技術(shù)編號：12875857
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐。背景技術(shù)單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備?，F(xiàn)有的單晶爐主要包括機架、主爐室、副室、晶體提拉機構(gòu)、坩堝和坩堝提升機構(gòu)。副室連接于主爐室上，坩堝設(shè)置于主爐室內(nèi)，坩堝的下部通過坩堝提升機構(gòu)驅(qū)動升降；晶體提拉機構(gòu)設(shè)置于副室上方，晶體提拉機構(gòu)的提拉繩穿過副室進(jìn)入主爐室中，對仔晶進(jìn)行提拉生成晶棒。由于在晶體生長的過程中，隨著晶體提拉機構(gòu)的不斷提拉，坩堝中的熔融態(tài)原料在仔晶處形成固態(tài)晶棒，此時，坩...
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