專利名稱:一種陶瓷表面選擇性金屬化方法和一種陶瓷及其應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于陶瓷領(lǐng)域,尤其涉及一種陶瓷表面選擇性金屬化方法和一種陶瓷。
背景技術(shù):
在陶瓷表面形成立體電路,能夠形成立體的、集機(jī)電功能于一體的電路載體。同時(shí),表面具有立體線路的陶瓷器件具有較高的導(dǎo)熱系數(shù)和機(jī)械強(qiáng)度、較長的使用壽命、較強(qiáng)的耐老化性能等,因此在電子領(lǐng)域?qū)⒌玫綇V泛應(yīng)用。目前,在陶瓷表面形成立體電路的工藝是表面除油-機(jī)械粗化-化學(xué)粗化-敏化活化-化學(xué)鍍,工藝繁瑣,且得到的金屬鍍層即電路與陶瓷基材的附著力較低。例如,CN101550546A中公開了一種陶瓷基材表面的化學(xué)鍍制備方法,通過在陶瓷表面包覆半導(dǎo)體納米無機(jī)粉體,然后直接浸入含有表面所需負(fù)載金屬的金屬鹽的化學(xué)鍍液中,在波長為200-400nm的紫外光下照射進(jìn)行化學(xué)鍍,從而在陶瓷基材表面負(fù)載金屬,得到 表面金屬化的陶瓷材料。其中半導(dǎo)體納米無機(jī)粉體為納米二氧化鈦、納米氧化硅、納米氧化鋅、納米氧化錫或經(jīng)過摻雜改性的半導(dǎo)體納米無機(jī)粉體,其中摻雜改性為稀土摻雜、稀土氧化物摻雜、金屬摻雜或氮摻雜。該方法中,通過半導(dǎo)體納米無機(jī)粉體在激光照射下產(chǎn)生金屬原子,從而實(shí)現(xiàn)化學(xué)鍍,但是半導(dǎo)體納米無機(jī)粉體成本較高,大大限制其應(yīng)用。另外,該方法中,半導(dǎo)體無機(jī)粉體分布于陶瓷表面,難以保證其余陶瓷基材的附著力,也難以保證化學(xué)鍍層與基材的附著力。CN101684551A中公開了一種利用Y射線制備表面金屬化的陶瓷的方法,通過配制含有金屬離子的溶液,在陶瓷工件表面預(yù)定區(qū)域按所需形狀分布金屬離子溶液,然后用Y射線輻射該區(qū)域,最后在該區(qū)域進(jìn)行化學(xué)鍍形成金屬層。該方法中,通過Y射線的輻射,同時(shí)完成陶瓷材料表面的粗化和化學(xué)鍍活性中心的形成,工藝簡化。但是該方法中,金屬離子的溶液分布于陶瓷表面,輻射還原后形成的金屬活性中心存在于陶瓷表面,與陶瓷基材的附著力仍較弱,使得化學(xué)鍍層與陶瓷基材的附著力也相應(yīng)較弱。另外,該方法中采用高能量的Y射線,成本太高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的陶瓷表面化學(xué)鍍層與基材附著力低、以及陶瓷表面金屬化成本高的技術(shù)問題。本發(fā)明提供了一種陶瓷表面選擇性金屬化方法,包括以下步驟
A.將陶瓷組合物成型、燒制得到陶瓷基材;所述陶瓷組合物包括陶瓷粉體和分散于陶瓷粉體中的功能粉體;所述功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的一種或多種,M為鈦(Ti)、釩(V)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、銅(Cu)、鋅(Zn)、鈮(Nb)、鑰(Mo)、锝(Tc)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、銀(Ag)、鎘(Cd)、鉭(Ta)、鎢(W)、錸(Re)、鋨(Os)、銥(Ir)、鉬(Pt)、金 Au、銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鉛(Pb)或鉍(Bi);陶瓷粉體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E為鋰(Li)、鈉(Na)、鉀(K)、銣(Rb)、銫(Cs)、鈹(Be)、鎂(Mg)、鈣(Ca)、鍶(Sr)、鋇(Ba)、硼(B)、鋁(Al)、鎵(Ga)、硅(Si)、鍺(Ge)、磷(P)、砷(As)、鈧(Sc)、釔(Y) Jg(Zr)Jg(Hf)或鑭系元素;
B.采用能量束輻射陶瓷基材表面的選定區(qū)域,在選定區(qū)域形成化學(xué)鍍活性中心;
C.對經(jīng)過步驟B的陶瓷基材表面進(jìn)行化學(xué)鍍,選定區(qū)域形成金屬層。本發(fā)明還提供了一種陶瓷,所述陶瓷包括陶瓷基材和陶瓷基材表面選定區(qū)域的金屬層;所述陶瓷基材包括陶瓷主體和分散于陶瓷主體中的功能助劑;所述功能助劑選自M與E的復(fù)合氧化物、復(fù)合氮化物、復(fù)合氧氮化物、復(fù)合碳化物中的一種或多種,M為鈦(Ti)、釩(V)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、銅(Cu)、鋅(Zn)、鈮(Nb)、鑰(Mo)、锝(Tc)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、銀(Ag)、鎘(Cd)、鉭(Ta)、鎢(W)、錸(Re)、鋨(Os)、銥(Ir)、鉬(Pt)、金(Au)、銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鉛(Pb)或鉍(Bi);陶瓷主體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E為鋰(Li)、鈉(Na)、鉀(K)、銣(Rb)、銫(Cs)、鈹(Be)、鎂(Mg)、鈣(Ca)、鍶(Sr)、鋇(Ba)、硼(B)、鋁(Al)、鎵(Ga)、硅(Si)、鍺(Ge)、磷(P)、 砷(As)、鈧(Sc)、釔(Y)、鋯(Zr)、鉿(Hf)或鑭系元素;以功能助劑中M與E的總質(zhì)量為基準(zhǔn),其中M的含量為O. 01-99. 99wt%, E的含量為O. 01-99. 99wt%。最后,本發(fā)明提供了所述陶瓷作為功率模塊、力學(xué)結(jié)構(gòu)零部件、焊接基材、裝飾件的應(yīng)用。本發(fā)明提供的陶瓷表面金屬化方法,通過先將含有陶瓷粉體和功能粉體的陶瓷組合物成型燒制陶瓷基材,所述陶瓷基材包括陶瓷主體和分散于陶瓷主體中的功能助劑。由于陶瓷組合物中功能粉體均勻分散于陶瓷粉體中,因此均勻分散的功能粉體與相鄰的部分陶瓷粉體在燒制過程中發(fā)生反應(yīng)形成復(fù)合結(jié)構(gòu),即得到的功能助劑為M與E的復(fù)合氧化物、復(fù)合氮化物、復(fù)合氧氮化物、復(fù)合碳化物中的一種或多種;其余的陶瓷粉體燒制完成后轉(zhuǎn)化為陶瓷主體。采用能量束輻射后,輻射區(qū)域的陶瓷基材表面的陶瓷主體被蝕刻,因此輻射區(qū)域的陶瓷主體下陷,相應(yīng)露出的功能助劑在能量束作用下形成化學(xué)鍍活性中心,然后進(jìn)行化學(xué)鍍,在化學(xué)鍍活性中心表面形成化學(xué)鍍層。由于本發(fā)明中,功能助劑分散于陶瓷主體中,所以形成的化學(xué)鍍活性中心鑲嵌于陶瓷基材中,與陶瓷基材的附著力非常高,從而使得化學(xué)鍍層也與基材具有較高的附著力;另外,能量束輻射區(qū)域的陶瓷主體被蝕刻,表面下陷,表面粗糙度增加,因此后續(xù)形成的化學(xué)鍍層與陶瓷基材的附著力較高。另外,本發(fā)明通過對功能粉體和陶瓷粉體的種類進(jìn)行選擇,發(fā)現(xiàn)功能粉體采用M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或 M 單質(zhì)中的一種或多種,M 為 Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、In、Sn、Sb、Pb 或 Bi 中,陶瓷粉體選自 E 的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E為Li、Na、K、Rb、Cs、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Lu、Zr、Hf、B、Al、Ga、Si、Ge、P、As或鑭系元素,通過功能粉體與陶瓷粉體的匹配,使得形成的陶瓷基材中陶瓷主體與功能助劑相容性較好,在燒制過程中形成共晶液相從而降低陶瓷基材的燒結(jié)溫度、增加陶瓷基材的燒結(jié)致密度,保證陶瓷基材具有較高的機(jī)械性能;且在后續(xù)能量束輻射過程中功能助劑轉(zhuǎn)化為化學(xué)鍍活性中心時(shí)所需能量無需過高,即對能量束的能量要求較低,能有效降低成本。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供了一種陶瓷表面選擇性金屬化方法,包括以下步驟A.將陶瓷組合物成型、燒制得到陶瓷基材;所述陶瓷組合物包括陶瓷粉體和分散于陶瓷粉體中的功能粉體;所述功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的一種或多種,M 為 Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、In、Sn、Sb、Pb或Bi ;陶瓷粉體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E 為 Li、Na、K、Rb、Cs、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Lu、Zr, Hf, B、Al、Ga、Si、Ge、P、As或鑭系元素;
B.采用能量束輻射陶瓷基材表面的選定區(qū)域,在選定區(qū)域形成化學(xué)鍍活性中心;
C.對經(jīng)過步驟B的陶瓷基材表面進(jìn)行化學(xué)鍍,選定區(qū)域形成金屬層。本發(fā)明中,通過對成型、燒制陶瓷基材用的陶瓷組合物中的組分進(jìn)行選擇,具體地,所述陶瓷組合物包括陶瓷粉體和分散于陶瓷粉體中功能粉體,其中功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的一種或多種,M為Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、Ta、W、Re、Os、Ir, Pt, Au, In、Sn、Sb、Pb 或 Bi ;陶瓷粉 體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E為Li、Na、K、Rb、Cs、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Lu、Zr、Hf、B、Al、Ga、Si、Ge、P、As 或鑭系元素,使得成型燒制后的陶瓷基材一方面表面具有較高的粗糙度,能提高后續(xù)化學(xué)鍍層與陶瓷基材的附著力,同時(shí)由于功能粉體與相鄰的部分陶瓷粉體反應(yīng)形成的功能助劑分散于陶瓷主體中,輻射區(qū)域陶瓷主體下陷,露出功能助劑并在能量束作用下形成化學(xué)鍍活性中心,該化學(xué)鍍活性中心與陶瓷基材的附著力較高,能進(jìn)一步保證陶瓷基材與化學(xué)鍍層的高附著力;同時(shí),由于陶瓷粉體與功能粉體的選擇匹配,使得后續(xù)形成的陶瓷基材中陶瓷主體與功能助劑匹配的相容性較好,在燒制過程中形成共晶液相從而降低陶瓷基材的燒結(jié)溫度、增加陶瓷基材的燒結(jié)致密度,保證陶瓷基材具有較高的機(jī)械性能;且在后續(xù)能量束輻射過程中功能助劑轉(zhuǎn)化為化學(xué)鍍活性中心時(shí)所需量無需過高,能有效降低成本。優(yōu)選情況下,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)M為Fe、Ni、Co、Mn、Ti、Cu、Ta或W時(shí),功能粉體的活性更強(qiáng),后續(xù)在功能助劑轉(zhuǎn)化為化學(xué)鍍活性中心時(shí)所需能量要求更低。更優(yōu)選情況下,功能粉體選自Fe203、CoO, Ni0、Mn02、TiO2, CuO, TiC、TaON、TiC、金屬W粉時(shí)效果更佳。所述陶瓷粉體中E為Al、Zr、Si、Mg或B時(shí),其與功能粉體的匹配性較好,使得后續(xù)陶瓷組合物在燒結(jié)過程中陶瓷粉體與功能粉體具有較好的相容性,從而成型燒制過程中功能粉體與陶瓷粉體較易均勻分散,得到的陶瓷基材具有良好的各向一致性;同時(shí)陶瓷粉體在成型、燒制過程中所需燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)致密度較高,所形成的陶瓷主體具有更好的機(jī)械性能。更優(yōu)選情況下,陶瓷粉體選自Al203、Mg0、SiO2, ZrO2, BN, Si3N4或SiC中的一種或多種。例如,陶瓷粉體可以直接單獨(dú)采用Al203、Mg0、Si02、Zr02*BN,也可以采用其共燒體,例如采用 Na2O · IlAl2O3' CaO(Al2O3)6' LaAlO3' MgAl204、硅鋁氧氮陶瓷(Sialon)、3A1203 · 2Si02、鋰輝石(LiAl [Si2O6] )、SiO2基玻璃粉或B2O3基玻璃粉。本發(fā)明中,功能粉體用于在燒結(jié)過程中與相鄰的部分陶瓷粉體轉(zhuǎn)化為功能助劑,然后功能助劑在后期能量束輻射時(shí)形成化學(xué)鍍活性中心,用于催化化學(xué)鍍的進(jìn)行。但是,功能粉體的含量不宜過高,否則會(huì)降低陶瓷基材的機(jī)械性能。因此,本發(fā)明中,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為70-99. 998wt%,功能粉體的含量為O. 002-30wt%。優(yōu)選情況下,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為90-99. 998wt%,功能粉體的含量為O. 002-10wt%。更優(yōu)選情況下,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為98-99. 995wt%,功能粉體的含量為O. 005_2wt%。根據(jù)本發(fā)明的方法,先將陶瓷組合物成型、燒制形成陶瓷基材,其中全部的功能粉體與相鄰的部分陶瓷粉體反應(yīng)形成復(fù)合結(jié)構(gòu),即形成所述功能助劑;其余的陶瓷粉體燒制完成后轉(zhuǎn)化為陶瓷主體。例如,Al2O3陶瓷粉體與PbO功能粉體在燒制后可形成PbO ·6Α1203、PbO · Al203、2Pb0 · Al2O3等各種復(fù)合形式的功能助劑,并均勻分散于Al2O3陶瓷主體中。所述成型、燒制的步驟為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知,即采用現(xiàn)有技術(shù)中公開的成型、燒制步驟即可,例如,成型可先采用聚乙烯醇(PVA)對陶瓷組合物進(jìn)行造粒,然后采用手動(dòng)模壓機(jī)將造粒后的粉末組合物壓成直徑為15mm的坯體,壓力為IOMPa;然后將坯體放入箱式爐中進(jìn)行排膠燒結(jié),得到陶瓷。其中排膠燒結(jié)過程中可通過程序升溫控制,升溫速率為5°C /min,排膠溫度為400-800°C。燒結(jié)溫度為1000-2300°C,可根據(jù)陶瓷組合物中的組分進(jìn)行選擇。例如,陶瓷組合物中陶瓷粉體為氧化鋁時(shí),燒結(jié)溫度可為1600°C ;陶瓷粉體為氧化鋯時(shí),燒結(jié)溫度可為1500°C ;陶瓷粉體為E的氮化物、氧氮化物或碳化物等時(shí),燒結(jié)溫度為1800-2300°C。優(yōu)選情況下,為了促進(jìn)陶瓷粉體的致密燒結(jié),燒結(jié)過程中還可施加額外的機(jī)械壓力,壓力值可選為20-200MPa。 本發(fā)明中,陶瓷組合物中功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的一種或多種,陶瓷粉體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種。所述燒制過程可直接在空氣中進(jìn)行,也可在氧氣、氮?dú)?、氬氣氣氛或真空中進(jìn)行。燒結(jié)氣氛根據(jù)陶瓷組合物中陶瓷粉體的種類進(jìn)行選擇,例如陶瓷粉體為E的氧化物時(shí),燒結(jié)氣氛可為空氣、氧氣、氮?dú)狻鍤饣蛘婵眨惶沾煞垠w為E的氮化物或氧氮化物,燒結(jié)氣氛可為氮?dú)狻鍤饣蛘婵?;陶瓷粉體為E的碳化物時(shí),燒結(jié)氣氛可為氬氣、真空。同時(shí),燒結(jié)氣氛還可根據(jù)陶瓷組合物中功能粉體的種類進(jìn)行選擇,例如功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物或碳化物時(shí),陶瓷組合物的燒制可在氧氣、空氣、氮?dú)?、氬氣或真空中進(jìn)行;當(dāng)功能粉體選自M的單質(zhì)時(shí),陶瓷組合物的燒制在氧氣或空氣中進(jìn)行,而不能在氬氣或真空中進(jìn)行。根據(jù)本發(fā)明的方法,成型燒制陶瓷基材后,然后對陶瓷基材的選定區(qū)域進(jìn)行能量束輻射,在選定區(qū)域形成化學(xué)鍍活性中心,然后進(jìn)行化學(xué)鍍,從而在該選定區(qū)域形成金屬鍍層。根據(jù)本發(fā)明的方法,采用能量束輻射陶瓷表面的選定區(qū)域,該選定區(qū)域的陶瓷主體被蝕刻,使得選定區(qū)域的陶瓷主體下陷,相應(yīng)露出分散于陶瓷主體中的功能助劑,然后功能助劑在能量束作用下生成化學(xué)鍍活性中心,然后進(jìn)行化學(xué)鍍,即可在化學(xué)鍍活性中心表面形成化學(xué)鍍層。本發(fā)明中,由于功能助劑分散于陶瓷主體中,所以形成的化學(xué)鍍活性中心鑲嵌于陶瓷主體中,與陶瓷基材的附著力非常高,從而使得化學(xué)鍍層也與陶瓷基材具有較高的附著力;另外,能量束輻射過程中同時(shí)對選定區(qū)域的陶瓷主體進(jìn)行了粗化,提高該選定區(qū)域的陶瓷基材的粗糙度,因此能進(jìn)一步提高后續(xù)化學(xué)鍍層與陶瓷基材的附著力。本發(fā)明中,能量束輻射時(shí)采用的能量束可為激光、電子束或離子束。優(yōu)選情況下,本發(fā)明中能量束輻射采用激光。激光輻射的條件包括激光波長為200-3000nm,功率為5-3000W,頻率為O. 1-200KHZ,激光走線速度為O. 01-50000mm/s,填充間距O. 01_-5_。激光輻射時(shí)采用的激光設(shè)備可采用現(xiàn)有技術(shù)中常見的各種激光設(shè)備,例如可以采用YAG激光器。
所述電子束輻射的條件包括功率密度IO1-IO11WAim2。電子束輻射采用的設(shè)備可采用現(xiàn)有技術(shù)中常見的各種電子束設(shè)備,例如可以采用電子束刻蝕機(jī)。所述離子束輻射的條件包括離子束能量為IO1-IO6eVo離子束輻射時(shí)采用的設(shè)備可采用現(xiàn)有技術(shù)中常見的各種尚子束設(shè)備,例如可以米用Ar尚子束設(shè)備。所述選定區(qū)域可以為陶瓷的整個(gè)表面;也可根據(jù)所需電路形狀為陶瓷表面的部分區(qū)域,能量束輻射完成后從而在該部分區(qū)域形成所需電路。本發(fā)明中,所述化學(xué)鍍的方法為本領(lǐng)域技術(shù)人員常用的化學(xué)鍍方法,例如可以將經(jīng)過能量束輻射的陶瓷樣品與化學(xué)鍍銅液接觸。與化學(xué)鍍銅液接觸之后,化學(xué)鍍液中的金屬離子發(fā)生還原反應(yīng),生成金屬顆粒,包裹于化學(xué)鍍活性中心表面,并互相連接形成一層致密的金屬鍍層。本發(fā)明中,化學(xué)鍍所采用的鍍液可為現(xiàn)有技術(shù)中常見的各種化學(xué)鍍銅液、化學(xué)鍍鎳液或鍍金液,本發(fā)明中沒有特殊限定。例如化學(xué)鍍銅液的組成為=CuSO4 · 5H20
O.12mol/L, Na2EDTA · 2H20 O. 14mol/L,亞鐵氰化鉀 10mg/L,2, 2,-聯(lián)吡啶 10mg/L,乙醛 酸(HC0C00H) O. 10mol/L,并用 NaOH 和 H2SO4 調(diào)節(jié)鍍液的 pH 值為 12. 5-13。本發(fā)明中,在化學(xué)鍍催化劑表面進(jìn)行化學(xué)鍍的時(shí)間沒有特殊限制,根據(jù)形成鍍層的厚度控制。本發(fā)明中,所選擇的功能助劑的活性較高,形成的化學(xué)鍍活性中心的活性相應(yīng)較高,因此后續(xù)化學(xué)鍍時(shí)的鍍速也較高。陶瓷基材表面未被能量束輻射的區(qū)域,功能助劑不會(huì)形成化學(xué)鍍活性中心,因此在化學(xué)鍍過程中該區(qū)域不會(huì)有金屬顆粒的沉積。另外,該區(qū)域表面遠(yuǎn)不如能量束輻射的選定區(qū)域表面粗糙,所以即使有少部分金屬顆粒沉積,由于結(jié)合力較差也可輕易擦拭掉,從而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的直接在陶瓷表面選擇性金屬化的目的。本發(fā)明還提供了一種陶瓷,包括陶瓷基材和陶瓷基材表面選定區(qū)域的金屬層;所述陶瓷基材包括陶瓷主體和分散于陶瓷主體中的功能助劑;所述功能助劑選自M與E的復(fù)合氧化物、復(fù)合氮化物、復(fù)合氧氮化物、復(fù)合碳化物中的一種或多種,M為Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、In、Sn、Sb、Pb 或 Bi ;陶瓷主體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種,E為Li、Na、K、Rb、Cs、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Lu、Zr、Hf、B、Al、Ga、Si、Ge、P、As 或鑭系元素;以功能助劑中M與E的總質(zhì)量為基準(zhǔn),其中M的含量為O. 01-99. 99wt%, E的含量為O. 01-99. 99wt%。本發(fā)明中,所述陶瓷的陶瓷基材表面的選定區(qū)域具有金屬層,該選定區(qū)域的陶瓷基材的厚度比其他區(qū)域的陶瓷基材厚度要小。優(yōu)選情況下,陶瓷基材選定區(qū)域的厚度比未選定區(qū)域的厚度小O. 01_500um。本發(fā)明中,對于陶瓷基材、金屬層的厚度沒有特殊限定,可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇;陶瓷基材表面選定區(qū)域的金屬層的結(jié)構(gòu)可以是一維、二維或三維的。本發(fā)明還提供了所述陶瓷的應(yīng)用,具體的,本發(fā)明提供的陶瓷可作為功率模塊、力學(xué)結(jié)構(gòu)零部件、焊接基材、裝飾件應(yīng)用于各種領(lǐng)域。例如,可以應(yīng)用于汽車電子設(shè)備和通訊電子設(shè)備、功率電子半導(dǎo)體模組、功率電力半導(dǎo)體模組、直流電機(jī)調(diào)速模組、LED封裝載板、LED組裝線路板、高頻開關(guān)電源、固態(tài)繼電器、激光工業(yè)電子、智能功率組件、航天、航空和武器裝備、直流電機(jī)調(diào)速模組、自動(dòng)變速器、高頻開關(guān)電源、計(jì)算機(jī)工業(yè)信號發(fā)生器、IT集成存儲(chǔ)器、數(shù)字處理單元電路、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器電路、消費(fèi)類電子產(chǎn)品、傳感器電路、前置放大電路、功率放大電路、機(jī)械力學(xué)承載、裝飾、焊接、密封等技術(shù)領(lǐng)域。
以下結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步解釋說明。實(shí)施例及對比例中所用原料均通過商購得到。大類一實(shí)施例1-17 實(shí)施例I:
(1)陶瓷組合物
陶瓷粉體粒徑小于3um的高純Al2O3粉9. 45克,玻璃粉O. 5克(Mg0\Al203\B203\Ca0系玻璃粉);功能粉體=TiO2 O. 05克。
(2)將陶瓷組合物充分混合均勻,然后加入I克濃度為6wt%PVA溶液,研磨造粒;然后采用手動(dòng)模壓機(jī)將造粒后的粉末壓成直徑15mm的坯體,壓力為lOMPa,將將坯體放入密閉的箱式爐中排膠、燒結(jié),升溫速率為5°C /min,排膠溫度575°C,燒結(jié)溫度1600°C。隨爐冷卻得到陶瓷基材。
(3)將陶瓷基材放在波長為1064nm的YAG激光器上進(jìn)行激光輻射,功率為50W,頻率為25KHz,走線速度為100mm/s,填充間距為O. 1mm。
(4)將經(jīng)過激光輻射后的陶瓷基材放入5wt%的硫酸溶液清洗lmin,之后放入化學(xué)鍍銅溶液進(jìn)行化學(xué)鍍lh,最后得到樣品SI。實(shí)施例2
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S2,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為VO2 O. 05克。實(shí)施例3
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S3,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為MoO3O. 05克。實(shí)施例4
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S4,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為MnO2 O. 05克。實(shí)施例5
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S5,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Fe2O3 O. 05克。實(shí)施例6
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S6,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為CoO O. 05克。實(shí)施例7
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S7,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為NiOO. 05克;步驟(3)中,采用功率密度為IO5W/cm2的電子束替代激光對陶瓷基材表面進(jìn)行輻射。實(shí)施例8
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S8,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為CuO O. 05克;步驟(3)中,采用能量為IOkeV的離子束替代激光對陶瓷基材表面進(jìn)行輻射。實(shí)施例9采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S9,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為ZnO O. 05克。實(shí)施例10
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S10,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為In2O3 O. 05克。實(shí)施例11
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S11,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為SnO2 O. 05克。實(shí)施例12
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S12,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為TiCO. 05克;步驟(2)中,箱式爐中為真空狀態(tài)。實(shí)施例13
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S13,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為TiNO. 05克;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?。?shí)施例14
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S14,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為TaONO. 05克;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?。?shí)施例15
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S15,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為W粉O. 05克。實(shí)施例16
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S16,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Nb2O5 O. 05克。實(shí)施例17
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S17,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Cr2O3 O. 05克。大類二 實(shí)施例18-29 實(shí)施例18
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S18,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用O. 5克玻璃粉(1%0\八1203\5102系玻璃粉)取代實(shí)施例I中的O. 5克Mg0\Al203\B203\Ca0系玻璃粉。實(shí)施例19
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S19,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為VO2 O. 05克。實(shí)施例20
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S20,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為MnO2 O. 05克。實(shí)施例21
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S21,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Fe2O3 O. 05克。實(shí)施例22
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S22,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為CoO O. 05克。實(shí)施例23 采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S23,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為NiOO. 05克。實(shí)施例24
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S24,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為CuO O. 05克。實(shí)施例25
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S25,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為ZnOO. 05克。實(shí)施例26
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S26,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為In2O3 O. 05克。實(shí)施例27
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S27,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為SnO2 O. 05克。實(shí)施例28
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S28,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Sb2O5 O. 05克。實(shí)施例29
采用與實(shí)施例18相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S29,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Cr2O3 O. 05克。大類三實(shí)施例30-33 實(shí)施例30
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S30,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Fe2O3,用量為O. 001克。實(shí)施例31
采用與實(shí)施例30相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S31,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體Fe2O3的用量為O. I克。實(shí)施例32:
采用與實(shí)施例30相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S32,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體Fe2O3的用量為O. 5克。實(shí)施例33采用與實(shí)施例30相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S33,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體Fe2O3的用量為2. 5克。大類四實(shí)施例34-37 實(shí)施例34
采用與實(shí)施例I相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S34,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純3A1203 *2Si02粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;功能粉體為CuO O. 05克;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1550°C。實(shí)施例35
采用與實(shí)施例34相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S35,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為Fe2O3 O. 05克。 實(shí)施例36
采用與實(shí)施例34相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S36,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為CoO O. 05克。實(shí)施例37
采用與實(shí)施例34相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S37,不同之處在于步驟(I)中,功能粉體為MnO2 O. 05克。大類五實(shí)施例38-41 實(shí)施例38-41
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S38-S41,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純2Mg0 · 2A1203 · 5Si02粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1550°C。大類六實(shí)施例42-45 實(shí)施例42-45
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S42-S45,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純LiAl [Si2O6I粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為 1500。。。大類七實(shí)施例46-49 實(shí)施例46-49
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S46-S49,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純Na2O · IlAl2O3粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1400°C。大類八實(shí)施例50-53 實(shí)施例50-53
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S50-S53,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純CaO(Al2O3)6粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為 1500。。。大類九實(shí)施例54-57 實(shí)施例54-57
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S54-S57,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純LaAlO3粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1500。。。大類十實(shí)施例58-61 實(shí)施例58-61
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品 記為S58-S61,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純KAl2(AlSi3O10) (OH)2粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1400°C。大類十一實(shí)施例62-65 實(shí)施例62-65
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S62-S65,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純MgAl2O4粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉。大類十二 實(shí)施例66-77 實(shí)施例66-77
采用與實(shí)施例18-29相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S66-S77,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 95克5Y_Zr02粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉和O. 5克玻璃粉(Mg0\Al203\B203\Ca0系玻璃粉);步驟(2)中燒結(jié)溫度為1500°C。大類十三實(shí)施例78-89 實(shí)施例78-89
采用與實(shí)施例18-29相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S66-S77,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克5Y_Zr02粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1500°C。大類十四實(shí)施例90-93 實(shí)施例90-93
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S90-S93,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體中采用9. 45克粒徑小于3um的高純CaZrO3粉取代實(shí)施例I中的9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中燒結(jié)溫度為1500。。。大類十五實(shí)施例94-101 實(shí)施例94-101
采用與實(shí)施例18-25相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S94-S101,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純MgO粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉。大類十六實(shí)施例102-109 實(shí)施例102-109
采用與實(shí)施例18-25相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S102-S109,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 95克粒徑小于3um的高純SiO2-CaO-BaO-MgO-Na2O 混合粉(Si02、CaO、BaO, MgO, Na2O 質(zhì)量比為 80 5 5 5 5)取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉和O. 5克玻璃粉(Mg0\Al203\B203\Ca0系玻璃粉);步驟(2)中燒結(jié)溫度為1650°C。大類十七實(shí)施例110-113 實(shí)施例110-113
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為SI 10-S113,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純Mg2SiO4粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉。大類十八實(shí)施例114-117 實(shí)施例114-117
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S114-S117,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 95克粒徑小于3um的高純B2O3-Al2O3-MgO-CaO 混合粉(B2O3、Al2O3' Mg。、CaO 摩爾比為 2 1 1 :1)粉取代實(shí)施例 I 中
9.45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉和O. 5克玻璃粉(Mg0\Al203\B203\Ca0系玻璃粉);步驟
(2)中燒結(jié)溫度為1250°C。大類十九實(shí)施例118-121 實(shí)施例118-121
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S118-S121,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純Y2O3粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉。大類二十實(shí)施例122-125 實(shí)施例122-125
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S122-S125,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純BN粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?,燒結(jié)溫度為1950°C。大類二i^一實(shí)施例 126-129 實(shí)施例126-129
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S126-S129,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純Si3N4粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?,燒結(jié)溫度為1950°C。大類二十二 實(shí)施例130-133實(shí)施例130-133
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S130-S133,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純Sialon粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?,燒結(jié)溫度為1950°C。大類二十三實(shí)施例134-137 實(shí)施例134-137
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S134-S137,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純SiC粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉;步驟(2)中,箱式爐中為氮?dú)鈿夥?,燒結(jié)溫度為2000°C,燒結(jié)時(shí)施加機(jī)械壓力50MPa。
大類二十四實(shí)施例138-141 實(shí)施例138-141
采用與實(shí)施例18-21相同的步驟制備陶瓷基材,并對陶瓷表面進(jìn)行金屬化,得到樣品記為S138-S141,不同之處在于步驟(I)中,陶瓷粉體采用9. 45克粒徑小于3um的高純B4C粉取代實(shí)施例I中9. 45克粒徑小于3um的高純Al2O3粉。燒結(jié)溫度為2250°C,燒結(jié)環(huán)境為氮?dú)獗Wo(hù)氣氛。對比例I
按照CN101550546A實(shí)施例4公開的步驟進(jìn)行將納米二氧化鈦粉體包覆于玻璃復(fù)合材料表面,然后浸入I. 5L化學(xué)鍍鎳液中,溫度范圍20-40°C,不停攪拌;在波長為400nm的紫外光下照射10-30min進(jìn)行化學(xué)鍍,得到玻璃樣品DSl。對比例2
按照CN101684551A實(shí)施例3公開的步驟進(jìn)行配制O. Olmol/L的硝酸銅溶液,溶劑為異丙醇、聚乙烯醇、水,通氮?dú)獬鹾蠹尤?2g聚丙烯酸樹脂,然后旋涂于陶瓷表面,旋涂工藝參數(shù)800轉(zhuǎn)/min,5s ;然后移至60Gy/min的、射線(深圳長園公司的Y射線福射儀)下照射3min,最后進(jìn)行化學(xué)鍍銅,得到陶瓷樣品記為DS2。性能測試
1、化學(xué)鍍鍍速測試將鍍銅后的樣品用熱固性樹脂鑲樣,然后在砂輪上將鍍層的斷面磨出來,并在1200#砂紙上打磨光滑,之后再SEM設(shè)備下觀察表面鍍層的厚度,記錄各實(shí)施例中化學(xué)鍍的速度。
2、附著力測試用劃格器在各銅鍍層表面上劃100個(gè)I毫米XI毫米的正方形格。用美國3M公司生產(chǎn)的型號為600的透明膠帶平整粘結(jié)在方格上,不留一絲空隙,然后以最快的速度60度角揭起,觀察劃痕邊緣處是否有脫落。如沒有任何脫落為5B,脫落量在0-5%之間為4B,5-15%之間為3B, 15-35%之間為2B,35-65%之間為1B,65%以上為OB0
測試結(jié)果如表I所示。
表I
權(quán)利要求
1.一種陶瓷表面選擇性金屬化方法,其特征在于,包括以下步驟 A.將陶瓷組合物成型、燒制得到陶瓷基材;所述陶瓷組合物包括陶瓷粉體和分散于陶瓷粉體中的功能粉體;所述功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的ー種或多種,M為鈦、銀、鉻、猛、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、銀、鑰、得、釕、錯(cuò)、鈕、銀、鎘、鉭、鶴、錸、鋨、銥、鉬、金、銦、錫、銻、鉛或鉍;陶瓷粉體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的ー種或多種,E為鋰、鈉、鉀、銣、銫、鈹、鎂、 丐、銀、鋇、硼、招、鎵、娃、鍺、磷、神、鈧、乾、錯(cuò)、鉿或鑭系元素; B.采用能量束輻射陶瓷基材表面的選定區(qū)域,在選定區(qū)域形成化學(xué)鍍活性中心; C.對經(jīng)過步驟B的陶瓷基材表面進(jìn)行化學(xué)鍍,選定區(qū)域形成金屬層。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其特征在干,M為鐵、鎳、鈷、錳、鈦或銅、鉭、鎢。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的方法,其特征在于,功能粉體選自Fe203、CoO,NiO, MnO2,Ti02、CuO, TiC, TaON, TiC, W 中的ー種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其特征在干,E為鋁、鋯、硅、鎂或硼。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或4所述的方法,其特征在于,陶瓷粉體選自Al203、Mg0、Si02、Zr02、BN、Si3N4或SiC中的ー種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其特征在干,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為70-99. 998wt%,功能粉體的含量為0. 002_30wt%。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在干,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為90-99. 998wt%,功能粉體的含量為0. 002_10wt%。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在干,以陶瓷組合物的總質(zhì)量為基準(zhǔn),陶瓷粉體的含量為98-99. 9 95wt%,功能粉體的含量為0. 005_2wt%。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,功能粉體為M的單質(zhì)吋,陶瓷組合物的燒制在空氣或氧氣氣氛中進(jìn)行。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,所述能量束為激光、電子束或離子束;激光輻射的條件包括激光波長為200-3000nm,功率為5-3000W,頻率為0. l_200KHz,激光走線速度為0. 01-50000mm/s,填充間距0. 01mm-5mm ;電子束輻射的功率密度為IO1-IO11WAm2 ;離子束輻射的離子束能量為IO1-IO6eV15
11.一種陶瓷,其特征在于,所述陶瓷包括陶瓷基材和陶瓷基材表面選定區(qū)域的金屬層;所述陶瓷基材包括陶瓷主體和分散于陶瓷主體中的功能助劑;所述功能助劑選自M與E的復(fù)合氧化物、復(fù)合氮化物、復(fù)合氧氮化物、復(fù)合碳化物中的ー種或多種,M為鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、銀、鑰、得、釕、錯(cuò)、!B、銀、鎘、鉭、鶴、錸、鋨、銥、鉬、金、銦、錫、鋪、鉛或秘;陶瓷主體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的ー種或多種,E為鋰、鈉、鉀、銣、銫、鈹、鎂、 丐、銀、鋇、硼、招、鎵、娃、鍺、磷、神、鈧、乾、錯(cuò)、鉿或鑭系元素;以功能助劑中M與E的總質(zhì)量為基準(zhǔn),其中M的含量為0. 01-99. 99wt%, E的含量為0. 01-99. 99wt%。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的陶瓷,其特征在于,陶瓷基材表面的選定區(qū)域的厚度比未選定區(qū)域的平均厚度小0. 01-500um。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的陶瓷,其特征在于,所述金屬層的結(jié)構(gòu)為ー維、ニ維或三維。
14.權(quán)利要求11所述的陶瓷作為功率模塊、力學(xué)結(jié)構(gòu)零部件、焊接基材、裝飾件的應(yīng)用。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種陶瓷表面選擇性金屬化方法,包括以下步驟A.將陶瓷組合物成型、燒制得到陶瓷基材;所述陶瓷組合物包括陶瓷粉體和分散于陶瓷粉體中的功能粉體;所述功能粉體選自M的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物或M單質(zhì)中的一種或多種;陶瓷粉體選自E的氧化物、氮化物、氧氮化物、碳化物中的一種或多種;B.采用能量束輻射陶瓷基材表面的選定區(qū)域,在選定區(qū)域形成化學(xué)鍍活性中心;C.對經(jīng)過步驟B的陶瓷基材表面進(jìn)行化學(xué)鍍,選定區(qū)域形成金屬層。本發(fā)明還提供了一種陶瓷。本發(fā)明的陶瓷表面通過化學(xué)鍍形成金屬鍍層,鍍層與陶瓷基材的附著力較高,成本較低。
文檔編號C23C18/31GK102776492SQ201110123060
公開日2012年11月14日 申請日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者任永鵬, 宮清, 張保祥, 林信平 申請人:比亞迪股份有限公司