技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種真空鍍膜的方法，涉及一種類金剛石薄膜以及金屬薄膜的制備技術(shù)，包括以下步驟：第一步，通過激光切割或者刻蝕導(dǎo)電圓片(1)，在導(dǎo)電圓片(1)上得到通孔(2)；第二步，將靶材圓片(3)、導(dǎo)電圓片(1)、襯底圓片(4)依次疊放，并置于真空中加熱至溫度穩(wěn)定；第三步，在靶材圓片(3)和襯底圓片(4)上施加電壓，其中靶材圓片(3)接正電極，襯底圓片(4)接負(fù)電極，在電壓作用下襯底圓片(4)上鍍有靶材薄膜(8)。本發(fā)明可精確控制襯底圓片上需要鍍上類金剛石薄膜或者金屬薄膜的區(qū)域，可制備尺寸為毫米級(jí)別甚至亞毫米級(jí)別的類金剛石薄膜或者金屬薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員：尚金堂;吉宇;潘智華;鹿麟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東南大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610959307
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.03
技術(shù)公布日：2017.03.15