1.一種掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，包括：
曝光機(jī)控制端，與對(duì)應(yīng)的曝光機(jī)相連接，用于控制所述曝光機(jī)的曝光制程、以及監(jiān)控曝光機(jī)內(nèi)每一掩膜板的使用次數(shù)；
清洗裝置，用以清洗所述掩膜板；
主控裝置，連接至所述曝光機(jī)控制端與所述清洗裝置，所述主控裝置根據(jù)每一所述曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗即將使用的掩膜板，并在監(jiān)測(cè)到所述曝光機(jī)中的掩膜板的使用次數(shù)達(dá)到一預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出掩膜板清洗提醒，以提醒現(xiàn)場(chǎng)操作人員及時(shí)進(jìn)行清洗作業(yè)。
2.如權(quán)利要求1所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述曝光機(jī)控制端，還用于將與所述曝光機(jī)控制端連接的曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息發(fā)送至所述主控裝置；
所述主控裝置，還用于根據(jù)所述曝光機(jī)控制端發(fā)送的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。
3.如權(quán)利要求1所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)還包括中轉(zhuǎn)器，所述曝光機(jī)控制端通過所述中轉(zhuǎn)器與所述主控裝置連接，用以建立所述主控裝置與所述曝光機(jī)控制端之間的通信連接。
4.如權(quán)利要求3所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述中轉(zhuǎn)器為一集線器。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)還包括存儲(chǔ)柜和連接至所述主控裝置的計(jì)時(shí)器；
所述存儲(chǔ)柜，用于存儲(chǔ)掩膜板；
所述計(jì)時(shí)器設(shè)置于所述存儲(chǔ)柜中，用以統(tǒng)計(jì)所述存儲(chǔ)柜中每一掩膜板的存放時(shí)長(zhǎng)。
6.如權(quán)利要求5所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述存儲(chǔ)柜為所述清洗裝置附帶的存儲(chǔ)柜，或者所述存儲(chǔ)柜與所述清洗裝置分別單獨(dú)設(shè)置。
7.如權(quán)利要求6所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置包括一分別連接至所述主控裝置以及所述計(jì)時(shí)器的清洗控制端；
所述主控裝置，還用于根據(jù)所述計(jì)時(shí)器的計(jì)時(shí)值，判斷存儲(chǔ)柜中是否有掩膜板需要清洗，并在所述存儲(chǔ)柜中有掩膜板需要清洗時(shí)，通過所述清洗控制端向清洗裝置發(fā)送清洗指令，所述清洗指令包括待清洗掩膜板的掩膜板信息；
所述清洗裝置，還用于根據(jù)所述指令對(duì)相應(yīng)的掩膜板進(jìn)行清洗作業(yè)。
8.一種掩膜板自動(dòng)清洗方法，其特征在于，所述掩膜板自動(dòng)清洗方法應(yīng)用于如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的掩膜板自動(dòng)清洗系統(tǒng)，所述掩膜板自動(dòng)清洗方法包括以下步驟：
曝光機(jī)控制端實(shí)時(shí)監(jiān)控曝光機(jī)中的掩膜板的使用次數(shù)；
當(dāng)曝光機(jī)中的掩膜板的使用次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí)，主控裝置自動(dòng)發(fā)出掩膜板清洗提醒，以提醒現(xiàn)場(chǎng)操作人員及時(shí)進(jìn)行清洗作業(yè)；以及
所述主控裝置還根據(jù)接收到的每一所述曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。
9.如權(quán)利要求8所述的掩膜板自動(dòng)清洗方法，其特征在于，還包括以下步驟；
計(jì)時(shí)器監(jiān)控存儲(chǔ)柜中各掩膜板的存儲(chǔ)時(shí)長(zhǎng)；
當(dāng)存儲(chǔ)時(shí)長(zhǎng)超過預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)時(shí)，清洗控制端控制所述清洗裝置及時(shí)清洗所述存儲(chǔ)超時(shí)的掩膜板。
10.如權(quán)利要求8所述的掩膜板自動(dòng)清洗方法，其特征在于，所述主控裝置還根據(jù)接收到的每一所述曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板這一步驟之前還包括以下步驟：
所述曝光機(jī)控制端將與所述曝光機(jī)控制端連接的曝光機(jī)中即將使用的掩膜板信息發(fā)送至所述主控裝置。