專(zhuān)利名稱(chēng)：顯示面板組裝裝置及方法及處理作業(yè)裝置及基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶或等離子體等FPD( = Flat Panel Display平板顯示器) 的顯示面板(顯示單元基板)的周邊搭載驅(qū)動(dòng)IC或COF(Chip on Film柔性軟板)、 FPC(Flexible Printed Circuits 柔性印制電路)等所謂的 TAB( = Tape Automated Bonding帶式自動(dòng)焊接)連接，及安裝周邊基板(PCB = printed circuit board印刷電路 板)的顯示面板模塊組裝裝置。更具體來(lái)說(shuō)，能夠更有效地配置顯示面板模塊組裝裝置中 的各處理工序或更穩(wěn)定地轉(zhuǎn)送輸送顯示面板的顯示面板基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
顯示面板模塊組裝裝置是通過(guò)對(duì)等離子體等的FPD的顯示面板基板(或簡(jiǎn)稱(chēng)為基 板、其他基板例如PCB的情況下寫(xiě)明為PCB基板)依次進(jìn)行多個(gè)處理工序，在所述基板的周 邊安裝驅(qū)動(dòng)IC、TAB及PCB基板等的裝置。例如，作為處理工序的一例，包括(1)清除基板端部的TAB貼附部的端子清潔 工序、(2)在清除后的基板端部貼附各向異性導(dǎo)電薄膜(ACF = AniS0tr0pic Conductive Film)的ACF工序、(3)在貼附了 ACF的位置定位基板配線(xiàn)，搭載TAB或IC的搭載工序、(4) 通過(guò)對(duì)搭載的TAB進(jìn)行加熱壓接，利用ACF薄膜固定的壓接工序、(5)檢查搭載的TAB或IC 的位置或連接狀態(tài)的檢查工序、(6)在TAB的基板側(cè)的相反側(cè)用ACF等貼附PCB基板而搭 載的PCB工序(多個(gè)工序)等。進(jìn)而，根據(jù)處理的基板的邊的數(shù)量或處理的TAB或IC的數(shù) 量等，需要各處理位置的數(shù)量或使基板旋轉(zhuǎn)的處理單元等。顯示面板模塊組裝裝置通過(guò)連續(xù)配置進(jìn)行這些處理作業(yè)的處理作業(yè)裝置，利用基 板輸送機(jī)構(gòu)將基板在其之間輸送基板，進(jìn)行基板周邊處理。作為在各處理作業(yè)裝置之間輸送基板的方法，如專(zhuān)利文獻(xiàn)1及3中所述，公開(kāi)了從 作業(yè)前的基板放置的載置臺(tái)到作業(yè)載物臺(tái)及從作業(yè)載物臺(tái)到載置臺(tái)時(shí)，使用將基板從下方 抬起，進(jìn)行送入 送出的機(jī)構(gòu)的輸送方式。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中進(jìn)而改進(jìn)基板的輸送方法， 公開(kāi)了在各處理作業(yè)裝置配置包括梳齒型臂的基板保持·輸送載物臺(tái)，由此在各作業(yè)處理 裝置之間轉(zhuǎn)送基板，依次輸送的方式。進(jìn)而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中為了縮短裝置全長(zhǎng)，作為能夠縮短各處理作業(yè)裝置(作業(yè)載 置臺(tái))之間的配置間隔的輸送方法，公開(kāi)了包括基于一對(duì)帶式傳送器的輸送機(jī)構(gòu)和在其之 間配置的面板支承工作臺(tái)的基板輸送結(jié)構(gòu)。另外，就使用了上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)4記載的輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板輸送裝 置來(lái)說(shuō)，公開(kāi)了利用吸附力保持顯示面板，切換吸附至目的位置的同時(shí)輸送的裝置。作為各處理作業(yè)裝置，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了進(jìn)行各處理作業(yè)的作業(yè)工作臺(tái)和 向所述作業(yè)工作臺(tái)送入·送出顯示面板基板的機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，送入顯示面板基 板的作業(yè)工作臺(tái)保持顯示面板基板，能夠在基板的寬度、長(zhǎng)度及水平旋轉(zhuǎn)方向上調(diào)節(jié)，在作 業(yè)工作臺(tái)進(jìn)行顯示面板基板的處理位置的定位，實(shí)施各處理作業(yè)。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)了在各處理作業(yè)裝置配置能夠?qū)@示面板基板向三軸及水平旋轉(zhuǎn)方向運(yùn)轉(zhuǎn)的梳齒型臂的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，利用設(shè)置有各處理作業(yè)裝置的所述梳齒型臂，進(jìn)行轉(zhuǎn)送顯示面板基板的動(dòng)作和顯示面板基板的處理位置的定位動(dòng)作。進(jìn)而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中，公開(kāi)了在一對(duì)帶式傳送器之類(lèi)的輸送機(jī)構(gòu)之間配置顯示面板支承工作臺(tái)，利用所述顯示面板支承工作臺(tái)，進(jìn)行顯示面板基板的處理位置的定位動(dòng) 作的方法。專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平8-26475號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2007-99466號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3日本特開(kāi)2003-76290號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)4日本特開(kāi)2008-134439號(hào)公報(bào)首先，考慮在各處理作業(yè)裝置之間輸送基板的方法的問(wèn)題。在使用了上述專(zhuān)利文 獻(xiàn)1的以往輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板模塊組裝裝置中，沿處理作業(yè)裝置的配置生產(chǎn)線(xiàn)配置基板 的輸送機(jī)構(gòu)，因此，處理作業(yè)裝置單元的配置方向上直行的方向即裝置寬度方向變寬，并 且，需要各輸送臂的待機(jī)位置等，因此，處理作業(yè)裝置之間的間隔變寬，處理作業(yè)裝置配置 方向的裝置長(zhǎng)度即顯示面板模塊組裝裝置的全長(zhǎng)變得非常長(zhǎng)。在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中也同樣需要在處理作業(yè)裝置之間轉(zhuǎn)送基板的場(chǎng)所，因此，顯示面 板模塊組裝裝置全長(zhǎng)變長(zhǎng)。進(jìn)而，處理作業(yè)裝置的基板輸送機(jī)構(gòu)在將基板向下游側(cè)的處理 作業(yè)裝置轉(zhuǎn)送后，需要去往上游側(cè)的處理作業(yè)裝置接受接下來(lái)的處理基板。各處理作業(yè)裝 置待機(jī)至接下來(lái)的處理基板送入，因此，存在各處理作業(yè)裝置的作業(yè)效率降低的問(wèn)題。專(zhuān)利文獻(xiàn)3是通過(guò)使用各處理作業(yè)裝置的傳送帶狀輸送機(jī)構(gòu)，同時(shí)進(jìn)行向各處理 作業(yè)裝置的處理前基板的送入和處理后的基板的送出的結(jié)構(gòu)，不需要在各處理作業(yè)裝置之 間設(shè)置基板或臂的待機(jī)位置，能夠?qū)⒏魈幚碜鳂I(yè)裝置接近而配置，能夠縮短顯示面板模塊 組裝裝置全長(zhǎng)。然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的方式中也留下了若干問(wèn)題。各處理作業(yè)裝置所需的最小寬度大致依賴(lài)于處理的基板的邊的長(zhǎng)度。處理基板的 長(zhǎng)邊和短邊的處理所需的處理作業(yè)裝置的最小寬度不同，并且，在使基板旋轉(zhuǎn)的處理作業(yè) 部中，基板的對(duì)角長(zhǎng)度需要最低。進(jìn)而，在處理同一邊的處理作業(yè)裝置中，也在需要的處理 作業(yè)裝置的最小寬度上產(chǎn)生差異。例如，在需要高的壓力或溫度的正式壓接工序中，需要確 保處理單元框體的強(qiáng)度等，因此，處理作業(yè)裝置的必要寬度處于比其他變大的傾向。此外， 在各處理作業(yè)裝置每一個(gè)中，必要的最小寬度也稍有不同。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中建議的結(jié)構(gòu)中，利用同一帶式傳送器的驅(qū)動(dòng)來(lái)同時(shí)進(jìn)行自 各處理站的基板的送出和送入。但是，由于利用同一帶式傳送器進(jìn)行送出和送入，因此，需 要處理作業(yè)裝置之間的基板輸送速度或距離相同。因此，需要各處理作業(yè)裝置之間的間距 也相同。為了這樣，各處理作業(yè)裝置需要與連結(jié)的處理作業(yè)裝置的最大寬度一致。因此，在 專(zhuān)利文獻(xiàn)3的基板輸送方式中，也不能以最接近狀態(tài)配置以最小必要寬度構(gòu)成的各處理作 業(yè)裝置。在該方式中，若在各處理作業(yè)裝置的帶的輸送速度上具有差異，則原理上還可能 使輸送的基板的移動(dòng)量上具有差異，但在帶之間的轉(zhuǎn)送時(shí)，具有速度差的帶與基板表面接 觸，因此，對(duì)基板表面賦予損傷等的可能性高，并且，導(dǎo)致難以保障輸送精度的問(wèn)題等，實(shí)際 中不能采用。
另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的、在各處理作業(yè)裝置設(shè)置的帶狀傳送器之間轉(zhuǎn)送基 板的方式中，即使將各處理作業(yè)裝置的帶輸送速度控制為相同，也不能完全消除轉(zhuǎn)送部處 的輸送精度降低(轉(zhuǎn)送精度)或基板表面的損傷等的危險(xiǎn)性。因此，自然而然為了將其避 免，在能夠輸送及轉(zhuǎn)送的基板輸送速度上存在極限，難以進(jìn)行高速的基板輸送。進(jìn)入，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3的方式中，用一對(duì)帶狀傳送器輸送基板，因此，輸送的基板需要為載置于一對(duì)(兩方)的傳送器的尺寸的基板。因此，還具有難以應(yīng)對(duì)小型基板的問(wèn)題。另外，使用了專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)4記載的輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送裝置 是利用吸附力保持顯示面板，切換吸附至目的位置的同時(shí)輸送的裝置。從而，若由于各處理 作業(yè)時(shí)間的縮短化，使輸送變得高速，則存在需要以高速進(jìn)行轉(zhuǎn)送顯示面板的固定部和接 受的部分的吸引的切換時(shí)，需要提高高速輸送和轉(zhuǎn)送的可靠性的問(wèn)題。另外，在顯示面板基 板的吸附輸送中，可能發(fā)生轉(zhuǎn)送時(shí)的吸附錯(cuò)誤。其次，考慮各處理作業(yè)裝置的結(jié)構(gòu)的問(wèn)題。在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1 3中公開(kāi)的以往 的各處理作業(yè)裝置的結(jié)構(gòu)中，均保持輸送過(guò)來(lái)的基板，并且，進(jìn)行定位動(dòng)作后，實(shí)施各處理 作業(yè)。如上所述，顯示面板模塊組裝裝置連結(jié)多種處理作業(yè)裝置，對(duì)顯示面板連續(xù)進(jìn)行 各種處理作業(yè)。在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1 3中公開(kāi)的處理作業(yè)裝置的結(jié)構(gòu)中，由于其處理作業(yè) 內(nèi)容，在處理作業(yè)時(shí)間上產(chǎn)生差異。因此，時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝置需要等待花費(fèi)時(shí)間 的工序的處理作業(yè)裝置的結(jié)束，基板的輸送間隔被花費(fèi)時(shí)間的工序的處理作業(yè)裝置限制， 并且，在時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝置中發(fā)生作業(yè)停止的時(shí)間。為了效率更良好地運(yùn)轉(zhuǎn)各處理作業(yè)裝置，考慮將花費(fèi)時(shí)間的工序的處理作業(yè)裝置 增加數(shù)量而連結(jié)于時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝置，獲得各處理工序的生產(chǎn)節(jié)拍平衡。但是， 在該方式中，具有連結(jié)的處理作業(yè)裝置的數(shù)量增加，顯示面板模塊組裝裝置整體的長(zhǎng)度變 得非常長(zhǎng)的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的在于提供通過(guò)改善基板的輸送機(jī)構(gòu)，能夠構(gòu)成為小型特別縮短 裝置全長(zhǎng)的顯示面板模塊組裝裝置或組裝方法或顯示面板基板輸送裝置。另外，本發(fā)明的第二目的在于提供能夠利用同一輸送機(jī)構(gòu)或輸送方法，將各種尺 寸的基板在連續(xù)的各處理作業(yè)裝置或各處理單元之間以高速及/或高精度轉(zhuǎn)送輸送的顯 示面板模塊組裝裝置或組裝方法或顯示面板基板輸送裝置。進(jìn)而，本發(fā)明的第三目的在于提供對(duì)于各處理作業(yè)裝置，能夠以必要的最小間隔 連續(xù)連結(jié)配置各處理作業(yè)裝置的顯示面板模塊組裝裝置或顯示面板基板輸送裝置。另外，本發(fā)明的第四目的在于提高顯示面板基板的輸送中的高速輸送和轉(zhuǎn)送的可靠性。進(jìn)而，本發(fā)明的第五目的在于提供在顯示面板基板的吸附輸送中，避免在轉(zhuǎn)送時(shí) 的吸附錯(cuò)誤的發(fā)生的顯示面板基板輸送裝置或顯示面板基板輸送方法或顯示面板模塊組
農(nóng)農(nóng)且。另外，本發(fā)明的第六目的在于提供能夠構(gòu)成為縮短顯示面板模塊組裝裝置全長(zhǎng)的 顯示面板組裝裝置。
進(jìn)而，本發(fā)明的第七目的在于在包括顯示多種的處理作業(yè)的顯示面板模塊組裝裝 置或組裝方法中，提高各處理作業(yè)的作業(yè)效率。最后，本發(fā)明的第八目的在于提供能夠?qū)崿F(xiàn)上述第六及第七這兩個(gè)目的顯示面板 基板組裝用處理作業(yè)裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的第一特征在于，具有基板保持機(jī) 構(gòu)，其將多個(gè)在一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件并列配置于與所述顯示面板基板的輸送面 平行的面上；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將多個(gè)在所述一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板輸送構(gòu)件并列配置于 與所述顯示面板基板的輸送面平行的面上，所述基板輸送構(gòu)件的至少一個(gè)配置于所述基板 保持構(gòu)件之間，所述基板輸送機(jī)構(gòu)對(duì)配置于所述基板保持構(gòu)件上的所述顯示面板基板進(jìn)行 保持，并在基板輸送方向上直線(xiàn)地移動(dòng)，由此輸送所述顯示面板基板。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的第二特征在于，輸送顯示面 板基板的顯示面板基板輸送裝置具有基板保持機(jī)構(gòu)，其具有在所述處理作業(yè)裝置的作業(yè) 位置保持顯示面板基板的基板保持構(gòu)件；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將顯示面板基板輸送至顯示面 板基板處理步驟的下游側(cè)的其他所述基板保持構(gòu)件，所述基板輸送機(jī)構(gòu)具備運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其 能夠在所述輸送的區(qū)間直線(xiàn)地移動(dòng)。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明除了第一或第 二特征之外，第 三特征在于，所述基板輸送機(jī)構(gòu)具有使所述基板輸送構(gòu)件相對(duì)于所述基板保持機(jī)構(gòu)的所述 基板保持構(gòu)件相對(duì)地上升及下降的機(jī)構(gòu)，并且，具有能夠使所述基板輸送構(gòu)件在沿基板輸 送方向的規(guī)定的范圍內(nèi)往返移動(dòng)的動(dòng)作機(jī)構(gòu)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第三特征之外，第四特征在于，配置有多個(gè)所述基板輸送機(jī)構(gòu)，且能夠獨(dú)立地設(shè)定各所述 基板輸送機(jī)構(gòu)的往返移動(dòng)距離，所述多個(gè)基板輸送機(jī)構(gòu)以相同的時(shí)序使所述基板保持機(jī)構(gòu) 上的所述顯示面板基板在所述基板輸送方向上移動(dòng)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第四特征之外，第五特征在于，能夠根據(jù)所述處理作業(yè)裝置或處理基板條件等改變所述 往返移動(dòng)距離的輸送距離可變機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第一 第三中任一項(xiàng)所述的特征之外，第六特征在于，具有基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè) 所述顯示面板基板的姿勢(shì)；基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)，其基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果， 修正所述顯示面板基板的姿勢(shì)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第六特征之外，第七特征在于，所述顯示面板基板的姿勢(shì)為在各所述處理作業(yè)裝置的作 業(yè)位置處的姿勢(shì)，所述基板保持機(jī)構(gòu)與各所述處理作業(yè)裝置對(duì)應(yīng)而配置多個(gè)，至少一個(gè)所 述基板保持機(jī)構(gòu)具有基于檢測(cè)作業(yè)位置處的基板姿勢(shì)的基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)和所述基板姿 勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果修正基板姿勢(shì)的基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第一或第二特征之外，第八特征在于，所述各處理作業(yè)裝置具備在輸送過(guò)來(lái)的所述顯示 面板基板的緣進(jìn)行規(guī)定的處理的至少一個(gè)以上的處理單元；檢測(cè)輸送過(guò)來(lái)的所述顯示面板 基板的姿勢(shì)的基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果，修正相對(duì)于基板的所述處理單元的相對(duì)位置。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置除 了第一 第二特征之外，第九特征在于，具有多個(gè)所述顯示面板基板輸送裝置，在所述顯示 面板基板輸送裝置之間具有改變所述顯示面板基板的姿勢(shì)或輸送方向的機(jī)構(gòu)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置 基板輸送裝置，第九特征在于，所述基板保持機(jī)構(gòu)在所述處理作業(yè)裝置的相反側(cè)具有摩擦 阻力小的低摩擦基板保持部。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板模塊組裝方法的 第十一特征在于，輸送顯示面板基板的機(jī)構(gòu)在所述處理作業(yè)裝置的作業(yè)位置處的作業(yè)結(jié)束 后，從與所述作業(yè)位置對(duì)應(yīng)設(shè)置的基板保持機(jī)構(gòu)接受所述顯示面板基板，將所述顯示面板 基板直線(xiàn)地移動(dòng)至所述作業(yè)位置的下游側(cè)的作業(yè)位置，將所述顯示面板基板交給與所述下 游側(cè)的作業(yè)位置對(duì)應(yīng)設(shè)置的基板保持機(jī)構(gòu)，并在所述下游側(cè)的作業(yè)位置處的作業(yè)結(jié)束之前 直線(xiàn)地移動(dòng)返回至原來(lái)的作業(yè)位置。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第一或第二或第三目的，本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置，第 十二特征在于，從基板保持機(jī)構(gòu)接受所述基板，將所述顯示面板基板直線(xiàn)地移動(dòng)至所述基 板保持機(jī)構(gòu)的下游側(cè)的其他基板保持機(jī)構(gòu)，輸送所述基板，向所述其他基板保持機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)送 所述顯示面板基板，轉(zhuǎn)送所述基板后，直線(xiàn)地移動(dòng)返回至原來(lái)的所述基板保持機(jī)構(gòu)。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第四或第五目的，進(jìn)而，本發(fā)明的第十三特征在于，在顯示面 板基板輸送裝置中，具有吸附系統(tǒng)，其產(chǎn)生如下所述的狀態(tài)的至少三個(gè)階段以上的吸引狀 態(tài)，第一吸引狀態(tài)，將在顯示面板基板輸送時(shí)的加減速下不發(fā)生顯示面板基板的脫落或位 置偏移的第一吸引力作用于顯示面板基板；第二吸引狀態(tài)，將對(duì)顯示面板基板沒(méi)有保持力 的第二吸引力作用于顯示面板基板；第三吸引狀態(tài)，將大小在所述第一吸引力和所述第二 吸引力之間的第三吸引力作用于顯示面板基板。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第四或第五目的，進(jìn)而，本發(fā)明的第十四特征在于，具有多個(gè) 所述吸附系統(tǒng)，將其中至少兩個(gè)吸附系統(tǒng)壓力損耗連結(jié)。為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的上述目的，使處理作業(yè)裝置的處理作業(yè)時(shí)間接 近地構(gòu)成顯示面板模塊組裝裝置或組裝方法或顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置?；蛘?，縮短顯示面板模塊組裝裝置的生產(chǎn)線(xiàn)長(zhǎng)度地構(gòu)成顯示面板模塊組裝裝置或 組裝方法或顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置。具體來(lái)說(shuō)，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的上述目的，第十五特征在于，在顯示 面板模塊組裝裝置或組裝方法中，在至少一個(gè)以上的所述處理作業(yè)裝置中，具有對(duì)一個(gè)顯 示面板基板的一邊同時(shí)進(jìn)行處理作業(yè)的至少兩個(gè)以上的處理單元。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的上述目的，第十六特征在于，在顯示面板 模塊組裝裝置或組裝方法中，具有分割所述各種處理中處理時(shí)間長(zhǎng)的處理邊作業(yè)，并同時(shí) 進(jìn)行處理作業(yè)的至少兩個(gè)以上的處理單元。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的上述目的，在上述第十五及第十六的特 征基礎(chǔ)上，第十七特征在于，所述同時(shí)是指在將所述顯示面板基板向接下來(lái)的作業(yè)位置輸 送之前的期間處理作業(yè)結(jié)束的意思。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的上述目的，除了上述第十五 第十七的任一個(gè)特征之外，第十八特征在于，所述處理單元檢測(cè)進(jìn)行處理作業(yè)的顯示面板基板的姿勢(shì)，基于所述結(jié)果，修正顯示面板基板的處理邊和所述處理單元的相對(duì)位置。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的目的，除了上述第十五 第十七的任一個(gè)特征之外，第十九特征在于，所述處理單元能夠在與所述處理邊方向平行的方向上移動(dòng)。進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)上述第六或第七或第八的目的，除了上述第十五 第十七的任一個(gè)特征之外，第二十特征在于，同時(shí)進(jìn)行所述多個(gè)處理單元中的處理作業(yè)，控制所述處理作 業(yè)的多個(gè)處理單元中的處理動(dòng)作和向接下來(lái)的作業(yè)位置轉(zhuǎn)移移動(dòng)的轉(zhuǎn)移移動(dòng)動(dòng)作的作業(yè) 時(shí)序。最后，為了實(shí)現(xiàn)上述第八目的，第二十一特征在于，在顯示面板基板組裝用處理作 業(yè)裝置中，具有對(duì)一個(gè)顯示面板基板的一邊進(jìn)行作業(yè)的至少一個(gè)以上的處理單元，所述處 理單元具有能夠在與所述處理邊方向平行的方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。發(fā)明效果根據(jù)上述本發(fā)明可知，在各處理作業(yè)裝置中的作業(yè)位置上，將在基板輸送方向上 細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件并列配置于在基板輸送方向上直行的方向上，并且，形成為在所述基 板保持機(jī)構(gòu)的細(xì)長(zhǎng)的多個(gè)所述基板保持構(gòu)件之間同樣并列配置了在基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng) 的基板輸送構(gòu)件的基板輸送機(jī)構(gòu)，能夠?qū)π⌒偷酱笮突暹M(jìn)行保持及輸送。在基板輸送動(dòng)作中，將基板輸送構(gòu)件相對(duì)于所述基板保持構(gòu)件相對(duì)地上升，由此 將基板從基板保持部以微小量抬起分離，高速滑動(dòng)輸送至規(guī)定的位置后，將所述基板輸送 構(gòu)件相對(duì)于所述基板保持構(gòu)件相對(duì)地下降，再次將基板向基板保持部轉(zhuǎn)送的本方式能夠通 過(guò)最小限度的移動(dòng)來(lái)進(jìn)行基板移動(dòng)，能夠進(jìn)行高速且高精度的處理作業(yè)裝置之間的轉(zhuǎn)送輸 送。在一系列的連續(xù)基板輸送裝置內(nèi)，配置多個(gè)上述基板輸送機(jī)構(gòu)，使各基板輸送機(jī) 構(gòu)的往返移動(dòng)距離獨(dú)立，由此在本方式中，能夠自由地設(shè)定各處理作業(yè)位置之間的距離。進(jìn)而，所述多個(gè)基板輸送機(jī)構(gòu)以相同時(shí)序使所述基板保持機(jī)構(gòu)上的基板同時(shí)在基 板輸送方向上移動(dòng)，因此，能夠?qū)⒏骰逡蕴幚碜鳂I(yè)裝置之間的距離相鄰的原來(lái)狀態(tài)下在 各處理作業(yè)裝置之間移動(dòng)。由此，能夠提供能夠?qū)⒏魈幚碜鳂I(yè)裝置以必要最小限度的間隔 連續(xù)連結(jié)配置的顯示面板基板輸送裝置。另外，設(shè)置有多個(gè)的基板輸送機(jī)構(gòu)的基板輸送方向的往返移動(dòng)距離能夠按每一個(gè) 基板保持機(jī)構(gòu)獨(dú)立地設(shè)定，由此還能夠根據(jù)各處理作業(yè)裝置或處理基板條件等，實(shí)現(xiàn)最佳 處理作業(yè)位置之間的距離。進(jìn)而，在所述基板保持機(jī)構(gòu)的若干個(gè)中設(shè)置檢測(cè)作業(yè)位置處的基板姿勢(shì)的基板姿 勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)、和基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果修正基板姿勢(shì)的基板姿勢(shì)修正機(jī) 構(gòu)，由此還能夠修正在多個(gè)處理作業(yè)裝置之間連續(xù)輸送的情況下發(fā)生的基板的姿勢(shì)的變 化，在連結(jié)多個(gè)處理作業(yè)裝置構(gòu)成的顯示面板模塊組裝裝置全長(zhǎng)中，能夠高速且高精度輸 送基板。而且，在各處理作業(yè)裝置中設(shè)置對(duì)輸送過(guò)來(lái)的基板的緣進(jìn)行規(guī)定的處理的至少一 個(gè)以上的處理單元和檢測(cè)輸送過(guò)來(lái)的基板的姿勢(shì)的基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，能夠基于所述基板 姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果，修正相對(duì)于基板的所述處理單元的相對(duì)位置，因此，能夠更高精 度地實(shí)施在各基板的周邊進(jìn)行的電子構(gòu)件的安裝等處理作業(yè)。另外，根據(jù)上述本發(fā)明可知，實(shí)現(xiàn)能夠利用相同的同一輸送機(jī)構(gòu)，將小型到大型基板的各種尺寸的基板在連續(xù)的各處理單元之間高速且高精度地轉(zhuǎn)送輸送，并且，能夠?qū)⒏魈幚碜鳂I(yè)裝置以各處理作業(yè)裝置所需的最小間隔連續(xù)連結(jié)配置的顯示面板模塊組裝裝置 及方法，能夠輸送顯示面板等的基板。進(jìn)而，根據(jù)上述本發(fā)明可知，在顯示面板的轉(zhuǎn)送時(shí)，應(yīng)力不施加于面板，且能夠防 止面板脫落，在高速輸送時(shí)，也能夠進(jìn)行穩(wěn)定的轉(zhuǎn)送動(dòng)作。另外，根據(jù)上述本發(fā)明可知，在至少一個(gè)部位產(chǎn)生吸附錯(cuò)誤，發(fā)生壓力降低的情況 下，在其他吸附系統(tǒng)也不會(huì)發(fā)生急劇的壓力降低，因此，面板不會(huì)急劇地脫落。另外，吸引力 殘留在近鄰的墊，因此，還能夠期待吸引錯(cuò)誤部位的墊也再吸附的效果。其結(jié)果，能夠穩(wěn)定 地進(jìn)行顯示面板的轉(zhuǎn)送，因此，能夠提供可靠性高的顯示面板模塊組裝裝置。進(jìn)而，根據(jù)上述本發(fā)明可知，在顯示面板模塊組裝裝置或組裝方法中，單元化處理 作業(yè)裝置的進(jìn)行各處理作業(yè)的機(jī)構(gòu)部，并且，至少兩個(gè)以上的處理單元在一個(gè)顯示面板基 板的一邊同時(shí)進(jìn)行處理作業(yè)，由此能夠提高慢的處理作業(yè)裝置的作業(yè)效率。另外，根據(jù)上述本發(fā)明可知，多個(gè)處理單元能夠基于顯示面板基板姿勢(shì)的檢測(cè)結(jié) 果，修正顯示面板基板的處理邊和處理單元的相對(duì)位置，因此，能夠?qū)︼@示面板基板的一處 理邊獨(dú)立地進(jìn)行定位處理，能夠同時(shí)進(jìn)行基于上述多個(gè)處理單元的同時(shí)處理。進(jìn)而，根據(jù)上述本發(fā)明可知，所述多個(gè)處理單元設(shè)置有能夠在與顯示面板基板的 處理邊方向平行的方向上移動(dòng)的運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，由此各處理單元能夠向任意的位置移動(dòng)，能夠 提高處理單元的作業(yè)效率。另外，根據(jù)上述本發(fā)明可知，通過(guò)控制多個(gè)處理單元中的處理動(dòng)作和在基板邊的 處理位置之間轉(zhuǎn)移移動(dòng)的轉(zhuǎn)移移動(dòng)動(dòng)作，能夠防止進(jìn)行處理作業(yè)的多個(gè)處理單元的碰撞等 干涉，對(duì)同一顯示面板基板的一處理邊同時(shí)進(jìn)行基于多個(gè)處理單元的處理作業(yè)。經(jīng)以上的結(jié)果可知，通過(guò)調(diào)節(jié)在各處理作業(yè)裝置配置的處理單元數(shù)量，能夠使各 處理作業(yè)裝置的處理作業(yè)時(shí)間接近，在包括多種處理作業(yè)的顯示面板模塊組裝裝置或組裝 方法中，能夠提高處理作業(yè)的運(yùn)轉(zhuǎn)率。另外，能夠提供在包括多種處理作業(yè)的顯示面板模塊組裝裝置中，能夠縮短構(gòu)成 顯示面板模塊組裝裝置全長(zhǎng)的顯示面板模塊組裝裝置。進(jìn)而，能夠提供能夠?qū)崿F(xiàn)上述兩個(gè)效果的顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置。關(guān)于本發(fā)明的上述目的、特征、效果及上述以外的目的、特征、效果，在以下的記載 中進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面板模塊組 裝裝置的基本結(jié)構(gòu)的圖。圖2是用于以示意性說(shuō)明各處理作業(yè)時(shí)和基板輸送時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)的圖，是表示自 基板的輸送方向的剖面的圖。圖3是用于以示意性說(shuō)明各處理單元時(shí)和基板輸送時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)的圖，是表示自 裝置側(cè)面的剖面的圖。圖4(a)是說(shuō)明顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面板模塊組裝裝置整體 中的基板的處理及輸送順序中步驟1 步驟4的圖。
圖4(b)是連續(xù)于圖4(a)，說(shuō)明基板的處理及輸送順序中步驟5和步驟6的圖。圖5是用于說(shuō)明基于基板保持機(jī)構(gòu)的基板位置修正方式的圖。圖6是說(shuō)明在基板轉(zhuǎn)送時(shí)施加于基板的力或基板的變形等的示意圖。圖7是用于說(shuō)明本發(fā)明的基板保持機(jī)構(gòu)及基于基板保持機(jī)構(gòu)的尺寸不同的基板的保持的圖。圖8是用于說(shuō)明設(shè)想了超大型的基板輸送的情況下的顯示面板基板輸送機(jī)構(gòu)的 圖。圖9是用于說(shuō)明進(jìn)一步簡(jiǎn)化本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置的機(jī)構(gòu)的方式的圖。圖10是用于說(shuō)明多個(gè)處理單元對(duì)一張基板同時(shí)進(jìn)行作業(yè)的方式的圖。圖11是表示在基板設(shè)置的基準(zhǔn)標(biāo)記的一例的圖。圖12是表示對(duì)基板進(jìn)行定位處理的處理單元結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例的圖。圖13是說(shuō)明基于本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置和處理單元機(jī)構(gòu)的新的顯示面 板模塊組裝裝置的一實(shí)施例的圖。圖14是用于說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置中的控制部結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例的 圖。圖15是說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置中的基本的控制方式的一實(shí)施例的 圖。圖16是說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置中的其他實(shí)施例結(jié)構(gòu)的圖。圖17是說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置中的又一其他實(shí)施例結(jié)構(gòu)的圖。圖18是表示圖16所示的本發(fā)明的實(shí)施例的側(cè)方剖面的圖。圖19是表示圖17所示的本發(fā)明的實(shí)施例的側(cè)方剖面的圖。圖20是本發(fā)明實(shí)施例的模塊組裝裝置的結(jié)構(gòu)。圖20-1是本發(fā)明實(shí)施例的顯示面板基板目的位置為止的輸送流程圖。圖20-2是本發(fā)明實(shí)施例的大型基板及小型基板的轉(zhuǎn)送輸送的俯視圖。圖21是本發(fā)明實(shí)施例的用于轉(zhuǎn)送輸送的面板固定部和面板可動(dòng)部的俯視圖。圖22是本發(fā)明實(shí)施例的用于轉(zhuǎn)送輸送的面板固定部和面板可動(dòng)部的剖面圖。圖23是本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)送時(shí)的面板可動(dòng)部的上下動(dòng)作圖。圖24是表示本發(fā)明實(shí)施例的理想的面板轉(zhuǎn)送的吸附力切換和動(dòng)作時(shí)序的圖。圖25是表示對(duì)于本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)送動(dòng)作，轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引力解除延遲 的情況的圖。圖26是表示對(duì)于本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)送動(dòng)作，轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引力解除提前 的情況的圖。圖27是表示對(duì)于減弱本發(fā)明實(shí)施例的吸引的時(shí)序，轉(zhuǎn)送面板的動(dòng)作提前的情況 的圖。圖28是表示對(duì)于減弱本發(fā)明實(shí)施例的吸引的時(shí)序，轉(zhuǎn)送面板的動(dòng)作延遲的情況 的圖。圖29是表示轉(zhuǎn)送本發(fā)明實(shí)施例的面板的一側(cè)的吸引力解除延遲的情況的圖。圖30是表示轉(zhuǎn)送本發(fā)明實(shí)施例的面板的一側(cè)的吸引力弱的情況的圖。圖31是表示轉(zhuǎn)送本發(fā)明實(shí)施例的面板的一側(cè)的吸引力弱，且有界限的情況的圖。
圖32是表示轉(zhuǎn)送本發(fā)明實(shí)施例的面板的一側(cè)的動(dòng)作提前的情況的圖。圖33是表示轉(zhuǎn)送本發(fā)明實(shí)施例的面板的一側(cè)的動(dòng)作延遲的情況的圖。圖34是表示由于本發(fā)明實(shí)施例的釋放閥，轉(zhuǎn)送的一側(cè)的吸引力成為弱水平的情 況的圖。
圖35是表示利用本發(fā)明比較例的吸引泵的閥的開(kāi)閉，切換吸引的方式的圖。圖36是表示利用本發(fā)明實(shí)施例的釋放閥，產(chǎn)生弱階段的吸引力的吸引系統(tǒng)的圖。圖37是表示使本發(fā)明實(shí)施例的吸附墊中一個(gè)泄漏時(shí)的吸引力降低的圖。圖38是分割本發(fā)明實(shí)施例的吸附系統(tǒng)，產(chǎn)生壓力損耗而連結(jié)的方式的圖。圖中1_基板長(zhǎng)邊側(cè)(源側(cè))的處理作業(yè)裝置組；2-基板的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；3-基板短 邊側(cè)(柵(gate)側(cè))的處理作業(yè)裝置組；4-端子清潔處理作業(yè)裝置(源側(cè))；5-ACF貼附處 理作業(yè)裝置(源側(cè))；6-TAB/IC搭載處理作業(yè)裝置(源側(cè))；7-正式壓接處理作業(yè)裝置(源 側(cè))；8-端子清潔處理作業(yè)裝置(柵側(cè))；9-ACF貼附處理作業(yè)裝置(柵側(cè))；10-基板(顯 示面板基板)；11-基板輸送機(jī)構(gòu)；1IA-基板輸送構(gòu)件；1IS-輔助性基板輸送構(gòu)件；12-基 板保持機(jī)構(gòu)；12A-基板保持構(gòu)件；12S-輔助性基板保持構(gòu)件；13-處理作業(yè)裝置；14-基板 輸送構(gòu)件升降機(jī)構(gòu)；15-滑動(dòng)載物臺(tái)的導(dǎo)軌；16-基板保持構(gòu)件的運(yùn)轉(zhuǎn)范圍；17-基板保持 構(gòu)件和基板輸送構(gòu)件的間隙；18-基板輸送構(gòu)件表面的吸引孔；19-基板保持構(gòu)件表面的吸 引孔；20-小型基板的配置區(qū)域；21-大型基板的配置區(qū)域；22-吸附孔下的吸引腔室；23、 63-開(kāi)閉閥；24-由吸引泵等供給的負(fù)壓系統(tǒng)；25-超大型基板的配置區(qū)域；26-摩擦阻力 小的基板保持部；27-接近基板的處理邊的一側(cè)(基板保持·輸送區(qū)域)；28-從基板的處 理邊遠(yuǎn)的一側(cè)(基板低摩擦保持區(qū)域)；29-滑動(dòng)載物臺(tái)的滑塊；30-進(jìn)行處理作業(yè)的處理 單元；31-表示顯示面板端部的端部標(biāo)記31 ；32-表示TAB或IC等的搭載位置的搭載位置 標(biāo)記；33-使處理單元整體移動(dòng)的XYZ θ運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；34-檢測(cè)基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記的CXD攝像 機(jī)；35-處理位置修正機(jī)構(gòu)；36-進(jìn)行處理作業(yè)的處理單元機(jī)構(gòu)B (與30不同種類(lèi)的處理單 元)；37-系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)(MC) ；38-各處理作業(yè)開(kāi)始信號(hào)；39-各處理作業(yè)結(jié)束信號(hào) (還包括錯(cuò)誤信號(hào)或作用處理中信號(hào)等)；40-各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)(AC-1 AC-6)； 41-各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)和各處理作業(yè)裝置之間的控制通信信號(hào)；42-檢測(cè)基板輸送 構(gòu)件B-I Β-4的坐標(biāo)位置等的傳感器；43-各基板輸送構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)裝置(Μ-1 Μ-4)； 44-各基板輸送構(gòu)件的坐標(biāo)位置等的檢測(cè)信號(hào)；45-各基板輸送構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作信 號(hào)；46-基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)(BC-I) ；47-輸送動(dòng)作開(kāi)始信號(hào)；48-基板輸送結(jié)束信號(hào)； 49-處理作業(yè)裝置內(nèi)的處理單元機(jī)構(gòu)控制機(jī)構(gòu)(UC-1 UC-3) ；50-系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī) 構(gòu)的基板輸送控制信號(hào)；51-系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)的處理裝置動(dòng)作控制信號(hào)；52-基板輸 送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)的基板輸送動(dòng)作信號(hào)；53-各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)的處理裝置動(dòng)作信號(hào) (1)⑵⑶……；101-顯示面板基板；102-基板輸送構(gòu)件；103-基板保持構(gòu)件；104-處理作 業(yè)裝置；105-基板輸送構(gòu)件升降裝置；106-滑塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌；107-基板輸送構(gòu)件表面的 吸引孔；108-基板輸送構(gòu)件表面的吸引孔；109-小型基板的配置區(qū)域；110-大型基板的配 置區(qū)域；111-吸附孔下的吸引腔室；112、143-開(kāi)閉閥；113-由吸引泵等供給的負(fù)壓系統(tǒng)； 115-滑動(dòng)載物臺(tái)的滑塊；116-處理單元；140-吸附墊；141-釋放閥；142-吸引泵；142a_向 基板輸送構(gòu)件的空氣配管；142b-向基板固定構(gòu)件的空氣配管；142c-伸縮式配管。
具體實(shí)施例方式以下，使用圖1 圖5說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式。圖1是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面板模 塊組裝裝置的基本結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例的圖。圖1的裝置是將基板10從圖中左方向右依次輸送的同時(shí)，在基板的周邊部進(jìn)行各 種處理作業(yè)，進(jìn)行IC或TAB等的安裝組裝作業(yè)的裝置。在圖1的裝置中，首先，利用基板長(zhǎng) 邊側(cè)(源側(cè))的處理作業(yè)裝置組1，進(jìn)行基板長(zhǎng)邊側(cè)(源側(cè))的處理后，利用旋轉(zhuǎn)臺(tái)2使基 板旋轉(zhuǎn)，其次，利用基板短邊側(cè)(柵側(cè))的處理作業(yè)裝置組3，進(jìn)行基板短邊側(cè)(柵側(cè))的 處理作業(yè)。在圖1的裝置中，作為基板長(zhǎng)邊側(cè)(源側(cè))的處理，從左開(kāi)始依次進(jìn)行(1)清除 基板端部的TAB貼附部的端子清潔工序、(2)在清除后的基板端部貼附各向異性導(dǎo)電薄膜 (ACF)的ACF工序、(3)在貼附了 ACF的位置，與基板配線(xiàn)定位而搭載TAB或IC的搭載工 序、(4)通過(guò)加熱壓接搭載的TAB或IC，利用ACF薄膜來(lái)固定的壓接工序，圖7中4 7分 別表示端子清潔處理作業(yè)裝置4、ACF貼附處理作業(yè)裝置5、TAB/IC搭載處理作業(yè)裝置6、正 式壓接處理作業(yè)裝置7。在圖1的裝置中，作為基板短邊側(cè)(柵側(cè))的處理作業(yè)，僅示出端子清潔處理作業(yè) 裝置8和ACF貼附處理作業(yè)裝置9，省略之后的處理作業(yè)裝置組。除了圖1所示的處理作業(yè) 裝置以外，作為顯示面板模塊組裝裝置整體，除了未圖示的基板短邊側(cè)(柵側(cè))的處理作業(yè) 之外，對(duì)剩余的基板兩邊(長(zhǎng)邊、短邊)的處理工序或在TAB的基板側(cè)的相反側(cè)用ACF等貼 附搭載PCB基板的PCB處理工序(包括多個(gè)處理工序)、以及處理作業(yè)后的基板的檢查工序 等大量的處理作業(yè)裝置連結(jié)而構(gòu)成。當(dāng)然，需要連結(jié)怎樣的處理作業(yè)裝置依賴(lài)于進(jìn)行組裝 作業(yè)的顯示面板模塊結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例提供在這些以大數(shù)量連接的各種處理位置之間高效輸送基板10的顯示 面板基板輸送裝置。本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置首先包括在各處理作業(yè)裝置位置保持基板 10的基板保持機(jī)構(gòu)12 ；用于將在所述基板保持機(jī)構(gòu)12保持的基板10輸送至相鄰的處理作 業(yè)裝置的位置的基板輸送機(jī)構(gòu)11。在圖1中，在各處理作業(yè)裝置前，圖示有源側(cè)4組和柵側(cè) 2組獨(dú)立的基板保持機(jī)構(gòu)12a e(添加字母表示處理作業(yè)裝置)和基板輸送機(jī)構(gòu)Ila e (添加字母表示處理作業(yè)裝置)。如后述的圖2所示，基板保持機(jī)構(gòu)12具有在基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件 12A沿在基板輸送方向直行的方向上排列配置多個(gè)的構(gòu)造。如圖2所示，基板輸送機(jī)構(gòu)11 形成為在細(xì)長(zhǎng)的多個(gè)所述基板保持構(gòu)件12A之間且排列配置有多個(gè)在基板輸送方向細(xì)長(zhǎng) 的基板輸送構(gòu)件IlA的構(gòu)造。在圖1中，基板10為了圖示配置于其下方的基板保持機(jī)構(gòu)12 或基板輸送機(jī)構(gòu)11，截?cái)嘁徊糠侄境?，并且，用虛線(xiàn)示出外形。在相同處理作業(yè)裝置13前 并列配置的基板輸送構(gòu)件一體地構(gòu)成，使保持于基板保持機(jī)構(gòu)12的基板10移動(dòng)至接下來(lái) 的處理作業(yè)裝置位置。圖2及圖3是用于示意性說(shuō)明各處理作業(yè)時(shí)和基板輸送時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖2 表示自基板10的輸送方向的剖面，圖3是自裝置側(cè)面的剖面?；遢斔蜋C(jī)構(gòu)11在基板保 持機(jī)構(gòu)12的間隙配置有多根基板輸送構(gòu)件IlA C(在圖2中為3根，以下無(wú)論根數(shù)、形態(tài)， 均總稱(chēng)而表示為11A)，這些成一體，具有相對(duì)于所述基板保持機(jī)構(gòu)12的所述基板保持構(gòu)件12A D (在圖2中為4根，以下無(wú)論根數(shù)、形態(tài)，均總稱(chēng)而表示為12A)，使所述基板輸送構(gòu) 件IlA相對(duì)地上升及下降的基板輸送構(gòu)件升降機(jī)構(gòu)14。在各處理作業(yè)裝置中的向基板10的處理動(dòng)作結(jié)束(圖3_(1))后，基板輸送機(jī)構(gòu)11通過(guò)使所述基板輸送構(gòu)件IlaAUlbA上升，將在基板保持構(gòu)件12aA、12bA等上配置的基 板10以微小量抬起(圖3-(2))，然后，使其沿基板保持構(gòu)件12aA、12bA等的間隙方向滑動(dòng) (圖3-(3))，由此能夠?qū)⒒?0輸送至接下來(lái)的作業(yè)處理裝置。作為使基板輸送機(jī)構(gòu)11滑 動(dòng)的機(jī)構(gòu)，能夠適用基于線(xiàn)性馬達(dá)或滾珠絲杠等的通常的滑塊載物臺(tái)機(jī)構(gòu)29、15。圖2中的 基板10的輸送方向是與紙面垂直的方向。將基板10輸送至接下來(lái)的輸送處理位置的基板 輸送機(jī)構(gòu)11通過(guò)使基板輸送構(gòu)件IlaAUlbA等下降，對(duì)于基板10，將基板10向接下來(lái)的作 業(yè)處理裝置的基板保持機(jī)構(gòu)11轉(zhuǎn)送(圖3-(4))。將基板10向基板保持機(jī)構(gòu)12上轉(zhuǎn)送的 基板輸送機(jī)構(gòu)11在下降的狀態(tài)下，進(jìn)行返回動(dòng)作至原料的處理作業(yè)裝置位置(圖3-(5))。 該返回動(dòng)作可以在各處理作業(yè)裝置的處理作業(yè)中進(jìn)行，因此，能夠在沒(méi)有時(shí)間損失的情況 下對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)率提高起到貢獻(xiàn)。另外，即使各處理作業(yè)裝置之間的長(zhǎng)度不同，也可以在處理作業(yè) 中進(jìn)行該返回動(dòng)作，因此，能夠在時(shí)間上帶有余量地在處理作業(yè)裝置之間以相同的時(shí)序進(jìn) 行，能夠?qū)⒒?0依次向下游的處理作業(yè)裝置位置連續(xù)輸送。在上述實(shí)施例的基板輸送方式中，能夠極少地抑制基于基板輸送機(jī)構(gòu)11的基板 10的上升·下降量，并且，能夠在各處理作業(yè)裝置之間以最短的直線(xiàn)進(jìn)行基板10的輸送。 由此，能夠與下述各基板10的基于相同時(shí)序的輸送相輔相成，使多個(gè)基板10在各處理作業(yè) 裝置之間以高速大致同時(shí)移動(dòng)。對(duì)于實(shí)際的基板輸送時(shí)的基于輸送機(jī)構(gòu)的基板上升量，需要考慮基板10的輸送 時(shí)的撓曲或翹起、基板保持機(jī)構(gòu)的保持面的平面度、相鄰的處理作業(yè)裝置之間的基板保持 機(jī)構(gòu)的高度對(duì)位精度、基板輸送機(jī)構(gòu)的上升輸送時(shí)的上升輸送時(shí)的高度位置精度等，以基 板10不與基板保持構(gòu)件12A表面接觸的范圍來(lái)確定。關(guān)于基板輸送機(jī)構(gòu)11的返回動(dòng)作時(shí) 的下降量，基板輸送構(gòu)件IlA當(dāng)然也以不與基板下表面接觸的范圍來(lái)確定。本實(shí)施例的輸 送時(shí)的自基板保持機(jī)構(gòu)的基板10的上升量為約1 2mm左右。但是，貼附了 TAB的基板10需要在輸送時(shí)，TAB前端不與基板保持構(gòu)件12A接觸 的程度的上升量，若TAB長(zhǎng)度為20mm左右，則需要使基板輸送構(gòu)件IlA相對(duì)于基板保持構(gòu) 件12A上升20mm左右。本實(shí)施例的基板輸送機(jī)構(gòu)11為在水平方向上滑動(dòng)輸送規(guī)定量的前后，通過(guò)基板 輸送機(jī)構(gòu)的沿垂直方向的必要最小限度的上升 下降量動(dòng)作，進(jìn)行基板保持機(jī)構(gòu)12和基板 10的分離或再保持的方式，因此，能夠減小抑制輸送動(dòng)作引起的基板姿勢(shì)的變動(dòng)或配置精 度的降低。本實(shí)施例中的基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA需要具有在保持及輸送的最 大尺寸的基板輸送時(shí)也支承基板輸送方向的基板全長(zhǎng)的長(zhǎng)度以上，并且為在保持及輸送的 最小尺寸的基板輸送中直行的方向上能夠配置至少一對(duì)基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu) 件IlA的寬度以下。作為其結(jié)果，本實(shí)施例的基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA為細(xì) 長(zhǎng)形狀。另外，在上述實(shí)施例中，將基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA表示為細(xì)長(zhǎng)形 狀，但與基板10的接觸面以一定間隔形成為凸?fàn)畹男问揭沧鳛榧?xì)長(zhǎng)的形狀。
進(jìn)而，在圖1 圖3中未示出，但在本實(shí)施例中，在基板保持構(gòu)件12A及基板輸送 構(gòu)件IlA的表面以一定的間距配置有吸引孔，利用負(fù)壓能夠?qū)⒒逦皆诨灞３謾C(jī)構(gòu)或 基板輸送機(jī)構(gòu)。由此，基板10牢固地固定于基板保持機(jī)構(gòu)12或基板輸送機(jī)構(gòu)11，因此，不 會(huì)發(fā)生基板處理作業(yè)中或基板輸送中的基板10的自基板保持機(jī)構(gòu)12或基板輸送機(jī)構(gòu)11 的偏移，能夠與分離了上述微小上升 下降動(dòng)作和水平輸送動(dòng)作的輸送方式相輔相成，實(shí)現(xiàn) 高精度的基板輸送。
但是，在上述真空吸附方式中，為了穩(wěn)定且可靠地的固定基板10，需要使基板10 與吸附口密接。但是，基板10具有翹起的情況居多，為了使具有翹起的基板10可靠地吸附 于真空吸附孔，需要將基板10壓緊于吸附孔。在本實(shí)施例的輸送機(jī)構(gòu)中，在向基板保持機(jī) 構(gòu)和基板輸送機(jī)構(gòu)的任一個(gè)的轉(zhuǎn)送時(shí)，也將轉(zhuǎn)送起源的吸引力以規(guī)定值保持地構(gòu)成 控制， 由此對(duì)于轉(zhuǎn)送目的地的吸附孔，將基板10壓緊于吸附孔，同時(shí)進(jìn)行轉(zhuǎn)送，從而實(shí)現(xiàn)可靠 穩(wěn) 定、高精度的基板轉(zhuǎn)送動(dòng)作。關(guān)于利用了真空吸附的轉(zhuǎn)送方式的詳細(xì)情況在后敘述。圖4是說(shuō)明顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面板模塊組裝裝置整體中 的顯示面板基板10的處理及輸送順序的圖。在圖4中，為了說(shuō)明，將處理動(dòng)作分為從步驟 1到步驟6來(lái)進(jìn)行記載。首先，在步驟1中，在各處理作業(yè)裝置的位置配置有基板10，基于源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè)) 的各處理作業(yè)裝置的處理結(jié)束的狀態(tài)下，柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置為繼續(xù)處理作 業(yè)中。此時(shí)，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)2中按箭頭的方向進(jìn)行對(duì)位。在步驟2中，通過(guò)源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各基板10下的基板輸送機(jī)構(gòu)11上升，以微小 量抬起基板10，將基板10輸送至下游的基板處理作業(yè)裝置位置，在所述位置使基板輸送機(jī) 構(gòu)11下降，將其向基板保持機(jī)構(gòu)12轉(zhuǎn)送。柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置為繼續(xù)處理 作業(yè)中。旋轉(zhuǎn)臺(tái)2從源側(cè)接受基板。此時(shí)，保持各基板10的基板輸送機(jī)構(gòu)11以相同的時(shí)序移動(dòng)，由此能夠在不使位于 各處理作業(yè)裝置位置的基板之間接觸的情況下，向接下來(lái)的處理作業(yè)裝置位置移動(dòng)。另外， 在本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置中，利用獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)各基板輸送機(jī)構(gòu)。在圖3 的實(shí)施例的裝置中，在同一線(xiàn)性滑塊上配置獨(dú)立的運(yùn)轉(zhuǎn)件，對(duì)其獨(dú)立控制。通過(guò)所述結(jié)構(gòu)， 在各處理作業(yè)裝置之間的距離不同的情況下，也能夠進(jìn)行以順暢的相同時(shí)序下的輸送。在 圖4的實(shí)施例中，正式壓接處理作業(yè)裝置的寬度比其他處理作業(yè)裝置大，但輸送距離變長(zhǎng)。 通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，適用本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置，由此能夠進(jìn)行各處理作業(yè) 裝置的以必要最小寬度的連結(jié)，因此，能夠提供總長(zhǎng)短的顯示面板模塊制造裝置。其次，在步驟3中，下降到源側(cè)(基板長(zhǎng)邊側(cè))的基板保持機(jī)構(gòu)12的下方的基板 輸送機(jī)構(gòu)11返回原來(lái)的處理作業(yè)裝置位置。在本實(shí)施例中，此時(shí)，基板10被基板保持機(jī)構(gòu) 12保持，被實(shí)施各處理作業(yè)，完全沒(méi)有基板輸送機(jī)構(gòu)11的返回動(dòng)作引起的處理時(shí)間損失。 向處理作業(yè)裝置4中投入新的基板，源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置開(kāi)始處理作業(yè)。柵 側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置為繼續(xù)處理作業(yè)中。在步驟4中，為了用旋轉(zhuǎn)臺(tái)2使基板10旋轉(zhuǎn)90度，并且，使作為接下來(lái)的基板處理 邊的基板短邊側(cè)(柵側(cè))的位置與下游的處理作業(yè)裝置的處理生產(chǎn)線(xiàn)對(duì)齊，如箭頭所示地 在與基板輸送方向垂直的方向上滑動(dòng)。源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置為處理作業(yè)中。 柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置也為繼續(xù)處理作業(yè)中。
步驟5及步驟S6對(duì)應(yīng)于源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置的步驟2及步驟3，在 步驟5中，柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置的基板輸送機(jī)構(gòu)11返回上游側(cè)，在步驟6中， 利用基板保持機(jī)構(gòu)12將基板10向柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置滑動(dòng)輸送。此時(shí)，位 于旋轉(zhuǎn)臺(tái)2的上游側(cè)的源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各處理作業(yè)裝置為繼續(xù)處理中。即，源側(cè)(長(zhǎng)邊 側(cè))的各處理作業(yè)裝置在步驟3中開(kāi)始處理，在步驟4到步驟6中繼續(xù)處理，在步驟1中結(jié) 束處理。另一方面，對(duì)位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下游側(cè)的基板短邊側(cè)(柵側(cè))的各處理作業(yè)裝置而言， 對(duì)于各處理作業(yè)，在步驟1中開(kāi)始處理，在步驟5中結(jié)束處理。這樣，位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下游側(cè) 的柵側(cè)(短邊側(cè))的各處理作業(yè)和位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上游側(cè)的源側(cè)(長(zhǎng)邊側(cè))的各處理作業(yè)的 處理的相位不同，但能夠進(jìn)行基本上相同的工序，能夠以相同的時(shí)間間隔進(jìn)行基板10的輸 送和處理，作為顯示面板模塊組裝裝置整體，能夠進(jìn)行連續(xù)的基板10的處理動(dòng)作。
顯示面板模塊組裝裝置是如上所述地連接非常多的處理作業(yè)裝置而構(gòu)成的裝置。 因此，基板10的轉(zhuǎn)送次數(shù)多，使用本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置，也難以在裝置全長(zhǎng) 上完全保障輸送的基板10的姿勢(shì)或配置精度。因此，為了保持在顯示面板模塊組裝裝置內(nèi) 移動(dòng)的基板10的姿勢(shì)或配置精度，有效的是在基板保持機(jī)構(gòu)12的一部分設(shè)置修正輸送過(guò) 來(lái)的基板10的姿勢(shì)或位置的機(jī)構(gòu)的方法。尤其，由于需要對(duì)基板端部施加高溫 高壓，因此，在正式壓接裝置位置中，基板位 置容易偏離。另外，在使基板10旋轉(zhuǎn)運(yùn)行的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中，也由于施加于基板10的離心力等， 基板位置的位置偏離的可能性高。因此，在圖1所示的本發(fā)明的顯示面板模塊組裝裝置結(jié) 構(gòu)中，有效的是在端子清潔裝置4、8及正式壓接裝置7位置的基板保持機(jī)構(gòu)設(shè)置用于修正 基板位置的機(jī)構(gòu)。圖5是用于說(shuō)明基于基板保持機(jī)構(gòu)12的基板位置修正方式的圖。在基板輸送方 向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu)件IlA之間形成有若干間隙17?；灞３謽?gòu)件 12A構(gòu)成為能夠在該間隙的范圍內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)。優(yōu)選對(duì)于運(yùn)轉(zhuǎn)方向，除了在基板面內(nèi)沿基板輸送方 向直行的方向、基板輸送方向、與基板面垂直的方向的三軸(圖中為X、Y、Z方向)之外，還 可以在基板面內(nèi)中的旋轉(zhuǎn)方向(圖中θ方向)上修正?；?0的位置修正動(dòng)作如下所述地進(jìn)行，即運(yùn)到基板保持機(jī)構(gòu)12的基板10在 用攝像機(jī)機(jī)構(gòu)(未圖示)等檢測(cè)基板端部的基準(zhǔn)標(biāo)記等后，利用基板位置修正量運(yùn)算控制 機(jī)構(gòu)(未圖示)，運(yùn)算基板10的修正動(dòng)作量，基于該運(yùn)算結(jié)果，運(yùn)轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件12Α。在 各處理作業(yè)裝置中，預(yù)先確定有作為基準(zhǔn)的基板10的配置位置基準(zhǔn)。使基板位置向處理作 業(yè)裝置的基準(zhǔn)配置位置修正移動(dòng)地進(jìn)行基板位置修正動(dòng)作。也可以不使基板保持機(jī)構(gòu)12，而使基板輸送機(jī)構(gòu)11具備基板10的位置修正機(jī)構(gòu)。 基板輸送機(jī)構(gòu)11在各處理作業(yè)裝置之間移動(dòng)，因此，附加了基板10的位置修正機(jī)構(gòu)的情況 下，所述機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。但是，在基板保持機(jī)構(gòu)側(cè)12不需要特別的運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)等，還具有 結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。需要考慮最終的配線(xiàn)或配管的處理等裝置整體結(jié)構(gòu)，確定使基板保 持機(jī)構(gòu)12具備基板10的位置修正機(jī)構(gòu)，還是使基板輸送機(jī)構(gòu)11具備基板10的位置修正 機(jī)構(gòu)。圖6是說(shuō)明在基板轉(zhuǎn)送時(shí)發(fā)生的施加于基板10的力或基板10的變形等的示意圖。 圖6的a)中示出從基板保持機(jī)構(gòu)12向基板輸送機(jī)構(gòu)11的轉(zhuǎn)送動(dòng)作時(shí)即基板輸送構(gòu)件上 升動(dòng)作時(shí)，圖6的b)中示出從基板輸送機(jī)構(gòu)11向基板保持機(jī)構(gòu)12的轉(zhuǎn)送動(dòng)作時(shí)即基板輸 送構(gòu)件下降動(dòng)作時(shí)。
如上所述，在基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA的表面以一定的間距配置有 吸引孔18、19。由此，基板10能夠吸附于基板保持機(jī)構(gòu)12或基板輸送機(jī)構(gòu)11，能夠防止輸 送動(dòng)作時(shí)的基板10的偏移等。進(jìn)而，通過(guò)吸附基板10的同時(shí)，進(jìn)行基板保持機(jī)構(gòu)12和基 板輸送機(jī)構(gòu)11之間的基板10的轉(zhuǎn)送動(dòng)作，從而產(chǎn)生基板10壓緊于吸附孔的力。由此，在 具有翹起的基板10中，也能夠可靠地實(shí)施轉(zhuǎn)送吸附動(dòng)作。但是，在以基板保持機(jī)構(gòu)12和基板輸送機(jī)構(gòu)11均吸附的狀態(tài)進(jìn)行的基板10的轉(zhuǎn) 送動(dòng)作中，在轉(zhuǎn)送時(shí)，發(fā)生如圖6所示的基板10的撓曲變形。若該轉(zhuǎn)送時(shí)的基板10的變形 變大，則成為轉(zhuǎn)送動(dòng)作引起的基板10位置偏移的要因。作為減小該轉(zhuǎn)送時(shí)的基板變形的方法，考慮減弱抑制轉(zhuǎn)送時(shí)的基板10的吸引壓力的方法。但是，為了防止基板處理作業(yè)時(shí)或基板輸送時(shí)的基板10偏移這一點(diǎn)和可靠地吸 附轉(zhuǎn)送具有翹起的基板10，吸引壓力需要確保某種程度的吸附力。作為減小轉(zhuǎn)送時(shí)的基板 變形的其他方法，有效的是減小基板10的基板保持機(jī)構(gòu)和基板輸送機(jī)構(gòu)的間隙的方法。經(jīng)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果，基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu)件IlA的間隙17為30 IOmm左 右的情況下，基板10的轉(zhuǎn)送偏移量為幾100 μ m左右，在間隙為IOmm以下的情況下，能夠 確保大致100 μ m以下的轉(zhuǎn)送偏移量。在本實(shí)施例中，將基板轉(zhuǎn)送時(shí)偏移量的目標(biāo)設(shè)為幾 IOym以下，將基板保持機(jī)構(gòu)12和基板輸送構(gòu)件IlA的間隙設(shè)為6mm。此時(shí)，基板保持機(jī)構(gòu) 的運(yùn)轉(zhuǎn)范圍為士5mm。正式壓接部或旋轉(zhuǎn)后的基板10的姿勢(shì)及配置精度偏差最大也為Imm 以下，因此，能夠充分地確保作為基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)的基板保持機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)范圍。圖7是用于說(shuō)明基于本實(shí)施例的基板保持機(jī)構(gòu)12及基板輸送機(jī)構(gòu)11的尺寸不同 的基板10的保持的圖。本實(shí)施例的基板保持機(jī)構(gòu)12及基板輸送機(jī)構(gòu)11中配置有多個(gè)在 基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件11A，在從小型基板的配置區(qū)域 20到大型基板的配置區(qū)域21之間能夠保持寬度寬的尺寸的基板10。在基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA的表面設(shè)置有用于在處理作業(yè)時(shí)或基板 輸送時(shí)吸附基板10的吸附孔18、19。在小型基板的情況下，基板10只與在基板保持構(gòu)件 12A及基板輸送構(gòu)件IlA設(shè)置的吸附孔的一部分接觸。在這種情況下，存在空氣從基板10不吸附的吸附孔大量流入，導(dǎo)致基板10吸附的 吸附孔的吸附力降低的問(wèn)題。因此，在本實(shí)施例中，如圖所示，將在基板保持構(gòu)件12A形成 的吸附孔18下的吸引腔室22分割為多個(gè)。從吸引泵(未圖示)等供給的負(fù)壓系統(tǒng)24通 過(guò)開(kāi)閉閥23a c，與分割的吸引腔室22a c連接。還有，根據(jù)輸送的基板尺寸，控制開(kāi) 閉閥23a c，選擇產(chǎn)生負(fù)壓的吸引腔室22a c，使其僅吸引基板10存在的區(qū)域的吸附孔 18。由此，能夠進(jìn)行僅在對(duì)應(yīng)于基板尺寸的區(qū)域中的基板吸附，因此，穩(wěn)定地得到基板10的 保持力。在圖7中，開(kāi)閉閥23設(shè)置于吸附孔正下方的吸引腔室，但優(yōu)選開(kāi)閉閥23盡量設(shè)置 于接近吸附孔18的吸引腔室22等。在經(jīng)由配管等，將開(kāi)閉閥設(shè)置于從吸附孔或吸引腔室 遠(yuǎn)離的位置的情況下，在閥切換后的吸附動(dòng)作中發(fā)生時(shí)間延遲，并且，由于配管中的壓力損 耗，導(dǎo)致發(fā)生吸引壓力容易變得不穩(wěn)定等故障。當(dāng)然，基板輸送構(gòu)件IlA側(cè)也需要形成為同 樣的分割吸引腔室結(jié)構(gòu)。圖8是用于說(shuō)明設(shè)想進(jìn)而大型的基板輸送的情況下的基板輸送機(jī)構(gòu)的圖。在輸送 超過(guò)50英寸的基板等超大型的基板10的情況下，僅利用配置多個(gè)本實(shí)施例的基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu)件IlA的方法的情況下，基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu)件IlA的數(shù)量變多，發(fā)生結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜的問(wèn)題。因此，如圖8所示，在接近基板10的處理邊的一側(cè)27的基板下表面配置包括多根 基板保持構(gòu)件12A和基板輸送構(gòu)件IlA的基板保持·輸送機(jī)構(gòu)，并且，在從基板10的處理 邊遠(yuǎn)離的一側(cè)28的基板下表面配置摩擦阻力少的低摩擦基板保持部26。作為摩擦阻力少 的基板保持方式，除了利用使用了氟系或硅系材料的摩擦阻力少的支承引導(dǎo)構(gòu)件等支承基 板10的一部分的方法或用多個(gè)旋轉(zhuǎn)球支承基板10的方法之外，還可以利用通過(guò)從多個(gè)微 小孔噴出空氣，使基板10浮起的空氣-浮上方式等。在這些方式中，從防止向基板下表面 的損失的觀點(diǎn)來(lái)說(shuō)，最有效的方式是不與基板下表面接觸的空氣-浮上方式。但是，作為基 板輸送時(shí)的不可預(yù)測(cè)的基板接觸等的對(duì)策，更優(yōu)選與空氣-浮上方式一同合用機(jī)械性低摩 擦基板保持機(jī)構(gòu)。即，在大型基板輸送時(shí)，對(duì)于基板10，用與圖7相同的基板輸送機(jī)構(gòu)11輸送接近其 處理邊的一側(cè)27，使從其處理邊遠(yuǎn)離的一側(cè)28在摩擦基板保持部26上例如空氣-浮上的 同時(shí)移動(dòng)。另外，在大型基板保持時(shí)，對(duì)于基板10，用與圖7相同的基板保持機(jī)構(gòu)12保持其 處理邊，用低摩擦基板保持部26保持從處理邊遠(yuǎn)離的一側(cè)28。另一方面，在小型基板輸送時(shí)，成為與圖7相同的基板保持 輸送機(jī)構(gòu)，因此，在圖 8所示的本實(shí)施例的基板保持·輸送結(jié)構(gòu)中，能夠應(yīng)對(duì)能夠適用于從小型基板的配置區(qū)域 20到大型基板的配置區(qū)域25的寬度寬的基板尺寸。作為本方式的問(wèn)題，僅保持超大型基板的基板端部側(cè)，對(duì)基板10高度加速的情況 下，在基板10產(chǎn)生大的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩，因此，可能發(fā)生基板10的輸送偏移。為了防止其，有效的 是在大型基板的重心部即基板中央附近設(shè)置輔助性基板輸送構(gòu)件和輔助性基板保持構(gòu)件 的方法。由此，能夠防止基板加速時(shí)的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的產(chǎn)生，因此，在大的基板也能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定 的高速輸送。若在輸送的最大基板的中心設(shè)置輔助性基板輸送構(gòu)件和輔助性基板保持構(gòu) 件，則當(dāng)然具有在比起小的基板輸送時(shí)也抑制旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的產(chǎn)生的效果。圖8的左半部分示出了在大型基板的重心部附近設(shè)置了輔助性基板輸送構(gòu)件IlS 和輔助性基板保持構(gòu)件12S的情況下的結(jié)構(gòu)例。圖9是用于說(shuō)明進(jìn)一步簡(jiǎn)略化本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置的機(jī)構(gòu)的方式 的圖。顯示面板模塊組裝裝置是連接多個(gè)處理作業(yè)裝置而構(gòu)成的裝置，需要在各處理作業(yè) 裝置位置使基板10停止。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1或2中記載的以往的基板輸送機(jī)構(gòu)的情況下， 需要與各處理作業(yè)裝置大致相同數(shù)量的基板輸送機(jī)構(gòu)。但是，在本發(fā)明中，如圖9所示，僅通過(guò)加長(zhǎng)基板輸送構(gòu)件IlaA的長(zhǎng)度，就能夠一 并輸送在多個(gè)處理作業(yè)裝置4、5a、5b配置的多個(gè)基板10。由此，能夠大幅度削減基板10的 輸送機(jī)構(gòu)的數(shù)量，能夠使輸送裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。在上述實(shí)施例的方式中，利用同一長(zhǎng)條基板輸送構(gòu)件，將多個(gè)基板10同時(shí)輸送一 個(gè)處理作業(yè)裝置量，因此，各基板10的移動(dòng)距離相同?；谠撻L(zhǎng)條基板輸送構(gòu)件的輸送僅 能夠適用于各處理作業(yè)裝置之間的基板配置位置的間隔一定的區(qū)域。另外，在圖9的實(shí)施例中，在4根基板保持構(gòu)件12A之間配置了 2根基板輸送構(gòu)件 IlA0在圖1 圖8的實(shí)施例中，在基板保持構(gòu)件12A之間全部中配置了基板輸送構(gòu)件11A， 如圖9所示，還可以間隔基板保持構(gòu)件12A或基板輸送構(gòu)件IlA的根數(shù)。需要與處理·輸送的基板尺寸或重量一同，考慮吸附固定基板10的力和在處理·輸送時(shí)施加于基板10的 力的關(guān)系等，確定基板輸送構(gòu)件IlA或保持構(gòu)件的根數(shù)或配置等。在本實(shí)施例中，通過(guò)配 置2根 4根左右的寬度約2cm的基板輸送構(gòu)件IlA或保持構(gòu)件，能夠得到充分地保持處 理·輸送時(shí)的基板10的條件。其次，說(shuō)明應(yīng)用了本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置及顯示面板模塊組裝裝置的 處理作業(yè)的高效率化或處理節(jié)拍的進(jìn)一步的高速化。顯示面板模塊組裝裝置連接進(jìn)行多個(gè)處理作業(yè)的裝置，連續(xù)對(duì)基板10進(jìn)行各種 處理作業(yè)。當(dāng)然，在各處理作業(yè)工序的處理時(shí)間中具有差異。時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝 置等待花費(fèi)時(shí)間的工序的處理作業(yè)裝置的結(jié)束，因此，基板10的輸送間隔因花費(fèi)時(shí)間的工 序的處理作業(yè)裝置受限，并且，在時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝置中，產(chǎn)生作業(yè)停止的時(shí)間。為了效率更良好地運(yùn)轉(zhuǎn)各處理作業(yè)裝置，考慮將花費(fèi)時(shí)間的工序的處理作業(yè)裝置 相對(duì)于時(shí)間短的工序的處理作業(yè)裝置數(shù)量多地連結(jié)，獲得各處理工序的節(jié)拍平衡。在先前 的圖9中，示出了連結(jié)了 2臺(tái)臨時(shí)壓接處理作業(yè)裝置的例子。但是，在該方式中，連結(jié)的處 理作業(yè)裝置的數(shù)量增加，顯示面板模塊組裝裝置整體的全長(zhǎng)變得非常長(zhǎng)。圖10是用于說(shuō)明解決所述問(wèn)題的方法的圖。在圖10的裝置中，在一個(gè)處理作業(yè) 裝置內(nèi)配置有多臺(tái)進(jìn)行實(shí)際進(jìn)行處理作業(yè)的處理單元30。通過(guò)設(shè)為這樣的方式，對(duì)于一個(gè) 處理作業(yè)裝置13即一張基板10，多個(gè)處理單元30能夠同時(shí)進(jìn)行作業(yè)，得到與各處理作業(yè)裝 置的作業(yè)效率提高的情況相同的效果。通常，在基板10的處理邊及處理部位設(shè)置有基準(zhǔn)標(biāo)記。圖11是表示在基板10設(shè) 置的基準(zhǔn)標(biāo)記的一例的圖。作為基準(zhǔn)標(biāo)記，與表示顯示面板端部的端部標(biāo)記31 —同，形成 有表示TAB或IC等的搭載位置的搭載位置標(biāo)記32等。在圖10所示的實(shí)施例的處理作業(yè)裝置中，多個(gè)處理單元30對(duì)一個(gè)基板10中的處 理邊的不同的部位同時(shí)進(jìn)行作業(yè)，因此，即使移動(dòng)基板側(cè)，調(diào)節(jié)處理位置的情況下，同時(shí)對(duì) 齊兩個(gè)處理單元30的處理位置是幾乎不可能的。因此，為了解決其，處理作業(yè)裝置內(nèi)的各 處理單元30設(shè)置有通過(guò)搭載位置標(biāo)記32識(shí)別各處理單元30每一個(gè)的應(yīng)處理的搭載位置， 獨(dú)立定位的功能。在15S圖12中示出用于實(shí)現(xiàn)這樣的功能的處理單元30的一實(shí)施例。處理單元 30具備檢測(cè)基板上的基準(zhǔn)標(biāo)記的CXD攝像機(jī)34;使處理單元整體向XYZ及θ方向移動(dòng) 的XYZ θ運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)33。處理單元30通過(guò)由CXD攝像機(jī)34檢測(cè)的基準(zhǔn)標(biāo)記31、32信息，利 用處理位置修正機(jī)構(gòu)35，算出處理單元的修正量，利用XYZ θ運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)33修正處理位置，由 此在基板上的規(guī)定的位置進(jìn)行ACF的貼附或TAB的搭載等處理動(dòng)作。在處理作業(yè)裝置內(nèi)設(shè) 置的各處理單元獨(dú)立地進(jìn)行上述基板處理位置的檢測(cè)及定位動(dòng)作，由此能夠?qū)τ谝粋€(gè)基板 10，同時(shí)處理多個(gè)處理位置。在圖12的實(shí)施例中，X軸運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)配置于最下方。這是因?yàn)橛捎谑荴軸為與基 板10的處理邊并行的方向的運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，因此，運(yùn)轉(zhuǎn)距離最長(zhǎng)。通過(guò)形成為這樣的結(jié)構(gòu)，X軸 導(dǎo)軌還可以在處理作業(yè)裝置具備的多個(gè)處理單元30中通用化。在該實(shí)施例中，出于使處理單元在基板的處理位置之間移動(dòng)的目的和進(jìn)行各處理 位置處的定位的目的兩者而使用X軸運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。為了同時(shí)實(shí)現(xiàn)高速的處理位置之間的移動(dòng) 和高精度的向處理位置的定位，除了使處理單元在基板的處理位置之間移動(dòng)的運(yùn)轉(zhuǎn)距離大的X軸之外，為了高精度的向處理位置的定位，還考慮將X軸的微調(diào)用運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與其他軸的 運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一同設(shè)置?，F(xiàn)實(shí)中需要多個(gè)χ軸，因此，需要考慮成本和必要精度而選擇結(jié)構(gòu)。在圖12的實(shí)施例中，公開(kāi)了在各處理單元30搭載CXD攝像機(jī)34的結(jié)構(gòu)，但還有 CXD攝像機(jī)34搭載于處理作業(yè)裝置13，由端部標(biāo)記31或預(yù)先確定的搭載位置標(biāo)記32等檢 測(cè)處理的基板整體的姿勢(shì)，變換為各處理單元30中的處理位置修正信息，進(jìn)行各處理單元 30的處理位置修正動(dòng)作的方法。在該方法的情況下，具有減少檢測(cè)基準(zhǔn)標(biāo)記的攝像機(jī)的數(shù) 量的優(yōu)點(diǎn)。但是，各處理單元30處理的各位置信息通過(guò)由一部分的標(biāo)記的運(yùn)算來(lái)算出，因 此，需要注意向需要幾μ m以下等非常高精度的定位精度的IC的搭載等中的適用。進(jìn)而，在多個(gè)處理單元30對(duì)一個(gè)基板10同時(shí)進(jìn)行作業(yè)的方式中，需要使處理單 元30以近距離運(yùn)行。尤其，在處理小的基板或處理邊的長(zhǎng)度短的基板10時(shí)，需要將處理單 元30以相鄰狀態(tài)進(jìn)行處理動(dòng)作。因此，在處理動(dòng)作中，處理單元30之間的干擾或碰撞等不 妥善情況發(fā)生的可能性高。因此，為了避免處理單元30之間的碰撞，控制對(duì)同一基板的處 理邊進(jìn)行處理作業(yè)的各處理單元30的動(dòng)作時(shí)序而驅(qū)動(dòng)地設(shè)置有處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī) 構(gòu)?；谔幚韱卧?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)的向各處理單元的基本控制步驟的一實(shí)施例如 下。(1)利用處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)向各處理單元30發(fā)送處理位置信息和移動(dòng)指令。 (2)各處理單元30在移動(dòng)結(jié)束后，將移動(dòng)結(jié)束向處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)報(bào)告。(3)處 理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)向各處理單元30發(fā)送處理作業(yè)開(kāi)始的指令。(4)各處理單元30 在規(guī)定的處理作業(yè)結(jié)束后，將作業(yè)結(jié)束向處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)報(bào)告。(5)處理單元?jiǎng)?作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)向各處理單元30發(fā)送向接下來(lái)的處理位置的移動(dòng)的指令。在各處理作業(yè) 或移動(dòng)動(dòng)作中，引起了異常的情況下，將其意思向處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)報(bào)告，由此處 理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)停止接下來(lái)的作業(yè)或移動(dòng)處理，從而能夠防止各處理單元的碰撞寸。如上所述，在各處理單元上，與基板標(biāo)記檢測(cè)及處理位置修正機(jī)構(gòu)一同具備各處 理單元的處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)，由此在處理作業(yè)裝置內(nèi)配置多個(gè)處理單元，從而能 夠提高一個(gè)顯示面板基板的處理效率。另外，如上所述，在本實(shí)施例中，配置了多臺(tái)在一個(gè)處理作業(yè)裝置13內(nèi)實(shí)際進(jìn)行 處理作業(yè)的處理單元機(jī)構(gòu)30。如上述說(shuō)明，通過(guò)形成為這樣的結(jié)構(gòu)，在一個(gè)處理作業(yè)裝置 13即多個(gè)處理單元機(jī)構(gòu)13能夠?qū)σ粡堬@示面板基板10同時(shí)進(jìn)行作業(yè)，得到與各處理作業(yè) 裝置13的作業(yè)效率提高的情況相同的效果。另外，本實(shí)施例的處理作業(yè)裝置內(nèi)的各處理單元30設(shè)置有由基板的基準(zhǔn)位置標(biāo) 記識(shí)別各處理單元30每一個(gè)的應(yīng)處理搭載位置，獨(dú)立定位的功能。因此，僅固定保持作業(yè) 處理裝置的顯示面板基板側(cè)也可。即，不需要如專(zhuān)利文獻(xiàn)1 3中公開(kāi)的進(jìn)行與處理單元 的相對(duì)位置修正的機(jī)構(gòu)。因此，能夠小型 簡(jiǎn)化顯示面板基板的輸送裝置，能夠適用所述公開(kāi)的包括直線(xiàn)輸 送·保持機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送方式。在適用了本實(shí)施例的情況下，在一個(gè)處理基板能夠同時(shí)作業(yè)的處理單元30的數(shù)量也有極限。尤其，在小型基板的情況下，為了用多個(gè)處理單元30處理，需要將處理單元構(gòu) 成為極其薄。但是，在各處理單元30的寬度上，存在機(jī)構(gòu)上的極限，需要某種程度的寬度(約150 200mm左右以上)，因此，用多個(gè)處理單元30能夠?qū)σ粋€(gè)處理邊進(jìn)行處理的基板 尺寸等也有極限。不能用多個(gè)處理單元30處理的基板條件由處理邊的像素部的長(zhǎng)度L和處理的TAB 的數(shù)量η及處理單元之間的能夠最大幅度接近距離W等來(lái)確定。在只能由一個(gè)處理單元30 處理的基板條件的情況下，即使在處理作業(yè)裝置搭載多個(gè)處理單元，也不能提高處理效率。
因此，在不能用多個(gè)處理單元同時(shí)處理的程度的小型基板的情況下，為了獲得各 處理工序的節(jié)拍平衡，需要進(jìn)行同一處理的多個(gè)基板處理位置，成為顯示面板模塊組裝裝 置全長(zhǎng)變長(zhǎng)的要因。尤其，在每一個(gè)處理作業(yè)裝置13進(jìn)行一張顯示面板基板的處理的以往 的裝置結(jié)構(gòu)中，各處理作業(yè)裝置需要處理的最大顯示面板基板的寬度以上的裝置寬度。因 此，在小型的基板處理時(shí)，導(dǎo)致成為必要以上長(zhǎng)度的裝置。通過(guò)組合了基于本實(shí)施例的薄型處理單元30的處理方式和在本實(shí)施例中說(shuō)明的 顯示面板基板的直線(xiàn)輸送方式的方式中，還能夠解決這些問(wèn)題，進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)寬度寬且 小型到大型基板能夠進(jìn)行高效的組裝的顯示面板模塊組裝裝置。其次，通過(guò)本發(fā)明的顯示面板基板輸送方式和處理單元組合的其他的方式，能夠 實(shí)現(xiàn)對(duì)寬度寬且小型到大型基板能夠進(jìn)行高效的組裝的顯示面板模塊組裝裝置。圖13是 用于說(shuō)明對(duì)本發(fā)明的小型到大型基板能夠進(jìn)行高效的組裝的顯示面板模塊組裝裝置的一 實(shí)施例的圖。本實(shí)施例的顯示面板基板輸送裝置是包括利用在基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng)的多個(gè)基 板保持構(gòu)件12Α構(gòu)成的基板保持機(jī)構(gòu)和利用還是在基板輸送方向細(xì)長(zhǎng)的多個(gè)基板輸送構(gòu) 件IlA構(gòu)成的基板輸送機(jī)構(gòu)的基板保持·輸送機(jī)構(gòu)。在本輸送方式中，具有通過(guò)改變輸送機(jī)構(gòu)的往返移動(dòng)距離，能夠自如地改變基板 10的輸送量的特長(zhǎng)。如圖13所示，通過(guò)將基板保持構(gòu)件12Α跨過(guò)多個(gè)基板停止位置而長(zhǎng)長(zhǎng)地構(gòu)成，能 夠改變基板輸送機(jī)構(gòu)11的往返移動(dòng)距離，由此能夠以各種間距輸送·保持基板10。進(jìn)而， 配置多臺(tái)進(jìn)行處理作業(yè)的處理單元30，并且，能夠跨過(guò)多個(gè)基板停止位置，在基板輸送方向 上移動(dòng)。換言之，在第9圖中，將基板輸送機(jī)構(gòu)11橫跨三個(gè)處理作業(yè)裝置13，加長(zhǎng)基板輸 送構(gòu)件IlaA的長(zhǎng)度，由此一并輸送在三個(gè)處理作業(yè)裝置配置的多個(gè)基板10。進(jìn)而，在圖13 中，基板保持構(gòu)件12Α也形成為橫跨所述三個(gè)處理作業(yè)裝置的長(zhǎng)度，由此基板輸送機(jī)構(gòu)11 能夠停止于任意的位置，在所述停止位置向基板保持機(jī)構(gòu)12轉(zhuǎn)送各基板10，從而形成為能 夠在任意的位置進(jìn)行處理作業(yè)的狀態(tài)。如圖13所示，通過(guò)橫跨全長(zhǎng)形成為上述結(jié)構(gòu)，能夠 橫跨全長(zhǎng)，在任意位置進(jìn)行處理作業(yè)。S卩，本實(shí)施例的裝置不是像以往一樣在預(yù)先確定的固定位置固定基板10而處理 的處理作業(yè)裝置，改變基板10的停止位置，并且，處理單元機(jī)構(gòu)向所述位置移動(dòng)，進(jìn)行各處 理作業(yè)。在本實(shí)施例的裝置中，如圖13所示，在大型基板處理時(shí)(圖13a)以對(duì)應(yīng)于大型基 板的輸送方向?qū)挾鹊妮斔蛯挾容斔突澹谛⌒突遢斔蜁r(shí)(圖13b)，以對(duì)應(yīng)于小型基板 的輸送方向?qū)挾鹊妮斔蛯挾容斔突?。在進(jìn)行大型基板的處理作業(yè)的情況下，通過(guò)對(duì)一個(gè) 基板進(jìn)行基于多個(gè)處理單元機(jī)構(gòu)的同時(shí)處理，能夠?qū)崿F(xiàn)高的處理效率。在小型基板的情況下，通過(guò)減小基板的輸送間距，增加基板的停止位置，從而能夠效率良好地配置多個(gè)處理單兀。若改變想法，則通過(guò)將多個(gè)處理單元30分別視為處理作業(yè)裝置13，分擔(dān)一張基板的作業(yè)，由此能夠在沒(méi)有必要以上加長(zhǎng)顯示面板模塊組裝裝置全長(zhǎng)的情況下，實(shí)現(xiàn)顯示面 板模塊組裝裝置。這樣，通過(guò)利用本實(shí)施例的薄型處理單元及其控制方式，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠?qū)π⌒偷?大型基板進(jìn)行高效的組裝的顯示面板模塊組裝裝置。在本實(shí)施例的方式中，沒(méi)有固定基板10的處理位置或分割的處理作業(yè)裝置的概 念，能夠在規(guī)定的區(qū)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)于基板尺寸的基板10的輸送間距和處理作業(yè)裝置，因 此，能夠?qū)π⌒突宓酱笮突暹M(jìn)行短的裝置全長(zhǎng)下的高效組裝作業(yè)。另外，多個(gè)處理單元 組合不同的處理作業(yè)也可。在圖13的實(shí)施例中，組合了 ACF貼附處理作業(yè)和TAB搭載處理 作業(yè)。能夠?qū)σ粋€(gè)基板10進(jìn)行處理的處理單元數(shù)由基板處理邊的像素部的長(zhǎng)度L和處 理的TAB的數(shù)量η及處理單元之間的能夠最大幅度接近距離W等來(lái)確定。為了實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)于 各種基板條件的最佳處理動(dòng)作，在本實(shí)施例的顯示面板模塊組裝裝置中，還需要具備用于 將上述參數(shù)作為輸入值，確定·切換輸送寬度或處理單元配置條件等裝置側(cè)的處理作業(yè)設(shè) 定條件的處理?xiàng)l件算出控制系統(tǒng)。本方式中的基板輸送機(jī)構(gòu)中的基板輸送構(gòu)件1IA通過(guò)采用圖9所示的同時(shí)輸送多 個(gè)基板10的長(zhǎng)的基板輸送構(gòu)件llaA，對(duì)各種輸送間距的應(yīng)對(duì)變得容易，并且，能夠進(jìn)行輸 送機(jī)構(gòu)的簡(jiǎn)化。但是，在這種情況下，如上所述，區(qū)間內(nèi)的基板保持位置之間的間距恒定。在 需要改變處理區(qū)間內(nèi)的基板保持位置之間的間距的情況下，需要使用組合了多個(gè)基板輸送 機(jī)構(gòu)的輸送方式。在基板處理位置可變區(qū)間內(nèi)，難以進(jìn)行輸送時(shí)的基板姿勢(shì)或配置位置的修正，在 輸送時(shí)的基板姿勢(shì)或配置位置上可能蓄積某種程度的誤差。通過(guò)使用圖12中說(shuō)明的處理 單元修正的方式來(lái)解決區(qū)間內(nèi)中的向基板10的處理位置自身。但是，顯示面板模塊組裝裝 置自身是組合了多個(gè)處理作業(yè)的長(zhǎng)的裝置。為了維持裝置整體中的基板輸送姿勢(shì)或配置精 度，優(yōu)選在基板處理位置可變區(qū)間前后，進(jìn)行圖5中說(shuō)明的基于基板位置修正方式的基板 位置修正。圖14及圖15是用于說(shuō)明作為本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示面板模塊組裝裝置及使用 了其的顯示面板模塊組裝裝置的控制方式的一實(shí)施例的圖。在圖14中，A-I A-6表示各處理作業(yè)裝置13，B-I B_4表示輸送在各處理作 業(yè)裝置前保持的基板10的基板輸送機(jī)構(gòu)11。用虛線(xiàn)示出的B-I B-4表示基板輸送后的 基板輸送機(jī)構(gòu)11的位置。如上所述，基板輸送機(jī)構(gòu)11在處理作業(yè)裝置13前直線(xiàn)地移動(dòng)， 但為了便于圖示，用虛線(xiàn)所示的輸送后的基板輸送機(jī)構(gòu)11位置圖示在輸送前的基板輸送 機(jī)構(gòu)11位置的下側(cè)。實(shí)際上，繪制在輸送前后的基板輸送機(jī)構(gòu)11的中心線(xiàn)一致。另外，基板輸送機(jī)構(gòu)B-I及B-3橫跨多個(gè)處理作業(yè)裝置13而配置，但這如圖9中 的說(shuō)明，表示同時(shí)輸送多個(gè)基板10的結(jié)構(gòu)的基板輸送機(jī)構(gòu)。利用獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)裝置43(M_1 M-4)驅(qū)動(dòng)各基板輸送機(jī)構(gòu)。作為驅(qū)動(dòng)裝置，可以 利用線(xiàn)性馬達(dá)或滾珠絲杠方式等通常的直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。圖14中的S-I S-4是檢測(cè)基板輸送機(jī)構(gòu)B-I B-4的坐標(biāo)位置等的傳感器42。本實(shí)施例的控制裝置在最上位配置有用于控制裝置系統(tǒng)整體的基本動(dòng)作時(shí)序的 系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)。在其下位配置有基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)及各 處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)。作為其他結(jié)構(gòu)，作為需要多個(gè)基板輸送動(dòng)作 的情況，由本發(fā)明的基板輸送機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離的多個(gè)部位構(gòu)成的情況等，基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu) 46 (BC-I)還具有多個(gè)情況的結(jié)構(gòu)。其次，說(shuō)明本控制系統(tǒng)中的基板輸送動(dòng)作控制信號(hào)。作為基本動(dòng)作，首先，系統(tǒng)動(dòng) 作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)向基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)發(fā)送輸送動(dòng)作開(kāi)始信號(hào)47。 基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)接受其，驅(qū)動(dòng)各基板輸送構(gòu)件IlA的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)施基板 輸送動(dòng)作。在基板10的向接下來(lái)的處理作業(yè)裝置的輸送結(jié)束后，基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu) 46 (BC-I)向系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)發(fā)送基板輸送結(jié)束信號(hào)48。接受基板輸送結(jié)束信號(hào)48，系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)向各處理作業(yè)裝置 控制機(jī)構(gòu)同時(shí)發(fā)送各處理開(kāi)始信號(hào)38。接受了各處理開(kāi)始信號(hào)38的各處理作業(yè)裝置控 制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)實(shí)施各規(guī)定的處理，在各處理結(jié)束后，各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu) 40 (AC-1 AC-6)向系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)發(fā)送各處理結(jié)束信號(hào)39。接受各處理結(jié)束信號(hào)39，系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)將接下來(lái)的輸送動(dòng)作開(kāi) 始信號(hào)47向基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)發(fā)送，通過(guò)對(duì)其反復(fù)進(jìn)行，連續(xù)控制基板輸送 處理動(dòng)作。除了上述以外，基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)或各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu) 40(AC-1 AC-6)還需要將異常發(fā)生時(shí)的錯(cuò)誤信息等向系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)發(fā) 送。由此，系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)能夠一并管理系統(tǒng)整體的錯(cuò)誤，并且，能夠進(jìn)行基 于其的系統(tǒng)控制。進(jìn)而，除了上述錯(cuò)誤信號(hào)以外，還需要在系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)和基板輸 送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)或各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)之間進(jìn)行若干信 號(hào)的發(fā)送接受。例如，基板輸送機(jī)構(gòu)B-I B-4需要在基板輸送后移動(dòng)至輸送基點(diǎn)位置， 并且，在各處理作業(yè)裝置A-I A-6中，也可以具有根據(jù)作業(yè)，在基板輸送時(shí)間中進(jìn)行的處 理。為了對(duì)應(yīng)這些處理，系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)需要接受基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu) 46 (BC-I)或各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)的動(dòng)作開(kāi)始準(zhǔn)備結(jié)束等信號(hào)后，發(fā) 送輸送動(dòng)作開(kāi)始信號(hào)47或各處理開(kāi)始信號(hào)38。這些通信信號(hào)的詳細(xì)情況依賴(lài)于各處理作業(yè)裝置的功能或動(dòng)作模式，因此省略， 但仔細(xì)考慮功能或動(dòng)作模式后確定當(dāng)然是至關(guān)重要的。在圖14中，在處理作業(yè)裝置13的A-3中，記載了 UC-I UC_3的組件。圖14的處理作業(yè)裝置13的A-3示出了在圖10所示的處理作業(yè)裝置內(nèi)具有多個(gè)處理單元30的結(jié) 構(gòu)。UC-I UC-3的組件是這些處理單元30的控制機(jī)構(gòu)49。在本實(shí)施例中，設(shè)想處理作業(yè) 裝置A-3在內(nèi)部配置有3臺(tái)處理單元30。這樣，在處理作業(yè)裝置內(nèi)具有多個(gè)處理單元30的結(jié)構(gòu)中，在各處理作業(yè)裝置控制 機(jī)構(gòu)40 (AC-3)的下位配置各處理單元機(jī)構(gòu)控制機(jī)構(gòu)49 (UC-1 UC-3)，利用各處理作業(yè)裝 置控制機(jī)構(gòu)40 (AC-3)，實(shí)施動(dòng)作時(shí)序等的控制。圖15是以示意性說(shuō)明所述圖14的實(shí)施例中的系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)、基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)、各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)之間的基本信 號(hào)的圖。接受系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)的基板輸送控制信號(hào)50的上升，基板輸送動(dòng) 作控制機(jī)構(gòu)46(BC-1)的基板輸送動(dòng)作信號(hào)52成為輸送中。在基板輸送結(jié)束后，接受基板 輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)的基板輸送動(dòng)作信號(hào)52的下降，降低系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu) 37 (MC)的基板輸送控制信號(hào)50，并且，提高處理裝置動(dòng)作控制信號(hào)51。各處理作業(yè)裝置控 制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6) 接受處理裝置動(dòng)作控制信號(hào)51的上升，開(kāi)始各處理作業(yè)動(dòng)作，提 高處理裝置動(dòng)作信號(hào)53。在各處理作業(yè)動(dòng)作結(jié)束后，各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)降低處理裝置動(dòng)作信號(hào)53。接受其，系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37降低處理裝置動(dòng)作控 制信號(hào)51，并且，為了接下來(lái)的基板輸送，提高基板輸送控制信號(hào)50。通過(guò)重復(fù)其，進(jìn)行連 續(xù)的處理動(dòng)作控制。在基板輸送機(jī)構(gòu)11或各處理作業(yè)裝置13發(fā)生了動(dòng)作不良的情況下，向系統(tǒng)動(dòng)作 時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37 (MC)發(fā)送錯(cuò)誤發(fā)生信號(hào)39。另外，還考慮系統(tǒng)動(dòng)作時(shí)序控制機(jī)構(gòu)37在基 板輸送機(jī)構(gòu)或各處理作業(yè)沒(méi)有于規(guī)定時(shí)間內(nèi)結(jié)束的情況下判斷為錯(cuò)誤等的方法。除了圖14、圖15中說(shuō)明的本發(fā)明的實(shí)施例以外，還考慮各處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu) 40(AC-1 AC-6)獨(dú)立地進(jìn)行基板輸送機(jī)構(gòu)11的各自的驅(qū)動(dòng)控制的方法。在這種情況下， 難以為了使多個(gè)處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40(AC-1 AC-6)控制度多個(gè)基板輸送機(jī)構(gòu)11，使 各基板輸送機(jī)構(gòu)11之間的移動(dòng)時(shí)序正確地一致，在相鄰的基板輸送機(jī)構(gòu)11之間可能發(fā)生 碰撞。作為防止其的方法，通過(guò)使用在將基板輸送機(jī)構(gòu)11向下游側(cè)移動(dòng)的情況下，從下 游側(cè)的基板輸送機(jī)構(gòu)11開(kāi)始依次移動(dòng)，在將基板輸送機(jī)構(gòu)11向上游側(cè)移動(dòng)的情況下，從上 游側(cè)的基板輸送機(jī)構(gòu)11開(kāi)始依次移動(dòng)的方法，能夠防止相鄰的基板輸送機(jī)構(gòu)11之間的碰 撞。即，該方法是在使基板輸送機(jī)構(gòu)11向下游側(cè)移動(dòng)的情況下，首先，控制最下游的基板輸 送機(jī)構(gòu)11的驅(qū)動(dòng)的處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40移動(dòng)控制最下游的基板輸送機(jī)構(gòu)11，將所述 移動(dòng)結(jié)束的信息向控制與上游側(cè)相鄰的基板輸送機(jī)構(gòu)11的處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40發(fā) 送，依次向上游側(cè)進(jìn)行基板輸送機(jī)構(gòu)11的移動(dòng)的方式。在使基板輸送機(jī)構(gòu)11向上游側(cè)移 動(dòng)的情況下也同樣，在這種情況下，通過(guò)最上游的基板輸送機(jī)構(gòu)11的驅(qū)動(dòng)控制，依次使上 游側(cè)的基板輸送機(jī)構(gòu)11移動(dòng)地向處理作業(yè)裝置控制機(jī)構(gòu)40轉(zhuǎn)送時(shí)序信息。在該方式中，基板輸送動(dòng)作控制機(jī)構(gòu)46 (BC-I)為無(wú)用，但在基板輸送機(jī)構(gòu)11的往 返移動(dòng)時(shí)間上產(chǎn)生等待時(shí)間。因此，基板輸送機(jī)構(gòu)11需要在上游側(cè)或下游側(cè)必須停止一定 時(shí)間。在系統(tǒng)整體的動(dòng)作上，需要嚴(yán)格地規(guī)定基板輸送機(jī)構(gòu)11停止于上游側(cè)或下游側(cè)的時(shí) 間的情況等，不適合本方式。最后，使用圖16至圖19說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置的其他實(shí)施例 結(jié)構(gòu)。在圖16中，基板保持機(jī)構(gòu)12和基板輸送機(jī)構(gòu)11包括相互對(duì)置的梳齒型輸送構(gòu) 件?；灞３謾C(jī)構(gòu)12在處理作業(yè)裝置13側(cè)即基板處理邊成一體(在圖中用A包圍的部 分)。由此，基板處理邊側(cè)能夠平滑地保持基板10?；遢斔蜋C(jī)構(gòu)11與此對(duì)置，在處理作 業(yè)裝置13的相反側(cè)即基板處理邊的相反側(cè)形成為一體的梳齒型結(jié)構(gòu)。圖18是表示圖16的顯示面板基板輸送裝置結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖(剖面B-B)的圖。如圖18所示，基板保持構(gòu)件12A是被基板處理邊側(cè)的一體部(圖16的A部)懸臂支承的構(gòu) 造體。另外，與此對(duì)置的基板輸送構(gòu)件IlA為被基板處理邊的相反側(cè)的一體部懸臂支承的 構(gòu)造體。其次，說(shuō)明圖16及圖18所示的作為本發(fā)明的實(shí)施例的顯示面板模塊組裝裝置的 本輸送動(dòng)作。在圖16中，基板輸送構(gòu)件IlA位于基板保持構(gòu)件12A的下方，此時(shí)處理的基板10 被基板保持構(gòu)件12A保持。但是，在圖16中，未示出基板10。在基板輸送時(shí)，首先，基板輸送構(gòu)件IlA利用基板輸送構(gòu)件升降機(jī)構(gòu)14向上下運(yùn) 轉(zhuǎn)。由此，將配置于基板保持構(gòu)件12A上的基板10向基板輸送構(gòu)件IlA上轉(zhuǎn)送?；遢斔?機(jī)構(gòu)11上升至作為梳齒部的所述基板輸送構(gòu)件IlA在沿輸送方向(X方向)移動(dòng)時(shí)不與基 板保持構(gòu)件12A碰撞的高度。圖18的虛線(xiàn)表示基板輸送構(gòu)件IlA的上升位置。然后，基板 輸送機(jī)構(gòu)11利用X方向的滑塊29的移動(dòng)，將基板10輸送至接下來(lái)的處理作業(yè)裝置位置。 基板輸送機(jī)構(gòu)IlA在移動(dòng)至接下來(lái)的處理作業(yè)裝置位置后下降，由此將保持的基板10向接 下來(lái)的作業(yè)位置的基板保持構(gòu)件12A轉(zhuǎn)送。基板輸送機(jī)構(gòu)11在將作為梳齒部的所述基板輸 送構(gòu)件IlA降低至不與基板保持構(gòu)件12A碰撞的高度后，在滑塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌15上移動(dòng)， 將位置返回移動(dòng)至原來(lái)的基板10接受位置。在圖18中，實(shí)線(xiàn)表示基板輸送構(gòu)件IlA的下 降位置。在這樣的結(jié)構(gòu)中，也能夠?qū)⒆鳛楸景l(fā)明的處理作業(yè)裝置之間的基板10從輸送起 點(diǎn)的基板保持構(gòu)件12A依次直線(xiàn)地移動(dòng)至輸送終點(diǎn)的基板保持構(gòu)件12A，并且，能夠使多個(gè) 基板10同步，同時(shí)輸送。然而，在本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，如上所述，需要作為梳齒部的基板輸送構(gòu)件IlA上升 或下降至避開(kāi)作為梳齒部的基板保持構(gòu)件12A的位置。另一方面，在作為先前的實(shí)施例的 圖1中，與基板保持構(gòu)件12A的高度無(wú)關(guān)地基板輸送構(gòu)件IlA使基板10從基板保持構(gòu)件 12A遠(yuǎn)離的程度的上下足以。從而，在圖16及圖18所示的本發(fā)明的實(shí)施例構(gòu)造中，與先前 的實(shí)施例結(jié)構(gòu)相比，在基板輸送前后，至少需要基板保持構(gòu)件12A的高度以上的大的沿上 下方向(Z方向)移動(dòng)基板輸送構(gòu)件11A。由此，存在基板10的移動(dòng)時(shí)間比圖1的實(shí)施例結(jié) 構(gòu)容易變長(zhǎng)的缺點(diǎn)。但是，在除此之外的點(diǎn)上，是滿(mǎn)足本發(fā)明的基本功能的一個(gè)結(jié)構(gòu)。相反，圖16及圖18所示的本發(fā)明的其他實(shí)施例結(jié)構(gòu)與圖1的實(shí)施例中所示的結(jié) 構(gòu)相比，具有能夠?qū)⒒灞３謾C(jī)構(gòu)12和基板輸送機(jī)構(gòu)11的機(jī)構(gòu)部配置于遠(yuǎn)離的位置等容 易使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。另外，在圖16及圖18所示的本發(fā)明的實(shí)施例結(jié)構(gòu)中，輸送的基板尺寸大的情況 下，作為基板保持構(gòu)件12A及基板輸送構(gòu)件IlA的單臂的梳齒部變長(zhǎng)。因此，為了保持梳齒 部的強(qiáng)度，需要增大梳齒部的Z方向的厚度。因此，在適用于幾十英寸以上的大型電視機(jī)用 基板10等情況下，不易說(shuō)成優(yōu)選的結(jié)構(gòu)。但是，例如，20英寸以下等比較小型的基板10的情況下，不需要將梳齒部增大為 那么大，因此，上下移動(dòng)的距離變小，結(jié)構(gòu)上變得簡(jiǎn)單，因此是本發(fā)明的有效的實(shí)施方案。圖17及圖19是說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置的又一其他的實(shí)施例結(jié) 構(gòu)的圖。圖19是表示圖17的顯示面板基板輸送裝置結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖(剖面B-B)的圖。在圖17及圖19的實(shí)施例結(jié)構(gòu)中，基板輸送機(jī)構(gòu)11的支承作為梳齒部的基板輸送構(gòu)件IlA的部分配置于基板保持機(jī)構(gòu)12之間。另外，基板保持機(jī)構(gòu)12形成為分割為兩個(gè) 配置于處理作業(yè)裝置13側(cè)相反側(cè)的結(jié)構(gòu)。圖17及圖19所示的本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置的實(shí)施例結(jié)構(gòu)中的基板輸送 動(dòng)作與在所述圖16及圖18中說(shuō)明的動(dòng)作基本上相同，因此省略。通過(guò)采用圖17及圖19所示的本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置的實(shí)施例結(jié)構(gòu)，能 夠縮短基板輸送構(gòu)件IlA和基板保持構(gòu)件12A的梳齒部的懸臂部長(zhǎng)度。即，能夠適用厚度 比較薄的梳子結(jié)構(gòu)，能夠極短抑制基板輸送時(shí)的上下動(dòng)作的移動(dòng)距離。即，該實(shí)施例結(jié)構(gòu)與 圖16及圖18所示的實(shí)施例相比為容易應(yīng)對(duì)大的基板的構(gòu)造。但是，當(dāng)然，結(jié)構(gòu)比圖16及 圖18的實(shí)施例結(jié)構(gòu)復(fù)雜。通過(guò)使用如上所述的本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置，能夠?qū)τ谛⌒偷酱笮突?的寬度寬的尺寸的基板，以高精度且高速輸送基板。進(jìn)而，能夠進(jìn)行對(duì)應(yīng)于基板尺寸的撓性基板保持·輸送動(dòng)作，在本發(fā)明的顯示面板 模塊組裝裝置中，能夠?qū)?yīng)于基板尺寸，實(shí)現(xiàn)需要各處理機(jī)構(gòu)的最小寬度下的基板的連續(xù)處理。通過(guò)本發(fā)明，能夠提供能夠輸送及組裝處理小型到大型基板的寬度寬的尺寸的基 板，進(jìn)而，還能夠縮短裝置全長(zhǎng)的顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面板模塊組裝
直ο其次，使用圖20 圖38說(shuō)明在顯示面板模塊組裝裝置中穩(wěn)定地轉(zhuǎn)送輸送基板的 本發(fā)明的實(shí)施方式。圖20是特別表示尤其與輸送面板的機(jī)構(gòu)關(guān)聯(lián)的部分，關(guān)于有關(guān)電路系統(tǒng)、控制系 統(tǒng)硬件/軟件、及在顯示面板基板101的外周附近組裝的產(chǎn)品電路基板的供給部或組裝部 等的詳細(xì)部分沒(méi)有圖示。作為與輸送較大關(guān)聯(lián)的機(jī)構(gòu)，包括輸送系統(tǒng)和吸氣系統(tǒng)。在吸引系統(tǒng)中有吸引泵 142，從吸引泵142分別向基板輸送構(gòu)件102的空氣配管142a、及向基板保持構(gòu)件103的空 氣配管142b連接。進(jìn)而，在所述配管分別設(shè)置有進(jìn)行空氣的開(kāi)閉的開(kāi)閉閥143。還有，利用 吸引切換控制器144，控制開(kāi)閉閥143的開(kāi)閉，在控制器到閥之間連接有信號(hào)線(xiàn)。另一方面，作為保持/輸送面板的部分即輸送系統(tǒng)設(shè)備包括保持顯示面板基板 101而輸送的基板輸送構(gòu)件102 ；固定保持利用基板輸送構(gòu)件102移動(dòng)的顯示面板基板101 的基板保持構(gòu)件103，在各自的構(gòu)件設(shè)置有用于吸附顯示面板基板的基板輸送構(gòu)件表面的 吸附孔107、基板保持構(gòu)件表面的吸附孔8。另外，對(duì)于所述輸送系統(tǒng)設(shè)備，利用基板輸送部 控制器145來(lái)控制輸送動(dòng)作。還有，在向基板輸送構(gòu)件102的配管142a中，為了不發(fā)生對(duì) 基板輸送構(gòu)件的移動(dòng)距離的配管長(zhǎng)度的不足、結(jié)果配管的偏移或向配管的應(yīng)力，圖中作為 一例設(shè)置有伸縮式配管142c，形成為即使基板輸送構(gòu)件移動(dòng)，對(duì)配管也完全不會(huì)產(chǎn)生影響 的機(jī)構(gòu)。另外，控制基板輸送構(gòu)件的輸送動(dòng)作的基板輸送部控制器145利用信號(hào)線(xiàn)與控制 吸引閥的開(kāi)閉的控制器即吸引切換控制器144連接，使輸送動(dòng)作和吸引力的切換時(shí)序?qū)?yīng)。圖20-1是表示將顯示面板基板101從作為當(dāng)前位置的顯示面板輸送前20-la向 下游輸送輸送動(dòng)作一次量程度時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)的流程圖。
首先，顯示面板基板101位于作為當(dāng)前位置的[20-la]。其次，基板輸送構(gòu)件成為從下方開(kāi)始上升的[20-lb]，在基板輸送構(gòu)件到達(dá)顯示面板基板的位置時(shí)解除基板保持構(gòu) 件的吸附，同時(shí)成為開(kāi)始基板輸送構(gòu)件的吸引的[20-lc]。還有，基板輸送部在吸附了顯 示面板基板的狀態(tài)下，從基板保持部進(jìn)一步上升([20-ld])，基板輸送構(gòu)件向目的方向水平 輸送([20-le])，將顯示面板基板水平輸送，送至目標(biāo)輸送位置([20-lf])。在目的位置， 基板輸送構(gòu)件102在吸附了顯示面板的狀態(tài)下開(kāi)始下降([20-lg])，在顯示面板基板到達(dá) 了基板保持構(gòu)件的位置時(shí)，解除基板輸送構(gòu)件的吸引，同時(shí)開(kāi)始基板保持構(gòu)件103的吸引 ([20-lh])。進(jìn)而，基板輸送構(gòu)件比基板保持構(gòu)件下降([20-1 i])，顯示面板基板在目的輸送 位置被基板保持構(gòu)件吸附固定，結(jié)束一次輸送循環(huán)([20-lj])。以后，通過(guò)依次重復(fù)所述循 環(huán)，進(jìn)行顯示面板基板的反復(fù)輸送至達(dá)到目的距離。進(jìn)而，用圖20-2詳細(xì)說(shuō)明作為實(shí)施例的顯示面板基板輸送。圖20-2的顯示面板模塊組裝裝置是將顯示面板基板101從圖20_2中左方向右方 依次輸送的同時(shí)，對(duì)基板的周邊部進(jìn)行各種處理作業(yè)，進(jìn)行IC或TAB等安裝組裝作業(yè)的裝 置。圖20-2上級(jí)a表示大型基板輸送及處理作業(yè)時(shí)的狀態(tài)。從顯示面板基板IOla的位置 依次向顯示面板基板IOlb的位置、顯示面板基板IOlc的位置移動(dòng)。在顯示面板基板IOla 的位置中，利用處理單元116a和處理單元116b接受處理作業(yè)。在顯示面板基板IOlb的位 置中，利用處理單元116c和處理單元116d接受處理作業(yè)。另外，處理單元116a、處理單元 116b、處理單元116c、處理單元116d等處理單元116具有能夠在滑塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌106上 移動(dòng)的移動(dòng)裝置。圖20-2下級(jí)b)表示小型基板輸送及處理作業(yè)時(shí)的狀態(tài)。從顯示面板基 板IOld的位置依次向顯示面板基板IOle的位置、顯示面板基板IOlf的位置、顯示面板基 板IOlg的位置、顯示面板基板IOlh的位置、顯示面板基板IOli的位置移動(dòng)。在顯示面板 基板IOld的位置中，利用處理單元116a接受處理作業(yè)。在顯示面板基板IOle的位置中， 利用處理單元116b接受處理作業(yè)。在顯示面板基板IOlf的位置中，利用處理單元116c接 受處理作業(yè)。在顯示面板基板IOlg的位置中，利用處理單元116d接受處理作業(yè)。另外，處 理單元116a、處理單元116b、處理單元116c、處理單元116d等處理單元116具有能夠在滑 塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌106上移動(dòng)的移動(dòng)裝置。能夠使處理單元116在滑塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌106上 移動(dòng)的移動(dòng)裝置配備于滑塊載物臺(tái)也可。在圖20-2中，首先，示出了利用基板長(zhǎng)邊側(cè)(源側(cè))的處理作業(yè)裝置組即處理單 元116a到處理單元116d，進(jìn)行基板長(zhǎng)邊側(cè)(源側(cè))的處理的樣子。然后，雖未圖示，但利用 旋轉(zhuǎn)裝置使基板旋轉(zhuǎn)，其次，進(jìn)行基板短邊側(cè)(柵側(cè))的處理作業(yè)。另外，將基板101向進(jìn)行這些安裝的單元輸送的輸送機(jī)構(gòu)如圖20-2中所示，以基 板輸送構(gòu)件102和基板保持構(gòu)件103示出。在基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件103具 有在基板輸送方向上直行且并列配置多個(gè)的構(gòu)造。還有，形成為將多個(gè)基板輸送構(gòu)件102 并列配置于所述基板保持構(gòu)件之間的構(gòu)造。另外，并列配置的基板輸送構(gòu)件一體地構(gòu)成，形成為使在基板保持構(gòu)件103保持 的顯示面板基板101上升至接下來(lái)的處理作業(yè)裝置位置后，水平移動(dòng)而輸送的機(jī)構(gòu)。圖21是表示所述基板輸送部分的詳細(xì)的結(jié)構(gòu)的俯視圖和其A-A剖面圖。圖22中 所述部分的剖面示出輸送時(shí)的輸送部分的上升下降的樣子。進(jìn)而，如圖21所示，在保持構(gòu) 件及輸送構(gòu)件的表面以一定的間距配置吸引孔，利用負(fù)壓能夠?qū)@示面板吸附于基板保持構(gòu)件或基板輸送構(gòu)件。另外，在圖21中，為了圖示配置于其下方的基板輸送構(gòu)件102或基板保持構(gòu)件103，小型基板的配置區(qū)域9、大型基板的配置區(qū)域110截?cái)嘁徊糠?，并且，用虛線(xiàn)示出外形。 在基板輸送構(gòu)件102或基板保持構(gòu)件103的基板側(cè)設(shè)置有基板輸送構(gòu)件表面的吸附孔107、 基板保持構(gòu)件表面的吸引孔108。在用各處理作業(yè)裝置對(duì)基板的處理動(dòng)作結(jié)束后，使基板輸 送構(gòu)件102上升，由此將在基板保持構(gòu)件103上配置的顯示面板基板以微小量抬起，然后， 沿基板保持構(gòu)件103的間隙方向滑動(dòng)，從而成為將顯示面板基板輸送至接下來(lái)的作業(yè)處理 裝置的機(jī)構(gòu)。作為使基板輸送構(gòu)件滑動(dòng)的滑動(dòng)裝置，雖未圖示，但可以適用基于線(xiàn)性馬達(dá)或 滾珠絲杠等的通常的滑塊載物臺(tái)機(jī)構(gòu)。另外，如圖21下級(jí)的A-A剖面圖所示，設(shè)置有吸附 孔下的吸引腔室111、開(kāi)閉閥112、從吸引泵等供給的負(fù)壓系統(tǒng)113?；遢斔蜆?gòu)件102在基板保持構(gòu)件103的間隙配置有多根基板輸送構(gòu)件，這些成 一體，所述基板輸送構(gòu)件102相對(duì)于所述基板保持構(gòu)件103相對(duì)地上升及下降。圖22中的基板的輸送方向?yàn)榕c紙面垂直的方向。將基板輸送至接下來(lái)的輸送處 理位置的基板輸送構(gòu)件102利用能夠升降基板輸送構(gòu)件102的基板輸送構(gòu)件升降裝置105 來(lái)下降。基板輸送構(gòu)件升降裝置105在滑塊載物臺(tái)的導(dǎo)軌106上構(gòu)成于滑塊載物臺(tái)的滑塊 115上，由此能夠?qū)τ陲@示面板基板101向接下來(lái)的處理作業(yè)裝置4的基板保持構(gòu)件103上 轉(zhuǎn)送基板地移動(dòng)。圖3左側(cè)表示各處理作業(yè)時(shí)的位置關(guān)系，圖22右側(cè)表示基板輸送時(shí)的位 置關(guān)系。將顯示面板基板101向基板保持構(gòu)件103上轉(zhuǎn)送的基板輸送構(gòu)件102在下降的狀 態(tài)下，進(jìn)行返回動(dòng)作至原來(lái)的處理作業(yè)裝置位置。通過(guò)在相鄰的處理作業(yè)裝置104之間同 步進(jìn)行該動(dòng)作，顯示面板基板101能夠依次向下游的處理作業(yè)裝置104的位置進(jìn)行連續(xù)輸 送。還有，在基板輸送構(gòu)件102中，在水平方向上滑動(dòng)輸送規(guī)定量的前后，在基板輸送 構(gòu)件102的沿垂直方向的上升·下降動(dòng)作時(shí)，需要進(jìn)行基板保持構(gòu)件103和顯示面板基板 101的分離或再保持。以后說(shuō)明在輸送中所述吸附的切換時(shí)序和輸送動(dòng)作的時(shí)序。圖23的a)表示從基板輸送構(gòu)件102向基板保持構(gòu)件103的顯示面板基板101的 轉(zhuǎn)送，圖23的b)表示從基板保持構(gòu)件向基板輸送構(gòu)件102的顯示面板基板101的轉(zhuǎn)送。若 在顯示面板基板101的轉(zhuǎn)送時(shí)，在基板輸送構(gòu)件表面的吸引孔7或基板保持構(gòu)件表面的吸 弓丨孔108中殘留轉(zhuǎn)送側(cè)的吸引力，則如圖23所示，應(yīng)力施加于顯示面板基板101，因此，其結(jié) 果，發(fā)生顯示面板基板101的破裂或吸附痕跡殘留等問(wèn)題。圖24是表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，進(jìn)行 顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，最理想的固定部和輸送部的吸附力變化及轉(zhuǎn)送動(dòng)作的時(shí)序。還有， 在圖24中，示出顯示面板基板的位置首先位于固定部，其次，可動(dòng)部上升而接受，然后，可 動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，下降到輸送目的地的新的固定部，結(jié) 束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。其次，進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的 上升位置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前的說(shuō)明，在圖中顯示面板最初吸附保持 于固定部。其次，為了將顯示面板向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送，減弱用固定部保持顯示面板的吸附力。同 時(shí)為了從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力。對(duì)應(yīng)于固定部和可動(dòng)部的吸引力這兩者變?nèi)?時(shí)的時(shí)序118，將可動(dòng)部成為與固定部相同的高度地從下降位置上升，上升至面板轉(zhuǎn)送位置，即，在符號(hào)118的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩者吸附保持顯示面板。進(jìn)而，通過(guò)可動(dòng)部繼續(xù)上升，使顯示面板從固定部疏遠(yuǎn)，在此階段中，可動(dòng)部的吸引力上升至強(qiáng)水平，因此， 即使進(jìn)行水平輸送，顯示面板也不引起位置偏移。另一方面，固定部的吸引力降低即可以在 不需要吸附的部位不使用無(wú)用的吸引空氣。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部，使可動(dòng)部下降，但此次與先前的說(shuō)明相反地，減弱保持面板的可動(dòng)部的吸附力， 同時(shí)為了從可動(dòng)部接受顯示面板，提高固定部的吸引力。還有，對(duì)應(yīng)于可動(dòng)部和固定部的吸 引力這兩者變?nèi)鯐r(shí)的時(shí)序119，使可動(dòng)部下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。 艮口，在符號(hào)119的時(shí)序中，對(duì)于顯示面板，用可動(dòng)部和固定部這兩方來(lái)吸附保持顯示面板。 進(jìn)而，可動(dòng)部繼續(xù)下降，由此顯示面板留在固定部，使顯示面板從可動(dòng)部疏遠(yuǎn)。還有，在那個(gè) 階段中，固定部的吸引力上升至強(qiáng)水平，牢固地吸附固定顯示面板。還有，降低結(jié)束了輸送 的可動(dòng)部的吸引力，從而可以在不需要吸附的部位不使用無(wú)用的吸引空氣。這樣，進(jìn)行一次 顯示面板輸送。通過(guò)連續(xù)進(jìn)行該動(dòng)作，從上游向下游進(jìn)行顯示面板的連續(xù)輸送。在本實(shí)施例中，在固定部和可動(dòng)部的吸引壓力正好成為弱的時(shí)序下，從固定部向 可動(dòng)部或從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板，因此，能夠期待如下效果，S卩由于殘留有吸附力的 效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱效果，在轉(zhuǎn)送時(shí)，將面板從吸附墊剝離時(shí)，面板 破裂等問(wèn)題也不發(fā)生。在后說(shuō)明的圖34的方式為最佳方式，但若能夠使時(shí)序?qū)?yīng)，則為第 二最佳方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板側(cè)的吸引壓力的時(shí)序延遲時(shí)的例子。圖25表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖25中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力，另外，使其從下降位置上升。但 是，此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力仍然為強(qiáng)的狀態(tài)，那時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引 力的關(guān)系為120。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升， 使其上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在120的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面板。 進(jìn)而，然后，接受了顯示面板的可動(dòng)部的吸引力上升至強(qiáng)水平，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力 強(qiáng)的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在121的時(shí)序 中，可動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，固定部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板， 另外，在可動(dòng)部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板。在雙方的情況 下，均由于吸附力很強(qiáng)地殘留在轉(zhuǎn)送側(cè)的效果，能夠進(jìn)一步期待即使發(fā)生振動(dòng)等擺動(dòng)，也與 圖24的實(shí)施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。若能夠組合利用吸附的殘留壓力，使面板的破裂或彎曲不發(fā)生的另種用途機(jī)構(gòu)，則為最佳方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序提前時(shí)的例子。圖26表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間提前時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖26中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力，另外，使其從下降位置上升。但 是，此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力已經(jīng)弱，該時(shí)刻的固定部和可動(dòng)部的吸引力的關(guān) 系為122。還有，對(duì)應(yīng)于其 時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升，使其上 升至面板轉(zhuǎn)送位置，在122的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面板。進(jìn)而， 然后，接受了顯示面板的固定部的吸引力上升至強(qiáng)水平，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力 已經(jīng)弱的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面 板轉(zhuǎn)送位置。即，在123的時(shí) 序中，可動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，固定部的吸引壓力已經(jīng)弱的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板， 另外，在可動(dòng)部的吸引壓力已經(jīng)弱的時(shí)序中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板。在雙方的情況 下，均由于在轉(zhuǎn)送側(cè)沒(méi)有吸附力的效果，與圖24的實(shí)施例相比，能夠進(jìn)一步期待在面板不 引發(fā)破裂或彎曲的效果。若能夠組合在轉(zhuǎn)送時(shí)不發(fā)生面板的位置偏移的另種用途機(jī)構(gòu)，則 為最佳方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序延遲，且減弱被轉(zhuǎn)送的一側(cè)的吸 引壓力的時(shí)序提前的例子。圖27表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖27中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，使可動(dòng)部從下降位置上升。但是，此時(shí)保持顯示面板的 固定部的吸引力仍然強(qiáng)，另外，可動(dòng)部的吸引力為仍然強(qiáng)的原來(lái)狀態(tài)。該情況的固定部和可 動(dòng)部的吸引力的關(guān)系為124。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下 降位置上升，使其上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在124的時(shí)序中，僅用固定部吸附保持顯示面板。 進(jìn)而，然后，使接受了顯示面板的可動(dòng)部的吸引力上升，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力強(qiáng)的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在125的時(shí)序 中，可動(dòng)部吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，固定部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板 另外，在可動(dòng)部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板。在雙方的情況 下，均由于吸附力很強(qiáng)地殘留在轉(zhuǎn)送側(cè)的效果，能夠進(jìn)一步期待即使發(fā)生振動(dòng)等，也與圖24 的實(shí)施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。若能夠組合利用吸附的殘留壓力，使面板的 破裂或彎曲不發(fā)生的另種用途機(jī)構(gòu)、在轉(zhuǎn)送的一側(cè)防止面板的位置偏移的機(jī)構(gòu)，則為最佳 方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序提前，且減弱被轉(zhuǎn)送的一側(cè)的 吸引壓力的時(shí)序延遲的例子。圖28表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖28中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，使可動(dòng)部從下降位置上升。但是，此時(shí)保持顯示面板的 固定部的吸引力已經(jīng)弱，另外，可動(dòng)部的吸引力已經(jīng)強(qiáng)。這時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引力的 關(guān)系為126。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升，使其 上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在126的時(shí)序中，僅用可動(dòng)部吸附保持顯示面板。但是，由于固定部 的吸引為已經(jīng)弱的狀態(tài)，因此，顯示面板從固定部引起位置偏移的同時(shí)疏遠(yuǎn)。其結(jié)果，向可 動(dòng)部轉(zhuǎn)送的顯示面板發(fā)生位置偏移的可能性變高。進(jìn)而，然后，接受了顯示面板的可動(dòng)部的 吸引力已經(jīng)強(qiáng)，因此，保持其原來(lái)狀態(tài)，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力 已經(jīng)弱的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。在本實(shí)施例中，在固定部的吸引壓力已經(jīng)弱的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面 板，另外，在可動(dòng)部的吸引壓力已經(jīng)弱的時(shí)序127中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板。在雙方 的情況下，均由于在轉(zhuǎn)送側(cè)沒(méi)有吸附力的效果，與圖24的實(shí)施例相比，能夠進(jìn)一步期待在 面板不引發(fā)破裂或彎曲的效果。若能夠組合在轉(zhuǎn)送時(shí)不發(fā)生面板的位置偏移的另種用途機(jī) 構(gòu)，則為最佳方式。其次，說(shuō)明對(duì)于圖24的實(shí)施例，將轉(zhuǎn)送的一側(cè)的吸引壓力不設(shè)為零而進(jìn)行轉(zhuǎn)送的 例子。圖29示出了在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，進(jìn)行 顯示面板基板的轉(zhuǎn)送128、129時(shí)，對(duì)于所述圖24所示的最理想的固定部和輸送部的吸附力 變化及轉(zhuǎn)送動(dòng)作的時(shí)序，不將吸引水平設(shè)為零作為特征的狀態(tài)。在本實(shí)施例中，在固定部和可動(dòng)部的吸引壓力正好成為弱的時(shí)序中，從固定部向 可動(dòng)部或從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板，因此，能夠期待如下效果，S卩由于殘留有吸附力的效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱效果，在轉(zhuǎn)送時(shí)，將面板從吸附墊剝離時(shí)，面板 破裂等問(wèn)題也不發(fā)生。在后說(shuō)明的圖34的方式為最佳方式，但能夠使時(shí)序?qū)?yīng)，不將吸引 空氣時(shí)常設(shè)為零，因此在產(chǎn)生吸引壓力的泵的容量大或使用的吸引空氣的量少的情況下為
第二最佳方式。
其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板側(cè)的吸引壓力的時(shí)序提前時(shí)的例子。圖30表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間提前時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖30中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了從固定部接受顯示面板，使可動(dòng)部從下降位置上升。但是，此時(shí)保持顯示面板的固 定部的吸引力已經(jīng)弱，另外，可動(dòng)部的吸引力已經(jīng)弱。此時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引力的關(guān) 系為130。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升，使其上 升至面板轉(zhuǎn)送位置，在130的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部吸附保持顯示面板。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。保持面板的可動(dòng)部、及接受面板的固定部均為吸附力已經(jīng)弱的 狀態(tài)，使可動(dòng)部下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在131的時(shí)序中，可 動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板?？蓜?dòng)部在下降時(shí)已經(jīng)失去保持力，因此，在向固定 部轉(zhuǎn)送時(shí)，順暢地進(jìn)行轉(zhuǎn)送。在本實(shí)施例中，在固定部的吸引壓力弱的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板、或 從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板，因此，能夠期待由于吸附力殘留的效果，不引起面板的位置偏 移，且由于吸引弱的效果，在轉(zhuǎn)送時(shí)從吸附墊剝離面板時(shí)，面板破裂等問(wèn)題也不發(fā)生的非常 良好的效果。在后說(shuō)明的圖34的方式為最佳方式，但不將吸引空氣時(shí)常設(shè)為零，因此在產(chǎn) 生吸引壓力的泵的容量大或使用的吸引空氣的量少的情況下為第二最佳方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序延遲，且吸引壓力為弱的模式 的例子。圖31表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖31中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力，另外，使其從下降位置上升。但 是，此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力為仍然強(qiáng)的狀態(tài)，此時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引 力的關(guān)系為123。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升， 使其上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在132的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面板。但是，若可動(dòng)部以原來(lái)狀態(tài)繼續(xù)上升，則固定部的吸引為仍然強(qiáng)的狀態(tài)，因此，顯示面板從 固定部被不合理地疏遠(yuǎn)。其結(jié)果，在顯示面板可能發(fā)生破裂或彎曲。進(jìn)而，然后，使接受了 顯示面板的固定部的吸引力上升為強(qiáng)水平，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地，可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附 力強(qiáng)的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在133的時(shí)序 中，可動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，固定部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板， 另外，在可動(dòng)部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板。在雙方的情況 下，均由于吸附力很強(qiáng)地殘留在轉(zhuǎn)送側(cè)的效果，能夠進(jìn)一步期待即使發(fā)生振動(dòng)等，也與圖5 的實(shí)施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。組合利用吸附的殘留壓力，使面板的破裂或 彎曲不發(fā)生的另種用途機(jī)構(gòu)，另外，不將吸引空氣時(shí)常設(shè)置有零，因此，產(chǎn)生吸引壓力的泵 的容量大或使用的吸引空氣的量少的情況下為最佳方式。其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序延遲，且吸引壓力為 弱的模式 的例子。圖32表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖32中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，使其以可動(dòng)部的吸引力弱狀態(tài)從下降位置上升。但是， 此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力為仍然強(qiáng)的狀態(tài)，此時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引力的 關(guān)系為134。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升，使 其上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在134的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面板。但 是，若可動(dòng)部以原來(lái)狀態(tài)繼續(xù)上升，則固定部的吸引為仍然強(qiáng)的狀態(tài)，因此，顯示面板從固 定部被不合理地疏遠(yuǎn)。其結(jié)果，在顯示面板可能發(fā)生破裂或彎曲。進(jìn)而，然后，使接受了顯 示面板的可動(dòng)部的吸引力上升至強(qiáng)水平，如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力 也強(qiáng)的狀態(tài)直接下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在135的時(shí)序 中，可動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，與上述相同地，在固定部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從固定部向 可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板，另外，在可動(dòng)部的吸引壓力仍然強(qiáng)的時(shí)序中，從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面 板。在雙方的情況下，均由于吸附力很強(qiáng)地殘留在轉(zhuǎn)送側(cè)的效果，能夠進(jìn)一步期待即使發(fā)生 振動(dòng)等，也與圖24的實(shí)施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。組合利用吸附的殘留壓 力，使面板的破裂或彎曲不發(fā)生的另種用途機(jī)構(gòu)，另外，不將吸引空氣時(shí)常設(shè)置為零，因此， 產(chǎn)生吸引壓力的泵的容量大或使用的吸引空氣的量少的情況下為最佳方式。
其次，說(shuō)明減弱轉(zhuǎn)送面板的一側(cè)的吸引壓力的時(shí)序提前，且吸引壓力為弱的模式的例子。圖33表示在使用了圖20 圖23的吸附輸送機(jī)構(gòu)的顯示面板基板輸送中，將在進(jìn) 行顯示面板基板的轉(zhuǎn)送時(shí)，保持顯示面板的部分的吸附力減弱的時(shí)間延遲時(shí)的轉(zhuǎn)送動(dòng)作的 時(shí)序。還有，在圖33中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接 受，然后，可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新 的固定部，結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升位 置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固定 部。為了將顯示面板從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力，另外，使其從下降位置上升。但 是，此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力為仍然弱，此時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引力的關(guān) 系為136。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上升，使其上 升至面板轉(zhuǎn)送位置，在136的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面板。還有， 若可動(dòng)部以原來(lái)狀態(tài)繼續(xù)上升，則顯示面板從固定部疏遠(yuǎn)。進(jìn)而，然后，使接受了顯示面板 的可動(dòng)部如上所述地水平輸送。還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地保持面板的可動(dòng)部的吸附力也已經(jīng) 弱，可動(dòng)部下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在137的時(shí)序中，可 動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。在本實(shí)施例中，在固定部的吸引壓力弱的時(shí)序中，從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送面板，或 從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送面板，因此，能夠期待由于吸附力殘留的效果，不引起面板的位置偏 移，且由于吸引弱的效果，在轉(zhuǎn)送時(shí)從吸附墊剝離面板時(shí)，面板破裂等問(wèn)題也不發(fā)生的非常 良好的效果。在后說(shuō)明的圖34的方式為最佳方式，但不將吸引空氣時(shí)常設(shè)為零，因此在產(chǎn) 生吸引壓力的泵的容量大或使用的吸引空氣的量少的情況下為第二最佳方式。其次，對(duì)至此說(shuō)明的實(shí)施例中最優(yōu)選的方式進(jìn)行說(shuō)明。圖34表示用于解決至此說(shuō)明的圖24 圖33的問(wèn)題的吸附輸送機(jī)構(gòu)的時(shí)序。還 有，在圖34中，示出了顯示面板基板的位置首先在固定部，其次，可動(dòng)部上升而接受，然后， 可動(dòng)部沿輸送方向水平輸送適當(dāng)?shù)木嚯x后，可動(dòng)部下降，降低至輸送目的地的新的固定部， 結(jié)束一次轉(zhuǎn)送時(shí)為止的動(dòng)作。進(jìn)而具體說(shuō)明固定部及可動(dòng)部的吸引力的強(qiáng)、弱、0的切換和可動(dòng)部動(dòng)作的上升 位置、面板轉(zhuǎn)送位置、下降位置的時(shí)序。如先前說(shuō)明，在圖中，顯示面板最初吸附保持于固 定部。為了將顯示面板從固定部接受，提高可動(dòng)部的吸引力，另外，使其從下降位置上升。 同時(shí)，此時(shí)保持顯示面板的固定部的吸引力弱，此時(shí)的固定部和可動(dòng)部的吸引力的關(guān)系為 138。為了擴(kuò)大圖24所示的方式的轉(zhuǎn)送時(shí)序，在本方式中，在保持顯示面板的部分的弱水平 上設(shè)置了時(shí)間寬度。還有，對(duì)應(yīng)于其時(shí)序，將可動(dòng)部成為與固定部相同高度地從下降位置上 升，使其上升至面板轉(zhuǎn)送位置，在138的時(shí)序中，用固定部和可動(dòng)部這兩方吸附保持顯示面 板。還有，若可動(dòng)部以原來(lái)狀態(tài)繼續(xù)上升，則顯示面板從固定部疏遠(yuǎn)，但在顯示面板不發(fā)生 破裂或彎曲。進(jìn)而，然后，使接受了顯示面板的可動(dòng)部的吸引力上升至強(qiáng)水平，如上所述地 水平輸送。
還有，利用可動(dòng)部水平輸送至目的位置后，為了將顯示面板吸附固定于目的位置 的固定部而使可動(dòng)部下降。此次與先前的說(shuō)明相反地可動(dòng)部以保持面板的可動(dòng)部的吸附力 弱的狀態(tài)的下降，下降至成為與固定部相同的高度的面板轉(zhuǎn)送位置。即，在139的時(shí)序中， 可動(dòng)部和固定部這兩方吸附保持顯示面板。進(jìn)而，可動(dòng)部繼續(xù)下降，將顯示面板順暢地轉(zhuǎn) 送。這樣，在圖34的時(shí)序中，在轉(zhuǎn)送時(shí)，引起破裂或彎曲的問(wèn)題的可能性低，如圖29所示， 在未吸引時(shí)，也不需要產(chǎn)生弱水平的吸引空氣，因此，具有能夠進(jìn)一步減小吸引空氣的消耗 量的效果。圖35為吸氣系統(tǒng)的比較例，吸附墊140從泵P配管，利用閥的開(kāi)閉來(lái)進(jìn)行吸附墊 140的吸附力的產(chǎn)生和解除。在該方式中，當(dāng)然是配管越長(zhǎng)，閥的開(kāi)閉和吸附墊的吸引力響 應(yīng)性變差，實(shí)際上裝入裝置時(shí)，難以從泵經(jīng)由閥到達(dá)吸附部分為止，以短距離配置。如至此的裝置一樣從固定部向可動(dòng)部轉(zhuǎn)送顯示面板，或從可動(dòng)部向固定部轉(zhuǎn)送顯 示面板的動(dòng)作延遲的裝置的情況下，轉(zhuǎn)送時(shí)的時(shí)間也變長(zhǎng)，因此，在圖35的方式中，在加強(qiáng) 或減弱吸引力的方式中，追隨延遲也沒(méi)有問(wèn)題。但是，在高速化輸送生產(chǎn)線(xiàn)的情況下，若是 該比較方式的原來(lái)狀態(tài)，則如所述圖24 圖28所述，非常難以使轉(zhuǎn)送的時(shí)序和吸引力的強(qiáng) 弱時(shí)序最佳地對(duì)應(yīng)的問(wèn)題發(fā)生。因此，在圖36中示出用于解決該問(wèn)題的方式。其是將在先說(shuō)明的圖34的弱吸引的 時(shí)序138、139能夠在不受作為所述問(wèn)題的距離泵的配管長(zhǎng)度的影響的情況下，實(shí)現(xiàn)與轉(zhuǎn)送 動(dòng)作的時(shí)序的最佳對(duì)應(yīng)的具體的結(jié)構(gòu)。在圖36中，吸附墊140從泵P配管，利用閥的開(kāi)閉 來(lái)進(jìn)行吸附墊140的吸附力的產(chǎn)生和解除。進(jìn)而，為了減弱吸引，開(kāi)放在腔室設(shè)置的釋放閥 141。這樣，能夠在短時(shí)間內(nèi)減弱吸附墊140的吸附力。在該方式的情況下，在閥的開(kāi)閉中， 不改變吸附墊的吸附力，因此，實(shí)際裝入裝置時(shí)，即使從泵經(jīng)由閥到達(dá)吸附部分為止的距離 變長(zhǎng)，也沒(méi)有問(wèn)題。還有，其次，說(shuō)明驗(yàn)證了利用開(kāi)閉閥141的開(kāi)閉，能夠減弱吸引壓力的情 況的結(jié)果。圖37表示進(jìn)行了通過(guò)開(kāi)閉閥141的開(kāi)放來(lái)將吸引壓力一次性減弱的實(shí)驗(yàn)的結(jié)果 的圖表。使顯示面板的面與70個(gè)吸附墊全部密接，即完全關(guān)閉吸附墊的狀態(tài)下，均維持由 泵產(chǎn)生的吸引壓力，各吸附墊產(chǎn)生目的吸引力。其次可知，若將一個(gè)吸附墊向大氣有意開(kāi) 放，則由泵產(chǎn)生的吸引壓力一次性減弱至一半左右。進(jìn)而可知，繼續(xù)將多個(gè)(圖中為7個(gè)) 有意向大氣開(kāi)放，所述變?nèi)醯奈龎毫σ沧兓?。利用該特性，在吸附墊的附近具有釋放閥， 僅通過(guò)相當(dāng)于一個(gè)吸附墊的釋放閥的開(kāi)放動(dòng)作，就能夠在顯示面板轉(zhuǎn)送動(dòng)作中簡(jiǎn)單地制作 最佳弱吸引的狀態(tài)。另一方面，在用吸附墊吸附固定顯示面板時(shí)，若在面板具有大的翹起或局部性凹 凸等，另外附著有碎屑等異物，則應(yīng)與所述部分接觸的吸附墊與顯示面板不正常地密接，這 樣，所述不完全地觸到的吸引墊部分不能保持吸引壓力，其結(jié)果，導(dǎo)致吸引壓力降低至大氣 壓附近的問(wèn)題。因此，圖38中示出為了解決所述問(wèn)題而設(shè)計(jì)的吸引機(jī)構(gòu)。圖表示機(jī)構(gòu)部的示意性 剖面圖和俯視圖。還有，圖38的結(jié)構(gòu)為一例，圖中的腔室的個(gè)數(shù)等不限定于此。圖38表示某一部位的集合吸附部，保持吸引壓力的腔室分別地分為A系、B系、C 系這三個(gè)。并且，分別的腔室之間利用細(xì)的軟管或細(xì)的配管來(lái)連結(jié)。在連結(jié)的目的地連接 吸引泵，利用所述吸引泵，在各吸附墊產(chǎn)生吸引壓力。另外，在各腔室設(shè)置有將腔室內(nèi)部的壓力瞬時(shí)改變的目的釋放閥141，能夠通過(guò)釋放閥141的開(kāi)閉來(lái)進(jìn)行各吸附墊的吸引壓力 的強(qiáng)弱切換。該圖38所示的機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)效果。第一，在用吸附墊吸附顯示面板時(shí)，在一部分 吸附墊部產(chǎn)生局部性凹凸或高低差，或咬住碎屑等，發(fā)生吸附錯(cuò)誤，導(dǎo)致所述部分的吸引壓 力降低至接近大氣壓，其結(jié)果，固定有所述吸附墊的腔室整體的吸引壓力降低，設(shè)置有腔室 的吸附墊全部的吸附力降低，也由于連結(jié)腔室之間的配管細(xì)，從而在腔室之間產(chǎn)生大的壓 力損耗，因此，即使在一個(gè)腔室引起壓力變動(dòng)，也防止同時(shí)影響降低其他腔室。第二，在A系 B系C系設(shè)置的吸附墊相鄰配置，因此，即使在任一個(gè)的腔室中，發(fā)生吸引壓力降低，在相鄰 墊中也不發(fā)生急劇的壓力降低，通過(guò)相鄰部分吸引面板，因此，得到提高再吸附的可能性的 效果。如上所述，通過(guò)使用本發(fā)明的顯示面板基板輸送裝置，防止在基板的輸送時(shí)，施加 必要以上的吸引壓力，在顯示面板基板殘留破裂或吸附痕跡的事故發(fā)生，或吸引力不足引 起的顯示面板基板的脫落或位置偏移發(fā)生等問(wèn)題，另外，為了高速輸送基板，高速化轉(zhuǎn)送時(shí) 序，也將適合轉(zhuǎn)送的吸引壓力的時(shí)間設(shè)置一定時(shí)間獲得界限，因此，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行轉(zhuǎn)送。進(jìn)而，能夠提供利用吸附系統(tǒng)的分割和那些的壓力損耗連結(jié)的效果，能夠抑制吸 附錯(cuò)誤引起的顯示面板基板的脫落的發(fā)生的顯示面板基板輸送裝置及使用了其的顯示面 板模塊組裝裝置。還有，本發(fā)明的一個(gè)特征在于吸引部分的壓力變化。另外，雖未圖示，但在利用梳 刃轉(zhuǎn)送顯示面板基板的機(jī)構(gòu)中，也能夠通過(guò)在轉(zhuǎn)送的時(shí)序中將吸引壓力最佳地降低，期待 相同的效果，因此，能夠適用。如上所述，本發(fā)明的目的在于解決如下問(wèn)題，即例如在顯示面板模塊組裝裝置 中，殘留轉(zhuǎn)送的一側(cè)的吸附力的狀態(tài)下，進(jìn)行面板的轉(zhuǎn)送的情況下，應(yīng)力施加于面板，發(fā)生 破裂或殘留吸附痕跡等問(wèn)題，另外，相反弱的情況下轉(zhuǎn)送時(shí)，發(fā)生位置偏移，或吸附脫落，由 于面板自身的翹起，發(fā)生自吸附部分的浮起。因此，例如，將在基板輸送中轉(zhuǎn)送顯示面板時(shí) 的吸附力降低為弱模式，由此應(yīng)力還施加于面板，另外，吸引也不會(huì)脫落。還有，具體來(lái)說(shuō)， 通過(guò)利用釋放閥來(lái)開(kāi)放吸引系統(tǒng)，能夠容易制作穩(wěn)定的弱吸引模式。進(jìn)而，作為弱階段吸引 壓力，能夠用釋放閥的開(kāi)放時(shí)間來(lái)進(jìn)行控制，因此，即使高速化，控制也容易。進(jìn)而，分割吸引系統(tǒng)，進(jìn)而分別產(chǎn)生壓力損耗而連結(jié)，將那些其他系統(tǒng)的吸附墊或 吸引孔接近而配置，由此即使在某個(gè)系統(tǒng)引起吸附錯(cuò)誤，也能夠通過(guò)壓力損耗，延遲其他系 統(tǒng)的壓力降低，其結(jié)果，能夠期待避免面板脫落的效果。還有，顯示面板模塊組裝裝置是通過(guò)對(duì)等離子體等FPD的顯示面板基板依次進(jìn)行 多個(gè)處理作業(yè)工序，在所述顯示面板基板的周邊安裝驅(qū)動(dòng)ic、TAB及PCB基板等的裝置。例如，作為處理工序的一例，包括(1)清除基板端部的TAB貼附部的端子清潔 工序、(2)在清除后的基板端部貼附各向異性導(dǎo)電薄膜(ACF = AniS0tr0pic Conductive Film)的ACF工序、(3)在貼附了 ACF的位置，與基板配線(xiàn)定位，搭載TAB或IC的搭載工序、 (4)通過(guò)加熱壓接搭載了 TAB，利用ACF薄膜進(jìn)行固定的壓接工序、(5)檢查搭載的TAB或 IC的位置或連接狀態(tài)的檢查工序、(6)在TAB的顯示面板基板側(cè)的相反側(cè)利用ACF等貼附 搭載的PCB工序(多個(gè)工序)等。進(jìn)而，根據(jù)處理的基板的邊的數(shù)量或處理的TAB或IC的 數(shù)量等，需要各處理裝置的數(shù)量或旋轉(zhuǎn)基板的處理單元等。
顯示面板模塊組裝裝置通過(guò)連續(xù)配置進(jìn)行這些處理作業(yè)工序的處理作業(yè)裝置，利 用基板輸送機(jī)構(gòu)在其間輸送基板，進(jìn)行基板周邊處理。作為各處理作業(yè)裝置的結(jié)構(gòu)，如日本特開(kāi)平8-26475號(hào)公報(bào)中所述，形成為包括 進(jìn)行各處理作業(yè)的作業(yè)工作臺(tái)和向所述作業(yè)工作臺(tái)送入 送出顯示面板基板的機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu) 也可。在該結(jié)構(gòu)中，送入顯示面板基板的作業(yè)工作臺(tái)保持顯示面板基板，能夠在基板的寬 度、長(zhǎng)度及水平旋轉(zhuǎn)方向上調(diào)節(jié)，用作業(yè)工作臺(tái)進(jìn)行顯示面板基板的處理位置的定位，實(shí)施 各處理作業(yè)也可。另外，如日本特開(kāi)2007-99466號(hào)公報(bào)中所述，形成為在各處理作業(yè)裝置中配置能 夠在三軸及水平旋轉(zhuǎn)方向上使顯示面板基板動(dòng)作的梳齒型臂的結(jié)構(gòu)也可。如該結(jié)構(gòu)一樣， 利用在各處理作業(yè)裝置設(shè)置的所述梳齒型臂，實(shí)施轉(zhuǎn)送顯示面板基板的動(dòng)作和顯示面板基 板的處理位置的定位動(dòng)作也可。進(jìn)而，如日本特開(kāi)2003-76290號(hào)公報(bào)所述，可以為在一對(duì)帶式傳送器一樣的輸送 機(jī)構(gòu)之間配置顯示面板支承工作臺(tái)，利用所述顯示面板支承工作臺(tái)，進(jìn)行顯示面板基板的 處理位置的定位動(dòng)作的方法。關(guān)于附圖補(bǔ)充如下，圖29表示將吸附水平設(shè)為弱來(lái)轉(zhuǎn)送的情況，圖30表示將吸附 水平設(shè)為弱來(lái)轉(zhuǎn)送的情況的時(shí)間長(zhǎng)的情況，圖31表示轉(zhuǎn)送的一側(cè)的吸附強(qiáng)的原來(lái)狀態(tài)下 進(jìn)行轉(zhuǎn)送動(dòng)作的情況，圖33表示接受的一側(cè)的吸附力變強(qiáng)后，進(jìn)行轉(zhuǎn)送動(dòng)作的情況，圖34 表示能夠解決至此的所有的問(wèn)題的本發(fā)明最佳情況的一例。
權(quán)利要求
一種顯示面板模塊組裝裝置，其在多個(gè)處理作業(yè)裝置之間依次輸送顯示面板基板，通過(guò)在所述顯示面板基板的緣安裝電子構(gòu)件來(lái)組裝所述顯示面板基板，其特征在于，輸送所述顯示面板基板的顯示面板基板輸送裝置具有基板保持機(jī)構(gòu)，其將多個(gè)在一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件并列配置于與所述顯示面板基板的輸送面平行的面上；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將多個(gè)在所述一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板輸送構(gòu)件并列配置于與所述顯示面板基板的輸送面平行的面上，所述基板輸送構(gòu)件的至少一個(gè)配置于所述基板保持構(gòu)件之間，所述基板輸送機(jī)構(gòu)對(duì)配置于所述基板保持構(gòu)件上的所述顯示面板基板進(jìn)行保持，并在基板輸送方向上直線(xiàn)地移動(dòng)，由此輸送所述顯示面板基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述一定方向?yàn)樗鲲@示面板基板的輸送方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述一定方向?yàn)榕c所述顯示面板基板的輸送方向垂直的方向。
4.一種顯示面板模塊組裝裝置，其在多個(gè)處理作業(yè)裝置之間依次輸送顯示面板基板， 通過(guò)在所述顯示面板基板的緣安裝電子構(gòu)件來(lái)組裝所述顯示面板基板，其特征在于，輸送所述顯示面板基板的顯示面板基板輸送裝置具有基板保持機(jī)構(gòu)，其具有在所述處理作業(yè)裝置的作業(yè)位置保持所述顯示面板基板的基板 保持構(gòu)件；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將所述顯示面板基板輸送至顯示面板基板處理步驟的下游側(cè)的其他 所述基板保持構(gòu)件，所述基板輸送機(jī)構(gòu)具備運(yùn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其能夠在所述輸送的區(qū)間直線(xiàn)地移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述基板輸送機(jī)構(gòu)具有使所述基板輸送構(gòu)件相對(duì)于所述基板保持機(jī)構(gòu)的所述基板保持構(gòu)件相對(duì)地上升及下降的機(jī)構(gòu)，并且，具有能夠使所述基板輸送構(gòu)件在沿基板輸送方向 的規(guī)定的范圍內(nèi)往返移動(dòng)的動(dòng)作機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，配置有多個(gè)所述基板輸送機(jī)構(gòu)，且能夠獨(dú)立地設(shè)定各所述基板輸送機(jī)構(gòu)的往返移動(dòng)距 離，所述多個(gè)基板輸送機(jī)構(gòu)以相同的時(shí)序使所述基板保持機(jī)構(gòu)上的所述顯示面板基板在所 述基板輸送方向上移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，具有能夠根據(jù)所述處理作業(yè)裝置或處理基板條件等改變所述往返移動(dòng)距離的輸送距離可 變機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，具有基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)所述顯示面板基板的姿勢(shì)；基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)，其基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果，修正所述顯示面板基 板的姿勢(shì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述顯示面板基板的姿勢(shì)為在各所述處理作業(yè)裝置的作業(yè)位置處的姿勢(shì)，所述基板保持機(jī)構(gòu)與各所述處理作業(yè)裝置對(duì)應(yīng)而配置多個(gè)，所述配置多個(gè)的基板保持機(jī)構(gòu)中至少一個(gè) 具有所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)和所述基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述顯示面板基板的姿勢(shì)為處理作業(yè)裝置的作業(yè)位置處的基板姿勢(shì)和輸送動(dòng)作時(shí)的 基板姿勢(shì)中至少一方的姿勢(shì)，所述基板姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)是基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè) 結(jié)果，在所述基板輸送機(jī)構(gòu)與所述基板保持機(jī)構(gòu)進(jìn)行基板轉(zhuǎn)送時(shí)，修正基板姿勢(shì)位置的機(jī) 構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于， 所述各處理作業(yè)裝置具備在輸送過(guò)來(lái)的所述顯示面板基板的緣進(jìn)行規(guī)定處理的至少 一個(gè)以上的處理單元；檢測(cè)輸送過(guò)來(lái)的所述顯示面板基板的姿勢(shì)的基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述顯示面板模塊組裝裝置具有處理單元姿勢(shì)修正機(jī)構(gòu)，其基于所述基板姿勢(shì)檢測(cè) 機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果，修正所述處理單元相對(duì)于顯示面板基板的相對(duì)位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述基板保持機(jī)構(gòu)在所述處理作業(yè)裝置的相反側(cè)具有摩擦阻力小的低摩擦基板保持部。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，具有多個(gè)所述顯示面板基板輸送裝置，且在所述顯示面板基板輸送裝置之間具有改變 所述顯示面板基板的姿勢(shì)或輸送方向的機(jī)構(gòu)。
14.一種顯示面板模塊組裝方法，其在多個(gè)處理作業(yè)裝置之間依次輸送顯示面板基板， 通過(guò)在所述顯示面板基板的緣安裝電子構(gòu)件來(lái)組裝顯示面板，其特征在于，輸送所述顯示面板基板的機(jī)構(gòu)在所述處理作業(yè)裝置的作業(yè)位置處的作業(yè)結(jié)束后，從與 所述作業(yè)位置對(duì)應(yīng)設(shè)置的基板保持機(jī)構(gòu)接受所述顯示面板基板，將所述顯示面板基板直線(xiàn) 地移動(dòng)至所述作業(yè)位置的下游側(cè)的作業(yè)位置，將所述顯示面板基板交給與所述下游側(cè)的作 業(yè)位置對(duì)應(yīng)設(shè)置的基板保持機(jī)構(gòu)，并在所述下游側(cè)的作業(yè)位置處的作業(yè)結(jié)束之前直線(xiàn)地移 動(dòng)返回至原來(lái)的作業(yè)位置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的顯示面板模塊組裝方法，其特征在于，輸送所述顯示面板基板的機(jī)構(gòu)將在輸送方向上直線(xiàn)地配置的多個(gè)所述顯示面板基板 一次性輸送。
16.一種顯示面板基板輸送裝置，其將在輸送上配置的多個(gè)顯示面板基板間歇地依次 輸送，其特征在于，具有基板保持機(jī)構(gòu)，其將多個(gè)在一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件并列配置于與所述基板的 輸送面平行的面上；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將多個(gè)在所述一定方向上細(xì)長(zhǎng)的基板輸送構(gòu)件并列配置于與所述顯 示面板基板的輸送面平行的面上，所述基板輸送構(gòu)件的至少一個(gè)配置于所述基板保持構(gòu)件 之間，所述基板輸送機(jī)構(gòu)對(duì)配置于所述基板保持構(gòu)件上的所述顯示面板基板進(jìn)行保持，在基 板輸送方向上直線(xiàn)地移動(dòng)，由此輸送所述顯示面板基板。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，所述一定方向?yàn)樗鲲@示面板基板的輸送方向。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 所述一定方向?yàn)榕c所述顯示面板基板的輸送方向垂直的方向。
19.一種顯示面板基板輸送裝置，其將在輸送上配置的多個(gè)顯示面板基板依次傳遞而 輸送，其特征在于，從基板保持機(jī)構(gòu)接受所述顯示面板基板，通過(guò)將所述顯示面板基板直線(xiàn)地移動(dòng)至所述 基板保持機(jī)構(gòu)的下游側(cè)的其他所述基板保持機(jī)構(gòu)來(lái)輸送所述顯示面板基板，向所述其他基 板保持機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)送所述顯示面板基板，轉(zhuǎn)送所述顯示面板基板后，直線(xiàn)地移動(dòng)返回至原來(lái)的 所述基板保持機(jī)構(gòu)。
20.根據(jù)權(quán)利要求16 19任一項(xiàng)所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 所述基板保持機(jī)構(gòu)在所述處理作業(yè)裝置的相反側(cè)具有摩擦阻力小的區(qū)域。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，具有多個(gè)所述顯示面板基板輸送裝置，在所述顯示面板基板輸送裝置之間具有改變所 述顯示面板基板的姿勢(shì)或輸送方向的機(jī)構(gòu)。
22.—種顯示面板基板輸送裝置，其輸送顯示面板基板，其特征在于，具有固定部，其通過(guò)吸附所述顯示面板基板的下表面的一部分而固定保持所述顯示面板基板；可動(dòng)部，其吸附用所述固定部吸附的部分以外的部分，并能夠相對(duì)于所述固定部在上 下方向和水平方向上移動(dòng)，所述顯示面板基板輸送裝置具有吸附系統(tǒng)，其對(duì)于所述固定部和所述可動(dòng)部產(chǎn)生如下 所述三種狀態(tài)的至少三個(gè)階段以上的吸引狀態(tài)，即第一吸引狀態(tài)，將在所述顯示面板基板輸送時(shí)的加減速下不發(fā)生所述顯示面板基板的 脫落或位置偏移的第一吸引力作用于所述顯示面板基板；第二吸引狀態(tài)，將對(duì)所述顯示面板基板沒(méi)有保持力的第二吸引力作用于所述顯示面板 基板；第三吸引狀態(tài)，將大小在所述第一吸引力和所述第二吸引力之間的第三吸引力作用于 所述顯示面板基板。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 在吸附所述顯示面板基板的吸附部附近具有壓力釋放閥。
24.根據(jù)權(quán)利要求22所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 具有多個(gè)所述吸附系統(tǒng)，將其中至少兩個(gè)吸附系統(tǒng)壓力損耗連結(jié)。
25.—種顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求22所述的顯示面板基板輸送裝置； 處理所述顯示面板基板的多個(gè)處理裝置。
26.—種顯示面板基板輸送方法，其通過(guò)吸附來(lái)保持顯示面板基板，使所述顯示面板基 板從輸送開(kāi)始位置移動(dòng)至輸送結(jié)束位置，其特征在于，吸附所述顯示面板基板的下表面的一部分而固定保持，在所述顯示面板基板吸附于固定部而被固定保持時(shí)，可動(dòng)部移動(dòng)至與固定部相同的高度，在所述固定部和所述可動(dòng)部的雙方與所述顯示面板基板接觸時(shí)，所述固定部的吸附變?nèi)酰隹蓜?dòng)部的吸附力也變?nèi)酢?br> 27.—種顯示面板基板輸送裝置，其通過(guò)吸附來(lái)保持顯示面板基板，使所述顯示面板基 板從輸送開(kāi)始位置移動(dòng)至輸送結(jié)束位置，其特征在于，包括固定部，其吸附所述顯示面板基板的下表面的一部分而固定保持； 可動(dòng)部，其吸附用所述固定部吸附的部分以外的部分，并能夠相對(duì)于所述固定部在上 下方向和水平方向上移動(dòng)，在所述顯示面板基板吸附于所述固定部而被固定保持時(shí)，所述可動(dòng)部移動(dòng)至與所述固 定部相同的高度，在所述固定部和所述可動(dòng)部的雙方與所述顯示面板基板接觸時(shí)，所述固定部的吸附變 弱，所述可動(dòng)部的吸附力也變?nèi)酢?br> 28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，所述可動(dòng)部從所述固定部的下方上升至與所述固定部相同的高度，對(duì)吸附于所述固定 部而被固定保持的所述顯示面板基板吸附保持，所述可動(dòng)部進(jìn)一步上升，使所述顯示面板基板從所述固定部離開(kāi)，向輸送目的方向水 平移動(dòng)。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，從所述輸送開(kāi)始位置到所述輸送結(jié)束位置之間配置多個(gè)所述可動(dòng)部，利用所述可動(dòng)部 對(duì)在所述輸送開(kāi)始位置吸附保持的所述顯示面板基板進(jìn)行保持并向下游水平移動(dòng)，其次，通過(guò)配置于下游的所述可動(dòng)部依次反復(fù)進(jìn)行向更下游水平移動(dòng)，從而將所述顯 示面板基板移動(dòng)至所述輸送結(jié)束位置。
30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，在所述固定部和所述可動(dòng)部中，吸附所述顯示面板基板的部分設(shè)置有吸附墊或吸附孔 或雙方。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，所述固定部和所述可動(dòng)部的吸附墊或吸附孔的吸附力，具備以下所述的至少三個(gè)階段 以上的吸引力，即強(qiáng)力吸附所述顯示面板基板的吸附墊或吸附孔之一的吸引力為第一吸引力以上； 弱力吸附所述顯示面板基板的吸附墊或吸附孔之一的吸引力為第一吸引力以下且大 于第二吸引力；完全不吸附所述顯示面板基板的吸附墊或吸附孔之一的吸引力為第二吸引力。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 所述第一吸引力為1[N]以上，所述第二吸引力為0[N]。
33.根據(jù)權(quán)利要求31所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，在弱力吸附所述顯示面板基板的吸附墊或吸附孔之一的吸引力為1[N]以下的面板吸 附中，通過(guò)將釋放吸引壓力的閥開(kāi)放而導(dǎo)致的減壓產(chǎn)生1[N]以下的吸引力。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的顯示面板基板輸送裝置，其特征在于， 所述1[N]以下的吸引力以規(guī)定時(shí)間發(fā)揮1/2[N]左右的吸引力。
35.一種顯示面板基板輸送裝置，其特征在于，權(quán)利要求30所述的吸附墊或吸附孔被分別劃分成吸附墊或吸附孔相鄰的附近彼此的 吸引系統(tǒng)。
36.一種顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求27 35中任一項(xiàng)所述的顯示面板基板輸送裝置； 處理所述顯示面板基板的處理裝置； 所述處理裝置的移動(dòng)裝置。
37.一種顯示面板模塊組裝裝置，其在處理作業(yè)裝置之間依次輸送顯示面板基板，通過(guò) 對(duì)所述顯示面板基板的處理邊進(jìn)行各種處理來(lái)安裝電子構(gòu)件，其特征在于，在至少一個(gè)以上的所述處理作業(yè)裝置中，具有對(duì)一個(gè)顯示面板基板的一邊同時(shí)進(jìn)行處 理作業(yè)的至少兩個(gè)以上的處理單元。
38.一種顯示面板模塊組裝裝置，其依次輸送顯示面板基板，通過(guò)對(duì)所述顯示面板基板 的處理邊進(jìn)行各種處理來(lái)安裝電子構(gòu)件，其特征在于，具有分割所述各種處理中處理時(shí)間長(zhǎng)的處理邊作業(yè)，并同時(shí)進(jìn)行處理作業(yè)的至少兩個(gè)以上 的處理單元。
39.根據(jù)權(quán)利要求37或38所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，所述同時(shí)是指在將所述顯示面板基板向接下來(lái)的作業(yè)位置輸送之前的期間處理作業(yè) 結(jié)束的意思。
40.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于， 所述處理單元具有顯示面板基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)進(jìn)行處理作業(yè)的所述顯示面板基板的姿勢(shì)； 處理單元位置修正機(jī)構(gòu)，其基于所述顯示面板基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的結(jié)果，修正所述顯 示面板基板的處理邊和所述處理單元的相對(duì)位置。
41.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于， 所述處理單元具有能夠在與所述顯示面板基板的處理邊方向平行的方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
42.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于， 所述處理單元具有能夠在與所述處理單元的配置方向平行的方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
43.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于， 同時(shí)進(jìn)行所述多個(gè)處理單元中的處理作業(yè)，所述顯示面板模塊組裝裝置具有處理單元?jiǎng)幼鲿r(shí)序控制機(jī)構(gòu)，其控制所述處理作業(yè)的多個(gè)處理單元中的處理動(dòng)作和向接下來(lái)的作 業(yè)位置轉(zhuǎn)移移動(dòng)的轉(zhuǎn)移移動(dòng)動(dòng)作的作業(yè)時(shí)序。
44.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝裝置，其特征在于，對(duì)于所述多個(gè)處理單元，在每一個(gè)所述處理單元獨(dú)立地具有所述顯示面板基板的寬度 方向、厚度方向、長(zhǎng)度方向及各軸的旋轉(zhuǎn)方向中至少一個(gè)以上的方向上的各處理單元位置 的修正機(jī)構(gòu)，且配置于能夠在所述顯示面板基板的所述輸送方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)上。
45.一種顯示面板模塊組裝方法，在處理作業(yè)裝置之間依次輸送顯示面板基板，通過(guò)對(duì) 所述顯示面板基板的處理邊進(jìn)行各種處理來(lái)安裝電子構(gòu)件，其特征在于，至少一個(gè)以上的所述處理作業(yè)裝置內(nèi)的至少兩個(gè)以上的處理單元對(duì)所述顯示面板基 板的一邊同時(shí)進(jìn)行處理作業(yè)。
46.一種顯示面板模塊組裝方法，依次輸送顯示面板基板，通過(guò)對(duì)所述顯示面板基板的 處理邊進(jìn)行各種處理來(lái)安裝電子構(gòu)件，其特征在于，至少兩個(gè)以上的處理單元分割所述各種處理中處理時(shí)間長(zhǎng)的處理邊作業(yè)，并同時(shí)進(jìn)行 處理作業(yè)。
47.根據(jù)權(quán)利要求37 39中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝方法，其特征在于， 所述同時(shí)是指在將所述顯示面板基板向接下來(lái)的作業(yè)位置輸送之前的期間處理作業(yè)結(jié)束的意思。
48.根據(jù)權(quán)利要求45 47中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝方法，其特征在于， 所述處理單元檢測(cè)進(jìn)行處理的顯示面板基板的姿勢(shì)，基于所述結(jié)果，修正所述顯示面板基板的處理邊和所述處理單元的相對(duì)位置。
49.根據(jù)權(quán)利要求45 47中任一項(xiàng)所述的顯示面板模塊組裝方法，其特征在于， 所述處理單元在與所述顯示面板基板的處理邊方向平行的方向上移動(dòng)。
50.一種顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置，其對(duì)顯示面板基板的處理邊進(jìn)行處理來(lái) 組裝顯示面板基板，其特征在于，具有對(duì)一個(gè)顯示面板基板的一邊進(jìn)行作業(yè)的至少一個(gè)以上的處理單元， 所述處理單元具有能夠在與所述處理邊方向平行的方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
51.根據(jù)權(quán)利要求50所述的顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置，其特征在于， 所述顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置為ACF貼附處理作業(yè)裝置或TAB搭載處理作業(yè)裝置。
52.根據(jù)權(quán)利要求50所述的顯示面板基板組裝用處理作業(yè)裝置，其特征在于， 所述處理單元具有顯示面板基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其檢測(cè)進(jìn)行處理的所述顯示面板基板的姿勢(shì)； 處理單元位置修正機(jī)構(gòu)，其基于所述顯示面板基板姿勢(shì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的結(jié)果，修正所述顯 示面板基板的處理邊和所述處理單元的相對(duì)位置。
全文摘要
本發(fā)明在顯示面板模塊組裝裝置中，能夠以必要最小寬度連結(jié)各處理作業(yè)裝置，縮短顯示面板模塊組裝裝置的裝置全長(zhǎng)。進(jìn)而，提供能夠?qū)⑿⌒偷酱笮突宓膶挾葘挼某叽绲幕逡愿呔惹腋咚偬幚淼娘@示面板模塊組裝裝置。通過(guò)并列配置多個(gè)在一定方向尤其基板輸送方向上細(xì)長(zhǎng)的基板保持構(gòu)件和基板輸送構(gòu)件，一體化基板保持機(jī)構(gòu)和基板輸送機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)輸送小型到大型基板的基板保持·輸送機(jī)構(gòu)。另外，通過(guò)以同一時(shí)序一并輸送各處理作業(yè)位置的顯示面板基板，能夠以必要最小寬度連結(jié)各處理作業(yè)裝置。進(jìn)而，通過(guò)使輸送動(dòng)作后的基板輸送機(jī)構(gòu)在基板處理作業(yè)時(shí)間內(nèi)向輸送上游側(cè)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度且高速的基板輸送及處理動(dòng)作。
文檔編號(hào)H01J9/48GK101814407SQ200910179069
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月6日
發(fā)明者宮坂徹, 山崎不二夫, 斧城淳, 渡邊豐, 片保秀明 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)