本實用新型涉及真空鍍膜鄰域，具體涉及一種鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體。

背景技術(shù)：

OLED，即有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機電激光顯示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因為具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯不屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯不器上，因為OLED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，OLED是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空鍍膜工藝是OLED制作流程中一個很重要的工藝，真空鍍膜是指在真空腔體中把蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)或用加速離子轟擊濺射，沉積到基片表面形成單層或多層薄膜。囚為它是關(guān)系到OLED的品質(zhì)高低及壽命長短的最重要因素之一，所以應(yīng)用于真空鍍膜工藝上的各種設(shè)備必須滿足真空鍍膜工藝的精度要求。

現(xiàn)在的蒸鍍工藝都需要經(jīng)歷抽真空、加熱及鍍膜等一系列過程，而在鍍膜之前的加熱過程中，在未達到蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度時就會有蒸發(fā)源將雜質(zhì)蒸發(fā)掉，另有一些蒸發(fā)物在加熱蒸發(fā)過程中會釋放出氣體。這些雜質(zhì)和不穩(wěn)定的氣體擴散會造成薄膜厚度不均、組分不凈、性能不穩(wěn)、應(yīng)力較大、附著不牢固等缺點，影響鍍膜質(zhì)量，薄膜質(zhì)量側(cè)直接影響顯示器件的發(fā)光效率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型主要解決的技術(shù)問題在于，提供一種僅在達到蒸發(fā)物溫度時才對靶材進行蒸鍍的光學(xué)用真空腔體，且提高了鍍膜質(zhì)量，不會出現(xiàn)薄膜厚度不均、組分不凈、性能不穩(wěn)、應(yīng)力較大、附著不牢固等缺點。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體，包括真空腔體本體，在位于真空腔體本體的用于置放蒸發(fā)源的底部的正上方設(shè)有鉸接在真空腔體本體上部的擋蓋，擋蓋下設(shè)置由記憶合金材料制成的彈簧。擋蓋由兩塊分別鉸接在真空腔體本體上的板構(gòu)成；這樣的設(shè)置將彈簧設(shè)置成控制擋蓋開啟的開關(guān)，并且由于是采用記憶合金材料，因此可以通過這樣的設(shè)置實現(xiàn)僅在到達蒸發(fā)物的蒸鍍溫度時擋蓋才打開，而在蒸鍍加熱過程中并不打開，這樣能夠有效阻擋在蒸鍍加熱過程中的雜質(zhì)積膜在靶材上。

作為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體的進一步改進，彈簧采用變態(tài)溫度為80℃的TiNiCu或TiNi記憶合金材料，彈簧的底端與真空腔體本體的側(cè)壁上固定設(shè)置的置放板固定連接，置放板與真空腔體本體一體成型而成，彈簧的頂端固定連接頂板，頂板抵靠在擋蓋的下表面。由于給塑料鍍膜一般都是在80℃左右，因此這里選取變態(tài)溫度為80℃的TiNiCu或TiNi記憶合金材料，這樣僅在達到蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度時彈簧才變形以打開用于阻擋雜質(zhì)的擋蓋，這樣避免了在鍍膜之前的加熱過程中有雜質(zhì)被蒸發(fā)至靶材的情況，提高了鍍膜質(zhì)量。

作為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體的另一種改進，彈簧采用變態(tài)溫度為40℃的NiTi記憶合金材料，彈簧的一端固定在真空腔體本體的側(cè)壁上，彈簧的另一端固定連接阻擋板，阻擋板抵靠在機械延時開關(guān)的凸塊上；機械延時開關(guān)包括一個絲杠螺母機構(gòu)、與絲杠固定連接的中空轉(zhuǎn)筒、繞設(shè)在中空轉(zhuǎn)筒上的扭簧及中空轉(zhuǎn)筒上固定設(shè)置的凸塊，中空轉(zhuǎn)筒的側(cè)面上位于底部位置設(shè)置凸塊，扭簧的一端固定在中空轉(zhuǎn)筒的底部，扭簧的另一端固定連接在真空腔體本體的側(cè)壁上，繞設(shè)在中空轉(zhuǎn)筒上的扭簧處于被拉伸的狀態(tài)；中空轉(zhuǎn)筒的頂端與絲杠固定連接，中空轉(zhuǎn)筒的中心對稱軸與絲杠的中心對稱軸共線，絲杠的另一端即絲杠的頂端距離擋蓋開合盒子的盒蓋的彈性鎖扣一段距離，絲杠上的螺母的外側(cè)面與真空腔體本體的側(cè)壁上的連接桿固定相連，連接桿與真空腔體本體一體成型；擋蓋開合盒子包括盒蓋、盒體和第二彈簧，盒體為頂部開口的帶底圓筒形，盒蓋為帶彈性鎖扣的圓盤，圓盤的頂部的側(cè)面固定連接彈性鎖扣，圓盤的直徑與盒體的內(nèi)壁的直徑相同，第二彈簧的一端固定連接在盒體的底部的內(nèi)壁上，第二彈簧的另一端固定連接圓盤的下底面，盒體的高度滿足盒蓋的上表面處于盒體的頂端時第二彈簧處于被壓緊的狀態(tài)，彈性鎖扣采用彈性塑料材質(zhì)制成，形狀為碗形，盒體的上部的外表面上還設(shè)有和彈性鎖扣匹配的凸起。絲杠、中空轉(zhuǎn)筒等豎直布置；這里選取較易得的記憶合金材料—變態(tài)溫度為40℃的NiTi記憶合金材料，成本低且易得，但是考慮到一般給塑料鍍膜一般都是在80℃左右，因此此處配合機械延時開關(guān)，當達到40℃時彈簧變形并產(chǎn)生作用觸發(fā)機械延時開關(guān)啟動，然后經(jīng)過一段時間（時間的設(shè)定根據(jù)前期多次實驗后統(tǒng)計真空腔體本體內(nèi)從40℃達到80℃的時間，并結(jié)合調(diào)整扭簧的繞設(shè)拉伸情況以及絲杠的頂端距離擋蓋開合盒子的盒蓋的彈性鎖扣的距離來設(shè)定）后擋蓋開合盒子作用，擋蓋開啟；也可以通過更換扭簧或調(diào)整絲杠的頂端距離擋蓋開合盒子的盒蓋的彈性鎖扣的距離來達到更長的延時以滿足給玻璃鍍膜（一般給玻璃鍍膜在200℃左右）；時間上根據(jù)前期多次實驗或在匯總記錄以前從40℃至80℃（或40℃至200℃）的時間來選擇合適的扭簧或絲杠的頂端距離擋蓋開合盒子的盒蓋的彈性鎖扣的距離以設(shè)定合適的時間?；蛘哚槍o玻璃鍍膜，也可采用變態(tài)溫度為80℃的TiNiCu或TiNi記憶合金材料，然后詳細記錄之前的情況（從80℃至200℃的時間）來選擇合適的扭簧。動作過程為：蒸發(fā)源開始加熱后，溫度慢慢升高，當達到40℃時，采用變態(tài)溫度為40℃的NiTi記憶合金材料制成的彈簧變形（收縮），由此中空轉(zhuǎn)筒缺少了阻擋板的阻擋被拉伸的扭簧開始收縮并帶動轉(zhuǎn)筒旋轉(zhuǎn)，由于螺母固定，因此絲杠在旋轉(zhuǎn)的過程中上升，經(jīng)過一段時間后達到擋蓋開合盒子的盒蓋的彈性鎖扣處推開彈性鎖扣，第二彈簧由于盒蓋沒有了彈性鎖扣的原因釋放彈力，盒蓋被頂起，由此其上方的擋蓋被頂起，因此實現(xiàn)了在達到蒸發(fā)物溫度時才對靶材進行蒸鍍。

作為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體的進一步改進，與絲杠配合的螺母設(shè)有兩個，每個螺母的外側(cè)面均與真空腔體本體的側(cè)壁上的一個連接桿固定相連，連接桿與真空腔體本體一體成型。這樣的設(shè)置使得整個中空轉(zhuǎn)筒在旋轉(zhuǎn)上升過程中更平穩(wěn)。

作為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體的進一步改進，絲杠的一側(cè)抵靠盒體的外表面。這樣絲杠在上升至彈性鎖扣處可以將其推開。

作為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體的進一步改進，彈性鎖扣的底部固定連接一個勾形啟扣，絲杠的頂端固定連接一個與勾形啟扣匹配的勾形推件，絲杠的中心對稱軸處于勾形啟扣的豎直軸線與擋蓋中心軸線之間。這樣的設(shè)置使得絲杠不抵靠盒體外表面，沒有了兩者之間的摩擦，且由于勾形啟扣和勾形推件的配合，更容易在絲杠上升過程中將彈性鎖扣頂開。

本實用新型僅在達到蒸發(fā)物溫度時才對靶材進行蒸鍍的光學(xué)用真空腔體，且提高了鍍膜質(zhì)量，不會出現(xiàn)薄膜厚度不均、組分不凈、性能不穩(wěn)、應(yīng)力較大、附著不牢固等缺點；并且本實用新型可以靈活選擇彈簧所用的記憶合金材料，根據(jù)實際情況設(shè)置不同的機械開關(guān)的延時時間以同樣起到僅在達到蒸發(fā)物溫度時才對靶材進行蒸鍍。

附圖說明

圖1為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體實施例一去除待鍍靶材從擋蓋開始往下部分的真空腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體實施例二去除待鍍靶材從擋蓋開始往下部分的真空腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中彈簧和中空轉(zhuǎn)筒部分的放大示意圖；

圖4為圖2中擋蓋開合盒子部分的放大示意圖；

圖5為本實用新型鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體實施例三中擋蓋開合盒子部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、真空腔體本體 2、擋蓋 3、蒸發(fā)源 4、彈簧 5、置放板 6、頂板 7、阻擋板 8、凸塊 9、絲杠 10、中空轉(zhuǎn)筒 11、扭簧 12、擋蓋開合盒子 13、盒蓋 14、彈性鎖扣 15、螺母 16、連接桿 17、盒體 18、第二彈簧 19、凸起 20、勾形啟扣 21、勾形推件。

具體實施方式

為了對本實用新型的技術(shù)特征、目的以及效果有更加清楚地了解，現(xiàn)對照附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式。

實施例一：

如圖1所示，鍍膜質(zhì)量高的光學(xué)用真空腔體，包括真空腔體本體1，在位于真空腔體本體1的用于置放蒸發(fā)源3的底部的正上方設(shè)有鉸接在真空腔體本體1上部的擋蓋2，擋蓋2下設(shè)置由記憶合金材料制成的彈簧4。彈簧4采用變態(tài)溫度為80℃的TiNiCu或TiNi記憶合金材料，彈簧4的底端與真空腔體本體1的側(cè)壁上固定設(shè)置的置放板5固定連接，置放板5與真空腔體本體1一體成型而成，彈簧4的頂端固定連接頂板6，頂板6抵靠在擋蓋2的下表面。

實施例二：

與實施例一的不同在于：如圖2至圖4所示，彈簧4采用變態(tài)溫度為40℃的NiTi記憶合金材料，彈簧4的一端固定在真空腔體本體1的側(cè)壁上，彈簧4的另一端固定連接阻擋板7，阻擋板7抵靠在機械延時開關(guān)的凸塊8上；機械延時開關(guān)包括一個絲杠螺母機構(gòu)、與絲杠9固定連接的中空轉(zhuǎn)筒10、繞設(shè)在中空轉(zhuǎn)筒10上的扭簧11及中空轉(zhuǎn)筒10上固定設(shè)置的凸塊8，中空轉(zhuǎn)筒10的側(cè)面上位于底部位置設(shè)置凸塊8，扭簧11的一端固定在中空轉(zhuǎn)筒10的底部，扭簧11的另一端固定連接在真空腔體本體1的側(cè)壁上，繞設(shè)在中空轉(zhuǎn)筒10上的扭簧11處于被拉伸的狀態(tài)；中空轉(zhuǎn)筒10的頂端與絲杠9固定連接，中空轉(zhuǎn)筒10的中心對稱軸與絲杠9的中心對稱軸共線，絲杠9的另一端即絲杠9的頂端距離擋蓋開合盒子12的盒蓋13的彈性鎖扣14一段距離，絲杠9上的螺母15的外側(cè)面與真空腔體本體1的側(cè)壁上的連接桿16固定相連，連接桿16與真空腔體本體1一體成型；擋蓋開合盒子12包括盒蓋13、盒體17和第二彈簧18，盒體17為頂部開口的帶底圓筒形，盒蓋13為帶彈性鎖扣14的圓盤，圓盤的頂部的側(cè)面固定連接彈性鎖扣14，圓盤的直徑與盒體17的內(nèi)壁的直徑相同，第二彈簧18的一端固定連接在盒體17的底部的內(nèi)壁上，第二彈簧18的另一端固定連接圓盤的下底面，盒體17的高度滿足盒蓋13的上表面處于盒體17的頂端時第二彈簧18處于被壓緊的狀態(tài)，彈性鎖扣14采用彈性塑料材質(zhì)制成，形狀為碗形，盒體17的上部的外表面上還設(shè)有和彈性鎖扣14匹配的凸起19。與絲杠9配合的螺母15設(shè)有兩個，每個螺母15的外側(cè)面均與真空腔體本體1的側(cè)壁上的一個連接桿16固定相連，連接桿16與真空腔體本體1一體成型。絲杠9的一側(cè)抵靠盒體17的外表面。

實施例三：

與實施例二的不同在于：如圖5所示，彈性鎖扣14的底部固定連接一個勾形啟扣20，絲杠9的頂端固定連接一個與勾形啟扣20匹配的勾形推件21，絲杠9的中心對稱軸處于勾形啟扣20的豎直軸線與擋蓋2中心軸線之間。

以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選技術(shù)方案對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當視為屬于本實用新型的保護范圍。