技術(shù)特征：

1.一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法，其特征在于：先制備出尺度為納米量級的FeMn合金自由團(tuán)簇，然后在團(tuán)簇腔內(nèi)經(jīng)過碰撞、冷凝和結(jié)核的過程，F(xiàn)eMn合金自由團(tuán)簇變成FeMn合金支撐團(tuán)簇，F(xiàn)eMn合金支撐團(tuán)簇在清潔平整的襯底表面附著，在襯底表面完成FeMn合金團(tuán)簇組裝，得到具有納米結(jié)構(gòu)的FeMn合金納米薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)原料準(zhǔn)備，將純度為99.999％的、厚度為2mm、直徑為50mm的FeMn合金靶材作為濺射靶材，純度為99.999％Ar作為濺射氣體，厚度為500μm、長寬為10mm*10mm的硅片作為襯底，用浸泡過無水乙醇的無塵紙將團(tuán)簇冷凝腔內(nèi)的雜質(zhì)擦拭干凈，將FeMn合金靶材放在濺射儀器的濺射靶位置，硅襯底放置在襯底托的位置，把濺射儀器組裝復(fù)位，靶材和襯底之間的冷凝距離為57mm；

2)設(shè)備開啟和預(yù)熱，檢查團(tuán)簇儀器的充氣閥，保證其處于密封狀態(tài)，開啟冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，開啟團(tuán)簇系統(tǒng)總電源，打開真空系統(tǒng)，在壓強(qiáng)<10Pa時，開啟分子泵抽氣到高真空狀態(tài)，待分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)20-40min，背底真空環(huán)境低于4.0×10^-5Pa時，開啟濺射氣體開關(guān)，控制氬氣的流動速率為130sccm，洗滌團(tuán)簇儀器腔體5分鐘，把腔體內(nèi)的雜質(zhì)氣體洗滌除去；

3)產(chǎn)品制備，開啟濺射儀器的直流電源，設(shè)定濺射電壓為150V，濺射速率為濺射時間4小時，濺射結(jié)束后，關(guān)閉濺射直流電源并調(diào)零，關(guān)閉濺射氣體閥門，關(guān)閉分子泵控制開關(guān)使其降速，待分子泵-沉積系統(tǒng)達(dá)到共振時，關(guān)閉機(jī)械泵，快速的度過共振期，最大限度保護(hù)分子泵，關(guān)閉機(jī)械泵的開關(guān)，關(guān)閉團(tuán)簇儀器電源開關(guān)，關(guān)閉冷卻水儀器開關(guān)，打開控制團(tuán)簇儀器氣密性的控制閥門，待團(tuán)簇腔內(nèi)的氣壓與大氣氣壓一致時，取出襯底,得到FeMn合金納米薄膜；

4)產(chǎn)品檢測，利用PPMS系統(tǒng)儀器中的振動樣品磁強(qiáng)計直接測量得到的FeMn合金納米薄膜的磁滯回線。

3.如權(quán)利要求2所述的一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟2)的高真空狀態(tài)為壓力＜10^-4Pa，F(xiàn)eMn靶材首先預(yù)濺射半小時。

4.如權(quán)利要求2所述的一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟3)中襯底溫度在濺射過程中為常溫。

5.如權(quán)利要求2所述的一種強(qiáng)交換偏置效應(yīng)FeMn合金納米薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟3)中，濺射結(jié)束后，用團(tuán)簇儀器本身所帶的加熱系統(tǒng)在氬氣的環(huán)境下快速加熱到400℃，將所得FeMn合金納米薄膜在400℃、純氬氣環(huán)境下原位退火15min。