光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光刻版清洗設(shè)備，特別是涉及光刻版清洗設(shè)備中對(duì)光刻版正反兩個(gè)面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻版，也稱光掩模或者光罩，通常為高純度精密石英玻璃板，上面載有金屬鉻形成的集成電路圖形。集成電路制造中采用光刻機(jī)將光刻版上的圖形投影到硅片或其他半導(dǎo)體材質(zhì)上。一般一個(gè)集成電路芯片的生產(chǎn)需要許多光刻版套刻而成。光刻版是集成電路生產(chǎn)的關(guān)鍵工具，使用中其表面會(huì)殘余光刻膠、灰塵、指紋等，因此必須利用光刻版清洗機(jī)對(duì)它進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的全自動(dòng)光刻版清洗機(jī)，由機(jī)械臂將光刻版放入具有清洗液的清洗腔體，通過(guò)擺臂的刷子對(duì)光刻版正面進(jìn)行刷洗，而光刻版背面則通過(guò)軟管?chē)娏芮逑匆簺_洗。光刻版背面由于沒(méi)有刷子刷洗功能，潔凈度往往達(dá)不到要求，為使光刻版背面潔凈度達(dá)到要求，只好對(duì)光刻版背面進(jìn)行人工清洗或用手工正反面翻轉(zhuǎn)后再次裝入清洗機(jī)腔體清洗。傳統(tǒng)的光刻版清洗機(jī)由于不能對(duì)光刻版進(jìn)行翻轉(zhuǎn)達(dá)到在一道工序中進(jìn)行兩面清洗的效果，既增加了清洗光刻版人工勞動(dòng)強(qiáng)度和清洗時(shí)間，又直接影響了光刻版的清洗質(zhì)量，進(jìn)而影響了硅片的產(chǎn)品質(zhì)量。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?01110138192.9給出了一種“光掩模沖洗的裝卡裝置”，該裝置設(shè)置的工作臺(tái)上安裝有開(kāi)合驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和自動(dòng)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該裝置中的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)雖然解決了光刻版自動(dòng)翻版得以完成兩面清洗的目的，但是該翻轉(zhuǎn)裝置采用氣缸控制，運(yùn)動(dòng)不夠平穩(wěn)，尤其是運(yùn)動(dòng)停止時(shí)對(duì)光刻版有沖擊；并且氣缸控制轉(zhuǎn)動(dòng)的精度不夠，轉(zhuǎn)動(dòng)角度有誤差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是給出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低，能使光刻版正面與背面相互翻轉(zhuǎn)，以便光刻版清洗機(jī)能在同一工序步驟中對(duì)光刻版正面和背面進(jìn)行清洗，使用簡(jiǎn)便且具有裝載三種規(guī)格光刻版中任意一種的光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置。
[0004]本發(fā)明的目的是能夠?qū)崿F(xiàn)的。本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置包括臺(tái)板，其特征在于:所述臺(tái)板上固定有支座組和立板，支座組的上端固定有支座，支座的右端固定有減速器，左端安裝有軸承座，所述減速器輸入端與驅(qū)動(dòng)單元連接，輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)軸連接，所述軸承座內(nèi)設(shè)有I號(hào)角接觸球軸承和II號(hào)角接觸球軸承，I號(hào)角接觸軸承通過(guò)軸承內(nèi)環(huán)由I號(hào)內(nèi)隔圈、鎖母以及頂絲與軸承座定位，II號(hào)角接觸球軸承的軸承外環(huán)通過(guò)軸承壓蓋以及軸承內(nèi)環(huán)由II號(hào)內(nèi)隔圈及側(cè)肩軸與軸承座定位，所述驅(qū)動(dòng)軸右端通過(guò)I號(hào)角接觸球軸承和II號(hào)角接觸球軸承的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座上，所述立板上端設(shè)有Y向軸承座，Y向軸承座內(nèi)設(shè)有支撐軸承，所述驅(qū)動(dòng)軸左端安裝在支撐軸承的軸承內(nèi)環(huán)中，處在軸承座與Y向軸承座之間的驅(qū)動(dòng)軸上通過(guò)鍵連接一個(gè)片盒座，片盒座通過(guò)螺釘連接一個(gè)光刻版片盒，所述光刻版片盒上沿軸向設(shè)有一個(gè)上窄下寬形狀對(duì)稱的梯形槽，所述梯形槽兩側(cè)的壁面上對(duì)稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口，所述三組光刻版卡口中的每一個(gè)卡口上均設(shè)有與光刻版片盒螺紋連接的定位柱，光刻版通過(guò)定位柱裝載在光刻版片盒上。
[0005]本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻面裝置，其中所述光刻版隨同光刻版片盒通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)，具有在O °?180 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軌跡。
[0006]本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其中所述光刻版片盒的三組卡口分別對(duì)應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版。
[0007]本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置與現(xiàn)有技術(shù)不同之處在于本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置是光刻版清洗機(jī)中的一套獨(dú)立機(jī)構(gòu)。光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)軸上安裝有光刻版片盒，光刻版片盒上可安裝三種規(guī)格光刻版中任意一種規(guī)格的光刻版。驅(qū)動(dòng)軸由驅(qū)動(dòng)單元帶動(dòng)可在O °~180 °區(qū)域內(nèi)進(jìn)行往返間歇式的轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)光刻版片盒翻轉(zhuǎn)，使得光刻版片盒上的光刻版在O °情況下正面朝上，在180 °情況下被面朝上，達(dá)到了將光刻版正反兩個(gè)面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的效果，進(jìn)而與光刻版清洗機(jī)中的其他機(jī)構(gòu)(機(jī)械臂，清洗腔體)協(xié)同完成對(duì)光刻版兩面清洗的工作。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，制造成本低，通過(guò)脈沖控制電機(jī)運(yùn)動(dòng)，光刻版翻轉(zhuǎn)作業(yè)簡(jiǎn)單、平穩(wěn)、精準(zhǔn)。光刻版片盒上設(shè)置的三種規(guī)格光刻版卡口可承載或四寸或五寸或六寸三種規(guī)格中任意一種的光刻版。它作業(yè)能力強(qiáng)，作業(yè)效率高，解決了全自動(dòng)光刻版清洗機(jī)中光刻版背面無(wú)法刷洗造成光刻版潔凈度達(dá)不到技術(shù)要求的難題。
[0008]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置作進(jìn)一步說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
[0010]圖2是本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置中翻轉(zhuǎn)部分結(jié)構(gòu)主視示意圖。
[0011]圖3是本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置中光刻版和光刻版片盒連接狀態(tài)示意圖。
[0012]圖4是光刻版片盒中不同尺寸的三組卡口結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖5是本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置將光刻版正面朝上的狀態(tài)示意圖。
[0014]圖6是本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置將光刻版翻至背面朝上的狀態(tài)示意圖。
[0015]圖中，1.臺(tái)板；2.支座組；3.驅(qū)動(dòng)單元；4.減速器；5.支座；6.聯(lián)軸器；7.鎖母；8.1.1號(hào)內(nèi)隔圈；8.2.1I號(hào)內(nèi)隔圈；9.1.1號(hào)角接觸球軸承；9.2.1I號(hào)角接觸球軸承；10.軸承座；11.軸承壓蓋；12.驅(qū)動(dòng)軸；13.定位柱；14.光刻版片盒；15.片盒聯(lián)座；16.鍵；17.光刻版；18.支撐軸承；19.Y向軸承座；20.立板。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1-圖4所示，本發(fā)明光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置含有一個(gè)臺(tái)板I。臺(tái)板I上固定有支座組2和立板20。支座組2的上端固定有支座5。支座5的右端固定有減速器4，左端安裝有軸承座10。減速器4輸入端與驅(qū)動(dòng)單元3連接，輸出端通過(guò)聯(lián)軸器6與驅(qū)動(dòng)軸12連接。為消除軸向間隙，軸承座10內(nèi)設(shè)有I號(hào)角接觸球軸承9.1和II號(hào)角接觸球軸承9.2。I號(hào)角接觸軸承9.1通過(guò)軸承內(nèi)環(huán)由I號(hào)內(nèi)隔圈8.1、鎖母7以及頂絲與軸承座10定位。II號(hào)角接觸球軸承9.2的軸承外環(huán)通過(guò)軸承壓蓋11以及軸承內(nèi)環(huán)由II號(hào)內(nèi)隔圈8.2及側(cè)肩軸與軸承座10定位。驅(qū)動(dòng)軸12右端通過(guò)I號(hào)角接觸球軸承9.1和II號(hào)角接觸球軸承9.2的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座10上。立板20上端設(shè)有Y向軸承座19。Y向軸承座19內(nèi)設(shè)有支撐軸承18，驅(qū)動(dòng)軸12左端安裝在支撐軸承18的軸承內(nèi)環(huán)中。處在軸承座10與Y向軸承座11之間的驅(qū)動(dòng)軸12上通過(guò)鍵16連接一個(gè)片盒座15。片盒座15通過(guò)螺釘連接一個(gè)光刻版片盒17。通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元3的驅(qū)動(dòng)，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸12旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)光刻版片盒14及光刻版17在空間翻轉(zhuǎn)。
[0017]如圖1、圖5和圖6所示，光刻版17隨同光刻版片盒14通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸12帶動(dòng)，具有在O °?180 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軌跡。
[0018]如圖4所示，光刻版片盒14上沿軸向設(shè)有一個(gè)上窄下寬形狀對(duì)稱的梯形槽。梯形槽兩側(cè)的壁面上對(duì)稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口 a、b、c。三組光刻版卡口 a、b、c中的每一個(gè)卡口上均設(shè)有與光刻版片盒14螺紋連接的定位柱13。光刻版17通過(guò)定位柱13裝載在光刻版片盒14上。光刻版片盒14的三組卡口 a、b、c分別對(duì)應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版14。
[0019]使用本發(fā)明的光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，當(dāng)光刻版清洗機(jī)將光刻版17正面刷洗完后，通過(guò)機(jī)械臂將清洗腔體中的光刻版17取出，放在本發(fā)明O °狀態(tài)下光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置的光刻版片盒14上，由本裝置對(duì)光刻版17進(jìn)行翻版。光刻版17翻轉(zhuǎn)到180 °其被面朝上時(shí)，再由有機(jī)械臂將翻版后的光刻版再次放入清洗腔體中進(jìn)行背面的刷洗，從而使得背面達(dá)到和正面相同的清洗效果，解決了全自動(dòng)光刻版清洗機(jī)中光刻版背面清洗潔凈度不夠的問(wèn)題。
[0020]以上所述實(shí)施例，僅僅是對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行的描述，并非對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本發(fā)明權(quán)利要求書(shū)確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，包括臺(tái)板(1)，其特征在于:所述臺(tái)板(I)上固定有支座組(2)和立板(20)，支座組(2)的上端固定有支座(5)，支座(5)的右端固定有減速器(4)，左端安裝有軸承座(10)，所述減速器(4)輸入端與驅(qū)動(dòng)單元(3)連接，輸出端通過(guò)聯(lián)軸器(6)與驅(qū)動(dòng)軸(12)連接，所述軸承座(10)內(nèi)設(shè)有I號(hào)角接觸球軸承(9.1)和II號(hào)角接觸球軸承(9.2)，I號(hào)角接觸軸承(9.1)通過(guò)軸承內(nèi)環(huán)由I號(hào)內(nèi)隔圈(8.1)、鎖母(7)以及頂絲與軸承座(10 )定位，II號(hào)角接觸球軸承(9.2)的軸承外環(huán)通過(guò)軸承壓蓋(11)以及軸承內(nèi)環(huán)由II號(hào)內(nèi)隔圈(8.2)及側(cè)肩軸與軸承座(10)定位，所述驅(qū)動(dòng)軸(12)右端通過(guò)I號(hào)角接觸球軸承(9.1)和II號(hào)角接觸球軸承(9.2)的軸承內(nèi)環(huán)安裝在軸承座(10)上，所述立板(20)上端設(shè)有Y向軸承座(19)，Y向軸承座(19)內(nèi)設(shè)有支撐軸承(18)，所述驅(qū)動(dòng)軸(12)左端安裝在支撐軸承(18)的軸承內(nèi)環(huán)中，處在軸承座(10)與Y向軸承座(11)之間的驅(qū)動(dòng)軸(12)上通過(guò)鍵(16)連接一個(gè)片盒座(15)，片盒座(15)通過(guò)螺釘連接一個(gè)光刻版片盒(14)，所述光刻版片盒(14)上沿軸向設(shè)有一個(gè)上窄下寬形狀對(duì)稱的梯形槽，所述梯形槽兩側(cè)的壁面上對(duì)稱設(shè)有三組尺寸不等的光刻版卡口(a、b、c)，所述三組光刻版卡口(a、b、c)中的每一個(gè)卡口上均設(shè)有與光刻版片盒(14)螺紋連接的定位柱(13)，光刻版(17)通過(guò)定位柱(13)裝載在光刻版片盒(14)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻版自動(dòng)翻面裝置，其特征在于:所述光刻版(17)隨同光刻版片盒(14)通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸(12)帶動(dòng)，具有在O °J80 °區(qū)域內(nèi)的往返間歇翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軌跡。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于:所述光刻版片盒(14)的三組卡口(a、b、c)分別對(duì)應(yīng)安裝四寸、五寸和六寸三種規(guī)格的光刻版(17)。
【專利摘要】一種光刻版自動(dòng)翻轉(zhuǎn)裝置，其中的支座組、立板、驅(qū)動(dòng)單元、驅(qū)動(dòng)軸及驅(qū)動(dòng)軸上安裝的光刻版片盒構(gòu)成光刻版翻轉(zhuǎn)裝置。光刻版片盒上設(shè)置的三種規(guī)格光刻版卡口可承載或四寸或五寸或六寸三種規(guī)格中任意一種的光刻版。驅(qū)動(dòng)軸可在0o~180？o區(qū)域內(nèi)進(jìn)行往返間歇式的轉(zhuǎn)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)光刻版片盒翻轉(zhuǎn)，使光刻版片盒上的光刻版在0o情況下正面朝上，在180o情況下被面朝上，達(dá)到了將光刻版正反兩面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的效果，進(jìn)而通過(guò)其他工藝步驟達(dá)到對(duì)光刻版兩面清洗的目的。作為光刻版清洗機(jī)中的一套獨(dú)立機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)合理，制造成本低，作業(yè)能力強(qiáng)、效率高，脈沖控制電機(jī)運(yùn)動(dòng)，翻轉(zhuǎn)作業(yè)平穩(wěn)、精準(zhǔn)，解決了全自動(dòng)光刻版清洗機(jī)中光刻版背面無(wú)法刷洗的難題。
【IPC分類】G03F1/82
【公開(kāi)號(hào)】CN105204288
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510659924
【發(fā)明人】吳光慶, 侯為萍, 郭春華, 陳仲武, 高建利
【申請(qǐng)人】中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所
【公開(kāi)日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月14日