Lan_cwdm薄膜濾光片的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種LAN_CWDM薄膜濾光片，它是由玻璃基板、高反膜和增透膜構(gòu)成，高反膜設(shè)在玻璃基板的一側(cè)表面，增透膜設(shè)在玻璃基板的另一側(cè)表面,所述高反膜是由75個(gè)五氧化二鈮反射介質(zhì)層和75個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層交替疊加而成的150層結(jié)構(gòu)，第1層至第149層的奇數(shù)層為五氧化二鈮反射介質(zhì)層，第2層至第150層的偶數(shù)層為二氧化硅反射介質(zhì)層。由于采用上述的結(jié)構(gòu)形式，本實(shí)用新型通過膜層的材料、厚度和疊放方式以及層數(shù)，經(jīng)過大量實(shí)驗(yàn)和嘗試，膜層數(shù)從200層較少到150層，Surfacequality(40/20)指標(biāo)良率提高到90%。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種濾光片，特別是一種LAN_CWDM薄膜濾光片。 LAN_CWDM薄膜濾光片

【背景技術(shù)】
[0002] LAN_CWDM薄膜濾光片，是指用于局域網(wǎng)（Local Area Network, LAN)的稀疏波分 復(fù)用（CWDM)的薄膜濾光片。通信界的帶寬發(fā)展速度，基本上與計(jì)算領(lǐng)域的摩爾定律相當(dāng)， 呈現(xiàn)高速的發(fā)展趨勢。隨著云計(jì)算和視頻應(yīng)用等各種新的應(yīng)用的普及，客戶高端光模塊產(chǎn) 品的需求增長迅速，率先推出創(chuàng)新的適應(yīng)高端市場的產(chǎn)品已經(jīng)成為企業(yè)占據(jù)先機(jī)的優(yōu)勢渠 道。目前很多光器件商所生產(chǎn)的100G光模塊多為25GX4的，學(xué)名QSFP上的光學(xué)薄膜濾光 片，QSFP主要是一個(gè)緊湊型的熱插拔光纖收發(fā)器，主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)通信，用以連接網(wǎng)絡(luò)設(shè)備 主板（如交換機(jī)、路由器、媒體轉(zhuǎn)換器或類似的設(shè)備）到光纖電纜。QSFP是一個(gè)行業(yè)聯(lián)合 開發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)，有許多網(wǎng)絡(luò)組件供應(yīng)商。QSFP+光收發(fā)器的設(shè)計(jì)符合Serial Attached SCSI (串行連接 SCSI), 40G Ethernet (40G 以太網(wǎng)），20G/40G Infiniband，和其他通信標(biāo)準(zhǔn)。 因此，組成該器件的主要光學(xué)元件"LAN-CWDM產(chǎn)品的開發(fā)及應(yīng)用"，理所當(dāng)然的得到了廣泛 的應(yīng)用。
[0003] 目前，LAN-CWDM薄膜濾光片存在以下缺點(diǎn)：1. LAN-CWDM薄膜濾光片鍍膜層數(shù)達(dá)到 200層以上，由于鍍膜時(shí)間較長，Surface quality (40/20)指標(biāo)目前能達(dá)到的良率為50%。 2. LAN-CWDM薄膜濾光片通帶范圍要求窄，陡度要求高，目前相鄰?fù)ǖ栏綦x度大于27dB，非 相鄰?fù)ǖ栏綦x度大于40db，反射隔離度值達(dá)到12dB。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種能提高產(chǎn)品制造合格率的 LAN_CWDM薄膜濾光片。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：
[0006] LAN_CWDM薄膜濾光片，它是由玻璃基板、高反膜和增透膜構(gòu)成，高反膜設(shè)在玻璃基 板的一側(cè)表面，增透膜設(shè)在玻璃基板的另一側(cè)表面，所述高反膜是由75個(gè)五氧化二鈮反射 介質(zhì)層和75個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層交替疊加而成的150層結(jié)構(gòu)，第1層至第149層的奇數(shù) 層為五氧化二鈮反射介質(zhì)層，第2層至第150層的偶數(shù)層為二氧化硅反射介質(zhì)層。
[0007] 所述偶數(shù)層中，其中，第148層的厚度為331. llum，第150層的厚度為356. 59um， 其余偶數(shù)層的厚度均為225. 7um ;所述奇數(shù)層中，第7層的厚度為461. 84um，第9層的厚度 為923. 68um，第149層的厚度為54. 69um，其余奇數(shù)層的厚度均為153. 95um。
[0008] 所述增透膜是由1個(gè)五氧化二鉭反射介質(zhì)層和1個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層構(gòu)成，第1 層為二氧化硅反射介質(zhì)層，緊貼在玻璃基板的表面，第2層為五氧化二鉭反射介質(zhì)層，緊貼 在第1層的表面。
[0009] 所述增透膜的厚度為421. 97um。
[0010] 所述增透膜中，第一層的厚度為66. 37um，第二層的厚度為355. 6um。 toon] 本實(shí)用新型的有益效果：由于采用上述的結(jié)構(gòu)形式，本實(shí)用新型通過膜層的材料、 厚度和疊放方式以及層數(shù)，經(jīng)過大量實(shí)驗(yàn)和嘗試，膜層數(shù)從200層較少到150層，Surface quality (40/20)指標(biāo)良率提高到90%;運(yùn)用高折射率和底折射率相互配合，高能離子輔助 技術(shù)鍍膜LAN-CWDM薄膜濾光片，提高到現(xiàn)在的相鄰?fù)ǖ栏綦x度大于30dB，非相鄰?fù)ǖ栏綦x 度大于55db，反射隔離度值可以到15dB。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012] 下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明：
[0013] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014] 圖中：1、玻璃基板；2、高反膜；3、增透膜。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 如圖1所示，LAN_CWDM薄膜濾光片，它是由玻璃基板、高反膜和增透膜構(gòu)成，高反 膜設(shè)在玻璃基板的一側(cè)表面，增透膜設(shè)在玻璃基板的另一側(cè)表面，所述高反膜是由75個(gè)五 氧化二鈮反射介質(zhì)層和75個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層交替疊加而成的150層結(jié)構(gòu)，第1層至第 149層的奇數(shù)層為五氧化二鈮反射介質(zhì)層，第2層至第150層的偶數(shù)層為二氧化硅反射介 質(zhì)層。所述偶數(shù)層中，其中，第148層的厚度為331. llum，第150層的厚度為356. 59um，其 余偶數(shù)層的厚度均為225. 7um ;所述奇數(shù)層中，第7層的厚度為461. 84um，第9層的厚度為 923. 68um，第149層的厚度為54. 69um，其余奇數(shù)層的厚度均為153. 95um。
[0016] 所述增透膜是由1個(gè)五氧化二鉭反射介質(zhì)層和1個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層構(gòu)成，第1 層為二氧化硅反射介質(zhì)層，緊貼在玻璃基板的表面，第2層為五氧化二鉭反射介質(zhì)層，緊貼 在第1層的表面。所述增透膜的厚度為421. 97um。所述增透膜中，第一層的厚度為66. 37um， 第二層的厚度為355. 6um。
[0017] 以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型之 權(quán)利范圍，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行 修改或者等同替換，都不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種LAN_CWDM薄膜濾光片，其特征在于：它是由玻璃基板、高反膜和增透膜構(gòu)成，高 反膜設(shè)在玻璃基板的一側(cè)表面，增透膜設(shè)在玻璃基板的另一側(cè)表面，所述高反膜是由75個(gè) 五氧化二鈮反射介質(zhì)層和75個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層交替疊加而成的150層結(jié)構(gòu)，第1層至 第149層的奇數(shù)層為五氧化二鈮反射介質(zhì)層，第2層至第150層的偶數(shù)層為二氧化硅反射 介質(zhì)層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的LAN_CWDM薄膜濾光片，其特征在于：所述偶數(shù)層中，其中，第 148層的厚度為331. llum，第150層的厚度為356. 59um，其余偶數(shù)層的厚度均為225. 7um ; 所述奇數(shù)層中，第7層的厚度為461. 84um，第9層的厚度為923. 68um，第149層的厚度為 54. 69um，其余奇數(shù)層的厚度均為153. 95um。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的LAN_CWDM薄膜濾光片，其特征在于：所述增透膜是由1 個(gè)五氧化二鉭反射介質(zhì)層和1個(gè)二氧化硅反射介質(zhì)層構(gòu)成，第1層為二氧化硅反射介質(zhì)層， 緊貼在玻璃基板的表面，第2層為五氧化二鉭反射介質(zhì)層，緊貼在第1層的表面。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的LAN_CWDM薄膜濾光片，其特征在于：所述增透膜的厚度為 421. 97um。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的LAN_CWDM薄膜濾光片，其特征在于：所述增透膜中，第一層 的厚度為66. 37um，第二層的厚度為355. 6um。
【文檔編號】G02B5/20GK203849446SQ201420278078
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月28日
【發(fā)明者】王朋飛 申請人:奧普鍍膜技術(shù)（廣州）有限公司