技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實施例提供一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法、基板，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，可以提高蒸鍍過程中蒸鍍材料的利用率，降低生產(chǎn)成本，且提高了蒸鍍材料的蒸鍍速率。該蒸鍍裝置，包括蒸發(fā)源、電子發(fā)射裝置和蒸鍍基臺；所述蒸發(fā)源，用于對蒸鍍材料加熱，以使所述蒸鍍材料氣化；所述電子發(fā)射裝置，用于使從所述蒸發(fā)源蒸發(fā)出的所述蒸鍍材料帶有電荷；所述蒸鍍基臺，用于固定目標基板；所述蒸鍍基臺可帶電，且所帶電的電性與從所述蒸發(fā)源蒸發(fā)出的所述蒸鍍材料所帶電荷的電性相反。用于對蒸鍍材料進行蒸鍍。

技術(shù)研發(fā)人員：沈武林;蘇彥新;王卓;樊浩原;李興華
受保護的技術(shù)使用者：京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
文檔號碼：201610657891
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.11
技術(shù)公布日：2016.11.23