技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種工件臺非正交校正裝置，包括非正交測量標(biāo)記，設(shè)置在工件臺上用于承載基板的粗動旋轉(zhuǎn)臺上，所述非正交測量標(biāo)記至少設(shè)有三個，且不在一條直線上；視覺單元，用于獲得所述非正交測量標(biāo)記的位置；干涉儀測量單元，用于測量所述工件臺的位置；還包括校正單元，根據(jù)所述非正交測量標(biāo)記在粗動旋轉(zhuǎn)臺坐標(biāo)系下的名義位置、所述視覺單元獲得的所述非正交測量標(biāo)記的位置以及所述工件臺的位置計算所述工件臺的非正交量，并發(fā)送至所述干涉儀測量單元進(jìn)行補償校正。本實用新型有效解決了工件臺面型在曝光過程中受熱形變對TP控制精度的影響，從而降低材料的使用成本。

技術(shù)研發(fā)人員：馬琳琳;楊志勇;孫剛;朱健;朱樹存
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號碼：201621151082
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.24
技術(shù)公布日：2017.05.31