)42a，該抽吸凹部(槽)42a對(duì)形成于多孔圓筒部件41的周面的無數(shù)微細(xì)孔(抽吸孔)41a施加負(fù)壓。經(jīng)由負(fù)壓源43和控制器(調(diào)節(jié)器)44，對(duì)抽吸凹部42a施加負(fù)壓。在對(duì)抽吸凹部42a供給了負(fù)壓的狀態(tài)下對(duì)多孔圓筒部件41進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)時(shí)，在形成有抽吸凹部42a的抽吸區(qū)間α (圖5)中，從多孔圓筒部件41的微細(xì)孔41a抽吸空氣，結(jié)果工件W被吸附保持于多孔圓筒部件41的周面并旋轉(zhuǎn)。
[0038]確定抽吸凹部42a的抽吸區(qū)間α、以及導(dǎo)輥13和導(dǎo)輥14的位置，使得在從軸向觀察多孔圓筒部件41時(shí)，在多孔圓筒部件41的最高位置(最上位置)和最低位置(最下位置)之間，工件W被多孔圓筒部件41抽吸并旋轉(zhuǎn)。確定導(dǎo)輥13的位置，使得工件W從與多孔圓筒部件41的徑向垂直的最下方的水平的切線(切平面)方向進(jìn)入多孔圓筒部件41 (在下方的水平切線(切平面)方向與徑向的交點(diǎn)(相交線)處開始抽吸保持)，確定導(dǎo)輥14的位置，使得將工件W向與多孔圓筒部件41的徑向垂直的最上方的水平的切線(切平面)方向排出(在上方的水平切線(切平面)方向與徑向的交點(diǎn)(相交線)處結(jié)束抽吸保持)。即，抽吸凹部42a的抽吸區(qū)間α被設(shè)定在跨越開始將工件吸附到多孔圓筒部件41的位置、和工件W從多孔圓筒部件41脫離的位置的大致半周之間(大致180 °)。另外，工件W至少在抽吸區(qū)間α的兩端部、即抽吸開始位置和抽吸開放位置處被多孔圓筒部件41抽吸保持即可。
[0039]如圖2示意性所示，在曝光輥40的多孔圓筒部件41的外周形成有線性刻度45，在曝光輥40的外側(cè)固定位置配設(shè)有線性傳感器46，該線性傳感器46讀取該線性刻度45來檢測(cè)多孔圓筒部件41的絕對(duì)旋轉(zhuǎn)位置。
[0040]懸浮抽吸引導(dǎo)單元60位于曝光輥40 (多孔圓筒部件41)的出口(下游)側(cè)，通過氣體的吹出和抽吸，以非接觸的方式將長(zhǎng)條工件W支撐為平面狀，其工作原理自身是眾所周知的。
[0041]圖7、圖8示意性示出懸浮抽吸引導(dǎo)單元60，懸浮抽吸引導(dǎo)單元60具有導(dǎo)板61和空氣回路主體62。導(dǎo)板61具有在其平板狀的引導(dǎo)面61a上開口的無數(shù)貫通孔(吹出孔)61b和貫通孔(抽吸孔)61c?？諝饣芈分黧w62呈梳齒狀，并具有其梳齒彼此錯(cuò)開地進(jìn)行組合的空氣供給槽62a和空氣抽吸槽62b，空氣供給槽62a與正壓源64連接，空氣抽吸槽62b與負(fù)壓源63連接。貫通孔61b以與空氣供給槽62a連通的方式呈矩陣狀，貫通孔61c以與空氣抽吸槽62b連通的方式呈矩陣狀，并且空氣供給槽62a和空氣抽吸槽62b被設(shè)置為使得吹出空氣的貫通孔61b的列和抽吸空氣的貫通孔61c的列分別與工件W的行進(jìn)方向平行。原本，吹出空氣的貫通孔和抽吸空氣的貫通孔無需必須是列狀，能夠是繞中心的吹出孔(抽吸孔)配置多個(gè)抽吸孔(吹出孔)的方式等。
[0042]該懸浮抽吸引導(dǎo)單元60經(jīng)由正壓源64向空氣供給槽62a供給加壓空氣并從貫通孔61b吹出，同時(shí)經(jīng)由負(fù)壓源63向空氣抽吸槽62b施加負(fù)壓并從貫通孔61c抽吸空氣，由此能夠提高在引導(dǎo)面61a上通過的工件W的平面精度。
[0043]具體而言，以上的懸浮抽吸引導(dǎo)單元60能夠使用PISC0有限公司制造的AFU1 (精密懸浮型)。
[0044]一對(duì)曝光單元30實(shí)質(zhì)上為相同結(jié)構(gòu)，一個(gè)曝光單元30A (第1曝光單元30)設(shè)置在工件W從多孔圓筒部件41遠(yuǎn)離的位置附近，另一個(gè)曝光單元30B (第2曝光單元30)位于懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上。
[0045]圖3示出曝光單元30(30A和30B)的具體例。曝光單元30具有光源部20，光源部20由具有相同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的兩個(gè)光源部20a和光源部20b構(gòu)成。由于光源部20a和光源部20b為相同結(jié)構(gòu)，所以，以光源部20a為代表進(jìn)行說明。
[0046]光源部20a由UV燈21、第1全反射鏡22、聚光透鏡23、第2全反射鏡24、復(fù)眼透鏡25、光圈(未圖示)構(gòu)成。光源部20a具有UV燈21，從UV燈21射出從365nm到440nm的各種波長(zhǎng)共存的紫外光。
[0047]從UV燈21射出的紫外光通過橢圓反射鏡26向天空方向照射，通過第1全反射鏡22將朝向改變?yōu)樗椒较?，通過聚光透鏡23會(huì)聚，并通過第2全反射鏡24將朝向改變?yōu)榈孛娣较?工件W的方向)。改變了朝向的紫外光成為經(jīng)過復(fù)眼透鏡25和光圈而被分支為四個(gè)光束。光束進(jìn)一步經(jīng)由8個(gè)第1投影透鏡33和8個(gè)反射鏡34，入射到8個(gè)DMD (DigitalMicro-mirror Device:數(shù)字微鏡設(shè)備)元件(光調(diào)制元件陣列)36而成為進(jìn)行了控制的光束。該進(jìn)行了控制的光束穿過第2投影透鏡組37，從而被調(diào)整要投影的曝光描繪的倍率，并被照射到工件W。也就是說，作為描繪裝置的直接曝光裝置100按照預(yù)先收納有期望的曝光像的描繪數(shù)據(jù)，控制光源部20a和光源部20b的紫外光。
[0048]曝光單元30A的曝光區(qū)如下確定。如上所述，工件W在從多孔圓筒部件41脫離后，在懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上移動(dòng)，在多孔圓筒部件41的最上部沿水平切線方向移動(dòng)(從多孔圓筒部件41脫離的工件W通過懸浮抽吸引導(dǎo)單元60，將脫離角度調(diào)整為水平)。曝光單元30A的曝光區(qū)AE (圖2、圖3、圖6)嚴(yán)格來說不是單純的矩形，但是，這里簡(jiǎn)單地通過矩形表現(xiàn)，該矩形將與工件W的輸送方向垂直的方向(工件W的寬度方向)作為長(zhǎng)度方向。而且，如圖6所示，對(duì)于該曝光范圍Y，在以多孔圓筒部件41的軸心41X與切線方向的交點(diǎn)(相交線)S為基準(zhǔn)時(shí)，將下游側(cè)(導(dǎo)輥14側(cè))的曝光范圍Y2設(shè)定為比相交線S的上游側(cè)(多孔圓筒部件41的圓筒面?zhèn)?的曝光范圍Y1大(Y1〈Y2)。
[0049]在懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上，對(duì)工件W進(jìn)行曝光的曝光單元30Β針對(duì)通過懸浮抽吸引導(dǎo)單元60而提高(維持)了平面性的工件W，在曝光區(qū)ΑΕ (圖2、圖3、圖6)中進(jìn)行曝光。該曝光單元30Β的曝光范圍Υ可以與曝光單元30Α的曝光范圍Υ相同，也可以不同。與曝光單元30Α的曝光區(qū)同樣，曝光單元30Β的曝光區(qū)ΑΕ (圖2、圖3、圖6)嚴(yán)格來說不是單純的矩形，但是，這里簡(jiǎn)單地通過矩形表現(xiàn)，該矩形將與工件W的輸送方向垂直的方向(工件W的寬度方向)作為長(zhǎng)度方向。曝光單元30Α和30Β對(duì)工件W進(jìn)行曝光的曝光區(qū)ΑΕ位于同一平面。
[0050]圖9示意性地示出兩個(gè)曝光區(qū)ΑΕ中的曝光單元30Α和30Β的曝光狀態(tài)。在圖9中，由雙點(diǎn)劃線表示的圓C為曝光單元30Α和30Β的圖3所示的一個(gè)第1投影透鏡33和反射鏡34所占據(jù)的光學(xué)系統(tǒng)的大小，其中存在利用粗線的矩形描繪出的DMD (DigitalMicro-mirror Device:數(shù)字微鏡設(shè)備)元件36的實(shí)際曝光區(qū)R。在圖示例中，在一個(gè)曝光區(qū)AE內(nèi)存在四個(gè)實(shí)際曝光區(qū)R，將包含這四個(gè)實(shí)際曝光區(qū)R的與工件W的輸送方向垂直的方向的矩形區(qū)設(shè)為AE。另外，曝光光束在圖3中，分支為八個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，而在圖9的例子中，分支為四個(gè)光學(xué)系統(tǒng)。
[0051]在該實(shí)施方式中，具備一對(duì)在工件W的寬度方向隔開的對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50。該對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50對(duì)預(yù)先形成在工件W上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA(圖4)進(jìn)行拍攝從而確定(修正)曝光單元30A和30B的描繪坐標(biāo)系。對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50用于在工件W相對(duì)于曝光輥40(多孔圓筒部件41)的吸附開始位置處拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA，吸附開始位置等同于拍攝位置。而且，對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50和曝光單元30A隔著曝光輥40相對(duì)配置，并且彼此的光軸隔著曝光輥40，位于相反的一側(cè)的大致鉛垂位置。這里的相對(duì)是指對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50的拍攝方向和曝光單元30A的曝光光射出方向彼此面對(duì)，但是，這時(shí)各自的光軸無需必須處于同一軸線上，也可以在基板輸送方向上偏移。對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50和曝光單元30A優(yōu)選配置成其中至少一個(gè)的光軸嚴(yán)格朝向鉛垂方向。通過這樣配置對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50和曝光單元30A，能夠?qū)?duì)準(zhǔn)相機(jī)50和曝光單元30A的光學(xué)系統(tǒng)保持為最穩(wěn)定的狀態(tài)，能夠獲得最優(yōu)的光學(xué)性能。
[0052]圖4示出工件W上的單位圖案區(qū)域AP和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA、對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50以及曝光單元30A和30B的兩個(gè)曝光區(qū)AE之間的位置關(guān)系。在圖示例子中，相對(duì)于一個(gè)單位圖案區(qū)域AP (進(jìn)行一次對(duì)準(zhǔn)和描繪的范圍)，形成有4個(gè)(2個(gè)X 2列)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA，對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50能夠進(jìn)行位置調(diào)整，使得在相機(jī)視野50a的中心處拍攝到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA。
[0053]另外，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記MA的個(gè)數(shù)和配置根據(jù)要描繪的圖案適當(dāng)進(jìn)行設(shè)定，對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50的個(gè)數(shù)和配置當(dāng)然也可以與此相應(yīng)地被確定。
[0054]上述結(jié)構(gòu)的該直接曝光裝置100如下進(jìn)行動(dòng)作。供給卷軸10、曝光輥40、卷繞卷軸11通過伺服系統(tǒng)被準(zhǔn)確地進(jìn)行同步旋轉(zhuǎn)控制，供給卷軸10所卷繞的工件W經(jīng)過導(dǎo)輥12、
13、曝光輥40、懸浮抽吸引導(dǎo)單元60、導(dǎo)輥14，被卷繞到卷繞卷軸11。通過線性刻度45、線性傳感器46準(zhǔn)確地檢測(cè)曝光輥40的多孔圓筒部件41的旋轉(zhuǎn)位置。
[0055]當(dāng)在該工件W的輸送移動(dòng)中，經(jīng)由負(fù)壓源43和控制器(調(diào)節(jié)器)44對(duì)抽吸凹部42a施加負(fù)壓時(shí)，工件W在抽吸區(qū)間α處被吸附在多孔圓筒部件41的周面上。S卩，從多孔圓筒部件41的最下方的吸附開始位置到最上方的脫離位置之間，工件W被保持在多孔圓筒部件41的周面上并在圓筒面上移動(dòng)。吸附開始位置同時(shí)是對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記ΜΑ的位置。工件W的吸附優(yōu)選以在拍攝位置處必定開始的方式，從比拍攝位置