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一種單晶爐的制作方法

文檔序號:12875857閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種單晶爐,包括主爐室(4)、副室(2)、坩堝(5)、坩堝提升機構(gòu)(6)和晶體提拉機構(gòu)(1),其特征在于,還包括:

稱重機構(gòu)(7),設(shè)置在所述晶體提拉機構(gòu)(1)上,所述晶體提拉機構(gòu)(1)的提拉繩(11)承載于所述稱重機構(gòu)(7)上,用于稱量晶體重量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述稱重機構(gòu)(7)包括:

支架(73),安裝在所述晶體提拉機構(gòu)(1)內(nèi);

稱重器件(72),安裝在所述支架(73)上,用于稱量晶體重量;

承載件(71),支撐于所述稱重器件(72)上,用于承載所述提拉繩(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐,其特征在于,所述承載件(71)為滑輪,所述滑輪轉(zhuǎn)動支撐于所述稱重器件(72)上,所述提拉繩(11)繞過所述滑輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐,其特征在于,所述稱重器件(72)的數(shù)量為至少兩個,分別支撐于所述承載件(71)的兩端。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐,其特征在于,所述稱重器件(72)為電子秤。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述提拉繩(11)為鎢繩。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的單晶爐,其特征在于,所述晶體提拉機構(gòu)(1)包括提拉箱體(12)、提拉驅(qū)動裝置(13)和所述提拉繩(11),所述提拉驅(qū)動裝置(13)安裝于所述提拉箱體(12)內(nèi),所述提拉繩(11)與所述提拉驅(qū)動裝置(13)連接,所述稱重機構(gòu)(7)安裝于所述提拉箱體(12)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的單晶爐,其特征在于,所述坩堝(5)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)由上至下依次包括柱體段(51)、圓弧段(52)和底部段(53)。

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