本實(shí)用新型涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜圓柱靶。

背景技術(shù)：
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真空鍍膜機(jī)主要指一類在較高真空度下對(duì)工件進(jìn)行鍍膜的設(shè)備，其中，鍍膜的技術(shù)具有很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等；主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種；而現(xiàn)有的濺射設(shè)備的圓柱靶長(zhǎng)度較短，在真空鍍膜時(shí)，爐內(nèi)最下幾層產(chǎn)品得不到足夠的離子濺射，容易造成發(fā)彩，導(dǎo)致產(chǎn)品電鍍不良，減少每爐的產(chǎn)品的裝載量會(huì)導(dǎo)致成本提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種真空鍍膜圓柱靶，解決了現(xiàn)有的濺射設(shè)備的圓柱靶長(zhǎng)度較短，在真空鍍膜時(shí)，爐內(nèi)最下幾層產(chǎn)品得不到足夠的離子濺射，容易造成發(fā)彩，導(dǎo)致產(chǎn)品電鍍不良，減少每爐的產(chǎn)品的裝載量會(huì)導(dǎo)致成本提高的問題。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種技術(shù)方案：一種真空鍍膜圓柱靶，包括圓柱靶主體，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：還包括盲孔一、彈性卡套一、活動(dòng)錐套一、卡套座、平鍵一、凹槽、平鍵二、活動(dòng)錐套二、連接桿、操作頭、盲孔二、螺母二、彈性卡套二、螺桿二、彈簧、螺桿一、螺母一和加長(zhǎng)圓柱靶；所述盲孔一設(shè)在圓柱靶主體底端中心；所述盲孔二設(shè)在加長(zhǎng)圓柱靶頂部中心；所述卡套座上側(cè)設(shè)有彈性卡套一，所述卡套座下側(cè)設(shè)有彈性卡套二，所述卡套座內(nèi)部豎直設(shè)有凹槽；所述彈性卡套一外部與盲孔一內(nèi)部相連接，所述彈性卡套一內(nèi)部豎直活動(dòng)連接有活動(dòng)錐套一；所述活動(dòng)錐套一外部通過平鍵一與凹槽相連接；所述彈性卡套二外部與盲孔二內(nèi)部相連接，所述彈性卡套二內(nèi)部豎直活動(dòng)連接有活動(dòng)錐套二；所述活動(dòng)錐套二外部通過平鍵二與凹槽相連接，所述活動(dòng)錐套二頂面與所述活動(dòng)錐套一底面之間設(shè)有彈簧；所述連接桿活動(dòng)連接在加長(zhǎng)圓柱靶中心孔中，所述連接桿底部設(shè)有操作頭，所述連接桿頂部固定連接有螺桿二；所述螺桿二上面活動(dòng)連接有螺母二，所述螺桿二頂部固定連接有螺桿一；所述螺桿一上面活動(dòng)連接有螺母一；所述螺母二固定連接在活動(dòng)錐套二下側(cè)中心內(nèi)部；所述螺母一固定連接在活動(dòng)錐套一上側(cè)中心內(nèi)部。

作為優(yōu)選，所述螺桿一為右旋螺桿。

作為優(yōu)選，所述螺桿二為左旋螺桿。

作為優(yōu)選，所述操作頭的截面呈矩形。

作為優(yōu)選，所述加長(zhǎng)圓柱靶的長(zhǎng)度為50mm。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、生產(chǎn)成本低、安裝方便，功能齊全，對(duì)圓柱靶主體進(jìn)行加長(zhǎng)時(shí)，首先將圓柱靶主體底部加工盲孔一，而再加長(zhǎng)圓柱靶頂部加工出盲孔二，而后將卡套座上下兩側(cè)的彈性卡套一和彈性卡套二分別塞入到盲孔一和盲孔二中，由于這里的螺桿一為右旋螺桿，而螺桿二為左旋螺桿；所以這里旋轉(zhuǎn)連接桿會(huì)使螺母一和螺母二同時(shí)向外或向內(nèi)移動(dòng)，當(dāng)螺母一和螺母二向內(nèi)移動(dòng)時(shí)，會(huì)使活動(dòng)錐套一和活動(dòng)錐套二向內(nèi)移動(dòng)，使其彈性卡套一卡緊盲孔一，彈性卡套二卡緊盲孔二，從而保證了圓柱靶主體與加長(zhǎng)圓柱靶固定在一起進(jìn)行使用，也就增加圓柱靶濺射范圍，使產(chǎn)品最下幾層有足夠的離子沉積，提高產(chǎn)能。

附圖說明：

為了易于說明，本實(shí)用新型由下述的具體實(shí)施及附圖作以詳細(xì)描述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

1-圓柱靶主體；2-盲孔一；3-彈性卡套一；4-活動(dòng)錐套一；5-卡套座；6-平鍵一；7-凹槽；8-平鍵二；9-活動(dòng)錐套二；10-連接桿；11-操作頭；12-盲孔二；13-螺母二；14-彈性卡套二；15-螺桿二；16-彈簧；17-螺桿一；18-螺母一；19-加長(zhǎng)圓柱靶。

具體實(shí)施方式：

如圖1所示，本具體實(shí)施方式采用以下技術(shù)方案：一種真空鍍膜圓柱靶，包括圓柱靶主體1，還包括盲孔一2、彈性卡套一3、活動(dòng)錐套一4、卡套座5、平鍵一6、凹槽7、平鍵二8、活動(dòng)錐套二9、連接桿10、操作頭11、盲孔二12、螺母二13、彈性卡套二14、螺桿二15、彈簧16、螺桿一17、螺母一18和加長(zhǎng)圓柱靶19；所述盲孔一2設(shè)在圓柱靶主體1底端中心；所述盲孔二12設(shè)在加長(zhǎng)圓柱靶19頂部中心；所述卡套座5上側(cè)設(shè)有彈性卡套一3，所述卡套座5下側(cè)設(shè)有彈性卡套二14，所述卡套座5內(nèi)部豎直設(shè)有凹槽7；所述彈性卡套一3外部與盲孔一2內(nèi)部相連接，所述彈性卡套一3內(nèi)部豎直活動(dòng)連接有活動(dòng)錐套一4；所述活動(dòng)錐套一4外部通過平鍵一6與凹槽7相連接；所述彈性卡套二14外部與盲孔二12內(nèi)部相連接，所述彈性卡套二14內(nèi)部豎直活動(dòng)連接有活動(dòng)錐套二9；所述活動(dòng)錐套二9外部通過平鍵二8與凹槽7相連接，所述活動(dòng)錐套二9頂面與所述活動(dòng)錐套一4底面之間設(shè)有彈簧16；所述連接桿10活動(dòng)連接在加長(zhǎng)圓柱靶19中心孔中，所述連接桿10底部設(shè)有操作頭11，所述連接桿10頂部固定連接有螺桿二15；所述螺桿二15上面活動(dòng)連接有螺母二13，所述螺桿二15頂部固定連接有螺桿一17；所述螺桿一17上面活動(dòng)連接有螺母一18；所述螺母二13固定連接在活動(dòng)錐套二9下側(cè)中心內(nèi)部；所述螺母一18固定連接在活動(dòng)錐套一4上側(cè)中心內(nèi)部。

其中，所述螺桿一17為右旋螺桿；所述螺桿二15為左旋螺桿；所述操作頭11的截面呈矩形；所述加長(zhǎng)圓柱靶19的長(zhǎng)度為50mm。

本實(shí)用新型的使用狀態(tài)為：本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、生產(chǎn)成本低、安裝方便，功能齊全，對(duì)圓柱靶主體1進(jìn)行加長(zhǎng)時(shí)，首先將圓柱靶主體1底部加工盲孔一2，而再加長(zhǎng)圓柱靶19頂部加工出盲孔二12，而后將卡套座5上下兩側(cè)的彈性卡套一3和彈性卡套二14分別塞入到盲孔一2和盲孔二12中，由于這里的螺桿一17為右旋螺桿，而螺桿二15為左旋螺桿；所以這里旋轉(zhuǎn)連接桿10會(huì)使螺母一18和螺母二13同時(shí)向外或向內(nèi)移動(dòng)，當(dāng)螺母一18和螺母二13向內(nèi)移動(dòng)時(shí)，會(huì)使活動(dòng)錐套一4和活動(dòng)錐套二9向內(nèi)移動(dòng)，使其彈性卡套一3卡緊盲孔一2，彈性卡套二14卡緊盲孔二12，從而保證了圓柱靶主體1與加長(zhǎng)圓柱靶19固定在一起進(jìn)行使用，也就增加圓柱靶濺射范圍，使產(chǎn)品最下幾層有足夠的離子沉積，提高產(chǎn)能。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)，本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)，本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。