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一種工件臺(tái)非正交校正裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12249464

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本實(shí)用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種工件臺(tái)非正交校正裝置。背景技術(shù)投影掃描式TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶體管)光刻機(jī)是用于將掩模上圖形清晰、正確地成像在涂有光刻膠的基板上,隨著基板尺寸的增大,需要采用更大的平面鏡作為工件臺(tái)干涉儀測(cè)量反射鏡,因此方鏡的面型變化便成了制約TP(TotalPitch)精度的主要因素。當(dāng)鏡子面型變化不大時(shí),通常離線周期性標(biāo)定即可,但是當(dāng)面型受熱形變較大時(shí),離線標(biāo)定周期已經(jīng)無(wú)法滿足需要。此外,鏡子的旋轉(zhuǎn)姿態(tài)變化還會(huì)對(duì)非正交性有所影響,使基板曝光...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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