技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及功能材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硫化鎘陶瓷靶材的制備方法。硫化鎘陶瓷靶材的制備方法，第一步，原料配制：CdS粉末以及助熔劑；第二步，混合：先將CdC12溶于熱水后與PVA水溶液混合均勻，用小噴壺噴灑到CdS粉末中，并充分?jǐn)嚢杈鶆?；第三步，烘干：將混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，過篩：將烘干后篩選出30目的粉料顆粒；第五步，困料：過篩后的粉料顆粒密閉困料，確保水分均勻；第六步，成型：將粉料裝入模具進(jìn)行干壓成型；第七步，燒結(jié)：將壓好的樣品放入坩堝內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)，采用真空燒結(jié)的方式，并真空隨爐冷卻至室溫，制成硫化鎘陶瓷靶材。通過本發(fā)明制備的靶材試樣能滿足磁控濺射鍍膜工藝對靶材的指標(biāo)要求。

技術(shù)研發(fā)人員：王耀斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陜西盛邁石油有限公司
文檔號碼：201611042961
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.24
技術(shù)公布日：2017.01.25