一種研磨墊清掃裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種研磨墊清掃裝置，包括研磨墊、修整盤、研磨臂、動力源、毛刷裝置；所述研磨墊的上方設(shè)有可移動的研磨臂，所述研磨臂的一端連接為所述研磨臂的移動提供動力的動力源，所述研磨臂的另一端連接沿預(yù)定路徑進行旋轉(zhuǎn)的修整盤，所述研磨臂上還設(shè)有至少一個用于清掃研磨墊上顆粒物的毛刷裝置，所述毛刷裝置上設(shè)有升降裝置使毛刷裝置做上下運動。本發(fā)明通過在研磨臂上設(shè)有的可升降的毛刷裝置，及時清掃研磨墊上顆粒物，避免了下一片硅片的刮傷或報廢，提高了影響了硅片的質(zhì)量。
【專利說明】—種研磨墊清掃裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬半導(dǎo)體硅片研磨【技術(shù)領(lǐng)域】，具體為一種研磨墊清掃裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在化學機械平坦化(ChemicalMechanicalPlanarization,簡稱CMP)是一種能提供晶圓全局和局部平坦化的工藝技術(shù)。化學機械研磨工藝已被廣泛用于層間介質(zhì)、金屬層或淺溝槽隔離的去除和平整，成為半導(dǎo)體制造中重要的工藝。
[0003]CMP是在一定的壓力下通過晶圓和研磨墊之間的相對運動來平坦化晶圓表面。在化學機械研磨工藝中，由于硅片長時間在研磨墊上研磨，會導(dǎo)致研磨墊的表面變形，從而影響下一片硅片的表面平坦度，因此需要在每兩片硅片間使用修整盤對研磨墊進行修整。
[0004]但傳統(tǒng)的研磨墊修整裝置的修整盤由無數(shù)細小的工業(yè)碎鉆粘于某一盤面組成，因此經(jīng)常會在修整研磨墊的過程中，修整盤上的碎鉆經(jīng)常會掉落在研磨墊上，掉落的碎鉆會引起下一片硅片的刮傷或報廢，大大影響了硅片的質(zhì)量。因此，避免修整盤掉落的碎鉆影響硅片的質(zhì)量成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明的目的是提供一種研磨墊清掃裝置，避免修整盤掉落的碎鉆影響硅片的質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明目的通過下述技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0007]本發(fā)明提供了一種研磨墊清掃裝置，包括研磨墊、修整盤、研磨臂、動力源、毛刷裝置；所述研磨墊的上方設(shè)有可移動的研磨臂，所述研磨臂的一端連接為所述研磨臂的移動提供動力的動力源，所述研磨臂的另一端連接沿預(yù)定路徑進行旋轉(zhuǎn)的修整盤，所述研磨臂上還設(shè)有至少一個用于清掃研磨墊上顆粒物的毛刷裝置，所述毛刷裝置上設(shè)有升降裝置使毛刷裝置做上下運動。
[0008]優(yōu)選的，所述升降裝置包括在所述毛刷裝置上方設(shè)有密封腔，所述研磨臂內(nèi)設(shè)與密封腔連通的氣管，所述密封腔內(nèi)設(shè)有彈性件，所述彈性件上端固定在密封腔內(nèi)，下端與毛刷裝置固定連接；通過輸送氣體使彈性件發(fā)生形變從而推動毛刷裝置向下運動，通過停止輸送氣體且彈性件恢復(fù)原狀使所述毛刷裝置向上運動。
[0009]優(yōu)選的，所述彈性件為彈簧，所述密封腔內(nèi)固定連接T型架，所述T型架包括橫桿和縱桿，所述彈簧上端固定在所述橫桿上且套設(shè)在所述縱桿的外圍。
[0010]優(yōu)選的，所述升降裝置包括在所述毛刷裝置上方設(shè)有密封腔且所述密封腔連通氣管，所述密封腔內(nèi)設(shè)有與密封腔腔壁密封接觸的推桿，所述推桿與所述毛刷裝置固定連接；通過輸送氣體或抽離氣體使密封腔內(nèi)的壓強發(fā)生改變，進而使與推桿固定連接的毛刷裝置做上下運動。
[0011]優(yōu)選的，所述氣管包括進氣管和出氣管；所述進氣管連接氣體源，所述出氣管連接
真空泵。[0012]優(yōu)選的，所述進氣管及出氣管均設(shè)在研磨臂內(nèi)。
[0013]優(yōu)選的，所述毛刷裝置相對水平面可旋轉(zhuǎn)運動。
[0014]優(yōu)選的，所述毛刷裝置包括毛刷安裝平臺及毛刷，所述毛刷安裝平臺及所述毛刷以螺絲結(jié)構(gòu)或螺旋結(jié)構(gòu)或卡套結(jié)構(gòu)方式連接。
[0015]優(yōu)選的，所述毛刷為軟毛刷。
[0016]優(yōu)選的，所述顆粒物包括修整盤掉落的碎鉆。
[0017]本發(fā)明通過在研磨臂上設(shè)有的可升降的毛刷裝置，及時清掃研磨墊上顆粒物，避免了下一片硅片的刮傷或報廢，提高了影響了硅片的質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1為本發(fā)明研磨墊清掃裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明第一實施例的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本發(fā)明第一實施例的毛刷裝置向下運動時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明第二實施例的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本發(fā)明第二實施例的毛刷裝置向下運動時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖中標號說明如下:
[0025]100、研磨墊；200、修整盤；300、研磨臂；400、動力源；500、毛刷裝置；600、升降裝置;601、密封腔;602、氣管;612、進氣管；622、出氣管;603、彈性件;604、T型架;605、推桿。
【具體實施方式】
[0026]以下將配合圖式及實施例來詳細說明本發(fā)明的實施方式，藉此對本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來解決技術(shù)問題并達成技術(shù)功效的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。
[0027]實施例一
[0028]如圖1所示，本發(fā)明提供了一種研磨墊清掃裝置，包括研磨墊100、修整盤200、研磨臂300、動力源400、毛刷裝置500 ;所述研磨墊100的上方設(shè)有可移動的研磨臂300，所述研磨臂300的一端連接為所述研磨臂300的移動提供動力的動力源400，所述研磨臂300的另一端連接沿預(yù)定路徑進行旋轉(zhuǎn)的修整盤200，所述研磨臂300上還設(shè)有至少一個用于清掃研磨墊上顆粒物的毛刷裝置500，所述毛刷裝置500上設(shè)有升降裝置600使毛刷裝置500做上下運動。
[0029]其中，所述毛刷裝置500相對水平面可旋轉(zhuǎn)運動且毛刷為軟毛刷，所述顆粒物包括修整盤掉落的碎鉆。
[0030]如圖2、圖3所示，所述升降裝置600包括在所述毛刷裝置500上方設(shè)有密封腔601，所述研磨臂300內(nèi)設(shè)與密封腔601連通的氣管602，所述密封腔601內(nèi)設(shè)有彈性件603，所述彈性件603上端固定在密封腔601內(nèi)，下端與毛刷裝置500固定連接；通過輸送氣體使彈性件603發(fā)生形變從而推動毛刷裝置500向下運動，通過停止輸送氣體且彈性件603恢復(fù)原狀使所述毛刷裝置500向上運動。較佳的，所述彈性件603優(yōu)選為彈簧，所述密封腔601內(nèi)固定連接T型架604，所述T型架604包括橫桿和縱桿，所述彈簧603上端固定在所述橫桿上且套設(shè)在所述縱桿的外圍。
[0031]為了方便操作人員更換毛刷，所述毛刷裝置500包括毛刷安裝平臺及毛刷，所述毛刷安裝平臺及所述毛刷以螺絲結(jié)構(gòu)或螺旋結(jié)構(gòu)或卡套結(jié)構(gòu)方式連接。
[0032]本發(fā)明提供了一種研磨墊清掃裝置工藝過程為:修整盤200工作結(jié)束，抬起，毛刷裝置500開始工作，首先，通過氣管602對密封腔601輸入氣體并加壓，當所給壓力大于彈簧603彈力時，推動毛刷裝置500向下運動至研磨墊100表面，同時開始旋轉(zhuǎn)，通過研磨臂300按預(yù)定的路徑進行移動，對整張研磨墊100上的顆粒物進行清掃，清掃工作結(jié)束，氣管602對密封腔601停止輸入氣體且密封腔601內(nèi)的氣體通過氣管602流出密封腔601，在彈簧603彈力的作用力下毛刷裝置500向上運動恢復(fù)至起始位置，同時停止旋轉(zhuǎn)、研磨臂300歸位，完成研磨墊100的清掃工作。
[0033]實施例二
[0034]如圖4、圖5所示，在實施例一的基礎(chǔ)上，與實施例一不同的是:所述升降裝置600包括在所述毛刷裝置500上方設(shè)有密封腔601且所述密封腔601連通氣管602，所述密封腔601內(nèi)設(shè)有與密封腔601腔壁密封接觸的推桿605，所述推桿605與所述毛刷裝置500固定連接；通過輸送氣體或抽離氣體使密封腔601內(nèi)的壓強發(fā)生改變，進而推動推桿605做上下運動，與推桿605固定連接的毛刷裝置500也隨之做上下運動。
[0035]其中，所述氣管602包括進氣管612和出氣管622 ;所述進氣管612連接氣體源，所述出氣管622連接真空泵，所述進氣管612及出氣管622均設(shè)在研磨臂300內(nèi)。
[0036]本發(fā)明通過在研磨臂300上設(shè)有的可升降的毛刷裝置500，及時清掃研磨墊上顆粒物，避免了下一片硅片的刮傷或報廢，提高了影響了硅片的質(zhì)量。
[0037]上述說明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實施例，但如前所述，應(yīng)當理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對其他實施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進行改動。而本領(lǐng)域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應(yīng)在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種研磨墊清掃裝置，其特征在于，包括研磨墊、修整盤、研磨臂、動力源、毛刷裝置；所述研磨墊的上方設(shè)有可移動的研磨臂，所述研磨臂的一端連接為所述研磨臂的移動提供動力的動力源，所述研磨臂的另一端連接沿預(yù)定路徑進行旋轉(zhuǎn)的修整盤，所述研磨臂上還設(shè)有至少一個用于清掃研磨墊上顆粒物的毛刷裝置，所述毛刷裝置上設(shè)有升降裝置使毛刷裝置做上下運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述升降裝置包括在所述毛刷裝置上方設(shè)有密封腔，所述研磨臂內(nèi)設(shè)與密封腔連通的氣管，所述密封腔內(nèi)設(shè)有彈性件，所述彈性件上端固定在密封腔內(nèi)，下端與毛刷裝置固定連接；通過輸送氣體使彈性件發(fā)生形變從而推動毛刷裝置向下運動，通過停止輸送氣體且彈性件恢復(fù)原狀使所述毛刷裝置向上運動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述彈性件為彈簧，所述密封腔內(nèi)固定連接T型架，所述T型架包括橫桿和縱桿，所述彈簧上端固定在所述橫桿上且套設(shè)在所述縱桿的外圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述升降裝置包括在所述毛刷裝置上方設(shè)有密封腔且所述密封腔連通氣管，所述密封腔內(nèi)設(shè)有與密封腔腔壁密封接觸的推桿，所述推桿與所述毛刷裝置固定連接；通過輸送氣體或抽離氣體使密封腔內(nèi)的壓強發(fā)生改變，進而使與推桿固定連接的毛刷裝置做上下運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述氣管包括進氣管和出氣管；所述進氣管連接氣體源，所述出氣管連接真空泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述進氣管及出氣管均設(shè)在研磨臂內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述毛刷裝置相對水平面可旋轉(zhuǎn)運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?7任一所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述毛刷裝置包括毛刷安裝平臺及毛刷，所述毛刷安裝平臺及所述毛刷以螺絲結(jié)構(gòu)或螺旋結(jié)構(gòu)或卡套結(jié)構(gòu)方式連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述毛刷為軟毛刷。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊清掃裝置，其特征在于，所述顆粒物包括修整盤掉落的碎鉆。
【文檔編號】B24B37/34GK103878688SQ201410117786
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】邢杰, 黃匯豐 申請人:上海華力微電子有限公司