技術(shù)編號：3311594
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種研磨墊清掃裝置，包括研磨墊、修整盤、研磨臂、動力源、毛刷裝置；所述研磨墊的上方設(shè)有可移動的研磨臂，所述研磨臂的一端連接為所述研磨臂的移動提供動力的動力源，所述研磨臂的另一端連接沿預(yù)定路徑進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的修整盤，所述研磨臂上還設(shè)有至少一個用于清掃研磨墊上顆粒物的毛刷裝置，所述毛刷裝置上設(shè)有升降裝置使毛刷裝置做上下運動。本發(fā)明通過在研磨臂上設(shè)有的可升降的毛刷裝置，及時清掃研磨墊上顆粒物，避免了下一片硅片的刮傷或報廢，提高了影響了硅片的質(zhì)量。專利說明—...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。