技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)以及方法，該自動(dòng)清洗系統(tǒng)包括：曝光機(jī)控制端，與對(duì)應(yīng)的曝光機(jī)相連接，用于控制所述曝光機(jī)的曝光制程、以及監(jiān)控曝光機(jī)內(nèi)每一掩膜板的使用次數(shù)；清洗裝置，用以清洗所述掩膜板；主控裝置，連接至所述曝光機(jī)控制端與所述清洗裝置，所述主控裝置根據(jù)每一所述曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗即將使用的掩膜板，并在監(jiān)測(cè)到所述曝光機(jī)中的掩膜板的使用次數(shù)達(dá)到一預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出掩膜板清洗提醒。該清洗系統(tǒng)及方法可提前清洗待使用掩膜板，并根據(jù)掩膜板的使用情況發(fā)起清洗提醒，不但節(jié)省了人力，并且可及時(shí)清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產(chǎn)能。

技術(shù)研發(fā)人員：祖?zhèn)?br/>受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201611193376
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.05.31