方 向上具有對(duì)應(yīng)于前移導(dǎo)軌和后移導(dǎo)軌的鄰接表面形狀的形狀；
圖7顯示了提供在圖1所示的軌道的"Y"形區(qū)域上的前移導(dǎo)軌和
后移導(dǎo)軌；
圖8顯示了在圖6中所示的前移導(dǎo)軌和后移導(dǎo)軌的沿引導(dǎo)方向上 的鄰接表面的形狀的修改實(shí)例；和
圖9顯示了移動(dòng)具有分支和交點(diǎn)的區(qū)域的比較例的傳送車。
具體實(shí)施例方式
以下將參考附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的軌道傳送裝置是提供在半導(dǎo)體制造工廠中的 傳送裝置并用來傳送容納基板的FOUF (前端開口通用盒)。該軌道傳 送裝置為懸掛式傳送裝置(OHT:吊運(yùn)裝置傳送)，其傳送保存有FOUP 的車輛并由天花板上的軌道支撐。圖1是示意性顯示施加了本發(fā)明的 OHT傳送系統(tǒng)的平面圖。
如在圖1中所示，根據(jù)本發(fā)明的OHT 1的軌道IO包括環(huán)形的主 軌道11、與主軌道11的一部分平行設(shè)置的子軌道12以及將主軌道11 和子軌道12進(jìn)行連接的多個(gè)連接軌道13。在環(huán)形的主軌道11的外側(cè) 和下面放置多個(gè)半導(dǎo)體制造裝置91。子軌道12與主軌道11的一部分 平行，在該主軌道11的該部分處，相鄰地放置半導(dǎo)體制造裝置91。在 子軌道12下，提供了存放FOUP 60的托盤93和如果工序調(diào)節(jié)需要?jiǎng)t 暫時(shí)性存放FOUP 60的簡易緩存器95。
傳送車30由上述的軌道10以懸掛的方式支撐，并沿軌道10由軌
道10引導(dǎo)地移動(dòng)。保持有FOUP 60的傳送車30在半導(dǎo)體制造裝置91、 托盤93和簡易緩存器95之間滑動(dòng)，從而將FOUP 60置于其上并從它 們收集FOUP60。雖然傳送車30通常沿向前方向(由在圖l中的箭頭 所示的逆時(shí)針方向)移動(dòng)，但在進(jìn)行對(duì)故障情況進(jìn)行修復(fù)工作或維護(hù) 工作時(shí)它也可以沿反向滑動(dòng)。
接下來，將更詳細(xì)描述OHT 1的構(gòu)造。圖2是上述OHT 1的透視 圖，并顯示了在圖1中的連接軌道13周圍的區(qū)域(被虛線圍繞)的放 大圖。圖3是沿對(duì)應(yīng)于軌道10的寬度方向的線III-III切開的軌道10 的截面圖。
如在圖3中所示，軌道10是具有基本上為矩形的截面形狀的管狀 部件，并被提供為從天花板97懸掛下來。在管狀軌道10的底壁(表 面)處，沿延伸方向(在圖3的圖紙的前后側(cè)方向)提供了狹縫2來 懸掛以后所要描述的車輛單元31。
如在圖2中所示，方向控制導(dǎo)軌14至17、前移導(dǎo)軌18和后移導(dǎo) 軌19都被提供在軌道10的連接軌道13附近。如在圖3中所示，這些 導(dǎo)軌14至19都是以基本上與軌道10的內(nèi)上表面平行的方式提供在軌 道10的內(nèi)側(cè)表面的部件。導(dǎo)軌14至19的一端與軌道10的內(nèi)側(cè)壁集 成，而導(dǎo)軌14至19的另一端以向下彎曲的方式形成。
如在圖2中所示，方向控制導(dǎo)軌14和15被提供在主軌道11和連 接軌道13的連接部分附近。方向控制導(dǎo)軌14在主軌道11的寬度方向 的一側(cè)(在圖2中的下側(cè))上沿主軌道11的延伸方向延伸。方向控制 導(dǎo)軌15在主軌道11的寬度方向的另一側(cè)(圖2中的上側(cè))上沿主軌 道11的延伸方向延伸，并在連接軌道13的分支點(diǎn)處彎曲，接著在連 接軌道13的寬度方向的另一側(cè)(在圖2中的左側(cè))上沿連接軌道13 的延伸方向延伸。
另一方面，方向控制導(dǎo)軌16和17被提供在子軌道12和連接軌道
13的連接部分附近。方向控制導(dǎo)軌16在子軌道12的寬度方向的一側(cè) (在圖2中的上側(cè))上沿子軌道12的延伸方向延伸。方向控制導(dǎo)軌17 在連接軌道13的寬度方向的一側(cè)(圖2中的右側(cè))上沿連接軌道13 的延伸方向延伸，并在子軌道12和連接軌道13的交匯處彎曲，接著 在子軌道12的寬度方向的一側(cè)(在圖2中的下側(cè))上沿子軌道12的 延伸方向延伸。應(yīng)當(dāng)注意的是，在連接軌道13中，方向控制導(dǎo)軌15 和方向控制導(dǎo)軌17關(guān)于連接導(dǎo)軌13的延伸方向并不互相重疊。艮P， 方向控制導(dǎo)軌15和方向控制導(dǎo)軌17關(guān)于連接導(dǎo)軌13的延伸方向彼此 遠(yuǎn)離，它們之間間隔了長度LO的間隔區(qū)域。
前移導(dǎo)軌18被提供在連接導(dǎo)軌13的寬度方向的另一側(cè)(在圖2 中的左側(cè))上，并具有鄰接表面18a，當(dāng)傳送車30在向前方向(在圖2 中的箭頭所示的方向)移動(dòng)時(shí)，在連接導(dǎo)軌13的寬度方向上轉(zhuǎn)移的移 動(dòng)單元(滾輪單元)40的導(dǎo)向滾輪42在該鄰接表面18a上鄰接在該間 隔區(qū)域內(nèi)。后移導(dǎo)軌19被提供在連接軌道13的寬度方向的一側(cè)(在 圖2中的右側(cè))上，并具有鄰接表面19a，當(dāng)傳送車30沿反向滑動(dòng)時(shí)， 在連接導(dǎo)軌13的寬度方向上轉(zhuǎn)移的移動(dòng)單元(滾輪單元)40的導(dǎo)向滾 輪43在該鄰接表面19a上鄰接在該間隔區(qū)域內(nèi)。前移導(dǎo)軌18的鄰接表 面18a和后移導(dǎo)軌19的鄰接表面19a的形狀將在以后詳細(xì)描述。
回到圖3，在軌道10的內(nèi)上壁上提供次級(jí)側(cè)永磁體3。該次級(jí)側(cè) 永磁體3是線性電機(jī)的次級(jí)側(cè)部件，線性電機(jī)是傳送車30的驅(qū)動(dòng)源。 作為次級(jí)側(cè)永磁體3，沿著延伸方向(圖3的圖紙的前后方向)布置形 成預(yù)定形狀的多個(gè)永磁體，并使得這些永磁體的磁體極性一個(gè)接一個(gè) 反轉(zhuǎn)。
在軌道10的內(nèi)側(cè)壁上，提供了一對(duì)沿延伸方向(圖3的圖紙的前 后方向)延伸的初級(jí)側(cè)供電線4。該對(duì)初級(jí)側(cè)供電線4是回轉(zhuǎn)線，包括
去線和回線。將高頻電力施加到初級(jí)側(cè)供電線4，并且初級(jí)側(cè)供電線4
與以后要詳細(xì)描述的提供在傳送車30上的次級(jí)側(cè)鐵心35 —起實(shí)現(xiàn)非 觸式地將電力饋送給傳送車30。應(yīng)當(dāng)注意，初級(jí)側(cè)供電線4還被用作 在控制器(未示出)和傳送車之間的通信線，該控制器控制傳送車30 的移動(dòng)。
如在圖3中所示，在傳送車30上，提供了初級(jí)側(cè)疊片鐵心34， 該初級(jí)側(cè)疊片鐵心34采用與在軌道10的內(nèi)上壁提供的次級(jí)側(cè)永磁體3 面對(duì)面的形式，并且與該次級(jí)側(cè)永磁體3之間具有預(yù)定的空間。初級(jí) 側(cè)疊片鐵心34為與次級(jí)側(cè)永磁體3 —起構(gòu)成線性電機(jī)的初級(jí)側(cè)部件， 并且在初級(jí)側(cè)疊片鐵心34周圍繞有線圈。
傳送車30包括具有基本上為"E"狀的截面形狀的次級(jí)側(cè)鐵心35。 在次級(jí)側(cè)鐵心35的"E"形的兩個(gè)凹進(jìn)部分中，插入提供在軌道10的 內(nèi)側(cè)壁上的初級(jí)側(cè)供電線4。當(dāng)向初級(jí)側(cè)供電線4提供高頻電力時(shí)，該 初級(jí)側(cè)高頻電力被感應(yīng)到纏繞在次級(jí)側(cè)鐵心35周圍的線圈(未示出) 中，從而以非接觸的方式傳輸電力。這種非接觸的電力傳送覆蓋了傳 送車30所需的所有電力。
這里，給出對(duì)于作為傳送車30驅(qū)動(dòng)源的線性電機(jī)的驅(qū)動(dòng)方式的描 述。首先，由上述非接觸饋電方式感應(yīng)到次級(jí)側(cè)鐵心35的高頻電力， 在整流單元(未示出)中通過全波整流的方式被轉(zhuǎn)換成直流電流，接 著利用電力控制單元(未示出)被轉(zhuǎn)換成PWM系統(tǒng)的三相交流電流， 接著被提供給構(gòu)成線性電機(jī)的初級(jí)側(cè)疊片鐵心34。當(dāng)電力被提供給初 級(jí)側(cè)疊片鐵心34時(shí)，在初級(jí)疊片鐵心34中產(chǎn)生線性移動(dòng)傳播的磁場， 并通過在彼此相對(duì)的初級(jí)側(cè)疊片鐵心34和次級(jí)側(cè)永磁體3之間的磁效 應(yīng)而在初級(jí)側(cè)疊片鐵心34中產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力。如以后所要描述的，初級(jí)側(cè) 疊片鐵心34被連接到能在管狀軌道10中移動(dòng)的移動(dòng)單元40。因此， 利用線性電機(jī)向移動(dòng)單元40給予沿軌道10的延伸方向的驅(qū)動(dòng)力，并 且該移動(dòng)單元40在軌道10中移動(dòng)。
傳送車30還包括車輛單元31，和兩個(gè)具有相同構(gòu)造并在傳送車
30的移動(dòng)方向上彼此對(duì)齊排列的移動(dòng)單元40。如在圖3中所示，移動(dòng) 單元40位于管狀軌道10內(nèi)。經(jīng)由軌道10的狹縫2，利用從軌道10的 內(nèi)部延伸出的懸掛部件33，將車輛單元31連接到兩個(gè)移動(dòng)單元40的 每一個(gè)，并將車輛單元31以懸掛的方式保留在軌道10下。
這里，進(jìn)一步參考顯示移動(dòng)單元40的側(cè)視圖的圖4，來描述移動(dòng) 單元40的構(gòu)造。移動(dòng)單元40的每一個(gè)都包括用來選擇傳送車30的移 動(dòng)方向的四個(gè)導(dǎo)向滾輪41至44，和用來移動(dòng)傳送車30的兩個(gè)移動(dòng)滾 輪49和50。
導(dǎo)向滾輪41至44能在水平方向上旋轉(zhuǎn)。導(dǎo)向滾輪41至44中的 兩個(gè)被提供在移動(dòng)單元40的寬度方向上的一端上，而它們中的另外兩 個(gè)被提供在移動(dòng)單元40的寬度方向上的另一端上。通過使導(dǎo)向滾輪在 軌道10的分支或交匯處鄰接方向控制導(dǎo)軌14至17中的一個(gè)，可以選 擇傳送車30的直進(jìn)、分支移動(dòng)或合并移動(dòng)。
如在圖2和4中所示，在寬度方向的一側(cè)上的兩個(gè)導(dǎo)向滾輪41和 43通過臂桿45彼此連接。類似地，在寬度方向的另一側(cè)上的兩個(gè)導(dǎo)向 滾輪42和44通過臂46彼此連接。此外，臂45和46通過在移動(dòng)單元 40的寬度方向(即，軌道10的寬度方向)上延伸的臂連接部件47彼 此連接。臂連接部件47能通過未示出的單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿其延伸方向驅(qū) 動(dòng)。即，移動(dòng)單元40的每個(gè)都能通過單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)操作而沿軌 道10的寬度方向轉(zhuǎn)移。每個(gè)移動(dòng)單元40的臂連接部件47通過單元連 接部件48以可擺動(dòng)(swingable)方式彼此連接。
如圖3中所示，移動(dòng)滾輪49和50被提供在移動(dòng)單元40的寬度方 向上的兩個(gè)端部上，并且與軌道10的內(nèi)下表面接觸且可以擺動(dòng)。 相對(duì)于如上所述的兩個(gè)移動(dòng)單元40以懸掛方式保持的車輛單元
31包括車輛位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)36、懸掛機(jī)構(gòu)37和夾持機(jī)構(gòu)38。車輛位 置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)36可在水平面內(nèi)移動(dòng)，且是在放下或收集作為傳送的物品 的FOUP60時(shí)使用的定位機(jī)構(gòu)。懸掛機(jī)構(gòu)37是用來發(fā)送和纏繞懸掛帶 37a的機(jī)構(gòu)。夾持機(jī)構(gòu)38附于懸掛帶37a的端部并能通過夾子38a來 保持FOUP60。
這里，參考圖2，給出如下操作的描述其中，在向前方向(在 圖2中的箭頭所示的方向)上移動(dòng)的傳送車30脫離主軌道11而進(jìn)入 子軌道12。在以下的描述中，軌道10(主軌道11、子軌道12和連接 軌道13)的寬度方向和延伸方向分別被簡稱為"寬度方向"和"延伸 方向"。
首先，當(dāng)將在主軌道11上沿向前方向移動(dòng)的傳送車30引導(dǎo)進(jìn)入 連接軌道13時(shí)，利用單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力，該單元驅(qū)動(dòng)機(jī)制將在主 軌道11上移動(dòng)的傳送車30的兩個(gè)移動(dòng)單元40轉(zhuǎn)移到寬度方向的另一 方向(圖2中的上行方向)。在這種狀態(tài)中，當(dāng)傳送車30移動(dòng)到具有 連接導(dǎo)軌13的連接部分時(shí)，在寬度方向的另一側(cè)上的兩個(gè)移動(dòng)單元40 的導(dǎo)向滾輪42和44由方向控制導(dǎo)軌15進(jìn)行引導(dǎo)，并且傳送車30運(yùn) 行到連接軌道13內(nèi)。
此后，釋放由方向控制導(dǎo)軌15進(jìn)行的對(duì)于位于傳送車30的前側(cè) 上的移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪42和44的的引導(dǎo)操作，接著通過單元驅(qū) 動(dòng)機(jī)制的驅(qū)動(dòng)力將在延伸方向上以恒定速度運(yùn)行的移動(dòng)單元40轉(zhuǎn)移到 在間隔區(qū)域內(nèi)的寬度方向的一側(cè)(在圖2中的右側(cè))。由此，在寬度 方向的前側(cè)和一側(cè)上的移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪41被轉(zhuǎn)移到其由方向 控制導(dǎo)軌17引導(dǎo)的位置(由在圖2中的虛線所示)。因此，在前側(cè)上 的移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪41和43由方向控制導(dǎo)軌17引導(dǎo)。接著， 對(duì)在間隔區(qū)域內(nèi)在移動(dòng)方向上的后側(cè)的移動(dòng)單元40執(zhí)行相同的轉(zhuǎn)移操 作，從而傳送車30運(yùn)行到子軌道12中。
在上述轉(zhuǎn)移操作中，在寬度方向上的另一側(cè)和在移動(dòng)方向上的前
側(cè)上的導(dǎo)向滾輪42鄰接前移導(dǎo)軌18的鄰接表面18a。即，前移導(dǎo)軌18 的鄰接表面18a沿連接導(dǎo)軌13的延伸方向與方向控制導(dǎo)軌15的虛擬延 長線相交。此外，鄰接表面18a從引導(dǎo)釋放點(diǎn)延伸到引導(dǎo)重始點(diǎn)。引導(dǎo) 釋放點(diǎn)是這樣的點(diǎn)，在該引導(dǎo)釋放點(diǎn)處，釋放由方向控制導(dǎo)軌15進(jìn)行 的引導(dǎo)操作之后的移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪42鄰接于鄰接表面18a。引 導(dǎo)重始點(diǎn)為這樣的點(diǎn)，當(dāng)移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪41位于其由方向控 制導(dǎo)軌17引導(dǎo)的位置時(shí)，在該引導(dǎo)重始點(diǎn)處，導(dǎo)向滾輪42鄰接于鄰 接表面18a。應(yīng)當(dāng)注意的是，在先前方向的轉(zhuǎn)移操作期間，導(dǎo)向滾輪41 至44都沒有鄰接后移導(dǎo)軌19。
圖5顯示了在如上執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作時(shí)，相對(duì)于寬度方向的移動(dòng)單元 40的速度變化。如在圖5中所示，在寬度方向上的移動(dòng)單元40的速度 v從時(shí)間tO至tl以加速度a增加，并在時(shí)間tl達(dá)到恒定速度后一直保 持該恒定速度直至?xí)r間t2，并從時(shí)間t2至t3以加速度a減小。因此， 在時(shí)間t02Stl期間的速度vl，在時(shí)間tl^t^t2期間的速度v2和在時(shí)間 t2^Kt3期間的速度v3由以下的等式(1)至(3)表示
vl=a.t (1)
v2=ce-tl (2)
v3=ce-(tl+t2-t) (3)
在本實(shí)施例中，用來驅(qū)動(dòng)以動(dòng)單元40的單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由控制器 (未示出)控制，以致于在寬度方向上的移動(dòng)單元40的速度在轉(zhuǎn)移操 作期間如上所述地變化。從而，能降低在轉(zhuǎn)移操作期間在傳送車30上 的沖擊。因此，可以防止由傳送車30所保持的FOUP60中容納的基板 滑動(dòng)、產(chǎn)生摩擦力從而產(chǎn)生顆粒而導(dǎo)致圖案受損以及惡化產(chǎn)品的合格 率。
在轉(zhuǎn)移操作期間在寬度方向上的移動(dòng)單元40的移動(dòng)距離S由以下
的等式(4)至(6)表示:
<formula>complex formula see original document page 15</formula> (4)
<formula>complex formula see original document page 15</formula> (5)
<formula>complex formula see original document page 15</formula> (6)
這里，在轉(zhuǎn)移操作期間在延伸方向上的移動(dòng)單元40的速度是恒定 的。因此，在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單元40在寬度方向上的移動(dòng)距離S和 移動(dòng)單元40在延伸方向上的移動(dòng)距離L (即，在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單 元40的軌跡)如圖6所示。在圖6中，點(diǎn)A、 B、 C和D分別相應(yīng)于 時(shí)間tO、 tl、 t2和t3。如圖6所示，在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單元40的軌 跡由平滑線表示。移動(dòng)單元40的軌跡從時(shí)間t0至tl和t2至t3為二次 曲線，而從tl至t2為直線。在本實(shí)施例中，在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單元 40在延伸方向上運(yùn)行的距離L2通過如下方式獲得從在方向控制導(dǎo)軌 15和17之間的間隔區(qū)域的長度LO中減去單個(gè)移動(dòng)單元40的長度Ll。
從引導(dǎo)釋放點(diǎn)到引導(dǎo)重始點(diǎn)，在轉(zhuǎn)移操作中上面鄰接有導(dǎo)向滾輪 42的前移導(dǎo)軌18的鄰接表面18a的形狀(即，沿引導(dǎo)方向的形狀)與 在圖6中所示的曲線圖的曲線一致。
現(xiàn)描述由于故障等而使單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)不能在轉(zhuǎn)移操作期間將在寬 度方向上的驅(qū)動(dòng)力施加到移動(dòng)單元40的情況。在這種情況中，通過鄰 接前移滾輪18的鄰接表面18a，將滑動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪42從引導(dǎo) 釋放點(diǎn)引導(dǎo)到引導(dǎo)重始點(diǎn)，并強(qiáng)制地執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作。此時(shí)，由于前移 導(dǎo)軌18的鄰接表面18a具有上述的形狀，因此利用由線性電機(jī)所提供 的驅(qū)動(dòng)力運(yùn)行以在延伸方向上以恒定速度運(yùn)行的移動(dòng)單元40在寬度方 向上的速度如在圖5中所示變化。
在沿反向(與在圖2中的箭頭所示的方向相反的方向)運(yùn)行的傳 送車30脫離子軌道12而進(jìn)入主軌道11時(shí)的轉(zhuǎn)移操作是相同的。艮P，在釋放由方向控制導(dǎo)軌17進(jìn)行的對(duì)于移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪41和43 的引導(dǎo)操作后，單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)利用其驅(qū)動(dòng)力來執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作，以將在 延伸方向上以恒定速度運(yùn)行的移動(dòng)單元40轉(zhuǎn)移到由方向控制導(dǎo)軌15 引導(dǎo)導(dǎo)向滾輪44的位置?？刂圃谵D(zhuǎn)移操作期間的在寬度方向上的移動(dòng) 單元40的速度，以使得該速度如圖5中所示變化。
在轉(zhuǎn)移操作期間，雖然移動(dòng)單元40反向運(yùn)行，但在寬度方向的一 側(cè)(圖2中的右側(cè))和在移動(dòng)方向的前側(cè)上的導(dǎo)向滾輪43鄰接后移導(dǎo) 軌19的鄰接表面19a。即，后移導(dǎo)軌19的鄰接表面19a沿連接軌道13 的延伸方向與方向控制導(dǎo)軌17的虛擬延長線相交。此外，鄰接表面19a 從引導(dǎo)釋放點(diǎn)延伸到引導(dǎo)重始點(diǎn)。引導(dǎo)釋放點(diǎn)是這樣的點(diǎn)，在引導(dǎo)釋 放點(diǎn)處，釋放由方向控制導(dǎo)軌17進(jìn)行的引導(dǎo)操作的移動(dòng)單元40的導(dǎo) 向滾輪43鄰接于鄰接表面19a。引導(dǎo)重始點(diǎn)為這樣的點(diǎn)，在引導(dǎo)重始 點(diǎn)處，當(dāng)移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪44位于由方向控制導(dǎo)軌15引導(dǎo)的位 置時(shí)，導(dǎo)向滾輪43鄰接于鄰接表面19a。后移導(dǎo)軌19的鄰接表面19a 的引導(dǎo)方向的形狀與在圖6中所示的曲線圖中的曲線一致。應(yīng)當(dāng)注意， 在后移方向上的轉(zhuǎn)移操作期間，導(dǎo)向滾輪41至44中沒有一個(gè)鄰接前 移導(dǎo)軌18。
如上所述的前移導(dǎo)軌18和后移導(dǎo)軌19被提供在軌道10上的"H" 形位置處，其中如圖2所示，在該"H"形位置處，在前移方向上運(yùn)行 的傳送車30從主軌道11移動(dòng)到子軌道12。此外，前移導(dǎo)軌18和后移 導(dǎo)軌19被提供在"H"形位置，在該"H"形位置處，傳送車30從子 軌道12移動(dòng)到主軌道11;前移導(dǎo)軌18和后移導(dǎo)軌19被提供在"Y" 形位置，在該"Y"形位置處，傳送車30從主軌道11移動(dòng)到子軌道 12的一端(在圖1中的左端)(參見圖7);以及前移導(dǎo)軌18和后移 導(dǎo)軌19被提供在"Y"形位置，在該"Y"形位置處，傳送車30從子 軌道12的另一端(在圖1中的右端)移動(dòng)到主軌道11。
如上所述，在本實(shí)施例中的0HT1包括方向控制導(dǎo)軌15，該方
向控制導(dǎo)軌15被提供在連接主軌道11和子軌道12的連接導(dǎo)軌13的
寬度方向的另一側(cè)(在圖2中的左側(cè))上并延伸到連接軌道13的延伸 方向；和方向控制導(dǎo)軌17，其被提供在連接軌道13的寬度方向的一側(cè) (在圖2中的右側(cè))上，通過間隔區(qū)域在連接軌道13的延伸方向上與 方向控制導(dǎo)軌15隔開，并在連接軌道13的延伸方向上延伸。此外， 0HT1還包括前移導(dǎo)軌18，當(dāng)傳送車30沿前移方向(由圖2中的箭頭 所示的方向)移動(dòng)時(shí)，在釋放由方向控制導(dǎo)軌15進(jìn)行的對(duì)于移動(dòng)單元 40的導(dǎo)向滾輪42和44的引導(dǎo)操作后，該前移導(dǎo)軌18將移動(dòng)單元40 引導(dǎo)到移動(dòng)單元40的導(dǎo)向滾輪41由方向控制導(dǎo)軌17引導(dǎo)的位置。因 此，即便在轉(zhuǎn)移操作期間發(fā)生了諸如由單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)所導(dǎo)致的移動(dòng)單 元40的轉(zhuǎn)移定時(shí)延遲等的故障，在釋放由方向控制導(dǎo)軌15進(jìn)行的引 導(dǎo)操作后，前移導(dǎo)軌18也能引導(dǎo)移動(dòng)單元40并使該移動(dòng)單元40轉(zhuǎn)移 到其由方向控制導(dǎo)軌17引導(dǎo)的位置。因此，必須使得其中將引導(dǎo)操作 從方向控制導(dǎo)軌15轉(zhuǎn)移到方向控制導(dǎo)軌17的間隔區(qū)域的長度L0為在 移動(dòng)方向上的一個(gè)移動(dòng)單元40的長度Ll和移動(dòng)單元40在轉(zhuǎn)移操作期 間運(yùn)行的距離L2之和，但不必確保用于傳送車30的緊急停止的長度。 因此，連接導(dǎo)軌13可以被縮短用于這種緊急停止所需的長度。
此外，在本實(shí)施例的0HT1中，前移導(dǎo)軌18與在連接軌道13的 延伸方向上延伸的方向控制導(dǎo)軌15的虛擬延長線相交，并從引導(dǎo)釋放 點(diǎn)延伸到引導(dǎo)重始點(diǎn)。此外，前移導(dǎo)軌18具有鄰接并引導(dǎo)導(dǎo)向滾輪42 的鄰接表面18a。因此，導(dǎo)向滾輪42可以被可靠地從引導(dǎo)釋放點(diǎn)引導(dǎo) 到引導(dǎo)重始點(diǎn)。
而且，在本實(shí)施例的0HT1中，確定在引導(dǎo)方向上的前移導(dǎo)軌18 的鄰接表面18a的形狀，以便沿連接軌道13的延伸方向以恒定速度移 動(dòng)并由前移導(dǎo)軌18引導(dǎo)的移動(dòng)單元40在連接軌道13的寬度方向上的 速度首先以恒定加速度增加，并在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定的時(shí)期內(nèi)保 持恒定速度，然后在經(jīng)過預(yù)定時(shí)期后以恒定加速度降低。因此，即便 在轉(zhuǎn)移操作出現(xiàn)故障時(shí)利用前移導(dǎo)軌18強(qiáng)制轉(zhuǎn)移移動(dòng)單元40，也能降
低在傳送車30上的沖擊。因此，能防止在由傳送車30所保持的FOUP 60中容納的基板發(fā)生任何缺陷。
此外，在本實(shí)施例中的OHT l包括后移導(dǎo)軌19，在傳送車30沿 反向以動(dòng)時(shí)，在釋放由方向控制導(dǎo)軌17進(jìn)行的引導(dǎo)操作后，該后移導(dǎo) 軌19將移動(dòng)單元40引導(dǎo)到移動(dòng)單元40由方向控制導(dǎo)軌15引導(dǎo)的位 置。因此，當(dāng)傳送車30在從例如故障恢復(fù)或進(jìn)行維修工作的情況下在 反向上移動(dòng)時(shí)，它無需確保用于在出現(xiàn)故障時(shí)的傳送車30的緊急停止 的長度。即，如果間隔區(qū)域具有在移動(dòng)方向上的一個(gè)移動(dòng)單元40的長 度Ll和在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單元40運(yùn)行的距離L2之和的長度，則在 釋放由方向控制導(dǎo)軌17進(jìn)行的引導(dǎo)操作后，移動(dòng)單元40可以被轉(zhuǎn)移 到移動(dòng)單元40由方向控制導(dǎo)軌15引導(dǎo)的位置。
此外，在本實(shí)施例中的OHT 1中，后移導(dǎo)軌19與在連接軌道13 的延伸方向上延伸的方向控制導(dǎo)軌17的虛擬延長線相交，并從引導(dǎo)釋 放點(diǎn)延伸到引導(dǎo)重始點(diǎn)。此外，后移導(dǎo)軌19具有鄰接并引導(dǎo)導(dǎo)向滾輪 43的鄰接表面19a。因此，導(dǎo)向滾輪43可以被可靠地從引導(dǎo)釋放點(diǎn)引
導(dǎo)到引導(dǎo)重始點(diǎn)。
此外，確定在引導(dǎo)方向上的后移導(dǎo)軌19的鄰接表面19a的形狀， 以便沿連接軌道13的延伸方向以恒定速度滑動(dòng)并由后移導(dǎo)軌19引導(dǎo) 的滑動(dòng)單元40在連接軌道13的寬度方向上的速度首先以恒定加速度 增加，并在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定的時(shí)期內(nèi)保持恒定速度，然后在經(jīng) 過預(yù)定時(shí)期后以恒定加速度降低。因此，即便在轉(zhuǎn)移操作出現(xiàn)故障時(shí) 由后移導(dǎo)軌19強(qiáng)制轉(zhuǎn)移移動(dòng)單元40，也能降低在傳送車30上的沖擊。 因此，能防止由傳送車30所保持的FOUP 60中容納的基板發(fā)生任何缺 陷。
接下來，將結(jié)合以下比較實(shí)例描述根據(jù)本發(fā)明的OHT 1的優(yōu)點(diǎn)。 圖9是根據(jù)比較例的傳送裝置的傳送車130的平面圖。該傳送車包括車輛單元131，其以懸掛的方式載有要傳送的物品；和在移動(dòng)方向(由 在圖9中的箭頭所示的方向)上排列在車輛單元131的前部分和后部 分的兩個(gè)移動(dòng)單元140。移動(dòng)單元140的每一個(gè)在其寬度方向(垂直于
移動(dòng)方向的方向)的兩側(cè)上都具有兩個(gè)導(dǎo)向滾輪，即，總共四個(gè)導(dǎo)向
滾輪141至144。移動(dòng)單元140可以利用未示出的單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng) 力而在寬度方向上移動(dòng)。兩個(gè)移動(dòng)單元140通過單元連接部件148以
旋轉(zhuǎn)的方式彼此連接。
在圖9中所示的傳送裝置具有"H"形的軌道，其中，提供了一系 列分支和交匯點(diǎn)。具體地，在圖9中所示的軌道包括彼此平行并在 圖9中的左右方向上延伸的主軌道111和子軌道112，以及從圖9中的 左下區(qū)域延伸到右上區(qū)域并連接主軌道111和子軌道112的連接軌道 113。
在主軌道111和子軌道112的連接區(qū)域附近，提供了方向控制導(dǎo) 軌114和115。方向控制導(dǎo)軌114沿主軌道111的延伸方向在主軌道 111的寬度方向的一側(cè)(圖9中的下側(cè))上延伸。方向控制導(dǎo)軌115沿 連接軌道113的延伸方向在連接軌道113的寬度方向的另一側(cè)(圖9 中的左側(cè))上延伸并延伸到主軌道111。
類似地，在子軌道112和連接軌道113的連接區(qū)域附近，提供了 方向控制導(dǎo)軌116和117。方向控制導(dǎo)軌116沿子軌道112的延伸方向 在子軌道112的寬度方向的另一側(cè)(圖9中的上側(cè))上延伸。方向控 制導(dǎo)軌117沿連接軌道113的延伸方向在連接軌道113的寬度方向上 的一側(cè)(圖9中的右側(cè))上延伸并延伸到子軌道112。在連接軌道113 中，方向控制導(dǎo)軌115和117通過具有長度L0的間隔區(qū)域而在連接軌 道113的延伸方向上彼此分隔開。
現(xiàn)給出在比較例中的操作的描述，其中沿在圖9中的主軌道111 的右向移動(dòng)的傳送車130離開主軌道111并進(jìn)入在圖9中所示的"H" 形的軌道中的子軌道112。首先，利用單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力，將移動(dòng) 單元140轉(zhuǎn)移到寬度方向的另一側(cè)(在圖9中的上側(cè))，以便在主軌
道111上移動(dòng)的移動(dòng)單元140的位于寬度方向另一側(cè)上的導(dǎo)向滾輪142 和144由延伸到連接軌道113的方向控制導(dǎo)軌115引導(dǎo)。在這種情況 下，傳送車130被移動(dòng)到主軌道111和連接軌道113的連接區(qū)域，以 將傳送車130移動(dòng)到連接軌道113內(nèi)。
接著，如在圖9中所示，在釋放由方向控制導(dǎo)軌115進(jìn)行的在前 側(cè)上的移動(dòng)單元140的導(dǎo)向滾輪142和144的引導(dǎo)操作后，利用單元 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力，在寬度方向上轉(zhuǎn)移移動(dòng)單元140,并將移動(dòng)單元 140移動(dòng)到在寬度方向的一側(cè)和在移動(dòng)方向的前側(cè)上的移動(dòng)單元140的 導(dǎo)向滾輪141由方向控制導(dǎo)軌117引導(dǎo)的位置。由此，在前側(cè)上的移 動(dòng)單元140的導(dǎo)向滾輪141和143由方向控制導(dǎo)軌117引導(dǎo)。當(dāng)釋放 由方向控制導(dǎo)軌115進(jìn)行的對(duì)于導(dǎo)向滾輪142和144的引導(dǎo)操作時(shí)， 在后側(cè)上的移動(dòng)單元40也以相同方式轉(zhuǎn)移。從而，傳送車130運(yùn)行到 子軌道112中。
如上所述，在比較例的傳送裝置中，其中將移動(dòng)單元140從方向 控制導(dǎo)軌115轉(zhuǎn)移到方向控制導(dǎo)軌117的間隔區(qū)域具有長度L10，該長 度L10至少比長度Lll、距離L12和長度L13的和還要長。長度Lll 是一個(gè)移動(dòng)單元140沿移動(dòng)方向的長度。L12是在利用單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn) 行移動(dòng)單元140的轉(zhuǎn)移操作期間該移動(dòng)單元140運(yùn)行的距離。長度L13 是在移動(dòng)單元140由于諸如轉(zhuǎn)移移動(dòng)單元140的時(shí)間延遲等轉(zhuǎn)移操作 失敗而導(dǎo)致移動(dòng)單元140必須被停止時(shí)傳送車130緊急停止所需要的 距離。
相反，根據(jù)本發(fā)明的傳送裝置，該間隔區(qū)域所具有的長度LO必須 短于上述比較例中的長度LIO。因此，在本發(fā)明中，可以減少間隔區(qū)域， 并因此縮短了連接軌道的長度。從而，能減少傳送裝置所必須的空間。
雖然以上描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明的應(yīng)用并不限于 在以上實(shí)施例中所描述的那些，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以在設(shè)計(jì) 上進(jìn)行各種變化和修改。
例如，在上述實(shí)施例中，提供具有鄰接表面19a的后移導(dǎo)軌19， 當(dāng)在反向上移動(dòng)的傳送車30進(jìn)行轉(zhuǎn)移操作時(shí)，導(dǎo)向滾輪43鄰接于該 鄰接表面19a。但是，也可以省略該后移導(dǎo)軌19。
在上述實(shí)施例中，前移導(dǎo)軌18的鄰接表面18a和后移導(dǎo)軌19的 鄰接表面19a都可以被確定，以致于在轉(zhuǎn)移操作期間移動(dòng)單元40在連 接軌道13的寬度方向上的速度首先以恒定的加速度增加，并在達(dá)到恒 定速度后在預(yù)定的時(shí)期內(nèi)保持該恒定的速度，然后在經(jīng)過了預(yù)定的時(shí) 期后以恒定的加速度降低。即，鄰接表面18a和19a的形狀如在圖6 中所示。但，本發(fā)明的應(yīng)用并不限于此實(shí)例。沿引導(dǎo)方向的鄰接表面 18a和19a的形狀可以是對(duì)應(yīng)于在圖8中所示的1/2周期的正弦曲線。
此外，在上述實(shí)施例中，傳送車30具有兩個(gè)在移動(dòng)方向上線性排 列的移動(dòng)單元40。但是，傳送車30也可以具有三個(gè)或更多的移動(dòng)單元 40。
此外，在上述實(shí)施例中，將本發(fā)明應(yīng)用到作為天花板移動(dòng)類型的 軌道傳送裝置的0HT1中，以及其中，傳送車30以懸掛的方式移動(dòng)。 但，本發(fā)明的應(yīng)用并不限于此。例如，本發(fā)明可以被應(yīng)用到地面移動(dòng) 類型的軌道傳送裝置中，在其中，傳送車在地面提供的軌道上移動(dòng)。
包括說明書、權(quán)利要求、附圖和概述的于2006年11月17日提交 的曰本專利申請(qǐng)No.2006-311595的全部公開內(nèi)容都合并在此作為參 考。
權(quán)利要求
1.一種軌道傳送裝置，包括軌道，包括第一主軌道、第二主軌道和連接所述第一主軌道和所述第二主軌道的連接軌道；第一方向控制導(dǎo)軌，在所述連接軌道的寬度方向的一側(cè)上沿所述連接軌道的延伸方向延伸并延伸到所述第一主軌道；第二方向控制導(dǎo)軌，在所述連接軌道的寬度方向的另一側(cè)上以不與所述第一方向控制導(dǎo)軌重疊的方式沿所述連接軌道的延伸方向延伸并延伸到所述第二主軌道；由所述軌道支撐并引導(dǎo)以移動(dòng)的傳送車，所述傳送車包括多個(gè)滾輪單元，所述滾輪單元的每一個(gè)都包括由所述第一方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的第一滾輪和由所述第二方向控制導(dǎo)軌所引導(dǎo)的第二滾輪；和前移導(dǎo)軌，當(dāng)在所述軌道上的所述傳送車沿前移方向從所述第一主軌道的一側(cè)移動(dòng)到所述第二主軌道的一側(cè)時(shí)，在釋放由所述第一方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的對(duì)于一個(gè)滾輪單元的所述第一滾輪的引導(dǎo)操作后，所述前移導(dǎo)軌將所述滾輪單元引導(dǎo)到一個(gè)滾輪單元的所述第二滾輪由所述第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軌道傳送裝置，其中，所述前移導(dǎo)軌與在所述連接軌道的所述延伸方向上延伸的 所述第一方向控制導(dǎo)軌的虛擬延長線相交，其中，當(dāng)所述第二滾輪處于由所述第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置 時(shí)，所述前移導(dǎo)軌延伸到鄰接所述第一滾輪的位置，以及其中，所述前移導(dǎo)軌具有鄰接并引導(dǎo)所述第一滾輪的前移鄰接表面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的軌道傳送裝置，其中，在引導(dǎo)方向上的 所述前移鄰接表面的形狀為正弦曲線形狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的軌道傳送裝置，其中，確定所述前移鄰 接表面的形狀，以便由所述前移導(dǎo)軌引導(dǎo)并在沿所述連接軌道的延伸 方向上以恒定速度滑動(dòng)的所述滾輪單元在所述連接軌道的寬度方向上 的速度首先以恒定加速度增加，在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定時(shí)期內(nèi)保持 恒定速度，隨后在經(jīng)過所述預(yù)定時(shí)期后以所述恒定加速度降低。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的軌道傳送裝置，還包括后移導(dǎo)軌，當(dāng)在 所述軌道上的所述傳送車沿反向從所述第二主軌道的一側(cè)移動(dòng)到所述 第一主軌道的一側(cè)時(shí)，在釋放由所述第二方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的對(duì)于一 個(gè)滾輪單元的所述第二滾輪的引導(dǎo)操作后，所述后移導(dǎo)軌將所述滾輪 單元引導(dǎo)到一個(gè)滾輪單元的所述第一滾輪由所述第一方向控制導(dǎo)軌引 導(dǎo)的位置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的軌道傳送裝置，其中，所述后移導(dǎo)軌與在所述連接軌道的延伸方向上延伸的所述 第二方向控制導(dǎo)軌的虛擬延長線相交，其中，當(dāng)所述第一滾輪位于由所述第一方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)的位置 時(shí)，所述后移導(dǎo)軌延伸到鄰接所述第二滾輪的位置，以及其中，所述后移導(dǎo)軌具有鄰接并引導(dǎo)所述第二滾輪的后移鄰接表面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的軌道傳送裝置，其中，在引導(dǎo)方向上的 所述后移鄰接表面的形狀為正弦曲線形狀。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的軌道傳送裝置，其中，確定所述后移鄰 接表面的形狀，以便由所述后移導(dǎo)軌引導(dǎo)并在所述連接軌道的延伸方 向上以恒定速度滑動(dòng)的所述滾輪單元在所述連接軌道的寬度方向上的 速度首先以恒定加速度增加，在達(dá)到恒定速度后在預(yù)定時(shí)期內(nèi)保持恒 定速度，隨后在經(jīng)過所述預(yù)定時(shí)期后以所述恒定加速度降低。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種連接軌道，包括提供在它的寬度方向的另一側(cè)上并沿延伸方向延伸的第一方向控制導(dǎo)軌；和提供在它的寬度方向的一側(cè)上通過間隔區(qū)域與第一方向控制導(dǎo)軌隔開并沿延伸方向延伸的第二方向控制導(dǎo)軌。當(dāng)傳送車在反向上移動(dòng)時(shí)，在釋放由第一方向控制導(dǎo)軌進(jìn)行的對(duì)于移動(dòng)單元的導(dǎo)向滾輪的引導(dǎo)操作后，通過執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作轉(zhuǎn)移移動(dòng)單元，以便移動(dòng)單元的導(dǎo)向滾輪由第二方向控制導(dǎo)軌引導(dǎo)。在轉(zhuǎn)移操作期間提供具有鄰接導(dǎo)向滾輪的鄰接面的前移導(dǎo)軌。
文檔編號(hào)B65G35/00GK101195437SQ20071018702
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2007年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月17日
發(fā)明者久德千三 申請(qǐng)人:日本阿西斯特技術(shù)株式會(huì)社