技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種核殼結(jié)構(gòu)n?二氧化鈦@p?鈦酸鈷納米晶薄膜及其制備方法，先將干凈的基片安裝在磁控濺射儀的樣品臺(tái)，將CoTiO3靶和TiO2靶分別安裝在磁控濺射儀的兩個(gè)射頻靶位上；對(duì)磁控濺射儀的濺射鍍膜室抽真空再通入惰性氣體，并使濺射鍍膜室的氣體壓強(qiáng)保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶預(yù)濺射5～15min；將基片升溫至300℃～600℃并保溫，CoTiO3靶開(kāi)始濺射30min～90min，得到CoTiO3有序納米晶薄膜；調(diào)節(jié)CoTiO3有序納米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材濺射10s～120s，得到核殼結(jié)構(gòu)n?二氧化鈦@p?鈦酸鈷納米晶薄膜。本發(fā)明可有效地調(diào)控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生產(chǎn)周期短，效率高，適于工業(yè)生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：盧靖;史歡;梁闊燚;姚愷;徐培光;權(quán)瀟;白楊楊;陶赟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陜西科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.22
技術(shù)公布日：2017.11.03