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QLED的制備方法與流程

文檔序號:11136725閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種QLED的制備方法,其特征在于,在電子傳輸層上沉積發(fā)光層之前,對所述電子傳輸層進(jìn)行表面處理,包括以下步驟:將所述電子傳輸層進(jìn)行氧氣等離子體預(yù)處理或臭氧處理、以及紫外燈輻射處理,其中,所述紫外燈輻射處理的光子能量大于電子傳輸材料的有效能帶隙。

2.如權(quán)利要求1所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述表面處理為真空條件下的氧氣等離子體預(yù)處理和紫外燈輻射處理,且所述氧氣等離子體預(yù)處理和紫外燈輻射處理同時進(jìn)行,處理時間30-300s,其中,

所述氧氣等離子體預(yù)處理的濺射功率為25-250mw/cm2,氧氣流量為5-1000sccm;

所述紫外燈輻射處理的功率密度≥100mw/cm2。

3.如權(quán)利要求2所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述表面處理在設(shè)置有磁控管的預(yù)清洗設(shè)備中進(jìn)行。

4.如權(quán)利要求1所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述表面處理為真空條件下的氧氣等離子體預(yù)處理和紫外燈輻射處理,其中,

所述氧氣等離子體預(yù)處理在設(shè)置有單獨(dú)氧離子發(fā)生裝置的表面處理設(shè)備中進(jìn)行,所述單獨(dú)氧離子發(fā)生裝置的通電線圈功率為10-200W,濺射功率為25-250mw/cm2,氧氣流量為5-200sccm,處理時間15-150s;

所述紫外燈輻射處理的功率密度≥100mw/cm2

5.如權(quán)利要求1所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述表面處理為臭氧處理和紫外燈輻射處理。

6.如權(quán)利要求5所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述表面處理在紫外-臭氧發(fā)生裝置中進(jìn)行。

7.如權(quán)利要求6所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述紫外-臭氧發(fā)生裝置的功率≥100W。

8.如權(quán)利要求1-7任一所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述電子傳輸材料包括過渡族氧化物、II-VI族半導(dǎo)體、鈦酸鹽。

9.如權(quán)利要求8所述的QLED的制備方法,其特征在于,所述過渡族氧化物包括氧化鋅、二氧化鈦、五氧化二鉭,其中,所述氧化鋅包括氧化鋅納米晶、非摻雜氧化鋅、非摻雜氧化鋅-有機(jī)納米復(fù)合物;所述II-VI族半導(dǎo)體包括硫化鋅、硒化鋅、碲化鋅、硫化鎘;所述鈦酸鹽包括鈦酸鉍、鈦酸鋇。

10.一種QLED,包括依次層疊設(shè)置的襯底、底電極、電子傳輸層、發(fā)光層、空穴傳輸層、空穴注入層和頂電極,其特征在于,所述電子傳輸層為權(quán)利要求1-9任一方法進(jìn)行表面處理的電子傳輸層。

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