直接曝光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及所謂的卷對(duì)卷方式的直接曝光裝置，在從供給卷軸送出并被卷繞卷軸卷繞的長(zhǎng)條狀工件的輸送中，對(duì)其正反的一個(gè)面描繪圖案。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，作為用于移動(dòng)電話和移動(dòng)設(shè)備等的電子電路基板(印刷電路基板)的基底材料，例如使用將厚度為0.1mm以下且長(zhǎng)度為500mm以上(例如，100m)的長(zhǎng)條狀工件(感光性長(zhǎng)條膜(在正反的至少一個(gè)面上涂覆感光體而成的合成樹(shù)脂制柔軟膜))形成為卷狀的工件。此外，近年來(lái)，不使用轉(zhuǎn)印掩模地將描繪光直接照射到基板而描繪出圖案的直接曝光裝置在市場(chǎng)中涌現(xiàn)出，對(duì)長(zhǎng)條狀工件也采用這種曝光方式的要求日益強(qiáng)烈。
[0003]作為這種卷對(duì)卷方式的直接曝光裝置，為了進(jìn)行連續(xù)的長(zhǎng)條狀工件的輸送和曝光，公知有如下的直接曝光裝置:利用位于供給卷軸與卷繞卷軸之間的平板狀的輸送機(jī)(曝光輸送機(jī))，保持長(zhǎng)條狀工件，并在該輸送機(jī)上進(jìn)行曝光(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
[0004]此外，還公知有如下的直接曝光裝置:對(duì)在位于供給卷軸與卷繞卷軸之間的輥(曝光輥)的圓筒面上行進(jìn)的長(zhǎng)條狀工件進(jìn)行曝光(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
[0005]【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)2006-098720號(hào)公報(bào)
[0006]【專(zhuān)利文獻(xiàn)2】日本特開(kāi)2014-035412號(hào)公報(bào)
[0007]如果對(duì)在平面狀的輸送機(jī)上進(jìn)行曝光的方式與在圓筒狀的輥上進(jìn)行曝光的方式進(jìn)行比較，輸送機(jī)方式在使工件的整個(gè)被曝光區(qū)域?yàn)槠矫鏍畹姆矫姹容^優(yōu)異，但是，由于流水線長(zhǎng)度增長(zhǎng)，曝光裝置容易大型化，并且在曝光位置處局部進(jìn)行觀察的情況下的面精度較差。與此相對(duì)，由于輥方式能夠縮短流水線長(zhǎng)度，所以能夠?qū)崿F(xiàn)曝光裝置的小型化，并且在面精度(面的平滑性)和工件進(jìn)給精度的方面優(yōu)異。另一方面，輥方式由于在圓筒面(曲面)上進(jìn)行曝光，所以存在曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)窄，細(xì)線的描繪較困難的問(wèn)題。如果增大曝光輥直徑，則該問(wèn)題得到緩解，但犧牲了小型化。
[0008]此外，從工件的進(jìn)給精度的觀點(diǎn)來(lái)看，在輸送機(jī)方式中，由于輸送帶的曲折或伸縮等影響，進(jìn)給精度有可能降低。另一方面，對(duì)于輥方式，雖然在將工件吸附到輥上的吸附區(qū)中能夠獲得較高的進(jìn)給精度，但如上所述，由于吸附區(qū)不是平面(為圓筒面)，所以存在曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)窄的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的第一目的在于獲得一種直接曝光裝置，在曝光輥方式的直接曝光裝置中，能夠在抑制曝光輥直徑增大的同時(shí)，擴(kuò)大曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)，并使描繪圖案的線條變細(xì)。
[0010]此外，本發(fā)明的第二目的在于獲得一種直接曝光裝置，在吸附工件地進(jìn)行移動(dòng)的輥方式的直接曝光裝置中，能夠靈活運(yùn)用吸附輸送工件的圓筒部件的高進(jìn)給精度，保持工件的平面性來(lái)提高曝光圖像的精度，并使描繪圖案的線條變細(xì)。
[0011]本發(fā)明是一種直接曝光裝置，其使用了光調(diào)制元件陣列，將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長(zhǎng)條狀工件，所述直接曝光裝置的特征在于，具有:圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內(nèi)保持長(zhǎng)條狀工件的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；切線方向引導(dǎo)構(gòu)件，其在長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處，沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導(dǎo)長(zhǎng)條狀工件；以及第1曝光構(gòu)件，其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內(nèi)，對(duì)從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長(zhǎng)條狀工件描繪圖案。
[0012]優(yōu)選為在上述前后一定范圍內(nèi)，從脫離位置到輸送方向下游側(cè)的范圍比從脫離位置到輸送方向上游側(cè)的范圍寬。
[0013]本發(fā)明的直接曝光裝置還優(yōu)選為，拍攝形成于上述長(zhǎng)條狀工件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)相機(jī)配置在隔著上述圓筒部件而與上述曝光構(gòu)件相對(duì)的位置處。
[0014]還優(yōu)選為，曝光構(gòu)件的光軸和對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的光軸朝向鉛垂方向。
[0015]上述圓筒部件優(yōu)選至少在上述曝光構(gòu)件的曝光位置和上述對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的拍攝位置處，將上述長(zhǎng)條狀工件保持在其周面上。
[0016]本發(fā)明還優(yōu)選為，具有:圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內(nèi)保持長(zhǎng)條狀工件的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；平面引導(dǎo)構(gòu)件，其在長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置的下游側(cè)，在長(zhǎng)條狀工件不與引導(dǎo)面接觸的狀態(tài)下將該長(zhǎng)條狀工件支撐為平面狀；以及第2曝光構(gòu)件，其在上述平面引導(dǎo)構(gòu)件上，對(duì)上述長(zhǎng)條狀工件描繪圖案。
[0017]上述第2曝光構(gòu)件的曝光區(qū)在其一個(gè)方式中，能夠跨越上述長(zhǎng)條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置和平面引導(dǎo)構(gòu)件上的位置。
[0018]上述第1曝光構(gòu)件的曝光區(qū)和第2曝光構(gòu)件的曝光區(qū)實(shí)際上位于大致同一平面上。
[0019]具體而言，上述引導(dǎo)構(gòu)件例如能夠由具有氣體吹出構(gòu)件和氣體抽吸構(gòu)件的懸浮抽吸引導(dǎo)構(gòu)件構(gòu)成。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，是一種使用曝光輥對(duì)長(zhǎng)條狀工件連續(xù)曝光的直接曝光裝置，同時(shí)，在包含圓筒狀部件的脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內(nèi)描繪圖案，所以切線(切平面)方向的平面區(qū)包含在曝光區(qū)中，能夠使曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)比以往的曝光輥型的直接曝光裝置寬。其結(jié)果是，能夠?qū)崿F(xiàn)要曝光的圖案的細(xì)線條化。
[0021]此外，本發(fā)明進(jìn)一步在圓筒部件的下游側(cè)配置在長(zhǎng)條狀工件不與引導(dǎo)面接觸的狀態(tài)下將該長(zhǎng)條狀工件支撐為平面狀的引導(dǎo)構(gòu)件，使曝光構(gòu)件的針對(duì)長(zhǎng)條狀工件的曝光區(qū)的至少一部分位于引導(dǎo)構(gòu)件上，由此能夠利用圓筒部件的高進(jìn)給精度和引導(dǎo)構(gòu)件對(duì)工件的平面性保持，提高曝光圖像的精度，并使描繪圖案的線條變細(xì)，其中，該圓筒部件在供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內(nèi)保持長(zhǎng)條狀工件的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是示出本發(fā)明的直接曝光裝置的整體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0023]圖2是其立體圖。
[0024]圖3是示出曝光單元的一例的立體圖。
[0025]圖4是說(shuō)明長(zhǎng)條狀工件上的單位圖案區(qū)域(對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記)、對(duì)準(zhǔn)相機(jī)以及曝光單元之間的間隔例的展開(kāi)圖。
[0026]圖5是示出曝光輥的詳細(xì)情況的軸垂直剖視圖。
[0027]圖6是示出相對(duì)于長(zhǎng)條狀工件的曝光區(qū)的一例的圖。
[0028]圖7是懸浮抽吸單元單體的立體圖。
[0029]圖8是其分解立體圖。
[0030]圖9是示出曝光區(qū)中的基于光調(diào)制元件陣列的曝光狀態(tài)的示意圖。
[0031]圖10是本發(fā)明的直接曝光裝置的另一實(shí)施方式，是示出從圖1的結(jié)構(gòu)中去除下游側(cè)的曝光單元和懸浮抽吸引導(dǎo)單元后的實(shí)施方式的、與圖1對(duì)應(yīng)的側(cè)視圖。
[0032]圖11是圖10的實(shí)施方式的與圖2對(duì)應(yīng)的立體圖。
[0033]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0034]100:直接曝光裝置；10:供給卷軸；11:卷繞卷軸；12、13、14:導(dǎo)輥(切線方向引導(dǎo)單元)；30A(30):曝光單元(曝光構(gòu)件、第1曝光單元)；30B(30):曝光單元(曝光構(gòu)件、第2曝光單元)；36:DMD元件(光調(diào)制元件陣列)；40:曝光輥；41:多孔圓筒部件；41a:微細(xì)孔；42:中心固定體;42a:抽吸凹部；43:負(fù)壓源；44:控制器；45:線性刻度；46:線性傳感器；50:對(duì)準(zhǔn)相機(jī)(攝像構(gòu)件)；60:懸浮抽吸引導(dǎo)單元(平面引導(dǎo)構(gòu)件)；61:導(dǎo)板；61a:引導(dǎo)面；61b:貫通孔(氣體吹出構(gòu)件)；61c:貫通孔(氣體吸入構(gòu)件)；62:空氣回路主體；62a:空氣供給槽；62b:空氣抽吸槽；63:負(fù)壓源；64:正壓源；MA:對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；W:長(zhǎng)條狀工件；α:抽吸區(qū)間。
【具體實(shí)施方式】
[0035]圖1、圖2是示出本發(fā)明的直接曝光裝置100的一個(gè)實(shí)施方式的整體圖。在直接曝光裝置100中，曝光輥40位于送出被卷繞的長(zhǎng)條狀工件(以下，簡(jiǎn)稱(chēng)作“工件”)W的供給卷軸10與對(duì)工件W進(jìn)行卷繞的卷繞卷軸11之間，在該曝光輥40的上方具有沿工件W的輸送方向隔開(kāi)的一對(duì)曝光單元(曝光構(gòu)件、曝光描繪部)30A和30B，在其下方具有對(duì)準(zhǔn)相機(jī)50。工件W由在正反的至少一個(gè)面上涂覆感光體而成的合成樹(shù)脂制柔軟膜構(gòu)成，工件W在由供給卷軸10送出后，經(jīng)過(guò)導(dǎo)輥12、13到達(dá)曝光輥40，進(jìn)而經(jīng)過(guò)導(dǎo)輥(切線方向引導(dǎo)單元)14后被卷繞卷軸11卷繞。在曝光輥40與導(dǎo)輥14之間設(shè)置有位于工件W的下表面的懸浮抽吸引導(dǎo)單元(平面引導(dǎo)構(gòu)件)60。
[0036]—對(duì)曝光單元30A、30B中的下游側(cè)的曝光單元30B配置在懸浮抽吸引導(dǎo)單元60上。雖然該結(jié)構(gòu)有利于利用曝光輥40(圓筒部件)的高進(jìn)給精度、和懸浮抽吸引導(dǎo)單元60 (平面引導(dǎo)構(gòu)件)對(duì)工件W的平面性保持，提高曝光圖像的精度，使描繪圖案的線條變細(xì)，但是，與以下特征無(wú)直接關(guān)系:使曝光輥40 (圓筒部件)的切線(切平面)方向的平面區(qū)包含在上游側(cè)的曝光單元30A的曝光區(qū)中，從而能夠使曝光圖像的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)區(qū)比以往的曝光輥型的直接曝光裝置寬。也就是說(shuō)，能夠省略下游側(cè)的曝光單元30B和懸浮抽吸引導(dǎo)單元60。關(guān)于該點(diǎn)，之后將使用附圖進(jìn)行敘述。
[0037]如圖2、圖5所示，曝光輥40具有:以軸心41X為中心，由未圖示的驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的多孔圓筒部件41 ;以及位于該多孔圓筒部件41內(nèi)的中心固定體42，在中心固定體42的周面的一部分，形成有抽吸凹部(槽