稍微靠上游側(cè)(供給側(cè))的位置起開始。
[0056]此外，在工件W的輸送移動(dòng)中，經(jīng)由正壓源64向懸浮抽吸引導(dǎo)單元60的空氣供給槽62a供給加壓空氣并從導(dǎo)板61的貫通孔61b吹出，同時(shí)經(jīng)由負(fù)壓源63向空氣抽吸槽62b施加負(fù)壓并從貫通孔61c抽吸空氣。通過該空氣的吹出抽吸，在引導(dǎo)面61a上通過的工件W的平面精度提高。
[0057]而且，當(dāng)工件W行進(jìn)，且通過對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50拍攝一個(gè)單位圖案區(qū)域AP的4個(gè)(2個(gè)X2列)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA時(shí)，確定該單位圖案區(qū)域AP的坐標(biāo)系。當(dāng)一個(gè)單位圖案區(qū)域AP的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA的拍攝結(jié)束時(shí)，連續(xù)開始下一個(gè)單位圖案區(qū)域AP的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA的拍攝，確定新的坐標(biāo)系。
[0058]當(dāng)單位圖案區(qū)域AP的四個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA的拍攝結(jié)束時(shí)，對(duì)準(zhǔn)測(cè)量部計(jì)算測(cè)量出的單位圖案區(qū)域AP和所設(shè)計(jì)的單位圖案區(qū)域AP的位置以及尺度誤差(對(duì)準(zhǔn))。曝光控制部根據(jù)上述誤差，對(duì)描繪數(shù)據(jù)進(jìn)行坐標(biāo)轉(zhuǎn)換，生成曝光單元30A和30B的校正描繪數(shù)據(jù)。
[0059]當(dāng)單位圖案區(qū)域AP的前端到達(dá)曝光單元30A時(shí)，曝光控制部按照校正描繪數(shù)據(jù)，對(duì)曝光單元30A的DMD元件36進(jìn)行調(diào)制，向工件W上照射圖案光，在工件W的感光劑層上形成圖案。接著，當(dāng)單位圖案區(qū)域AP的規(guī)定位置到達(dá)曝光單元30B時(shí)，同樣，曝光控制部按照校正描繪數(shù)據(jù)，對(duì)曝光單元30B的DMD元件36進(jìn)行調(diào)制，向工件W上照射圖案光，在工件W的感光劑層上形成圖案。通過已知的多重曝光方法進(jìn)行該圖案形成。
[0060]只要工件W在曝光單元30A的曝光位置處不從多孔圓筒部件41脫離(而被保持)，就能在曝光位置、或者比曝光位置稍微靠上游側(cè)(供給側(cè))的位置處解除工件W向多孔圓筒部件41的吸附。
[0061]在以上針對(duì)工件W的曝光動(dòng)作中，被多孔圓筒部件41吸附并移動(dòng)的工件W能夠較高保持其進(jìn)給精度，并能夠通過線性刻度45和線性傳感器46準(zhǔn)確地檢測(cè)其位置。而且，由于在以高進(jìn)給精度送出的工件W從多孔圓筒部件41脫離的位置附近執(zhí)行利用曝光單元30A的曝光，所以能夠?qū)崿F(xiàn)高描繪精度。此外，由于能夠?qū)σ愿哌M(jìn)給精度送出并通過懸浮抽吸引導(dǎo)單元60維持高平面性的工件W進(jìn)行利用曝光單元30B的曝光，所以，同樣能夠?qū)崿F(xiàn)高描繪精度。
[0062]除此以外，在圖示實(shí)施方式的曝光單元30A進(jìn)行的曝光中能夠獲得下述優(yōu)點(diǎn)。被多孔圓筒部件41抽吸的工件W呈曲面，但是，如上所述，多孔圓筒部件41上在面精度(面的平滑性)和工件進(jìn)給精度的方面優(yōu)異。因此，在曝光區(qū)AE中包含面精度和進(jìn)給精度優(yōu)異的多孔圓筒部件41上的曝光區(qū)(范圍Y1)。另一方面，雖然在比相交線S靠下游側(cè)的曝光區(qū)(范圍Y2)中，假設(shè)工件W為平面，但是，實(shí)際上由于從多孔圓筒部件41脫離，所以隨著從多孔圓筒部件41遠(yuǎn)離，平面精度誤差(曝光單元30A的理想焦點(diǎn)面與曝光區(qū)AE的偏差)處于擴(kuò)大的趨勢(shì)。所以，使曝光區(qū)AE跨越相交線S的上游側(cè)和下游側(cè)。此外，將相交線S的下游側(cè)的曝光范圍Y2設(shè)定為比從上游側(cè)的曝光范圍Y1大，由此能夠防止實(shí)際的焦點(diǎn)深度(從光學(xué)系統(tǒng)的焦點(diǎn)深度中除去曝光區(qū)AE的工件W的平面精度誤差而得到)變淺，實(shí)現(xiàn)描繪圖案的細(xì)線條化。即，通過使下游側(cè)的平面上的曝光范圍Y2比曲面上的曝光范圍Y1大，能夠容易地在曝光單元30A的焦點(diǎn)深度內(nèi)描繪圖案。具體而言，優(yōu)選將下游側(cè)的范圍設(shè)定為70%以上，更優(yōu)選設(shè)定為80%以上。具體而言，在曝光范圍Y為10mm時(shí)，上游側(cè)的范圍為Y1 = 2?3_，下游側(cè)的范圍為Y2 = 8?7_。
[0063]在曝光單元30A和30B進(jìn)行曝光動(dòng)作的期間，并行地執(zhí)行下一個(gè)單位圖案區(qū)域AP的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記攝像步驟和數(shù)據(jù)校正步驟。所以，當(dāng)單位圖案區(qū)域AP的曝光結(jié)束時(shí)，曝光單元30能夠連續(xù)開始下一個(gè)單位圖案區(qū)域AP的曝光。
[0064]為了并行地進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記攝像步驟和數(shù)據(jù)校正步驟，如圖4所示，考慮到單位圖案區(qū)域AP的大小，使曝光單元30A、30B和對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50以單位圖案區(qū)域AP的四個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA處于兩者之間的方式(以兩者之間的距離比單位圖案區(qū)域AP長(zhǎng)的方式)，隔開了其位置。本實(shí)施方式的曝光單元30A和對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50隔著曝光輥40位于上下，所以即使將曝光輥40小型化，也能夠確保其距離。此外，曝光單元30A和對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50隔著曝光輥40沿鉛垂方向并列配置，所以能夠最高效地利用輥，并能夠提高工件W的位置對(duì)準(zhǔn)精度和生產(chǎn)率。
[0065]在以上實(shí)施方式中，將第1曝光單元30A設(shè)置在工件從多孔圓筒部件41脫離的位置附近，將第2曝光單元30B設(shè)置在配置于多孔圓筒部件41的下游的懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上。與此相對(duì)，圖5是使單一的曝光單元30的曝光區(qū)AE跨越工件從多孔圓筒部件41脫離的位置和懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上的位置的實(shí)施方式。這樣，能夠通過使曝光單元30對(duì)工件W進(jìn)行曝光的曝光區(qū)的至少一部分位于懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上，確保了曝光區(qū)的平面性，并且能夠通過使用曝光輥的高工件進(jìn)給精度，實(shí)現(xiàn)高描繪精度。
[0066]并且，如上所述，能夠省略以上實(shí)施方式中的一對(duì)曝光單元30A、30B中的下游側(cè)的曝光單元30B和懸浮抽吸引導(dǎo)單元60。圖10、圖11示出在圖1、圖2中省略了曝光單元30B和懸浮抽吸引導(dǎo)單元60的實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中，導(dǎo)輥14構(gòu)成工件W的切線方向引導(dǎo)單元。即，工件W在從多孔圓筒部件41脫離后，隨著導(dǎo)輥14，在多孔圓筒部件41的最上部沿水平切線(切平面)方向移動(dòng)(從多孔圓筒部件41脫離的工件W通過導(dǎo)輥(引導(dǎo)單元)14將脫離角度調(diào)整為水平)。而且，根據(jù)該實(shí)施方式，能夠使曝光輥40 (圓筒部件)的切線(切平面)方向的平面區(qū)包含在上游側(cè)的曝光單元30A的曝光區(qū)中，并能夠使曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)比以往的曝光輥型的直接曝光裝置寬。該特征為第1實(shí)施方式也具有的特征。另外，在圖10、圖11的實(shí)施方式中，在圖3、圖4、圖6和圖9中描繪了一對(duì)的曝光區(qū)AE僅為基于曝光單元30A的一個(gè)曝光區(qū)AE。
[0067]根據(jù)該圖10、圖11的實(shí)施方式，能夠抑制曝光輥40的直徑，同時(shí)高精度地進(jìn)行工件W的對(duì)準(zhǔn)和描繪位置的校正，并且能夠使曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)比以往的曝光輥型的直接曝光裝置寬。其結(jié)果是，可獲得比以往的直接曝光裝置節(jié)省空間且能夠進(jìn)行高精度的處理的曝光裝置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種直接曝光裝置，其使用了光調(diào)制元件陣列，將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長(zhǎng)條狀工件，所述直接曝光裝置的特征在于，具有: 圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內(nèi)保持長(zhǎng)條狀工件的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 切線方向引導(dǎo)構(gòu)件，其在長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處，沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導(dǎo)長(zhǎng)條狀工件；以及 第1曝光構(gòu)件，其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內(nèi)，對(duì)從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長(zhǎng)條狀工件描繪圖案。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接曝光裝置，其中， 在上述前后一定范圍內(nèi)，從脫離位置到輸送方向下游側(cè)的范圍比從脫離位置到輸送方向上游側(cè)的范圍寬。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接曝光裝置，其中， 拍攝形成于上述長(zhǎng)條狀工件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)相機(jī)配置在隔著上述圓筒部件而與上述曝光構(gòu)件相對(duì)的位置處。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直接曝光裝置，其中， 上述第1曝光構(gòu)件的光軸和對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的光軸朝向鉛垂方向。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直接曝光裝置，其中， 上述圓筒部件至少在上述第1曝光構(gòu)件的曝光位置和上述對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的拍攝位置處，將上述長(zhǎng)條狀工件保持在其周面上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接曝光裝置，其中， 所述直接曝光裝置還具有:平面引導(dǎo)構(gòu)件，其在長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置的下游側(cè)，在長(zhǎng)條狀工件不與引導(dǎo)面接觸的狀態(tài)下將該長(zhǎng)條狀工件支撐為平面狀；以及第2曝光構(gòu)件，其在上述平面引導(dǎo)構(gòu)件上，對(duì)上述長(zhǎng)條狀工件進(jìn)行曝光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直接曝光裝置，其中， 上述第2曝光構(gòu)件的曝光區(qū)跨越上述長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置和平面引導(dǎo)構(gòu)件上的位置。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直接曝光裝置，其中， 上述第1曝光構(gòu)件的曝光區(qū)和第2曝光構(gòu)件的曝光區(qū)存在于大致同一平面上。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直接曝光裝置，其中， 上述平面引導(dǎo)構(gòu)件是具有氣體吹出構(gòu)件和氣體抽吸構(gòu)件的懸浮抽吸引導(dǎo)構(gòu)件。
【專利摘要】直接曝光裝置，在將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長(zhǎng)條狀工件的直接曝光裝置中，能夠在抑制曝光輥直徑增大的同時(shí)，擴(kuò)大曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)，并使描繪圖案的線條變細(xì)。該直接曝光裝置具有：圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內(nèi)保持長(zhǎng)條狀工件的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；引導(dǎo)構(gòu)件，其在長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處，沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導(dǎo)長(zhǎng)條狀工件；以及曝光構(gòu)件，其在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內(nèi)，對(duì)從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長(zhǎng)條狀工件描繪圖案。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN105467773
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510617271
【發(fā)明人】橋本典夫, 森田亮
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社Orc制作所
【公開日】2016年4月6日
【申請(qǐng)日】2015年9月24日