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一種In2O3多面體微米晶的制備方法與流程

文檔序號:11819625閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.In2O3多面體微米晶的制備方法,其特征是用化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備In2O3多面體微米顆粒的方法,首先將300mg高純In2O3粉末和150mg碳粉在研缽中碾磨10±5min,使二者充分混合;然后將混合物放入化學(xué)氣相沉積管中,在混合物后1.5cm處放置表面有厚10-50nm Au膜的Si片,作為收集樣品的襯底;最后,沉積管中通入98%的Ar氣和2%的O2氣體作為載氣,按照設(shè)定的920-1000℃溫度反應(yīng)3±1h,待冷卻至室溫,取出Si襯底,在其表面處得到In2O3多面體微米顆粒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的In2O3多面體微米晶的制備方法,其特征是在瑪瑙研缽中研磨10min,使其直徑在10μm左右,然后均勻鋪在氧化鋁舟中;將此氧化鋁舟放入水平CVD爐管中;在反應(yīng)過程中載氣為高純的氬氣按體積比98%和氧氣2%的混合氣體,流量為150sccm;將鍍有Au膜的Si襯底放在距離氧化鋁舟1.5cm處,并同時放入內(nèi)徑為1.6cm的小石英管中,再一起放入CVD爐管中;在多面體狀I(lǐng)n2O3微米顆粒生長過程,爐溫分別以50℃/min的升溫速度分別加熱至920、940、960、980和1000℃并保持3h,氣壓始終保持在一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓;在上述相應(yīng)的生長溫度條件下,In2O3微米顆粒的形貌分別是八面體、截頂八面體、立方八面體、截頂立方體和立方體。

3.權(quán)利要求1或2所述的In2O3多面體微米晶在制備高效穩(wěn)定光電化學(xué)水分解電極中的應(yīng)用。

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