專利名稱：復(fù)合材料板的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及復(fù)合材料板的制造裝置，特別是涉及具備在基材上固化有機(jī)溶質(zhì)而得 的樹脂的薄膜層的復(fù)合材料板的制造裝置。
背景技術(shù)：
在以往，在基材上具備樹脂的薄膜層的復(fù)合材料板被用于各種領(lǐng)域。例如，將以金屬薄膜的一種的銅箔為基材的復(fù)合材料板作為撓性印刷電路基板， 以不銹鋼箔為基材(SUS箔)的復(fù)合材料板作為HDD(硬盤)的彈性材料，此外，以鋅白銅為 基材的復(fù)合材料板作為絕緣保護(hù)層，另外，以PET (聚酯膜)、PEN、PES、丁縮醛樹脂，尼龍等 為基材的材料被用作耐熱膜或電子用覆蓋膜。在制造這樣的跨越多種利用領(lǐng)域的復(fù)合材料板時(shí)，利用滾道等搬運(yùn)單元將尺寸較 長的基板搬運(yùn)至涂覆加工位置，并且，在涂覆加工位置使用模具涂覆或凹版涂覆等涂覆加 工方法將有機(jī)溶液涂敷在上述基材上，然后，干燥上述有機(jī)溶液并通過除去有機(jī)溶液中的 溶媒來進(jìn)行上述有機(jī)溶質(zhì)的固化。其結(jié)果，得到了在上述基材上固化上述有機(jī)溶質(zhì)而形成 樹脂薄膜層的復(fù)合材料板。專利文獻(xiàn)1 日本特開2001-179919號(hào)公報(bào)然而，在以往，在復(fù)合材料板成形時(shí)，在通過使涂敷在基材上的有機(jī)溶液干燥并固 化從而在基材上形成樹脂薄膜層的階段，出現(xiàn)了復(fù)合材料板的寬度方向的兩個(gè)邊緣向樹脂 的薄膜層側(cè)卷起，從而產(chǎn)生使膜整體帶有圓度，被稱為卷曲的現(xiàn)象的問題。特別是隨著近年來的移動(dòng)電話，液晶電視及其它的電子設(shè)備不斷的小型化、復(fù)雜 化，對(duì)于這些設(shè)備所使用的以銅箔為基材的復(fù)合材料板構(gòu)成的撓性印刷電路基板，要求其 實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的薄膜化，并且，具有優(yōu)良的耐熱性、耐老化性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng) 度等，這些要求也還未得到滿足。進(jìn)一步進(jìn)行說明，涂敷在銅箔上的樹脂為聚酰亞胺樹脂，該聚酰亞胺樹脂是將樹 脂的先軀物的酰胺酸溶液作為涂敷原料，在干燥時(shí)除去上述溶液內(nèi)的NMP溶媒，進(jìn)行固化 (硬化)并使其反應(yīng)從而生成聚酰亞胺樹脂，因而，與其它樹脂相比該聚酰亞胺樹脂由反應(yīng) 導(dǎo)致的收縮明顯較大，從而更容易產(chǎn)生卷曲。此外，聚酰亞胺樹脂是難以使NMP溶媒從有機(jī)溶液中揮發(fā)的樹脂，這也被認(rèn)為是 導(dǎo)致聚酰亞胺樹脂容易產(chǎn)生卷曲的一個(gè)因素。此外，若沒有幾乎100 %除去該NMP溶媒，則在布線時(shí)的焊錫接線處，在加熱至 2500C以上的情況下，聚酰亞胺樹脂內(nèi)的NMP溶媒蒸發(fā)，使銅箔與聚酰亞胺樹脂剝離，抗剝 強(qiáng)度明顯降低，最差的情況是出現(xiàn)銅箔與聚酰亞胺樹脂剝離的缺陷。因此，在以往，在以酰胺酸溶液涂敷銅箔之后，將涂敷后的材料卷繞在不銹鋼網(wǎng) 板上，并將卷繞物放入在氮?dú)猸h(huán)境內(nèi)的爐中加熱，若在500°c 700°C的溫度下加熱不足 四十八小時(shí)，則有未除去NMP溶媒，從而不能作為產(chǎn)品的缺陷。此外，在銅箔上殘留有不銹 鋼網(wǎng)痕跡的凹凸，作為產(chǎn)品存在產(chǎn)生問題的情況。特別是在多層時(shí)存在空氣進(jìn)入痕跡的可能性，不適用于多層的撓性基板。

發(fā)明內(nèi)容
因此，一直以來，迫切期望一邊搬運(yùn)一邊連續(xù)地制造優(yōu)質(zhì)的復(fù)合材料板的制造裝置。本發(fā)明是鑒于這些情況而做出的，其目的在于，提供能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)合材料板的薄膜 化，有效地防止卷曲的產(chǎn)生并能夠連續(xù)地制造，并且能夠得到具有優(yōu)良的耐熱性、耐老化 性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng)度等的高質(zhì)量的復(fù)合材料板的復(fù)合材料板的制造裝置。為實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明的第一方案的復(fù)合材料板的制造裝置，其在連續(xù)的基材 上涂敷了由有機(jī)溶質(zhì)與溶媒構(gòu)成的有機(jī)溶液之后，通過使該基材上的有機(jī)溶液在規(guī)定的環(huán) 境氣體溫度下干燥并固化，從而制造具備在上述基材上固化上述有機(jī)溶質(zhì)而得的樹脂的薄 膜層的復(fù)合材料板，其特征是，設(shè)置有預(yù)加熱單元，其對(duì)在長度方向上搬運(yùn)的已涂敷有機(jī)溶 液的基材進(jìn)行加熱干燥直至上述有機(jī)溶液中的溶媒殘留10 15% ；設(shè)置有固化爐，其將 利用預(yù)加熱單元進(jìn)行了預(yù)加熱的已涂敷有機(jī)溶液的基材在其長度方向上自由地搬入、搬 出；設(shè)置有非活性氣體提供單元，其在上述預(yù)加熱單元中，將剛要搬入上述固化爐之前的已 涂敷有機(jī)溶液的基材保持在非活性氣體環(huán)境氣體內(nèi)，從而防止基材的氧化；在上述固化爐 內(nèi)設(shè)有輥、非活性氣體提供單元及加熱單元；該輥用于使上述基材的未涂敷應(yīng)干燥的有機(jī) 溶液的面繞過并對(duì)其搬送，并且加熱上述基材及有機(jī)溶液；該非活性氣體提供單元用于在 該輥與基材之間形成非活性氣體膜，并且使上述固化爐內(nèi)維持防止上述基材氧化的低氧濃 度；該加熱單元用于將涂敷在繞過上述輥的基材上的有機(jī)溶液加熱至上述樹脂的玻璃化轉(zhuǎn) 變溫度以上的溫度，從而使上述有機(jī)溶液中的溶媒的殘留量為以下(優(yōu)選為0.5%以 下)。并且，若采用這樣的裝置，將已涂敷有機(jī)溶液的基材利用預(yù)加熱單元加熱干燥至 上述有機(jī)溶液中的溶媒殘留10 15%，并且，在剛要搬入固化爐之前的部分保持在由非活 性氣體提供單元形成的非活性氣體環(huán)境氣體內(nèi)，從而防止基材的氧化。在這種狀態(tài)下，使非 活性氣體薄膜介于未涂敷應(yīng)干燥的有機(jī)溶液的面與處于加熱狀態(tài)的輥的外圓周面之間并 對(duì)從預(yù)加熱單元搬入固化爐內(nèi)的已涂敷有機(jī)溶液的基材進(jìn)行搬送，在搬送期間通過防止固 化爐內(nèi)的基材的氧化的低氧濃度的環(huán)境氣體內(nèi)，從而防止基材的氧化。同時(shí)，上述有機(jī)溶液 通過由輥及加熱單元給予的熱量加熱至樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上，從而充分地除去溶媒 至殘留量為以下(優(yōu)選為0.5%以下)并使樹脂固化。由此，能夠連續(xù)地制造完全沒有 卷曲的薄膜狀的，并且具有優(yōu)良的耐熱性、耐老化性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng)度等的 高質(zhì)量的復(fù)合材料板。此外，本發(fā)明的第二方案的復(fù)合材料板的制造裝置是在第一方案中，其特征是，上 述基材為銅的薄膜，樹脂為聚酰亞胺樹脂，非活性氣體為氮?dú)?，上述預(yù)加熱單元的非活性氣 體提供單元部分的氧濃度為500 1000PPM，上述固化爐內(nèi)的氧濃度為100 500PPM。并且，若采用這樣的裝置，在使用銅箔等由銅的薄膜構(gòu)成的基材的情況下，能夠利 用氮?dú)庥行У胤乐棺鳛榛牡你~的氧化，并且能夠幾乎完全除去含有聚酰亞胺樹脂的溶媒 并使其固化，從而得到高品質(zhì)的復(fù)合材料板。本發(fā)明的效果是，若采用本發(fā)明的復(fù)合材料板的制造裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)合材料板的薄膜化，有效地防止卷曲的產(chǎn)生，能夠起到連續(xù)地制造，并且得到具有優(yōu)良的耐熱性、耐 老化性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng)度等的高質(zhì)量的復(fù)合材料板等優(yōu)良的效果。


圖1是表示本發(fā)明的復(fù)合材料板的制造裝置的一個(gè)實(shí)施方式的概略主視圖。圖2是表示本發(fā)明的固化爐的一個(gè)實(shí)施方式的概略剖視圖。圖3是本發(fā)明的復(fù)合材料板的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式接下來，參照?qǐng)D1至圖3對(duì)本發(fā)明的復(fù)合材料板的制造裝置進(jìn)行說明。圖1至圖2表示本發(fā)明的復(fù)合材料板的制造裝置的一個(gè)實(shí)施方式。在本實(shí)施方式的制造裝置1中，以在由如圖3所示的銅箔等的銅的薄膜構(gòu)成的基 材2上層疊有聚酰亞胺樹脂3的復(fù)合材料板4的制造情況為例進(jìn)行說明。圖1至圖2所示的制造裝置1具有從基材2的解卷輥5至卷繞裝置6的基材2的 搬運(yùn)路線，在該一系列的搬運(yùn)路線中配設(shè)有保持基材2的搬運(yùn)的多個(gè)引導(dǎo)輥7。在解卷輥5 的下游具有送出卷繞在該解卷輥5上的尺寸較長的基材2的送出裝置8。在該送出裝置8 的下游配設(shè)有涂覆加工裝置覆9，該涂覆加工裝置9在從上述送出裝置8送出的基材2的表 面上涂敷作為聚酰亞胺樹脂的先軀物的酰胺酸溶液(有機(jī)溶質(zhì)與溶媒的混合物)。作為該 涂覆加工裝置9配設(shè)模具涂覆機(jī)、反向涂覆機(jī)、刮刀涂覆機(jī)或凹版輥的直徑為50mm以下的 微型凹版涂覆機(jī)即可。由于聚酰亞胺樹脂因吸水性強(qiáng)而卷入空氣引起粘度的變化，或引起 白濁化，涂覆后失去聚酰亞胺樹脂的特性的可能性較高，因而在本實(shí)施方式中使用不與空 氣接觸的模具涂覆機(jī)。在該涂覆加工裝置9的下游一側(cè)連續(xù)設(shè)置有加熱干燥至使基材2上 的有機(jī)溶液中的溶媒殘留10 15%的作為預(yù)加熱單元的多個(gè)干燥爐10、11、12。在這些干 燥爐10、11、12的下游側(cè)配設(shè)有使有機(jī)溶質(zhì)最終地固化，使其成為聚酰亞胺樹脂3的固化爐 13。在該固化爐13的下游側(cè)配設(shè)有平緩地冷卻高熱狀態(tài)的復(fù)合材料板4的緩冷裝置14。 在該緩冷裝置14與卷繞裝置6之間配設(shè)有卷繞驅(qū)動(dòng)已冷卻的復(fù)合材料板4的卷繞驅(qū)動(dòng)裝 置15。在作為上述預(yù)加熱單元的多個(gè)干燥爐10、11、12中，在上游側(cè)的兩個(gè)干燥爐10、11 形成為，以與有機(jī)溶液面對(duì)的方式配設(shè)有多個(gè)利用紅外線或遠(yuǎn)紅外線的加熱器16，將已涂 敷有機(jī)溶液的基材2平緩地加熱至約150°C左右。在配設(shè)于干燥爐10、11的下游側(cè)的干燥 爐12形成為，將多個(gè)利用紅外線或遠(yuǎn)紅外線的加熱器17配設(shè)在與有機(jī)溶液面對(duì)的一側(cè)以 及根據(jù)需求配設(shè)在與基材2面對(duì)的一側(cè)，最終，將已涂敷有機(jī)溶液的基材2平緩地加熱至約 300 350°C左右，使其加熱干燥至有機(jī)溶液中的溶媒殘留10 15%。再有，對(duì)于在剛要搬 入固化爐13之前的已涂敷有機(jī)溶液的基材2，還在與有機(jī)溶液面對(duì)的一側(cè)以及與基材2面 對(duì)的一側(cè)的雙方配設(shè)有加熱器17，并且，配設(shè)有向兩加熱器17之間提供作為非活性氣體的 氮?dú)?，從而形成氧濃度?00 1000PPM的非活性氣體環(huán)境氣氛的作為非活性氣體提供單 元的氮?dú)鈬娮?8。由此，在剛要搬入固化爐13之前的干燥爐12內(nèi)使基材2保持在非活性 氣體環(huán)境內(nèi)以防止氧化。在配置在干燥爐12的下游側(cè)的固化爐13的上表面開設(shè)有將復(fù)合材料板4沿其長度方向自由地搬入/搬出的入口 19與出口 20。在固化爐13內(nèi)的中央部橫向架設(shè)有能夠自 由旋轉(zhuǎn)的直徑為200 IOOOmm的輥21，該輥21用于使復(fù)合材料板4的基材2的未涂敷應(yīng) 該干燥的有機(jī)溶劑的面繞過并對(duì)其進(jìn)行搬送。該輥21形成為能夠自由地切換成自由旋轉(zhuǎn) 與驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。在不對(duì)基材2施加不必要的張力的情況下，使輥21自由旋轉(zhuǎn)即可。此外，在輥 21內(nèi)裝有用于使基材2保持在比聚酰亞胺樹脂3的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(約350°C )低的溫度 的低溫加熱器(未圖示)。此外，作為用于為使有機(jī)溶液聚酰亞胺化而將有機(jī)溶液加熱至玻 璃化轉(zhuǎn)變溫度以上(例如，380 420°C )的加熱單元，在與有機(jī)溶液面對(duì)的圓弧狀的位置 配設(shè)有利用紅外線或遠(yuǎn)紅外線的加熱器22。以該加熱器22及輥21內(nèi)的加熱器進(jìn)行加熱， 使涂敷在基材2上的有機(jī)溶液中的溶媒的殘留量降至1 %以下(優(yōu)選為0. 5%以下)，從而 形成優(yōu)質(zhì)的聚酰亞胺樹脂。此外，為了在輥21與復(fù)合材料板4的基材2之間形成非活性氣 體膜，配設(shè)有將非活性氣體的一種的氮?dú)獬蜉?1的上部外圓周面噴出的膜形成用氮?dú)?噴嘴23。為了可靠地形成該非活性氣體膜，以對(duì)輥21的外圓周面進(jìn)行粗化，使其由細(xì)小的 凹凸構(gòu)成的粗糙化處理為宜。此外，為使固化爐13內(nèi)處于低氧濃度(例如，100 500PPM)， 配設(shè)有提供必要量的非活性氣體的一種的氮?dú)獾闹辽僖粋€(gè)氮?dú)鈬娮?4。形成有非活性氣體 提供單元，其利用這些膜形成用氮?dú)鈬娮?3與氮?dú)鈬娮?4在輥21與基材2之間形成非活 性氣體膜，并且維持固化爐13內(nèi)的低氧濃度，從而防止作為基材2的銅的薄膜的明顯氧化。 為了維持固化爐13內(nèi)的低氧濃度，在入口 19與出口 20處分別配設(shè)有形成氮?dú)夂煹臍夂熡?氮?dú)鈬娮?5即可。在配置于固化爐13的下游側(cè)的緩冷裝置14中，為了將高熱狀態(tài)的復(fù)合材料板4 平緩地冷卻至常溫，在與聚酰亞胺樹脂3面對(duì)的一側(cè)和根據(jù)需求在與基材2面對(duì)的一側(cè)配 設(shè)有多個(gè)利用紅外線或遠(yuǎn)紅外線的加熱器26，從而可實(shí)現(xiàn)基材2的銅的結(jié)晶化的穩(wěn)定性， 并維持聚酰亞胺樹脂3及基材2的平坦性。接下來，對(duì)本實(shí)施方式的作用進(jìn)行說明。首先，從解卷輥5經(jīng)由送出裝置8將基材2搬運(yùn)至涂覆加工裝置9部分之后，在該 基材2上涂敷作為有機(jī)溶質(zhì)聚酰亞胺樹脂的先軀物的酰胺酸溶液。在這種情況下，處于完 工狀態(tài)的復(fù)合材料板4的基材2的厚度約為9 μ m,聚酰亞胺樹脂3的厚度約為10 μ m。然后，在基材2上涂敷有機(jī)溶液之后，將該基材2搬運(yùn)至作為預(yù)加熱單元的多個(gè)干 燥爐10、11、12內(nèi)，在各干燥爐10、11、12內(nèi)，通過使基材2上的有機(jī)溶液在規(guī)定的環(huán)境氣體 溫度下干燥來促進(jìn)有機(jī)溶質(zhì)的固化。此時(shí)，以通過使用鼓風(fēng)機(jī)等送風(fēng)機(jī)向有機(jī)溶質(zhì)的表面 吹送熱風(fēng)來高效地進(jìn)行干燥為宜。在本實(shí)施方式中，在預(yù)加熱單元的上游側(cè)的兩個(gè)干燥爐 IOUl中，將已涂敷有機(jī)溶液的基材2平緩地加熱至約150°C左右。接著，在配設(shè)于這些干 燥爐10、11的下游側(cè)的干燥爐12中，利用多個(gè)加熱器17最終地將已涂敷有機(jī)溶液的基材2 平緩地加熱至約300 350°C左右，并加熱干燥直至有機(jī)溶劑中的溶媒殘留10 15%。另 外，對(duì)于剛要搬入固化爐13之前的已涂敷有機(jī)溶液的基材2，向配設(shè)在與有機(jī)溶液面對(duì)的 一側(cè)及與基材2面對(duì)的一側(cè)的雙方的兩加熱器17之間從氮?dú)鈬娮?8提供作為非活性氣體 的氮?dú)?，由于形成氧濃度?00 1000PPM的非活性氣體環(huán)境，因而能有效地防止由兩加熱 器17加熱至高溫的基材2的銅的氧化。在固化爐13的上游側(cè)平緩地加熱至約300 350°C左右的基材2的銅的薄膜與有 機(jī)溶液按順序通過由氣簾用氮?dú)鈬娮?5形成的約300°C左右的氮?dú)夂熂叭肟?19搬入固化
6爐13內(nèi)。為提高基材2的銅的薄膜與聚酰亞胺樹脂3的結(jié)合性，將表面稍微粗化即可。由氮?dú)鈬娮?4提供的約300°C左右的氮?dú)馐乖摴袒癄t13內(nèi)維持在100 500PPM 的低氧濃度。在使固化前的與涂敷有應(yīng)干燥的聚酰亞胺樹脂22的面相反一側(cè)的面繞過自 由旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的輥21時(shí)，以從膜形成用氮?dú)鈬娮?3噴出的約300°C左右的氮?dú)庋剌?1的外 圓周面，更具體地說，由在該外圓周面上形成的粗糙化部分卷入氮?dú)獾姆绞奖３只?，從 而在基材2與輥21的外圓周面之間形成氮?dú)獾谋∧ぁＨ缓?，在該狀態(tài)下，通過將基材2卷 繞在保持在比聚酰亞胺樹脂3的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低的溫度的輥21上，從而使基材2保持在 該玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以下的溫度。通過這些，基材2的銅的薄膜不會(huì)發(fā)生氧化作用，此外，也 不會(huì)被異常地加熱。與此同時(shí)，涂敷在基材2的外側(cè)的聚酰亞胺樹脂3利用加熱器22加熱至聚酰亞胺 樹脂3的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(350°C )以上的溫度，即加熱至380 420°C的溫度，所含有的作 為溶媒的NMP幾乎100% (NMP的殘留量為以下(優(yōu)選為0.5%以下))被除去。由此， 可靠地進(jìn)行聚酰亞胺化。另外，在固化爐13內(nèi)的少許氧在厚度方向上滲透已固化的聚酰亞 胺樹脂3，到達(dá)基材2的銅的薄膜，并將銅稍微氧化，從而進(jìn)一步增強(qiáng)與聚酰亞胺樹脂3的結(jié) 合性。這樣，將使聚酰亞胺樹脂3固化而成為最終產(chǎn)品的復(fù)合材料板4從固化爐13按順 序通過出口 20及由氣簾用氮?dú)鈬娮?5形成的約300°C左右的氮?dú)夂?，搬出至外部的干燥爐 12內(nèi)。然后，復(fù)合材料板4通過干燥爐12到達(dá)緩冷裝置14，利用該緩冷裝置14平緩地 冷卻至常溫，從而實(shí)現(xiàn)基材2的銅的結(jié)晶的穩(wěn)定性，并維持聚酰亞胺樹脂3及基材2的平坦 性。由此能夠得到完全沒有卷曲的薄膜狀的復(fù)合材料板4。例如，能夠使作為基材2的銅的 薄膜的厚度為9 25 μ m，使聚酰亞胺樹脂3的厚度為10 25 μ m。并且，該復(fù)合材料板4 是具有優(yōu)良的耐熱性、耐老化性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng)度等高質(zhì)量產(chǎn)品。然后，將復(fù)合材料板4卷繞在卷繞裝置6上。此外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，能夠根據(jù)需要進(jìn)行各種變更。例如，作為復(fù)合材料板能夠在基材的兩面形成聚酰亞胺樹脂。
權(quán)利要求
一種復(fù)合材料板的制造裝置，其在連續(xù)的基材上涂敷了由有機(jī)溶質(zhì)與溶媒構(gòu)成的有機(jī)溶液之后，通過使該基材上的有機(jī)溶液在規(guī)定的環(huán)境氣體溫度下干燥并固化，從而制造具備在上述基材上固化上述有機(jī)溶質(zhì)而得的樹脂的薄膜層的復(fù)合材料板，其特征是，設(shè)置有預(yù)加熱單元，其對(duì)在長度方向上搬運(yùn)的已涂敷有機(jī)溶液的基材進(jìn)行加熱干燥直至上述有機(jī)溶液中的溶媒殘留10～15％；設(shè)置有固化爐，其將利用預(yù)加熱單元進(jìn)行了預(yù)加熱的已涂敷有機(jī)溶液的基材在其長度方向上自由地搬入、搬出；設(shè)置有非活性氣體提供單元，其在上述預(yù)加熱單元中，將剛要搬入上述固化爐之前的已涂敷有機(jī)溶液的基材保持在非活性氣體環(huán)境氣體內(nèi)，從而防止基材的氧化；在上述固化爐內(nèi)設(shè)有輥、非活性氣體提供單元及加熱單元；該輥用于使上述基材的未涂敷應(yīng)干燥的有機(jī)溶液的面繞過并對(duì)其搬送，并且加熱上述基材及有機(jī)溶液；該非活性氣體提供單元用于在該輥與基材之間形成非活性氣體膜，并且使上述固化爐內(nèi)維持防止上述基材氧化的低氧濃度；該加熱單元用于將涂敷在繞過上述輥的基材上的有機(jī)溶液加熱至上述樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上的溫度，從而使上述有機(jī)溶液中的溶媒的殘留量為1％以下(優(yōu)選為0.5％以下)。
2.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料板的制造裝置，其特征是，上述基材為銅的薄膜，樹脂為聚酰亞胺樹脂，非活性氣體為氮?dú)?，上述預(yù)加熱單元的 非活性氣體提供單元部分的氧濃度為500 1000PPM，上述固化爐內(nèi)的氧濃度為100 500PPM。
全文摘要
本發(fā)明涉及復(fù)合材料板的制造裝置。通過具備將已涂敷有機(jī)溶液的基材加熱至有機(jī)溶劑的殘留量為10-15％，并設(shè)置有非活性氣體提供單元(18)的預(yù)加熱單元(12)；以及加熱至有機(jī)溶劑的殘留量為1％以下，并設(shè)置有加熱輥(21)、非活性氣體提供單元(23)及加熱單元(22)的固化爐(13)的復(fù)合材料板的制造裝置，可以防止已涂敷有機(jī)溶液的基材的氧化，并且不會(huì)產(chǎn)生卷曲地固化有機(jī)溶液。由此，能夠連續(xù)地制造具有優(yōu)良的耐熱性、耐老化性、耐彎曲性、形狀維持性、剝離強(qiáng)度等的高質(zhì)量的復(fù)合材料板。
文檔編號(hào)B05C9/14GK101965228SQ20088012750
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日
發(fā)明者巖崎隆司, 康井義成 申請(qǐng)人:株式會(huì)社康井精機(jī)