涂布裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型有關(guān)于涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括：一主機臺，其上設(shè)可供載盤定位或輸送的第一軌道與第二軌道，以及第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)、第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)；第一軌道、第二軌道上方設(shè)第一龍門及第二龍門并形成操作區(qū)間；第一龍門上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門上設(shè)有第二操作裝置；所述載盤經(jīng)由第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經(jīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)輸送移出接受檢測并以收納盒作收集者。
【專利說明】涂布裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型系有關(guān)于一種涂布裝置，尤指一種用于在一載盤上，對載盤上所置設(shè)用于承載芯片的基板(Substrate)進行涂布黏性材料的涂布裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]—般晶圓經(jīng)切割成一片片芯片時,每一片芯片必須經(jīng)由置設(shè)于一基板(SubstrateBoard)中進行封裝，才能使該芯片被使用；而現(xiàn)行將芯片置設(shè)于基板上的作業(yè)通常透過一載盤(Boat)來完成，使載盤提供多數(shù)個整齊排列的置放區(qū)間，以供各基板置于載盤各置放區(qū)間，然后再將基板上預定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上時可藉該黏性材料固定于基板預設(shè)的定位以進行下一制程。
[0003]一種先前技術(shù)在基板上預定位置涂覆黏性材料的裝置，采用在兩龍門下方設(shè)軌道，并使軌道上置設(shè)該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設(shè)一橫設(shè)的軌座，并在軌座上設(shè)內(nèi)部容裝黏性材料的膠閥，藉由橫設(shè)的軌座可在兩龍門上作Y軸向位移，而膠閥可在軌座上作X軸向及Z軸向位移，來對下方軌道中載盤上基板進行涂布黏性材料的作業(yè)。
[0004]另一種先前技術(shù)在基板上預定位置涂覆黏性材料的裝置，為提高效率而采用在兩龍門下方設(shè)兩平行的第一、二導軌，以分別輸送二載盤，并在第一龍門上設(shè)第一導引軌道及第二導引軌道，以分別設(shè)置檢測單元及第一出料頭，及在第二龍門上設(shè)第三導引軌道以設(shè)置第二出料頭，使第一導軌上的載盤輸經(jīng)第一龍門上第一導引軌道下方時受檢測單元檢測，再續(xù)輸送經(jīng)第一龍門上第二導引軌道下方受第一出料頭涂布，然后再返回原第一龍門上第一導引軌道下方再受檢測單元檢測，以完成涂布作業(yè)；而第二導軌則與第一導鬼進行的程序及作業(yè)相同，但較第一導軌上的作業(yè)程序晚一步驟。
實用新型內(nèi)容
[0005]先前技術(shù)采在兩龍門下方設(shè)兩平行的第一、二導軌以分別輸送二載盤者，其雖較在兩龍門下方設(shè)軌道，并使軌道上置設(shè)該載有基板的載盤，及于兩龍門間的上方共同架設(shè)一橫設(shè)的軌座者具有較高的涂布效率，但因其就單一載盤上的涂布作業(yè)而言，因載盤是在移動中被進行涂覆，因此出料頭的位移與載盤的位移構(gòu)成更多的變動因素，對于涂布精度形成精確性的影響；再者，由于其采三個導引軌道來分別設(shè)置檢測單元、第一出料頭、第二出料頭的方式，使在第一出料頭、第二出料頭完成涂布的該載有基板的載盤必須進行一返回程序，而返回至第一導引軌道下方接受檢測單元的檢測，造成行程的浪費與下一載盤進入的延遲，對產(chǎn)出效率形成延??！
[0006]于是，本實用新型的目的，在于提供一種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布裝置。
[0007]本實用新型的另一目的，在于提供一種使各項操作集中于同一操作區(qū)間以便于操作管理的涂布裝置。
[0008]本實用新型的又一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布裝置。
[0009]本實用新型的再一目的，在于提供一種使在黏性材料涂布過程中易于進行各項定位校正的涂布裝置。
[0010]本實用新型的又再一目的，在于提供二種使被輸送的載盤可有效率地在多個軌道上進行黏性材料涂布的涂布裝置。
[0011]本實用新型的又再一目的，在于提供一種使載盤在定位被進行黏性材料涂布以增加精確性的涂布裝置。
[0012]本實用新型的又再一目的，在于提供二種使操作裝置在進行黏性材料涂布時可避免碰撞的涂布裝置。
[0013]本實用新型的又再一目的，在于提供一種將載盤完成涂布黏性材料后輸送至收納盒收集的涂布裝置。
[0014]本實用新型的又再一目的，在于提供一種以有效率的載盤移載流路進行黏性材料涂布的涂布裝置。
[0015]依據(jù)本實用新型的目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設(shè)置可供一載盤于其中作定位或作輸送位移第一軌道與第二軌道；其兩側(cè)分別設(shè)有可被驅(qū)動作位移的第一活動軌架的第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)及可被驅(qū)動作位移的第二活動軌架的第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門的第一懸臂上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設(shè)有第二操作裝置；所述載盤經(jīng)由第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第一活動軌架而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經(jīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第二活動軌架輸送移出者。
[0016]依據(jù)本實用新型另一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門的第一懸臂上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設(shè)有第二操作裝置；該所述第一操作裝置包括:第一檢測裝置、第一取像裝置、第一涂布頭；該第二操作裝置包括:第二檢測裝置、第二取像裝置、第二涂布頭；所述載盤于操作區(qū)間中的第一軌道或第二軌道上受第一操作裝置及第二操作裝置進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料，并于完成后，由第一軌道或第二軌道輸送移出者。
[0017]依據(jù)本實用新型又一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一固定軌架、第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門上設(shè)有第二操作裝置；在第一軌道與第二軌道處各設(shè)有一治具，該治具設(shè)有一可受驅(qū)動作上、下位移的治具座，治具座上設(shè)有多數(shù)頂座，各頂座上設(shè)有負壓槽道；另，載盤內(nèi)設(shè)有多數(shù)鏤空區(qū)間，各鏤空區(qū)間處分別各置設(shè)載片；當載盤被輸送至第一軌道或第二軌道處時，所述治具的治具座將被驅(qū)動上移以頂座頂觸載片，并在負壓槽道通以負壓，使載片被吸附于頂座上表面下令頂座升經(jīng)鏤空區(qū)間，以使載片上所置設(shè)載有芯片的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布。
[0018]依據(jù)本實用新型再一目的的涂布裝置，包括:一主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供一載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一固定軌架、第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門上設(shè)有第二操作裝置；在所述操作區(qū)間的第一軌道與第二軌道間，設(shè)有一校正座，其上設(shè)有校正刻度；以使載盤上所載設(shè)的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布時時藉以校正定位者。
[0019]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:一第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其以一第一活動軌架作Y軸向位移構(gòu)成一第二選擇性流路；一第一固定軌架，其構(gòu)成第一固定流路；一第二固定軌架，其構(gòu)成第二固定流路；一第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其以一第二活動軌架作Y軸向位移構(gòu)成一第三選擇性流路。
[0020]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:第二選擇性流路，用以將載盤逐一順序轉(zhuǎn)換分配至不同輸送流路；第一固定流路，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料步驟；第二固定流路，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料步驟；第三選擇性流路，用以將載盤自不同輸送流路逐一順序轉(zhuǎn)換卸移至同一輸送流路。
[0021]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:位于一操作區(qū)間的軌道，所述軌道可用以輸送其上放置待涂布黏性材料的基板的載盤；一治具，位于所述軌道中，可藉以使載盤中用以置放基板的一載片被操作升降；一操作裝置，位于該操作區(qū)間中，可在基板上進行涂布黏性材料者。
[0022]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:一操作區(qū)間，由一第一龍門及一第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的X軸向軌道；一第一工作頭，設(shè)于所述第一龍門上，可作X軸向及Y軸向位移，其朝所述操作區(qū)間的一端設(shè)有第一操作裝置；一第二工作頭，設(shè)于所述第二龍門上，可作X軸向及Y軸向位移，其朝所述操作區(qū)間的一端設(shè)有第二操作裝置；所述第一操作裝置、第二操作裝置可進行在所述載盤所承載的基板上涂布黏性材料者。
[0023]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:一操作區(qū)間，由一第一龍門及一第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的軌道；一第一操作裝置，設(shè)于所述第一龍門上，可由載盤左邊側(cè)對該載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料；一第二操作裝置，設(shè)于所述第二龍門上，可由載盤中央與第一操作裝置同步向右、向下或向左位移對該載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料。
[0024]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:一操作區(qū)間，由一第一龍門及一第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的第一軌道、第二軌道；一第一操作裝置，設(shè)于所述第一龍門上，可對第一軌道、第二軌道上載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料；一第二操作裝置，設(shè)于所述第二龍門上，可對第一軌道、第二軌道上載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料；所述基板位置定位、基板高度測高系由第一操作裝置、第二操作裝置同步于同一載盤進行；所述基板上涂布黏性材料，系以二種黏性材料由第一操作裝置、第二操作裝置分別交互涂布方式進行者。
[0025]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:一推桿，設(shè)于載盤完成涂布黏性材料欲輸送至一收納盒時的流路上，載盤輸送經(jīng)過時推桿可落下供載盤經(jīng)過，而載盤經(jīng)過后可上仰對載盤推移進入收納盒定位。
[0026]依據(jù)本實用新型又再一目的的涂布裝置，用以在一載盤所置放的基板上涂布黏性材料，包括:多數(shù)個獨立軌架，其各形成獨立流路而組成該載盤移載的流路，各軌架分別各包括由二相隔間距的側(cè)軌件形成載盤可輸經(jīng)的軌道，二側(cè)軌件相對的內(nèi)側(cè)設(shè)有受驅(qū)動件所驅(qū)動的皮帶，載盤于該二側(cè)軌件間的皮帶被輸送。
[0027]本實用新型實施例所提供涂布裝置，由于在載盤的流路規(guī)劃，及第一工作頭的第一操作裝置與第二工作頭的第二操作裝置的互動規(guī)劃，使在單純的裝送機構(gòu)與裝卸機構(gòu)間的載盤上基板涂布黏性材料作業(yè)可以更具效率，并能因應(yīng)一種或多種的黏性材料涂布，亦能藉由控制而選擇第一軌道或第一軌道、第二軌道進行黏性材料涂布，且完成涂布的載盤無須進行一返回程序即能完成檢測，使黏性材料涂布效率及產(chǎn)能的因應(yīng)能力更為提升；而以載盤在操作區(qū)中的第一固定軌架或第二固定軌架上，以在載盤定位下被接受第一工作頭的第一操作裝置與第二工作頭的第二操作裝置的包括基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料的操作步驟，不僅可增加操作黏性材料涂布的精確性，亦助于操作機構(gòu)的統(tǒng)整管理與操控。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1系本實用新型實施例中主機臺上載盤輸送流路的俯視示意圖。
[0029]圖2系本實用新型實施例中主機臺上載盤輸送流路的立體示意圖。
[0030]圖3系本實用新型實施例中涂布裝置的俯視示意圖。
[0031]圖4系本實用新型實施例中涂布裝置的立體示意圖。
[0032]圖5系本實用新型實施例中第一固定軌架與治具的、載盤的立體分解示意圖。
[0033]圖6系本實用新型實施例中量測裝置與殘膠去除裝置的立體示意圖。
[0034]圖7本實用新型實施例中裝送裝置處推送裝置操作的立體示意圖。
[0035]圖8本實用新型實施例中裝卸裝置處推移裝置的前側(cè)立體示意圖。
[0036]圖9本實用新型實施例中裝卸裝置處推移裝置的后側(cè)立體示意圖。
[0037]圖10本實用新型實施例中推移裝置操作的示意圖(一)。
[0038]圖11本實用新型實施例中推移裝置操作的示意圖(二)。
[0039]圖12本實用新型實施例中推移裝置操作的示意圖(三)。
[0040]符號說明
[0041]A 主機臺Al 第一軌道
[0042]All第一固定軌架Alll側(cè)軌架
[0043]Al 12固定件Al 13皮帶驅(qū)動件
[0044]Al 14皮帶Al 15止擋機構(gòu)
[0045]Al 16止擋驅(qū)動件 Al 17止銷
[0046]A2 第二軌道 A21第二固定軌架
[0047]A3載盤A31鏤空區(qū)間
[0048]A32定位銷A33載片
[0049]A4第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A41驅(qū)動件
[0050]A42第一活動軌架A5 第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)
[0051]A51驅(qū)動件A52第二活動軌架
[0052]A6操作區(qū)間 A61第一龍門
[0053]A611第一懸臂 A612第一工作頭
[0054]A613第一滑座 A614線性傳動件
[0055]A615線性傳動件 A62第二龍門
[0056]A621第二懸臂 A622第二工作頭
[0057]A623第二滑座 A624線性傳動件
[0058]A71第一操作裝置A711第一檢測裝置
[0059]A712第一取像裝置A713第一涂布頭
[0060]A72第二操作裝置A721第二檢測裝置
[0061]A722第二取像裝置A723第二涂布頭
[0062]A8校正座A81校正刻度
[0063]A82量測裝置 A83殘膠去除裝置
[0064]A831夾具A832 容器
[0065]A833夾座A834撓性件
[0066]A9治具A91治具座
[0067]A92頂座A93負壓槽道
[0068]B副機臺BI 第三固定軌架
[0069]B2X軸向驅(qū)動件 B3 Y軸向驅(qū)動件
[0070]B4第二檢測裝置B5 推移裝置
[0071]B51固定座B52滑軌
[0072]B521滑塊B53移動座
[0073]B54無桿氣壓缸B541滑塊
[0074]B55推桿B551彈性組件
[0075]B56擋壓件 B571第一感測件
[0076]B572第二感測件C 裝送裝置
[0077]Cl第一升降架C2 收納盒
[0078]C3開口C4 推送裝置
[0079]C41固定件 C42軌座
[0080]C43滑軌C44推抵件
[0081]C45移動座 C46皮帶
[0082]C47驅(qū)動件 D 裝卸機構(gòu)
[0083]Dl第二升降架D2 收納盒
[0084]D3開口

【具體實施方式】
[0085]請參閱圖1、圖2，本實用新型實施例涂布裝置可以圖中的裝置實施例來作說明；包括:
[0086]一主機臺A，其上設(shè)置相對為較靠近操作者的第一軌道Al，以及相對為較遠操作者并與第一軌道Al平行的第二軌道A2，所述第一軌道Al及第二軌道A2各可供一載盤A3于其中作定位或作X軸向的輸送位移；所述第一軌道Al系由在固定位置不作位移的第一固定軌架All所構(gòu)成；所述第二軌道A2系由在固定位置不作位移的第二固定軌架A21所構(gòu)成；在第一固定軌架AU、第二固定軌架A21兩側(cè)分別設(shè)有第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4及第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5，第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4設(shè)有在一驅(qū)動件A41上可被驅(qū)動作Y軸向位移的第一活動軌架A42，第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5設(shè)有在一驅(qū)動件A51上可被驅(qū)動作Y軸向位移的第二活動軌架A52 ；請參閱圖3、圖4，在第一軌道Al、第二軌道A2上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門A61及第二龍門A62，所述第一固定軌架All、第二固定軌架A21相對應(yīng)并恰位于第一龍門A61及第二龍門A62間所形成的操作區(qū)間A6 ;第一龍門A61的第一懸臂A611呈Y軸向，其上以X軸向設(shè)有第一工作頭A612，第一懸臂A611上表面與第一工作頭A612下表面間設(shè)有第一滑座A613,第一滑座A613下表面與第一懸臂A611上表面間，及第一滑座A613上表面與第一工作頭A612下表面間分別各設(shè)有線性傳動件A614、A615，其可為線性滑軌及包括有動子及定子的線性馬達所構(gòu)成，使第一工作頭A612可在第一懸臂A611上表面上作X軸向及Y軸向位移；第二龍門A62的第二懸臂A621呈Y軸向，其上以X軸向設(shè)有第二工作頭A622，第二懸臂A621上表面與第二工作頭A622下表面間設(shè)有第二滑座A623,第二滑座A623下表面與第二懸臂A621上表面間、及第二滑座A623上表面與第二工作頭A622下表面間分別各設(shè)有線性傳動件A624、A625，其可為線性滑軌及包括有動子及定子的線性馬達所構(gòu)成，使第二工作頭A622可在第二懸臂A621上表面上作X軸向及Y軸向位移；所述第一工作頭A612朝所述操作區(qū)間A6的一端設(shè)有第一操作裝置A71，其包括:第一檢測裝置A711、第一取像裝置A712、第一涂布頭A713，第二工作頭間A622朝所述操作區(qū)間A6的一端設(shè)有第二操作裝置A72，包括:第二檢測裝置A721、第二取像裝置A722、第二涂布頭A723，其中，第一檢測裝置A711、第二檢測裝置A721可為一可用以測量高度的雷射頭，第一取像裝置A712、第二取像裝置A722可為一 CCD鏡頭，第一涂布頭A713、第二涂布頭A723可為利用膠筒供膠以膠閥進行吐膠的黏性材料涂布裝置；在所述操作區(qū)間A6的第一固定軌架AU、第二固定軌架A21間，設(shè)有一校正座A8，其上設(shè)有校正刻度A81 ;在第一軌道Al與操作者間，設(shè)有膠量的量測裝置A82，其兩側(cè)各設(shè)有殘膠去除裝置A83 ；
[0087]一副機臺B，其為與主機臺A分離的獨立機臺，其上設(shè)有第三
[0088]固定軌架BI，其與所述主機臺A的第一軌道Al對應(yīng)，并為所述第一軌道Al的載盤A3輸送的后段流路而可供載盤A3輸送停置其中；另設(shè)有可在一 X軸向驅(qū)動件B2及一 Y軸向驅(qū)動件B3驅(qū)動下對所述載盤A3上基板黏性材料涂布狀況進行檢測的第二檢測裝置B4，其可為倍率較所述第一、二取像裝置A712、A722更高的CXD鏡頭；所述第三固定軌架BI作為載盤A3輸送排出的一端設(shè)有一推移裝置B5 ；
[0089]一裝送機構(gòu)(Load) C，設(shè)于所述主機臺A —側(cè)，包括一第一升降架Cl，以及受升降架Cl驅(qū)動可在Y軸向作上升或下降的多數(shù)收納盒C2，各收納盒C2形成X軸向的兩側(cè)開口C3，并可被驅(qū)動升降以對應(yīng)第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4的第一活動軌架A42，并可以一推送裝置C4將容納于收納盒C2中尚未進行黏性材料涂布的載盤A3推入主機臺A的第一活動軌架A42中被輸送進行黏性材料涂布；
[0090]一裝卸機構(gòu)(Unload)D，設(shè)于所述副機臺B —側(cè)，包括一第二升降架D1，以及受升降架Dl驅(qū)動可在Y軸向作上升或下降的多數(shù)收納盒D2，各收納盒D2形成X軸向的兩側(cè)開口 D3，并可被驅(qū)動對應(yīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5的第二活動軌架A52 ;收納盒D2用以容納已進行黏性材料涂布的載盤A3。
[0091]本實用新型實施例中，該載盤A3移載的流路由多數(shù)個獨立軌架所各形成的獨立流路所組成，包括第一固定軌架AU、第二固定軌架A21、第三固定軌架B1、第一活動軌架A42、第二活動軌架A52等軌架的構(gòu)造皆大致相同，以下以設(shè)于第一固定軌架All處的構(gòu)造作說明，請參閱圖5，第一固定軌架All系以二相隔間距的側(cè)軌件Alll形成載盤A3可輸經(jīng)的第一軌道Al，二側(cè)軌件Alll并以固定件A112固定及架高于主機臺A上方一高度間距處，二側(cè)軌件Alll相對的內(nèi)側(cè)各設(shè)有受馬達構(gòu)成的皮帶驅(qū)動件Al 13所驅(qū)動的皮帶Al 14，而載盤A3即置設(shè)于該二側(cè)軌件Alll間的皮帶A114上方被輸送；第一軌道Al —端同時亦設(shè)有一止擋機構(gòu)A115，其以一汽缸構(gòu)成的止擋驅(qū)動件A116驅(qū)動的止銷A117上升以止擋第一軌道Al中被輸送的載盤A3止于定位，或下降以令載盤A3通過；
[0092]惟，另在第一固定軌架All、第二固定軌架A21下方各設(shè)有一治具A9，其上設(shè)有一可受驅(qū)動作上、下位移的治具座A91，治具座A91上設(shè)有多數(shù)呈矩陣排列的頂座A92，各頂座A92上各設(shè)有凹設(shè)呈交叉開設(shè)的負壓槽道A93 ;另，載盤A3內(nèi)設(shè)有多數(shù)鏤空區(qū)間A31，各鏤空區(qū)間A31四腳落處各設(shè)有定位銷A32，于鏤空區(qū)間A31處分別各置設(shè)一載片A33，其四角緣恰嵌于該等定位銷A32間獲得定位；當載盤A3恰被輸送于該第一固定軌架AU中時，所述治具A9的治具座A91將被驅(qū)動上移時，而以其上各頂座A92上表面在被連動上升頂觸及載片A33時，經(jīng)由在負壓槽道A93通以負壓，而使載片A33在被吸附于頂座A92上表面下續(xù)令頂座A92被升經(jīng)鏤空區(qū)間A31，以使載片A33上所置設(shè)的載有芯片的基板被進行制程的施作；而當治具座A91在被驅(qū)動下降時，載有芯片及基板的載片A33在觸及定位銷A32間載盤A3時,將被留置于載盤A3上。
[0093]請參閱圖6，膠量的量測裝置A82兩側(cè)所設(shè)的殘膠去除裝置A83，各包括一夾具A831及一容器A832，夾具A831兩夾座A833內(nèi)側(cè)各設(shè)有撓性件A834，用以夾脫圖4中第一涂布頭A713、第二涂布頭A723吐膠后的殘余黏性材料，而容器A832則用以提供第一涂布頭A713、第二涂布頭A723將剩余黏性材料排出容置。
[0094]請參閱圖7，推送裝置C4包括一可藉固定件C41固設(shè)于第一升降架Cl的軌座C42，軌座C42上設(shè)有滑軌C43供一其上設(shè)有推抵件C44的移動座C45樞設(shè)，該移動座C45與一皮帶C46連動并受馬達構(gòu)成的驅(qū)動件C47所驅(qū)動，可驅(qū)使移動座C45連動推抵件C44對載盤A3進行推送的操作。
[0095]請參閱圖8、圖9，推移裝置B5系設(shè)有一固定座B51，在固定座B51上設(shè)有滑軌B52，并在滑軌B52的滑塊B521上設(shè)有一移動座B53，使移動座B53與一無桿氣壓缸B54上的滑塊B541連動，使一推桿B55彎設(shè)而以一端樞設(shè)于移動座B53，推桿B55與移動座B53間設(shè)有一彈性組件B551，并在無桿氣壓缸B54與滑軌B52同向的一端設(shè)有軸承構(gòu)成的擋壓件B56，及在移動座B53前后位移的動路上設(shè)有第一感測件B571及第二感測件B572。
[0096]請參閱圖10，當載盤A3欲自第三固定軌架BI輸出至收至后方第二感測件B572處，而使推桿B55觸及擋壓件B56的軸承，令推桿B55的前端下傾并壓縮彈性組件B551，使其彎設(shè)處放低供載盤A3通過；請參閱圖11，當載盤A3通過后，由于收納盒D2與第三固定軌架BI間有一段間距，故載盤A3無法完全被推入收納盒D2而有部份凸伸于外部；此時推移裝置B5的移動座B53被驅(qū)動前移脫離第二感測件B572，推桿B55因脫離擋壓件B56的軸承，彈性組件B551的回復力將使推桿B55重新仰起而以前端正對應(yīng)載盤A3地前進；請參閱圖12，推移裝置B5的移動座B53被驅(qū)動前移而以推桿B55前端推抵載盤A3進入收納盒D2，直到移動座B53觸及第一感測件B571。
[0097]本實用新型實施例在實施上，載盤A3由裝送機構(gòu)經(jīng)推送裝置C4的推送而進入第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4的第一活動軌架A42，在第一活動軌架A42此時恰對應(yīng)第一軌道Al的情況下，第一活動軌架A42將載盤A3輸送進入操作區(qū)A6的第一固定軌架Al I上；下一個載盤A3由裝送機構(gòu)經(jīng)推送裝置C4的推送而進入第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4的第一活動軌架A42時，第一活動軌架A42將受驅(qū)動件A41驅(qū)動作Y軸向位移至對應(yīng)第二軌道A2，并將載盤A3輸送至操作區(qū)A6中的第二固定軌架A21上。
[0098]已先位于第一軌道Al的第一固定軌架All上的載盤A3上基板將先被第一工作頭A612朝所述操作區(qū)間A6—端的第一操作裝置A71及第二工作頭間A622朝所述操作區(qū)間A6一端的第二操作裝置A72進行作業(yè)，所述作業(yè)包括基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料的步驟，其中，基板位置定位步驟以第一取像裝置A712、第二取像裝置A722進行，基板高度測高步驟以第一檢測裝置A711、第二檢測裝置A721進行，基板上涂布黏性材料步驟以第一涂布頭A713第二涂布頭A723進行；
[0099]涂布黏性材料的方法依照擬在基板上涂布一種或兩種黏性材料而有區(qū)別，例如:
[0100]涂布一種黏性材料時:第一工作頭A612的第一操作裝置A71及第二工作頭A622的第二操作裝置A72系采同步在一載盤A3上操作基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料等三步驟的方式進行，第一操作裝置A71由載盤A3左邊側(cè)、第二操作裝置A72由載盤A3中央，_■者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板聞度測聞、基板上涂布黏性材料等三步驟逐次進行；
[0101]涂布二種不同的黏性材料時:第一工作頭A612的第一操作裝置A71及第二工作頭A622的第二操作裝置A72系采同步在第一固定軌架All上載盤A3上操作基板位置定位、基板高度測高后，再同步移至第二固定軌架A21上載盤A3上操作基板位置定位、基板高度測高；然后第一工作頭A612的第一操作裝置A71移至第一固定軌架All上載盤A3上操作基板上涂布黏性材料步驟以涂布第一種黏性材料在載盤A3的基板上，而第二工作頭A622的第二操作裝置A72留在第二固定軌架A21的載盤A3上操作基板上涂布黏性材料步驟以涂布第二種黏性材料在載盤A3的基板上；完成后，第一工作頭A612的第一操作裝置A71再換移至第二固定軌架A21的載盤A3上操作涂布第一種黏性材料在載盤A3的基板上，而第二工作頭A622的第二操作裝置A72則換移至第一固定軌架All上載盤A3上操作涂布第二種黏性材料在載盤A3的基板上，以交互涂布方式進行。
[0102]第一固定軌架All上完成基板上涂布黏性材料步驟的載盤A3將被先輸送至第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5的第二活動軌架A52，并被輸送至副機臺B的第三固定軌架BI進行以第二檢測裝置B4的CXD鏡頭檢測，并于完成檢測后被輸送至裝卸機構(gòu)(Unload)D的收納盒D2收集，并在載盤A3進入收納盒D2時，推移裝置B5執(zhí)行一推送步驟，使推桿B55于載盤A輸送經(jīng)過時可落下供載盤A3經(jīng)過，而載盤A3經(jīng)過后可上仰對載盤A3進行推移，以推送載盤A3進入收納盒D2至定位；而完成第一固定軌架All上載盤A3輸送至副機臺B的第三固定軌架BI后，第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5的第二活動軌架A52亦將被驅(qū)動位移至第二固定軌架A21承接其上輸送出的載盤A3，并將該載盤A3輸送至副機臺B的第三固定軌架BI進行以第二檢測裝置B4的CXD鏡頭檢測，并于完成檢測后被輸送至裝卸機構(gòu)(Unload)D的收納盒D2收集。
[0103]本實用新型實施例的涂布裝置，載盤A3所移載的流路，依載盤A3受移載順序，依序包括:
[0104]第一選擇性流路，由裝送機構(gòu)(Load) C的收納盒D2作Z軸向位移所構(gòu)成；用以將位于收納盒D2中尚未涂布黏性材料的載盤A3逐一輸送出收納盒；
[0105]第二選擇性流路，由第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)A4的第一活動軌架A42作Y軸向位移所構(gòu)成；用以將載盤A3逐一順序轉(zhuǎn)換分配至不同輸送流路；
[0106]第一固定流路，由第一固定軌架All所構(gòu)成；用以使載盤A3于定位供執(zhí)行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料等步驟；
[0107]第二固定流路，由第二固定軌架A21所構(gòu)成；用以使載盤A3于定位供執(zhí)行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料等步驟；
[0108]第三選擇性流路，由第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)A5的第二活動軌架A52作Y軸向位移所構(gòu)成；用以將載盤A3自不同輸送流路逐一順序轉(zhuǎn)換卸移至同一輸送流路；
[0109]第三固定流路，由副機臺B的第三固定軌架BI所構(gòu)成；用以使完成黏性材料涂布的載盤A3于定位供執(zhí)行檢測；
[0110]第四選擇性流路，由裝卸機構(gòu)(Unload)D的收納盒D2作Z軸向位移所構(gòu)成；用以將已涂布黏性材料的載盤A3逐一承收于收納盒。
[0111]本實用新型實施例的涂布裝置，由于在載盤A3的流路規(guī)劃，及第一工作頭A612的第一操作裝置A71與第二工作頭A622的第二操作裝置A72的互動規(guī)劃，使在單純的裝送機構(gòu)(Load) C與裝卸機構(gòu)(Unload) D間的載盤A3上基板涂布黏性材料作業(yè)可以更具效率，并能因應(yīng)一種或多種的黏性材料涂布，亦能藉由控制而選擇第一軌道Al或第一軌道Al、第二軌道A2進行黏性材料涂布，且完成涂布的載盤A3無須進行一返回程序即能完成檢測，使黏性材料涂布效率及產(chǎn)能的因應(yīng)能力更為提升；而以載盤A3在操作區(qū)A6中的第一固定軌架All或第二固定軌架A21上，以在載盤A3定位下被接受第一工作頭A612的第一操作裝置A71與第二工作頭A622的第二操作裝置A72的包括基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料的操作步驟，不僅可增加操作黏性材料涂布的精確性，亦助于操作機構(gòu)的統(tǒng)整管理與操控。
[0112]惟以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例而已，當不能以此限定本實用新型實施的范圍，即大凡依本實用新型申請專利范圍及說明內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 主機臺，其上設(shè)置可供載盤于其中作定位或作輸送位移第一軌道與第二軌道；其兩側(cè)分別設(shè)有可被驅(qū)動作位移的第一活動軌架的第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)及可被驅(qū)動作位移的第二活動軌架的第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門的第一懸臂上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設(shè)有第二操作裝置； 所述載盤經(jīng)由第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第一活動軌架而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經(jīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第二活動軌架輸送移出。
2.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，所述第一軌道與第二軌道位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門的第一懸臂上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門的第二懸臂上設(shè)有第二操作裝置；該所述第一操作裝置包括:第一檢測裝置、第一取像裝置、第一涂布頭；該第二操作裝置包括:第二檢測裝置、第二取像裝置、第二涂布頭； 所述載盤于操作區(qū)間中的第一軌道或第二軌道上受第一操作裝置及第二操作裝置進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料，并于完成后，由第一軌道或第二軌道輸送移出。
3.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，并有第一固定軌架及第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間；第一龍門上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門上設(shè)有第二操作裝置；在第一軌道與第二軌道處各設(shè)有治具，該治具設(shè)有可受驅(qū)動作上、下位移的治具座，治具座上設(shè)有多數(shù)頂座，各頂座上設(shè)有負壓槽道；另，載盤內(nèi)設(shè)有多數(shù)鏤空區(qū)間，各鏤空區(qū)間處分別各置設(shè)載片； 當載盤被輸送至第一軌道或第二軌道處時，所述治具的治具座將被驅(qū)動上移以頂座頂觸載片，并在負壓槽道通以負壓，使載片被吸附于頂座上表面下令頂座升經(jīng)鏤空區(qū)間，以使載片上所置設(shè)載有芯片的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布。
4.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 主機臺，其上設(shè)置第一軌道與第二軌道，所述第一軌道及第二軌道各可供載盤于其中作定位或作輸送位移；在第一軌道、第二軌道上方設(shè)有相隔一段間距的第一龍門及第二龍門，并有第一固定軌架及第二固定軌架位于第一龍門及第二龍門間所形成的操作區(qū)間?’第一龍門上設(shè)有第一操作裝置，第二龍門上設(shè)有第二操作裝置；在所述操作區(qū)間的第一軌道與第二軌道間，設(shè)有校正座，其上設(shè)有校正刻度；以使載盤上所載設(shè)的基板被第一操作裝置、第二操作裝置進行黏性材料涂布時藉以校正定位。
5.如權(quán)利要求1至4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該第一龍門的第一懸臂上設(shè)有第一工作頭，第二龍門的第二懸臂上設(shè)有第二工作頭，所述第一操作裝置設(shè)于第一工作頭朝所述操作區(qū)間的一端，所述第二操作裝置設(shè)于第二工作頭朝所述操作區(qū)間的一端。
6.如權(quán)利要求1至4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該所述第一軌道系由在固定位置不作位移的第一固定軌架所構(gòu)成；所述第二軌道系由在固定位置不作位移的第二固定軌架所構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該所述第一操作裝置包括:第一檢測裝置、第一取像裝置、第一涂布頭；該第二操作裝置包括:第二檢測裝置、第二取像裝置、第二涂布頭。
8.如權(quán)利要求2或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該第一軌道與第二軌道兩側(cè)分別設(shè)有第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)及第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)，第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)設(shè)有可被驅(qū)動作位移的第一活動軌架，第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)設(shè)有可被驅(qū)動作位移的第二活動軌架；載盤經(jīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第二活動軌架而輸送至第一軌道或第二軌道受第一操作裝置及第二操作裝置進行黏性材料涂布，并于完成后，由第一軌道或第二軌道經(jīng)第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第二活動軌架輸送移出。
9.如權(quán)利要求6項所述的涂布裝置，其特征在于，該第一、二固定軌架系以二相隔間距的側(cè)軌件形成載盤可輸經(jīng)的軌道，二側(cè)軌件相對的內(nèi)側(cè)設(shè)有受驅(qū)動件所驅(qū)動的皮帶，載盤于該二側(cè)軌件間的皮帶被輸送。
10.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該第一、二軌道設(shè)有止擋機構(gòu)以止擋被輸送的載盤止于定位或令載盤通過。
11.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括第三固定軌架，其與所述主機臺的第一軌道對應(yīng)，并可供載盤輸送停置其中；另設(shè)有可對所述載盤進行檢測的第二檢測裝置。
12.如權(quán)利要求11項所述的涂布裝置，其特征在于，該第三固定軌架設(shè)于與所述主機臺分離的副機臺上。
13.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括:裝送機構(gòu)，包括第一升降架，以及受升降架驅(qū)動可作上升或下降的收納盒，收納盒形成兩側(cè)開口，并可被驅(qū)動升降以推送裝置將容納于收納盒中尚未進行黏性材料涂布的載盤推入主機臺中被進行黏性材料涂布。
14.如權(quán)利要求13項所述的涂布裝置，其特征在于，該推送裝置包括可藉固定件固設(shè)于第一升降架的軌座，軌座上設(shè)有滑軌供其上設(shè)有推抵件的移動座樞設(shè)，該移動座與皮帶連動并受馬達構(gòu)成的驅(qū)動件所驅(qū)動，可驅(qū)使移動座連動推抵件對載盤進行推送的操作。
15.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括:裝卸機構(gòu)，包括第二升降架，以及受升降架驅(qū)動可作上升或下降的收納盒，收納盒形成兩側(cè)開口，并可用以容納已完成黏性材料涂布的載盤。
16.如權(quán)利要求15項所述的涂布裝置，其特征在于，該載盤受推移裝置的推送以進入收納盒，該推移裝置包括固定座，在固定座上設(shè)有滑軌，并在滑軌的滑塊上設(shè)有移動座，使移動座與氣壓缸上的滑塊連動，使推桿以一端樞設(shè)于移動座，推桿與移動座間設(shè)有彈性組件，并在氣壓缸與滑軌同向的一端設(shè)有擋壓件，及在移動座前后位移的動路上設(shè)有第一感測件及第二感測件。
17.如權(quán)利要求1或4項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，在第一軌道與操作者之間的主機臺上，設(shè)有膠量的量測裝置，其兩側(cè)各設(shè)有殘膠去除裝置。
18.如權(quán)利要求17項所述的涂布裝置，其特征在于，該殘膠去除裝置各包括夾具及容器，夾具兩夾座內(nèi)側(cè)各設(shè)有撓性件。
19.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其以第一活動軌架作Y軸向位移構(gòu)成第二選擇性流路； 第一固定軌架，其構(gòu)成第一固定流路； 第二固定軌架，其構(gòu)成第二固定流路； 第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其以第二活動軌架作Y軸向位移構(gòu)成第三選擇性流路。
20.如權(quán)利要求19項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括裝送機構(gòu)的收納盒作Z軸向位移，其構(gòu)成第一選擇性流路。
21.如權(quán)利要求19項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括副機臺，其以第三固定軌架構(gòu)成第二固定流路。
22.如權(quán)利要求19項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括裝卸機構(gòu)，其以收納盒作Z軸向位移而構(gòu)成第四選擇性流路。
23.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 第二選擇性流路，用以將載盤逐一順序轉(zhuǎn)換分配至不同輸送流路； 第一固定流路，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料步驟； 第二固定流路，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料步驟； 第三選擇性流路，用以將載盤自不同輸送流路逐一順序轉(zhuǎn)換卸移至同一輸送流路。
24.如權(quán)利要求23項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括第一選擇性流路，用以將位于收納盒中尚未涂布黏性材料的載盤逐一輸送出收納盒。
25.如權(quán)利要求23項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括第三固定流路，用以使完成黏性材料涂布的載盤于定位供執(zhí)行檢測。
26.如權(quán)利要求23項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括第四選擇性流路，用以將已涂布黏性材料的載盤逐一承收于收納盒。
27.如權(quán)利要求23項所述的涂布裝置，其特征在于，該第一固定流路、第二固定流路更包括執(zhí)行基板位置定位、基板高度測高步驟。
28.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 位于操作區(qū)間的軌道，所述軌道可用以輸送其上放置待涂布黏性材料的基板的載盤； 治具，位于所述軌道中，可藉以使載盤中用以置放基板的載片被操作升降； 操作裝置，位于該操作區(qū)間中，可在基板上進行涂布黏性材料。
29.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 操作區(qū)間，由第一龍門及第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的X軸向軌道； 第一工作頭，設(shè)于所述第一龍門上，可作X軸向及Y軸向位移，其朝所述操作區(qū)間的一端設(shè)有第一操作裝置； 第二工作頭，設(shè)于所述第二龍門上，可作X軸向及Y軸向位移，其朝所述操作區(qū)間的一端設(shè)有第二操作裝置； 所述第一操作裝置、第二操作裝置可進行在所述載盤所承載的基板上涂布黏性材料。
30.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 操作區(qū)間，由第一龍門及第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的軌道； 第一操作裝置，設(shè)于所述第一龍門上，可由載盤左邊側(cè)對該載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料； 第二操作裝置，設(shè)于所述第二龍門上，可由載盤中央與第一操作裝置同步向右、向下或向左位移對該載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料。
31.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 操作區(qū)間，由第一龍門及第二龍門間所形成，設(shè)有可供輸送載盤的第一軌道、第二軌道； 第一操作裝置，設(shè)于所述第一龍門上，可對第一軌道、第二軌道上載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料； 第二操作裝置，設(shè)于所述第二龍門上，可對第一軌道、第二軌道上載盤進行基板位置定位、基板高度測高、基板上涂布黏性材料； 所述基板位置定位、基板高度測高系由第一操作裝置、第二操作裝置同步于同一載盤進行；所述基板上涂布黏性材料，系以二種黏性材料由第一操作裝置、第二操作裝置分別交互涂布方式進行。
32.如權(quán)利要求29至31項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，該所述第一操作裝置包括:第一檢測裝置、第一取像裝置、第一涂布頭；該第二操作裝置包括:第二檢測裝置、第二取像裝置、第二涂布頭。
33.如權(quán)利要求28至31項任一項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括第三固定軌架及第二檢測裝置，以及設(shè)有收納盒的裝卸機構(gòu)，其位于該完成黏性材料涂布的載盤被輸送的軌道所對應(yīng)的載盤輸送的后段流路上。
34.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括推桿，設(shè)于載盤完成涂布黏性材料欲輸送至收納盒時的流路上，載盤輸送經(jīng)過時推桿可落下供載盤經(jīng)過，而載盤經(jīng)過后可上仰對載盤推移進入收納盒定位。
35.如權(quán)利要求34項所述的涂布裝置，其特征在于，更包括固定座，在固定座上設(shè)有滑軌，并在滑軌的滑塊上設(shè)有移動座，使移動座與氣壓缸上的滑塊連動，使該推桿以一端樞設(shè)于移動座，推桿與移動座間設(shè)有彈性組件，并在氣壓缸與滑軌同向的一端設(shè)有擋壓件，及在移動座前后位移的動路上設(shè)有第一感測件及第二感測件。
36.一種涂布裝置，用以在載盤所置放的基板上涂布黏性材料，其特征在于，包括: 多數(shù)個獨立軌架，其各形成獨立流路而組成該載盤移載的流路，各軌架分別各包括由二相隔間距的側(cè)軌件形成載盤可輸經(jīng)的軌道，二側(cè)軌件相對的內(nèi)側(cè)設(shè)有受驅(qū)動件所驅(qū)動的皮帶，載盤于該二側(cè)軌件間的皮帶被輸送。
37.如權(quán)利要求36項所述的涂布裝置，其特征在于，該各獨立軌架所各形成的獨立流路包括: 第二選擇性流路，由第一轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第一活動軌架作Y軸向位移所構(gòu)成，用以將載盤逐一順序轉(zhuǎn)換分配至不同輸送流路； 第一固定流路，由第一固定軌架所構(gòu)成，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料； 第二固定流路，由第二固定軌架所構(gòu)成，用以使載盤于定位供執(zhí)行基板上涂布黏性材料； 第三選擇性流路，由第二轉(zhuǎn)換機構(gòu)的第二活動軌架作Y軸向位移所構(gòu)成，用以將載盤 自不同輸送流路逐一順序轉(zhuǎn)換卸移至同一輸送流路。
【文檔編號】B05C11/10GK203955449SQ201420400105
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月6日
【發(fā)明者】吳俊欣 申請人:萬潤科技股份有限公司