技術(shù)特征：

1.一種鎓鹽，其由下述式(a)所表示，

Z-A-W-Y⁺(R)_nX^－ (a)

(所述式(a)中，Z、A、W、Y、(R)_n及X為以下含義：

Z為一價有機基，其具有可以具有至少1個取代基的具備共軛π電子體系的環(huán)狀結(jié)構(gòu)；

W為二價有機基，其具有可以具有至少1個取代基的具備共軛π電子體系的環(huán)狀結(jié)構(gòu)；

A為直接鍵或包含選自由碳-碳單鍵、碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵所組成的群中的至少1種鍵的二價連結(jié)基(另外，所述Z及W的任一個基的取代基也可以和所述Z及W分別所包含的至少1個原子以及所述A一起形成飽和或部分飽和的環(huán)狀結(jié)構(gòu))；

Y為碘原子或硫原子，且當(dāng)Y為碘原子時，n＝1，當(dāng)Y為硫原子時，n＝2；

(R)_n可以相互相同，也可以不同，各個(R)_n為可以具有取代基的碳數(shù)1以上的一價有機基；

X表示一價陰離子)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎓鹽，其中所述Z為選自由一價苯系芳香族環(huán)基、一價雜芳香族環(huán)基及一價非苯系芳香族環(huán)基所組成的群中的任一有機基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鎓鹽，其中所述W為選自由二價苯系芳香族環(huán)基、二價雜芳香族環(huán)基及二價非苯系芳香族環(huán)基所組成的群中的任一有機基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的鎓鹽，其中所述Z及W的至少一個具有至少1個供電子基。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的鎓鹽，其中所述Z為苯基及/或所述W為亞苯基。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的鎓鹽，其中所述至少1個供電子基是選自由烷基(-R¹)、芳基(-Ar¹)、烷氧基(-OR¹)、芳氧基(-OAr¹)、羥基、硫醇基、烷硫基(-SR¹)、氨基、烷基氨基(-NHR¹)、二烷基氨基(-NR¹R²)、芳基氨基(-NHAr¹)、二芳基氨基(-NAr¹Ar²)及N-烷基-N-芳基氨基(-NR¹Ar¹)所組成的群中的任意基。

7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中任一項所述的鎓鹽，其中所述至少1個供電子基直接鍵結(jié)于所述Z的所述π電子體系。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的鎓鹽，其中所述A為直接鍵或亞乙炔基。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的鎓鹽，其中所述R為可以具有取代基的碳數(shù)1以上的一價烴基或可以具有取代基的芳基。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的鎓鹽，其中所述X^－為選自由CF₃CO₂^－、CH₃CO₂^－、CF₃CF₂C₄H₄SO₃^－、CH₃SO₃^－、(C₆F₅)₄B^－、SbF₆^－、PF₆^－、BF₄^－、CF₃SO₃^－、HSO₄^－、(CF₃CF₂)₃PF₃^－、(CF₃CF₂)₂PF₄^－、(CF₃CF₂)PF₅^－、((CF₃)₂C₆H₃)₄B^－、(C₆F₅)₄Ga^－、((CF₃)₂C₆H₃)₄Ga^－、九氟丁磺酸根陰離子、丁磺酸根陰離子、樟腦磺酸根陰離子、苯磺酸根陰離子、對甲苯磺酸根陰離子、(CF₃SO₂)₃C^－、(CF₃SO₂)₂N^－及(C₄F₉SO₂)₂N^－所組成的群中的陰離子。

11.一種鎓鹽，其具有陽離子部和陰離子部，

所述陽離子部至少包含第1芳香族環(huán)、第2芳香族環(huán)、及陽離子中心，

所述陽離子中心和所述第1芳香族環(huán)及所述第2芳香族環(huán)的任一個鍵結(jié)，且

所述第1芳香族環(huán)所包含的第1碳原子通過單鍵直接鍵結(jié)于所述第2芳香族環(huán)所包含的第2碳原子，或經(jīng)由包含選自由碳-碳單鍵、碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵所組成的群中的至少1種鍵的二價連結(jié)基鍵結(jié)于所述第2芳香族環(huán)所包含的第2碳原子。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的鎓鹽，其中通過吸收具有第1波長的電磁波或粒子束，所述鎓鹽的所述第1波長下的吸光系數(shù)減少。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的鎓鹽，其中所述電磁波或粒子束為i射線。

14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項所述的鎓鹽，其在長于所述第1波長的波長下不具有吸收極大值。

15.根據(jù)權(quán)利要求11至14中任一項所述的鎓鹽，其中所述第1碳原子通過單鍵直接鍵結(jié)于所述第2碳原子，或經(jīng)由包含選自由碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵所組成的群中的至少1種鍵的二價連結(jié)基鍵結(jié)于所述第2碳原子。

16.根據(jù)權(quán)利要求11至15中任一項所述的鎓鹽，其中所述第1芳香族環(huán)及所述第2芳香族環(huán)中的至少1個為苯環(huán)。

17.根據(jù)權(quán)利要求12至16中任一項所述的鎓鹽，其中所述陽離子部還包含供電子基，且

所述供電子基鍵結(jié)于所述第1芳香族環(huán)及所述第2芳香族環(huán)中的至少1個。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的鎓鹽，其中所述供電子基鍵結(jié)于所述第1芳香族環(huán)及所述第2芳香族環(huán)中未和所述陽離子中心鍵結(jié)的芳香族環(huán)。

19.一種光酸產(chǎn)生劑，其包含根據(jù)權(quán)利要求1至18中任一項所述的鎓鹽。

20.一種感光性樹脂組合物，其包含根據(jù)權(quán)利要求19所述的光酸產(chǎn)生劑、及利用酸進行反應(yīng)的化合物。

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的感光性樹脂組合物，其中所述化合物利用酸進行聚合、或具有利用酸進行脫保護的保護基、或利用酸進行交聯(lián)。

22.一種裝置的制造方法，其包括：

涂布膜形成步驟，使用根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的感光性樹脂組合物在基板上形成涂布膜；

光刻步驟，使用電磁波或粒子束的第1光將所述涂布膜曝光成圖案狀；以及

圖案形成步驟，使經(jīng)曝光的涂布膜顯影而獲得光阻圖案。

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中第1光為i射線。