本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組。

背景技術(shù)：

在真空鍍膜系統(tǒng)中，對(duì)各真空室的抽真空處理，影響著各個(gè)工藝工序的效率和鍍膜質(zhì)量。工件進(jìn)入鍍膜室進(jìn)行鍍膜的前后，均需要先送入預(yù)抽室、粗抽室、精抽室等進(jìn)行預(yù)處理或緩沖處理。在傳統(tǒng)的真空鍍膜系統(tǒng)中，每個(gè)真空室分別設(shè)有獨(dú)立的抽真空機(jī)組，各自獨(dú)立使用。但在實(shí)際生產(chǎn)中，該結(jié)構(gòu)的真空鍍膜系統(tǒng)的抽真空效果并不理想，尤其是針對(duì)粗抽室的抽真空，由于羅茨泵的前級(jí)抽氣能力往往較差，粗抽室內(nèi)難以達(dá)到低壓強(qiáng)狀態(tài)，使得工件在粗抽室內(nèi)難以得到較好的緩沖處理，往往容易影響后續(xù)加工工序的加工效果；同時(shí)，對(duì)粗抽室進(jìn)行抽真空時(shí)，其用時(shí)也長(zhǎng)，因此也延長(zhǎng)了整個(gè)真空鍍膜系統(tǒng)的鍍膜周期，鍍膜效率難以得到提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、抽真空效果較好且可有效縮短鍍膜周期的真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組，包括第一抽氣管路和第二抽氣管路，第一抽氣管路設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的預(yù)抽室中，第二抽氣管路設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的粗抽室中，第一抽氣管路與第二抽氣管路之間通過(guò)旁通管連通，旁通管上設(shè)有旁通閥。

所述第一抽氣管路包括并列設(shè)置的第一抽氣管和第二抽氣管，第一抽氣管上設(shè)有第一粗抽閥，第一抽氣管末端設(shè)有第一機(jī)械泵，第二抽氣管上設(shè)有第二粗抽閥，第二抽氣管末端設(shè)有第二機(jī)械泵。其中，第一抽氣泵和第二抽氣泵相互獨(dú)立工作，對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行抽真空時(shí)，根據(jù)實(shí)際的工藝需求，可只采用第一抽氣泵或第二抽氣泵進(jìn)行抽真空工作，也可同時(shí)開(kāi)啟，實(shí)現(xiàn)快速抽氣。

所述第二抽氣管路包括第三抽氣管，第三抽氣管上設(shè)有第三閥門(mén)，沿氣體輸送方向，第三抽氣管的末端依次設(shè)有羅茨泵和第三機(jī)械泵，旁通管連通于第二機(jī)械泵的進(jìn)口端和第三機(jī)械泵的進(jìn)口端之間。在第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵之間設(shè)置旁通管及旁通閥的主要目的是：由于羅茨泵對(duì)粗抽室抽氣時(shí)，打開(kāi)第二真空鎖的瞬間，粗抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)上升較大，而羅茨泵的前級(jí)抽氣能力較差，僅使用第三機(jī)械泵進(jìn)行抽氣時(shí)，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開(kāi)啟旁通閥，通過(guò)旁通管將第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵連通，通過(guò)兩臺(tái)機(jī)械泵串聯(lián)對(duì)羅茨泵進(jìn)行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強(qiáng)大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強(qiáng)較高的情況下也能正常運(yùn)行工作。

所述旁通閥打開(kāi)前，第二粗抽閥處于關(guān)閉狀態(tài)，第三閥門(mén)、羅茨泵和第三機(jī)械泵均處于開(kāi)啟狀態(tài)。

所述預(yù)抽室和粗抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中相鄰的兩個(gè)真空室。

所述預(yù)抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中進(jìn)片端或出片端的預(yù)抽室，粗抽室相應(yīng)為真空鍍膜系統(tǒng)中進(jìn)片端或出片端的粗抽室。即預(yù)抽室和粗抽室相鄰設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的進(jìn)片端或出片端，而在實(shí)際生產(chǎn)中，通常在進(jìn)片端和出片端同時(shí)設(shè)置。

所述預(yù)抽室的外端設(shè)有第一真空鎖，預(yù)抽室與粗抽室的連接處設(shè)有第二真空鎖。第一真空鎖和第二真空鎖的設(shè)置是為了保證預(yù)抽室和粗抽室之間的相互獨(dú)立性。

上述真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組使用時(shí)，以預(yù)抽室和粗抽室設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的進(jìn)片端為例，其原理是：先在預(yù)抽室中放入大氣，然后關(guān)閉第一真空鎖，打開(kāi)第一粗抽閥和第二粗抽閥，第一機(jī)械泵和第二機(jī)械泵分別對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行抽氣；當(dāng)預(yù)抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定值后，打開(kāi)第二真空鎖，同時(shí)關(guān)閉第二粗抽閥，并打開(kāi)旁通閥(打開(kāi)旁通閥之前，第三機(jī)械泵和羅茨泵處于開(kāi)啟狀態(tài)，第三閥門(mén)處于打開(kāi)狀態(tài)，即粗抽室也處于抽氣狀態(tài))；打開(kāi)第二真空鎖后，預(yù)抽室內(nèi)的工件送入粗抽室中，然后關(guān)閉第二真空鎖，再關(guān)閉第一粗抽閥，延時(shí)一段時(shí)間(該時(shí)間段可根據(jù)實(shí)際工藝需求進(jìn)行設(shè)定，一般為幾秒)后關(guān)閉旁通閥；最后重新對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行放氣，至此為一個(gè)抽真空的循環(huán)周期。上述過(guò)程中，由于羅茨泵對(duì)粗抽室進(jìn)行抽氣時(shí)，打開(kāi)第二真空鎖的瞬間，粗抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)上升較大，而羅茨泵的前級(jí)抽氣能力較差，僅使用第三機(jī)械泵進(jìn)行抽氣時(shí)，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開(kāi)啟旁通閥，通過(guò)旁通管將第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵連通，通過(guò)兩臺(tái)機(jī)械泵串聯(lián)對(duì)羅茨泵進(jìn)行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強(qiáng)大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強(qiáng)較高的情況下也能正常運(yùn)行工作。

本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果：

本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組是在傳統(tǒng)真空鍍膜系統(tǒng)的抽真空機(jī)組結(jié)構(gòu)上進(jìn)行改進(jìn)的，針對(duì)粗抽室抽真空時(shí)存在的缺陷，通過(guò)在相鄰兩組抽真空機(jī)組中增設(shè)旁通管及旁通閥，從而實(shí)現(xiàn)多個(gè)機(jī)械泵串聯(lián)對(duì)粗抽室的羅茨泵出口進(jìn)行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強(qiáng)大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強(qiáng)較高的情況下也能正常運(yùn)行工作。

本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，改造成本低，但對(duì)于粗抽室的抽真空需求來(lái)說(shuō)，具有較好的抽真空效果，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)快速抽真空，縮短抽真空的循環(huán)周期，進(jìn)一步縮短工件鍍膜周期，本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組在試驗(yàn)中，相比傳統(tǒng)抽真空機(jī)組，其抽真空的循環(huán)周期縮短了5～10秒，有效提高了鍍膜系統(tǒng)的生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為真空鍍膜系統(tǒng)的進(jìn)片端和出片端同時(shí)設(shè)置本快速抽真空機(jī)組的原理示意圖。

圖中，1為第一粗抽閥，2為第一機(jī)械泵，3為第二機(jī)械泵，4為第二粗抽閥，5為旁通閥，6為第三機(jī)械泵，7為羅茨泵，8為進(jìn)片平臺(tái)，9為第一真空鎖，10為預(yù)抽室，11為第二真空鎖，12為粗抽室，13為精抽室，14為第三閥門(mén)，15為第一抽氣管，16為第二抽氣管，17為第三抽氣管，18為旁通管。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。

實(shí)施例

本實(shí)施例一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組，如圖1所示，真空鍍膜系統(tǒng)的進(jìn)片端和出片端分別設(shè)置本快速抽真空機(jī)組。

快速抽真空機(jī)組包括第一抽氣管路和第二抽氣管路，第一抽氣管路設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的預(yù)抽室中，第二抽氣管路設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的粗抽室中，第一抽氣管路與第二抽氣管路之間通過(guò)旁通管連通，旁通管上設(shè)有旁通閥。

其中，第一抽氣管路包括并列設(shè)置的第一抽氣管和第二抽氣管，第一抽氣管上設(shè)有第一粗抽閥，第一抽氣管末端設(shè)有第一機(jī)械泵，第二抽氣管上設(shè)有第二粗抽閥，第二抽氣管末端設(shè)有第二機(jī)械泵。其中，第一抽氣泵和第二抽氣泵相互獨(dú)立工作，對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行抽真空時(shí)，根據(jù)實(shí)際的工藝需求，可只采用第一抽氣泵或第二抽氣泵進(jìn)行抽真空工作，也可同時(shí)開(kāi)啟，實(shí)現(xiàn)快速抽氣。

第二抽氣管路包括第三抽氣管，第三抽氣管上設(shè)有第三閥門(mén)，沿氣體輸送方向，第三抽氣管的末端依次設(shè)有羅茨泵和第三機(jī)械泵，旁通管連通于第二機(jī)械泵的進(jìn)口端和第三機(jī)械泵的進(jìn)口端之間。在第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵之間設(shè)置旁通管及旁通閥的主要目的是：由于羅茨泵對(duì)粗抽室抽氣時(shí)，打開(kāi)第二真空鎖的瞬間，粗抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)上升較大，而羅茨泵的前級(jí)抽氣能力較差，僅使用第三機(jī)械泵進(jìn)行抽氣時(shí)，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開(kāi)啟旁通閥，通過(guò)旁通管將第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵連通，通過(guò)兩臺(tái)機(jī)械泵串聯(lián)對(duì)羅茨泵進(jìn)行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強(qiáng)大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強(qiáng)較高的情況下也能正常運(yùn)行工作。

旁通閥打開(kāi)前，第二粗抽閥處于關(guān)閉狀態(tài)，第三閥門(mén)、羅茨泵和第三機(jī)械泵均處于開(kāi)啟狀態(tài)。

預(yù)抽室和粗抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中相鄰的兩個(gè)真空室。

預(yù)抽室的外端設(shè)有第一真空鎖，預(yù)抽室與粗抽室的連接處設(shè)有第二真空鎖。第一真空鎖和第二真空鎖的設(shè)置是為了保證預(yù)抽室和粗抽室之間的相互獨(dú)立性。

上述真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機(jī)組使用時(shí)，以預(yù)抽室和粗抽室設(shè)于真空鍍膜系統(tǒng)的進(jìn)片端為例，其原理是：先在預(yù)抽室中放入大氣，然后關(guān)閉第一真空鎖，打開(kāi)第一粗抽閥和第二粗抽閥，第一機(jī)械泵和第二機(jī)械泵分別對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行抽氣；當(dāng)預(yù)抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)達(dá)到設(shè)定值后，打開(kāi)第二真空鎖，同時(shí)關(guān)閉第二粗抽閥，并打開(kāi)旁通閥(打開(kāi)旁通閥之前，第三機(jī)械泵和羅茨泵處于開(kāi)啟狀態(tài)，第三閥門(mén)處于打開(kāi)狀態(tài)，即粗抽室也處于抽氣狀態(tài))；打開(kāi)第二真空鎖后，預(yù)抽室內(nèi)的工件送入粗抽室中，然后關(guān)閉第二真空鎖，再關(guān)閉第一粗抽閥，延時(shí)一段時(shí)間(該時(shí)間段可根據(jù)實(shí)際工藝需求進(jìn)行設(shè)定，一般為幾秒)后關(guān)閉旁通閥；最后重新對(duì)預(yù)抽室進(jìn)行放氣，至此為一個(gè)抽真空的循環(huán)周期。上述過(guò)程中，由于羅茨泵對(duì)粗抽室進(jìn)行抽氣時(shí)，打開(kāi)第二真空鎖的瞬間，粗抽室內(nèi)的真空壓強(qiáng)上升較大，而羅茨泵的前級(jí)抽氣能力較差，僅使用第三機(jī)械泵進(jìn)行抽氣時(shí)，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開(kāi)啟旁通閥，通過(guò)旁通管將第二機(jī)械泵和第三機(jī)械泵連通，通過(guò)兩臺(tái)機(jī)械泵串聯(lián)對(duì)羅茨泵進(jìn)行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強(qiáng)大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強(qiáng)較高的情況下也能正常運(yùn)行工作。

如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，上述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來(lái)限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；即凡依本實(shí)用新型內(nèi)容所作的均等變化與修飾，都為本實(shí)用新型權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍所涵蓋。