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一種增大層狀鈷基氧化物薄膜高溫?zé)犭妱莸姆椒ㄅc流程

文檔序號:12744093閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種增大層狀鈷基氧化物薄膜高溫?zé)犭妱莸姆椒?,屬于功能薄膜材料領(lǐng)域。其特征在于:通過脈沖激光沉積在c軸傾斜的單晶襯底上制備層狀鈷基氧化物外延薄膜,從而在薄膜傾斜方向上獲得增大的高溫?zé)犭妱?。本發(fā)明能顯著提高層狀鈷基氧化物薄膜的高溫?zé)犭妱荩抑貜?fù)性好、易于實現(xiàn)。

技術(shù)研發(fā)人員:宋世金;虞瀾;傅佳;倪佳;邱興煌;陳琪;鐘毅
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆明理工大學(xué)
文檔號碼:201610811258
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.09
技術(shù)公布日:2017.01.25

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