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一種蒸發(fā)源裝置的制作方法

文檔序號:11507185閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結(jié)
本發(fā)明提供了一種蒸發(fā)源裝置。該蒸發(fā)源裝置包括本體以及加熱構(gòu)件;所述加熱構(gòu)件用于加熱蒸鍍材料形成蒸鍍氣體,所述本體設置有用于收容所述蒸鍍氣體的第一腔體;所述本體包括第一壁體,所述第一壁體的外壁面呈向所述第一腔體內(nèi)彎曲的曲面狀;所述第一壁體上設有一呈縫隙狀的噴射口并與所述第一腔體連通,所述噴射口沿著所述第一壁體的彎曲方向彎曲分布,并將所述第一腔體內(nèi)的蒸鍍氣體導出到外界。該方案通過彎曲型的縫隙狀噴射口改變蒸鍍氣體流向,使其更多地沉積到基板上,提高材料利用率,同時,噴射口設計為縫隙狀可降低堵孔風險,提高量產(chǎn)的稼動率。

技術研發(fā)人員:沐俊應
受保護的技術使用者:武漢華星光電技術有限公司
技術研發(fā)日:2017.04.18
技術公布日:2017.08.18
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