本實用新型一般地涉及材料減薄加工，更具體地說但非限于，涉及鐵電材料的表面加工裝置。

背景技術：

鐵電材料在航空、航天、民用光電產(chǎn)品等領域得到廣泛應用，如表面波器件、窄帶濾波器、傳感器、光子可調(diào)諧濾波器、聲光器件、光陀螺儀等，特別是在高頻表面波器件，2.5G,3G標準下的聲表面波器件還沒有其他商品化材料可以代替鐵電材料，是無線通訊中最重要的基礎材料。

鐵電材料在加工過程中由于外部載荷和熱場共同作用再加上自身具有的壓電效應和熱釋電效應，會出現(xiàn)分子正負電中心彼此分離而產(chǎn)生極化現(xiàn)象，材料表面會產(chǎn)生很強的電場。由于鐵電材料又具有壓電逆效應，電場會產(chǎn)生內(nèi)應力。當內(nèi)部應力大于材料強度時，無須外部載荷，裂紋就會產(chǎn)生，導致鐵電材料破損，降低鐵電材料的加工成品率。

目前的鐵電材料表面加工技術，主要從材料機械特性角度來選擇加工方法，鐵電材料的極化特性及其逆效應沒有引起足夠重視，而極化現(xiàn)象產(chǎn)生的電場能量相當驚人，可以在不借助于任何外部載荷和熱的條件下完成中子和氦離子的核聚變過程，無需外部載荷，電場對于加工的影響就足以導致鐵電材料破損，因此，研究、開發(fā)一種施加脈沖磁場的鐵電材料表面加工方法尤為必要。

技術實現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有的鐵電材料減薄加工方法的加工效率較低的不足，本實用新型提供一種提高加工效率的基于施加脈沖磁場的鐵電材料減薄加工裝置。

為了解決上述技術問題提供了如下技術方案：

一種基于施加脈沖磁場的鐵電材料減薄加工裝置，包括砂輪和基片，所述砂輪與基片之間為放置待加工鐵電材料的加工工位，所述砂輪與基片分別與帶動其旋轉的驅(qū)動機構連接，所述加工裝置還包括脈沖磁場組件，所述脈沖磁場組件形成的脈沖場位于所述加工工位上，所述脈沖磁場組件包括兩塊極性板，所述兩塊極性板分別位于加工工位的兩側。

進一步，所述的鐵電材料的形狀為圓形晶片狀。

再進一步，所述的砂輪端面非整體，陣列粘附設定厚度的砂輪牙塊，牙塊的幾何形狀包含心形和矩形等形狀。

更進一步，所述鐵電材料粘附在基片上。

所述基片與真空吸盤連接。所述基片定位夾持方式包括以真空吸附于真空吸盤。

所述鐵電材料為具有鐵電相的功能材料，所述鐵電材料為鉭酸鋰，鈮酸鋰，鈦酸鋇或磷酸二氫鉀。

所述步驟(1)的表面加工方法包含立式端面磨削。

所述的基片的材料包含鋁合金和玻璃基板。

所述的真空吸盤的材料包括多孔陶瓷。

所述粘附材料包含石蠟。

本實用新型的技術構思為：鐵電材料的表面加工方法是通過施加脈沖磁場產(chǎn)生外加電場來抵消鐵電材料加工時由于極化作用產(chǎn)生的正負電荷而引起的內(nèi)電場，來降低內(nèi)電場對鐵電材料加工破損的風險，有助于提高加工效率。在一個實施方案中，表面加工方法包含端面磨削，加工材料包含鉭酸鋰為代表的鐵電材料，以及外加脈沖磁場。

本實用新型的有益效果為：提高了加工效率。

附圖說明

圖1是按照本實用新型一個實施方案的加工示意圖。

圖2是按照本實用新型所述的外加多場耦合作用原理示意圖。

圖3是按照本實用新型一個實施方案的砂輪端面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步說明。

參照圖1～圖3，一種基于施加脈沖磁場的鐵電材料減薄加工裝置，包括砂輪和基片，所述砂輪與基片之間為放置待加工鐵電材料的加工工位，所述砂輪與基片分別與帶動其旋轉的驅(qū)動機構連接，所述加工裝置還包括脈沖磁場組件，所述脈沖磁場組件形成的脈沖場位于所述加工工位上，所述脈沖磁場組件包括兩塊極性板，所述兩塊極性板分別位于加工工位的兩側。

進一步，所述的鐵電材料的形狀為圓形晶片狀。

再進一步，所述的砂輪端面非整體，陣列粘附設定厚度的砂輪牙塊，牙塊的幾何形狀包含心形和矩形等形狀。

更進一步，所述鐵電材料粘附在基片上。

所述基片與真空吸盤連接。所述基片定位夾持方式包括以真空吸附于真空吸盤。

所述鐵電材料為具有鐵電相的功能材料，所述鐵電材料為鉭酸鋰，鈮酸鋰，鈦酸鋇或磷酸二氫鉀。

所述步驟(1)的表面加工方法包含立式端面磨削。

所述的基片的材料包含鋁合金和玻璃基板。

所述的真空吸盤的材料包括多孔陶瓷。

所述粘附材料包含石蠟。

本實施例的基于施加脈沖磁場的鐵電材料減薄加工裝置實現(xiàn)的方法，包括以下步驟：

(1)參照圖1，立式端面磨削加工鐵電材料，砂輪1以n_s的轉速， f的進給速度對鉭酸鋰晶片2進行加工，鉭酸鋰晶片2的轉速是n_w。

(2)參照圖2，加工時施加脈沖磁場5。

(3)所述砂輪1，參照圖3，端面非整體，陣列粘附金剛石磨粒的砂輪塊6，砂輪塊的幾何形狀包含心形，參照圖3，所述鉭酸鋰晶片2，粘附于基片3上，基片3以真空吸盤4實現(xiàn)定位夾緊。

(4)所述鉭酸鋰晶片2的粘附方式，是以被加熱后呈熔融狀態(tài)的石蠟涂于基片3表面，鉭酸鋰晶片2排除氣泡后均勻粘附在基片3上，待石蠟凝固實現(xiàn)粘附。

真空吸盤4材料包括多孔陶瓷。

參照圖2，端面磨削的施加的脈沖磁場產(chǎn)生的外電場中和鐵電材料極化產(chǎn)生的內(nèi)電場。

在本公開內(nèi)容中，給出許多具體細節(jié)，以便徹底理解本實用新型的實施方案。但是本領域的普通技術人員將認識到，本實用新型能在沒有一項或多項具體細節(jié)的前提下實施。在其他情況下，為避免模糊本實用新型的要點，未給出或闡明周知的細節(jié)。

而且，應理解，雖然本實用新型的實施方案始終以鉭酸鋰為例進行描述，但本實用新型不受此限制。本領域內(nèi)的普通技術人員能根據(jù)本實用新型的指導來進行其他鐵電材料的表面加工。

以下列舉具體實例以進一步闡述本實用新型，應理解，實例并非用于限制本實用新型的保護范圍。