技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法,屬于金屬納米薄膜制備領(lǐng)域。先制備出尺度為納米量級(jí)的FeMn合金自由團(tuán)簇,然后在團(tuán)簇腔內(nèi)經(jīng)過(guò)碰撞、冷凝和結(jié)核的過(guò)程,F(xiàn)eMn合金自由團(tuán)簇變成FeMn合金支撐團(tuán)簇,F(xiàn)eMn合金支撐團(tuán)簇在清潔平整的襯底表面附著,在襯底表面完成FeMn合金團(tuán)簇組裝,得到具有納米結(jié)構(gòu)的FeMn合金納米薄膜。本發(fā)明提供的制備方法,該方法采用團(tuán)簇束流沉積法使團(tuán)簇以“軟著陸”的方式積淀成FeMn合金納米薄膜,減小了內(nèi)部應(yīng)力的生成,實(shí)現(xiàn)團(tuán)簇組裝,獲得特定結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)納米粒子尺寸和成分的選擇和控制,制備的FeMn合金納米薄膜具有較大的交換偏置效應(yīng)、平整致密且密度大的優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)研發(fā)人員:趙世峰;張冠群;白玉龍;李明浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:內(nèi)蒙古大學(xué)
文檔號(hào)碼:201710011113
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.06
技術(shù)公布日:2017.05.17